JP2012093107A - 圧力センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】測定流体に接液する接液ダイアフラムを具備する圧力センサにおいて、主成分の材料成分がコバルト30〜40%,ニッケル16〜34%、コバルト11〜21%の重量比組成を有する高張力鋼合金であって、鉄分が10%以上の重量比組成を有する接液ダイアフラムを具備したことを特徴とする圧力センサである。
【選択図】図1
Description
更に詳述すれば、高耐圧性、高耐食性、清浄性が向上された圧力センサに関するものである。
図において、金属の筐体1には、一面側が測定流体FLに接する受圧ダイアフラム2が形成されている。
受圧ダイアフラム2は、この場合は、鉄元素の含有量が10%未満のNi−Cr基合金やCo−Ni基合金を用いて、材料強度を高める。
増幅回路4は、筐体1の上部に設けられている。
感圧素子3に発生した歪を電気的に検出し、増幅回路4にて増幅して出力する。
受圧ダイアフラム2は、測定流体FLが導電性のある液体プロセスに使用されることがある。
液体プロセス用圧力センサの場合、金属の筐体1や流体配管等の設置環境は、一般的に、JIS規格のSUS304やSUS316などのオーステナイト系金属が用いられる。
このような状況下で、鉄元素の含有量が少ないと、受圧ダイアフラム2の金属の構成元素がアノードの電気化学反応で腐食されることがある。
更に、強度、耐食性を両立するセラミックやガラスなどの非金属系材料は、金属の筐体1と受圧ダイアフラム2の間のシール構造にパッキンなどが必要となり、食品や薬品などのプロセス流体では汚染の原因となるため、使用できないプロセスが多い。
測定流体に接液する接液ダイアフラムを具備する圧力センサにおいて、主成分の材料成分がコバルト30〜40%,ニッケル16〜34%、コバルト11〜21%の重量比組成を有する高張力鋼合金であって、鉄分が10%以上の重量比組成を有する接液ダイアフラムを具備したことを特徴とする。
高耐圧性、高耐食性、清浄性が向上された圧力センサが得られる。
図1は本発明の一実施例の要部構成説明図である。
図において、図6と同一記号の構成は同一機能を表す。
以下、図6との相違部分のみ説明する。
この場合は、接液ダイアフラム11は導電性液体内で、アノードとして定電流100mAが1h印加された。
図5において、凹部22は、金属の筐体21の測定流体FLに接する側に設けられている。
シールダイアフラム23は、凹部22の開口部222を覆って設けられている。
凹部22内には、測定ダイアフラム25を有する半導体圧力センサ24が設けられている。
封入液26は、凹部22内に封入されている。
シールダイアフラム23は数十〜100μmの薄膜であり、測定流体FLの噴流などの衝撃を受けるため、相応の材料強度が必要である。
また、導電性のある測定流体FLでは、シールダイアフラム23はアノード化した際に腐食される可能性が大きい。
したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。
FL 測定流体
2 受圧ダイアフラム
3 感圧素子
4 増幅回路
11 接液ダイアフラム
21 筐体
22 凹部
222 開口部
23 シールダイアフラム
24 半導体圧力センサ
25 測定ダイアフラム
26 封入液
Claims (1)
- 測定流体に接液する接液ダイアフラムを具備する圧力センサにおいて、
主成分の材料成分がコバルト30〜40%,ニッケル16〜34%、コバルト11〜21%の重量比組成を有する高張力鋼合金であって、鉄分が10%以上の重量比組成を有する接液ダイアフラム
を具備したことを特徴とする圧力センサ。
Priority Applications (1)
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JP2010238411A JP2012093107A (ja) | 2010-10-25 | 2010-10-25 | 圧力センサ |
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2010
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