JP5856491B2 - 光デバイスウェーハの分割方法 - Google Patents
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Description
105 レーザ加工ユニット
106 チャックテーブル(保持手段)
201 研削装置
205 研削ユニット(研削手段)
206 チャックテーブル(保持手段)
224 研削ホイール
301 分割予定ライン
303 粘着シート
304 改質層
305 発光層
306 改質部
W 光デバイスウェーハ
W1 表面
W2 裏面
Claims (1)
- 表面に形成された複数の分割予定ラインで区画された各領域に光デバイスが形成された光デバイスウェーハを前記分割予定ラインに沿って分割する光デバイスウェーハの分割方法であって、
光デバイスウェーハの表面に粘着シートを貼着する貼着ステップと、
前記貼着ステップを実施した後、前記粘着シート側を保持手段で保持して光デバイスウェーハの裏面から光デバイスウェーハに対して透過性を有する波長のレーザビームを前記分割予定ラインに沿って照射して、前記分割予定ラインに沿って内部に改質層を形成する改質層形成ステップと、
前記改質層形成ステップを実施した後、前記粘着シート側を保持手段で保持して光デバイスウェーハの裏面から研削手段により研削し仕上げ厚さへと薄化するとともに研削動作により前記改質層を起点として光デバイスウェーハを前記分割予定ラインに沿って分割する研削ステップと、を備え、
前記改質層形成ステップにおいては、1ライン以上空けて離間する一部の分割予定ラインに対して他の分割予定ラインよりも改質層の厚さを増加して形成し、
前記研削ステップにおいては、厚い前記改質層の分割予定ラインから段階的に分割されること、
を特徴とする光デバイスウェーハの分割方法。
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