JP5864079B2 - ダイヤフラムの製造方法、及び圧力センサの製造方法 - Google Patents
ダイヤフラムの製造方法、及び圧力センサの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5864079B2 JP5864079B2 JP2010030456A JP2010030456A JP5864079B2 JP 5864079 B2 JP5864079 B2 JP 5864079B2 JP 2010030456 A JP2010030456 A JP 2010030456A JP 2010030456 A JP2010030456 A JP 2010030456A JP 5864079 B2 JP5864079 B2 JP 5864079B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- alloy
- mass
- pressure
- pressure sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 23
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 66
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 64
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 23
- 238000005482 strain hardening Methods 0.000 claims description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 9
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 9
- 229910000963 austenitic stainless steel Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 4
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 claims description 4
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 45
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 45
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N iron Substances [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 28
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 18
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 17
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 12
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 description 9
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 7
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 4
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 4
- 238000005728 strengthening Methods 0.000 description 4
- 230000035882 stress Effects 0.000 description 4
- 239000008151 electrolyte solution Substances 0.000 description 3
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 239000006104 solid solution Substances 0.000 description 3
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 238000007429 general method Methods 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000011573 trace mineral Substances 0.000 description 2
- 235000013619 trace mineral Nutrition 0.000 description 2
- 229910020630 Co Ni Inorganic materials 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002440 Co–Ni Inorganic materials 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003483 aging Methods 0.000 description 1
- 239000010953 base metal Substances 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 description 1
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 238000005242 forging Methods 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- -1 halogen ions Chemical class 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000001953 recrystallisation Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
この圧力センサが、例えば半導体製造ガスライン等、腐食性が高い流体を用いるラインに接続される場合、その測定対象となる流体と接触する受圧部には、高い耐食性が求められる。そのため、腐食性の高い流体を測定対象とする場合には、圧力センサの受圧部に、耐食性の高いオーステナイト系ステンレスや、Co基合金等が用いられている。
圧力センサにおける受圧部の耐食性を向上する方法として、Cr+Mo20〜40%、Ni20〜50%、Co25〜45%を主成分とする合金から受圧部を形成する技術が開示されている(特許文献1参照)。また、耐食性の高い合金として、Cr18〜23%、Mo7〜10%等を含有するNi基合金が開示されている(特許文献2参照)。
また、圧力センサに用いられる受圧部を構成するダイヤフラムは、測定対象流体からの圧力を受けて変形を繰り返し、圧力を検出する。そのため、圧力センサ用のダイヤフラムには、高い耐食性に加えて、優れた機械的強度も求められる。
本発明は、このような従来の実情に鑑みてなされたものであり、高耐食性と高強度とを備えた圧力センサ、ダイアフラム及びダイヤフラムの製造方法を提供することを目的とする。
前記合金は、Fe:20〜50質量%を含有することが好ましい。
前記合金が含有するCは、0.03質量%以下であることが好ましい。
本発明の圧力センサは、鉄系の材料により形成された配管に付設されることもできる。
また、本発明のダイヤフラムは、所定の組成の合金により形成されていることにより、圧力センサに外部から電圧が加わり、かつ測定対象流体の腐食性が高い場合においても、ダイヤフラムの耐食性が著しく低下することを抑制することができる。
また、本発明のダイヤフラムの製造方法は、冷間加工の加工率を20%以上に設定することにより、合金自体の硬度を高めることができ、良好な強度及び剛性のダイヤフラム用合金とすることができる。従って、より強度および耐圧性が高いダイヤフラムを製造することができる。さらに、本発明のダイヤフラムの製造方法は、冷間加工を施した後に、300〜650℃で熱処理することにより、合金自体の弾性を高めることができるので、より機械的強度が高いダイヤフラムを製造することができる。
図1は、本発明に係る圧力センサの一実施形態を示す概略断面図である。
圧力センサ10は測定対象流体を導入する導入路を備えたキャップ部材4と、キャップ部材4と接合一体化されたダイヤフラム1とを備えている。キャップ部材4は、開口部4aを有した有底筒状で、開口部4aの外周にはフランジ部4bを有し、かつ、開口部4a内周においてダイヤフラム1の周縁部と接合されている。キャップ部材4は、例えば、金属、合金、及び合金と樹脂モールドの複合材などにより形成されている。キャップ部材4の内部には、キャップ部材4とダイヤフラム1とで仕切られることにより、基準圧力室8が形成されている。キャップ部材4は基準ガスを流入させる流入口(図示略)を備えており、この基準ガスが基準圧力室8に導入され、基準圧力内の圧力が制御される。
ダイヤフラム1は、肉厚の筒状の支持部1bと、この筒状の支持部1bの上部開口を塞ぐように設けられた薄肉の受圧部1aとを備えている。また、ダイヤフラム1は、その下面側に、測定対象流体を導入するための凹形状の圧力室7を備えている。
また、受圧部1aのうち、圧力室7に対して反対側の側面、即ちダイヤフラム1の上面側には、シリコン酸化膜などの絶縁膜2を介してブリッジ回路3が設けられている。ブリッジ回路3は4つの歪ゲージ(不図示)により構成されており、各歪ゲージには配線9a、9b、9c、9dなどのコネクタ配線9が接続されている。
以下、これらを規定した理由について詳述する。
しかし、Feの含有量が多くなると耐食性が向上するが、一方で、機械的強度が低下する傾向がある。機械的強度を高める観点では、Feの含有量は、55%以下とすることが好ましい。したがって、耐食性と高強度を兼ね備えるためには、Feの含有量は質量%で10〜55%が好ましく、20〜50%がより好ましく、20%〜30%がさらに好ましい。
まず上記組成からなる合金を真空溶解炉で真空溶解し、熱間鍛造する。そして、一般的な方法により熱間棒鋼圧延を行う。その後、加工率(加工前と加工後とでの断面積の割合)が少なくとも20%以上の冷間加工を施した後に、一般的な加工により所望の形状のダイヤフラムを成型加工する。次に、300〜650℃の温度で熱処理(時効処理)することにより、ダイヤフラム1を製造することができる。
さらに、上記のように、冷間加工を施して成型加工した後に、300〜650℃で熱処理(時効処理)することにより、合金自体の弾性を高めることができるので、より機械的強度が高いダイヤフラム1を製造することができる。熱処理温度は、十分な時効硬化と機械的強度を得るために、400〜650℃とすることがより好ましい。
「製造例」
(ダイヤフラム用合金の作製)
<実施例1、比較例1及び2>
表1に示す組成からなる合金を真空溶解し、通常の方法で熱間鍛造、熱間棒鋼圧延を順次行った。次いで、室温にて、表1に示す加工率で冷間加工を施して、ダイヤフラム用合金を作製した。
(ダイヤフラムの作製)
前記ダイヤフラム用合金を一般的な方法で成型加工し、さらに、525℃、2時間の熱処理(時効処理)をすることにより図1に示す構造のダイヤフラム1を作製した。
1.耐食性試験
図2に示す試験装置を用いて耐食性試験を行った。図2に示すように、腐食性の高い酸化性溶液(電解液)24を満たした水槽25中に、SUS316Lよりなる試験片をカソード23とアノード22に設置し、アノード21に上記製造例で作製した実施例1、比較例1及び2のダイヤフラム用合金の試験片をそれぞれ交換しながら設置し、分けて試験した。それぞれの試験片を図2に示すように銅線で結び、アノード21、22の電流を測定できるように電流計1及び電流計2を設置した。続いて、表2に示す各溶液(電解液)に対して、直流0.1mAの定電流を流して、電流計1及び電流系2の電流量を測定した。アノード21とアノード22に流れる総電流値に対するアノード21に流れる電流値の割合(すなわち、電流計1/(電流計1+電流計2))を算出した結果を表2に示す。この時、アノード21に流れる電流の割合が低い程、アノード21の試験片の合金が電解液に溶出せず、腐食が発生しにくいことを示す。換言すれば、表2に示す割合が小さいほど、耐食性が高いことを示す。
上記製造例で作製した実施例1のダイヤフラム用合金とSUS316Lとを、JIS Z2201 14A号試験片のサイズに加工した各試験片に対して、JIS Z2201に準拠して強度試験を行った。なお、SUS316Lの組成を表1に併記した。
その結果、SUS316Lの0.2%耐力は254N/mm2、引張強さは560N/mm2であった。これに対し、実施例1ダイヤフラム用合金の0.2%耐力は1400〜1550N/mm2、引張強さは1200〜2200N/mm2であり、SUS316Lよりも高い強度が得られた。
また、実施例1のダイヤフラム用合金は、20%以上の冷間加工が施された合金である。このため、合金材自体の硬度を高めることができるので、良好な強度及び剛性を有することができる。さらに、実施例1のダイヤフラム用合金は、300〜650℃で熱処理した合金である。そのため、合金材自体の弾性を高めることができるので、良好な弾性特性を有する。
図4に示すように、本発明に係る合金においては、時効処理を施さない場合(時効処理温度0〜50℃付近)であっても、合金を冷間加工することで、合金が加工硬化し、引張強さが向上している。この結果より、少なくとも20%の加工率で冷間加工を行うことで引張強さが効果的に高まるので好ましいことが明らかである。
また、図4に示すように、本発明に係る合金においては、時効処理を施すことで引張強さが向上している。300〜650℃の温度で時効処理を行うことにより、引張強さを高めることができることが確認できた。特に、400〜650℃の温度で時効処理を行うことで、引張強さが増大している。また、時効処理温度が700℃を超えると、引張強さが低下している。これは、時効処理温度が700℃を超えると、合金の再結晶に起因する軟化が起こるためであると考えられる。
上記製造例で作製した実施例1、比較例1、2のダイヤフラム1を用いて、図1に示す構造の圧力センサ10を作製した。この圧力センサ10を図1に示すように、SUS316L製の配管5にリン酸1%溶液を流路6に流し、ダイヤフラム1の受圧部1aがリン酸1%溶液に腐食されて薄肉化し、0点ドリフトが発生するまでの期間を調べた。その結果、比較例1のダイヤフラム(Fe含有量1.9%)では、約半年で0点ドリフトが発生し、比較例2のダイヤフラム(Fe含有量4.9%)では約1年で0点ドリフトが発生した。これに対し、実施例1のダイヤフラム1(Fe含有量22.8%)では、0点ドリフト発生が約4.25年であり、比較例1のダイヤフラムの約8倍の長期使用が可能であった。さらに、これらの結果より、ダイヤフラムのFe含有量と0点ドリフトの問題が発生する時期との関係をプロットしたところ良好な直線関係があることが明らかとなったため、予想値も合わせてプロットしたグラフを図3に示す。
Claims (3)
- オーステナイト系ステンレス鋼により形成された配管に付設される圧力センサに用いられるダイヤフラムの製造方法であって、
組成が、Fe:20〜30質量%、Co:25〜50質量%、Cr:5〜27質量%、Mo:3〜11質量%、W:0.5〜5質量%、Ni:10〜20質量%、及び不可避不純物からなる合金に対し、0.2%耐力が1400〜1550N/mm2、引張強さが1200〜2200N/mm2となるように、加工率20%以上の冷間加工を施した後に、成型し、さらに300〜650℃で熱処理することを特徴とするダイヤフラムの製造方法。 - 前記合金が含有するCを、0.03質量%以下とすることを特徴とする請求項1に記載のダイヤフラムの製造方法。
- オーステナイト系ステンレス鋼により形成された配管に付設され、測定対象流体からの圧力を受けるダイヤフラムを備え、当該ダイヤフラムの変形により前記測定対象流体の圧力を検出する圧力センサの製造方法であって、
前記ダイヤフラムとして、Fe:20〜30質量%、Co:25〜50質量%、Cr:5〜27質量%、Mo:3〜11質量%、W:0.5〜5質量%、Ni:10〜20質量%、及び不可避不純物からなる合金に対し、0.2%耐力が1400〜1550N/mm2、引張強さが1200〜2200N/mm2となるように、加工率20%以上の冷間加工を施した後に、成型し、さらに300〜650℃で熱処理したものを用いることを特徴とする圧力センサの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010030456A JP5864079B2 (ja) | 2010-02-15 | 2010-02-15 | ダイヤフラムの製造方法、及び圧力センサの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010030456A JP5864079B2 (ja) | 2010-02-15 | 2010-02-15 | ダイヤフラムの製造方法、及び圧力センサの製造方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014138015A Division JP5854409B2 (ja) | 2014-07-03 | 2014-07-03 | ダイヤフラム、圧力センサ、及びダイヤフラムの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011164072A JP2011164072A (ja) | 2011-08-25 |
JP5864079B2 true JP5864079B2 (ja) | 2016-02-17 |
Family
ID=44594904
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010030456A Active JP5864079B2 (ja) | 2010-02-15 | 2010-02-15 | ダイヤフラムの製造方法、及び圧力センサの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5864079B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108120545A (zh) * | 2016-11-29 | 2018-06-05 | 精工电子有限公司 | 膜片、使用膜片的压力传感器、膜片的制造方法 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012093107A (ja) * | 2010-10-25 | 2012-05-17 | Yokogawa Electric Corp | 圧力センサ |
WO2013118277A1 (ja) * | 2012-02-09 | 2013-08-15 | 日新電機株式会社 | 電力貯蔵電池 |
JP7164835B2 (ja) * | 2019-03-11 | 2022-11-02 | Tdk株式会社 | 圧力センサ |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3013188B2 (ja) * | 1990-07-20 | 2000-02-28 | セイコーインスツルメンツ株式会社 | ダイヤフラムバルブおよびダイヤフラムの製造方法 |
JP3084304B2 (ja) * | 1991-07-04 | 2000-09-04 | 長野計器株式会社 | 圧力センサの金属製ダイヤフラム |
JPH07317925A (ja) * | 1994-05-27 | 1995-12-08 | Hitachi Metals Ltd | ダイアフラムシール弁及びその金属ダイアフラム |
CN1418295A (zh) * | 2000-07-11 | 2003-05-14 | 精工爱普生株式会社 | 弹簧、驱动机构以及应用这种弹簧的装置和时计 |
JP4971030B2 (ja) * | 2007-05-21 | 2012-07-11 | シーケーディ株式会社 | 流体制御弁 |
-
2010
- 2010-02-15 JP JP2010030456A patent/JP5864079B2/ja active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108120545A (zh) * | 2016-11-29 | 2018-06-05 | 精工电子有限公司 | 膜片、使用膜片的压力传感器、膜片的制造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011164072A (ja) | 2011-08-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9523620B2 (en) | Two-phase stainless steel, method of manufacturing the same, and diaphragm, pressure sensor, and diaphragm valve using two-phase stainless steel | |
JP5462281B2 (ja) | ステンレスオーステナイト低Niスチール合金 | |
US9228250B2 (en) | Ni—Fe—Cr—Mo alloy | |
EP2851448A2 (en) | Two-phase stainless steel, thin sheet material and diaphragm using two-phase stainless steel | |
JP5864079B2 (ja) | ダイヤフラムの製造方法、及び圧力センサの製造方法 | |
CN103717767A (zh) | Ni基耐热合金 | |
CN104411850B (zh) | 双相不锈钢 | |
KR20190065352A (ko) | NiCrFe 합금 | |
CN106852131B (zh) | 制造包覆金属管的方法 | |
SE527178C2 (sv) | Användning av en duplex rostfri stållegering | |
JP5324149B2 (ja) | 耐食オーステナイト系ステンレス鋼 | |
WO2011059030A1 (ja) | 耐アルカリ性に優れた二相ステンレス鋼 | |
JP2017534756A (ja) | 双極燃料電池プレート | |
JP5854409B2 (ja) | ダイヤフラム、圧力センサ、及びダイヤフラムの製造方法 | |
EP3441492A1 (en) | Chromium-based two-phase alloy and product using said two-phase alloy | |
JP5675958B2 (ja) | 蒸気発生器用伝熱管、蒸気発生器及び原子力プラント | |
Sánchez-Tovar et al. | Galvanic corrosion of the base AISI 316l/micro-plasma arc welded AISI 316l in polluted phosphoric acid media at different temperatures | |
EP3372973A1 (en) | Metal elastic element and diaphragm using the same | |
EP2806047B1 (en) | Precipitation hardened fe-ni alloy | |
JP6825514B2 (ja) | オーステナイト系耐熱合金部材 | |
JP5883761B2 (ja) | 二相系ステンレス鋼材および二相系ステンレス鋼管 | |
JP6740974B2 (ja) | ガスセンサ | |
JP7130358B2 (ja) | 金属弾性素子およびそれを用いたダイヤフラム | |
JP7262241B2 (ja) | Co-Ni基合金ダイヤフラムおよびその製造方法 | |
JP2004083937A (ja) | 高耐力ステンレス鋼およびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20121206 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130507 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130514 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130703 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140121 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140305 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20140408 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140703 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20140711 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20140926 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150508 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20151015 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20151224 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20151224 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5864079 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |