JP5856397B2

JP5856397B2 - 帯状シートの軸芯部材

Info

Publication number: JP5856397B2
Application number: JP2011146379A
Authority: JP
Inventors: 芳昭杉下
Original assignee: Lintec Corp
Current assignee: Lintec Corp
Priority date: 2011-06-30
Filing date: 2011-06-30
Publication date: 2016-02-09
Anticipated expiration: 2031-06-30
Also published as: JP2013016546A

Description

本発明は、帯状シートの軸芯部材に関する。

従来、帯状の接着シートを繰り出してウェハに貼付する貼付装置において、接着シートが巻回された軸芯部材にデータキャリアを設け、当該データキャリアに書き込まれたデータを読み取って、貼付条件を適切に設定する構成が知られている（例えば、特許文献１参照）。
この特許文献１に記載の構成では、軸芯部材の内面にデータキャリアを設けるとともに、軸芯部材が装着される巻き出し軸にテープデータ読み書き装置を設けている。そして、軸芯部材を巻き出し軸に装着する際には、軸芯部材の位置合わせ部によって、データキャリアとテープデータ読み書き装置との位置合わせを正確に行っている。

特開２００７−１２８０７号公報

しかしながら、特許文献１に記載の構成では、データキャリアがテープデータ読み書き装置から離れてしまうと、データの読み取りや書き取り（データの通信）を行うことができなくなるため、データキャリアとテープデータ読み書き装置との位置合わせを正確に行う必要があり、軸芯部材の装着作業が煩わしいという問題がある。

本発明の目的は、帯状シートが巻回されかつデータキャリアが設けられた軸芯部材を支持軸で支持する際に、データキャリアに対するデータの通信を適切に行うための正確な位置合わせが不要な帯状シートの軸芯部材を提供することにある。

前記目的を達成するために、本発明の帯状シートの軸芯部材は、支持軸に支持されて帯状シートを繰出可能に巻回する帯状シートの軸芯部材において、外周に前記帯状シートを巻回可能、かつ、中空部に前記支持軸が挿入可能な両端開放型の筒状部材と、前記筒状部材の内側に設けられた中間壁とを備え、前記中間壁には、所定のデータの記憶と送信のうち少なくとも一方が可能なデータキャリアと、前記支持軸が貫通可能な壁中心孔とが設けられている、という構成を採用している。

以上のような本発明によれば、軸芯部材内の中間壁にデータキャリアを設けているため、端面にアンテナが設けられた支持軸で軸芯部材を支持することで、データキャリアとアンテナとを対向させることができる。したがって、支持軸に対してどのような角度で軸芯部材を取り付けても、アンテナから発生する磁束の通過位置に、データキャリアを位置させることができ、データキャリアに対するデータの通信を適切に行うための正確な位置合わせが不要となる。また、中間壁に壁中心孔を設ければ、支持軸を当該壁中心孔に挿通することで、筒状部材を両側で支持することができ、軸芯部材のぶれを抑制して安定して支持することができる。

本発明の第１，第２実施形態に係る貼付装置の側面図。前記第１実施形態における貼付装置の支持装置の部分断面図。前記第２実施形態における貼付装置の支持装置の部分断面図。

以下、本発明の各実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、第２実施形態において、次の第１実施形態で説明する構成部材と同じ構成部材、および同様な機能を有する構成部材には、第１実施形態の構成部材と同じ符号を付し、それらの説明を省略または簡略化する。また、各図においては、本発明の内容を理解しやすくするために各構成の形状や配置状態を誇張して示している。また、本実施形態において基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、手前、奥といった方向を示した場合は、全て図１を基準としている。

［第１実施形態］
図１において、貼付装置１は、半導体ウェハ（以下「ウェハ」と称す）Ｗに接着シートＳを貼付するものである。ここで、接着シートＳは、基材シートＢＳの一方の面に接着剤層ＡＤが積層されるとともに、当該接着剤層ＡＤを介して剥離シートＲＬに仮着された帯状シートとしての原反Ｒとし、中空円筒状の軸芯部材２５の外周に巻回されて予め準備されている。
そして、貼付装置１は、接着シートＳを繰出可能に支持する支持装置２と、接着シートＳを繰り出す繰出手段３と、繰り出された接着シートＳをウェハＷに押圧して貼付する押圧手段４と、ウェハＷと押圧手段４とを相対移動させる移動手段５とを備え、パーソナルコンピュータやシーケンサ等の制御手段６によってその全体的な動作が制御されるように構成されている。

支持装置２は、フレーム２１と、このフレーム２１の一面に設けられた支持部２２とを備えている。支持部２２は、軸芯部材２５における中空部の一端側から挿入されることで、軸芯部材２５を支持する支持軸２２１を備えている。
繰出手段３は、その全体がフレーム２１に支持され、原反Ｒを案内する複数のガイドローラ３２，３３と、原反Ｒの剥離シートＲＬを折り返すことで当該剥離シートＲＬから接着シートＳを剥離する剥離板３４と、駆動機器としての回動モータ３５によって駆動する駆動ローラ３６と、駆動ローラ３６との間に剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ３７と、駆動機器としての回動モータ３９によって剥離シートＲＬを回収する回収ローラ３８とを備えている。
押圧手段４は、ゴムや樹脂等の弾性変形可能な部材で構成され、図示しない支持部材により回転自在に支持され、駆動機器としての図示しない直動モータにより昇降可能に設けられている。
移動手段５は、ウェハＷが載置され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない吸着保持手段によって当該ウェハＷを吸着保持可能なテーブル５１と、テーブル５１の下面にスライダ５２が固定された駆動機器としての単軸ロボット５３とを備え、スライダ５２をスライド駆動することで、テーブル５１を左右方向に移動可能に構成されている。

次に、支持装置２について詳細に説明する。
図２に示すように、フレーム２１の一方の面（図２中右面）側に位置する支持部２２は、支持軸２２１と、支持軸２２１の一端（図２中左端）から延びる基端軸２２２とを備え、基端軸２２２がフレーム２１の他方の面（図２中左面）に設けられた回転軸受２３により、回転可能に支持されている。なお、フレーム２１には、基端軸２２２が貫通する図示しない貫通孔が形成されている。本実施形態の場合、支持軸２２１は、図２中左側が軸芯部材２５の内周に摺接する大きさに設けられた円柱状の太軸部２２１Ａである。また、太軸部２２１Ａにおける他端（図２中右端）の先端面２２１Ｃには、太軸部２２１Ａに比べて細い円柱状の細軸部２２１Ｂと、この細軸部２２１Ｂの図２中右側の先端に設けられた弾性部材２２４とを備え、細軸部２２１Ｂの先端領域から弾性部材２２４の右側の先端にかけての部分は、先細り形状に形成されている。また、支持軸２２１の基端軸２２２側の端部（図２中左端部）は、若干太く形成されており、段差部２２１Ｄが構成されている。

また、太軸部２２１Ａにおける他端（図２中右端）の先端面２２１Ｃには、細軸部２２１Ｂを囲うように、導電体をループ状に巻回形成したループアンテナ２４が設けられている。なお、ループアンテナ２４を保護する保護部材を設けてもよい。

軸芯部材２５は、接着シートＳを巻回可能な両端開放型の筒状部材２５１と、当該筒状部材２５１の内側に設けられた中間壁２５２とを備えている。中間壁２５２は、ゴムや樹脂等の弾性変形可能な部材で構成され、筒状部材２５１の軸線Ｄ方向の略中央において、軸線Ｄと直交する面方向に形成されている。
また、中間壁２５２の中央には、軸線Ｄを中心に形成され、細軸部２２１Ｂの直径よりもやや大きい内径を有する壁中心孔２５３が設けられている。さらに、壁中心孔２５３の開口縁には、中間壁２５２の両面（図２中左右の面）からそれぞれ離れるにしたがって、内径が大きくなる円錐筒状の案内部２５４が設けられている。
そして、中間壁２５２における壁中心孔２５３の外側には、支持軸２２１と中間壁２５２との間のエアを抜くための複数のエア抜き孔２５５が設けられている。

また、細軸部２２１Ｂの図２中右側には、細軸部２２１Ｂを挿通可能な挿入孔２６２を有するとともに、当該細軸部２２１Ｂに沿って移動可能に設けられ、クランパ２６３の締め付けによってその移動を規制する可動当て板２６１を備えた位置決め手段２６が設けられ、軸芯部材２５の軸方向の位置決めが可能になっている。

さらに、軸芯部材２５の中間壁２５２には、チップとアンテナとからなるデータキャリア２７が設けられている。データキャリア２７は、電磁波を通信媒体として、非接触でデータを読み取って記憶したり、非接触でデータを送信したりすることができる非接触型のものである。このような非接触型のデータキャリア２７としては、例えば、ＩＣチップと、このＩＣチップに接続された送受信用の導電性コイルとから構成される、いわゆるＲＦメモリやＲＦＩＤタグ等を用いることができる。
なお、導電性コイルの配置位置としては、ループアンテナ２４から発生する磁束Ｍが通過する位置であればよく、軸線Ｄと直交しループアンテナ２４のアンテナ面と対向可能な中間壁２５２の面であることが好ましい。

また、ループアンテナ２４には、制御手段６による制御に基づき、データキャリア２７に記憶されたデータを読み取ったり、データキャリア２７にデータを書き込んだりすることのできるリーダライタ７が接続されている。なお、データキャリア２７とループアンテナ２４とで通信するデータとしては、接着シートＳの種類、材質、品名、コード、厚さ、長さ、幅、直径などの規格寸法、さらには、原反Ｒのロットナンバー、原反Ｒを使用した長さ、原反Ｒの残りの長さ、接着シートＳの品質保証期限、繰出開始前後の接着シートＳの残数、繰り出された接着シートＳの枚数、接着シートＳを最適に繰り出すことのできる推奨繰出速度、接着シートＳを最適に貼付することができる推奨貼付張力や推奨押圧力などの接着シートＳの貼付条件、接着シートＳや原反Ｒについての相談窓口の連絡先などが例示できる。そして、貼付装置１に設けられた図示しないモニタにデータキャリア２７から読み取ったデータを表示させたり、読み取ったデータを基に当該貼付装置１の貼付条件を設定したりすることができる。

以上の貼付装置１において、ウェハＷに接着シートＳを貼付する際には、まず、軸芯部材２５を支持軸２２１および位置決め手段２６で支持させる。
このとき、細軸部２２１Ｂの先端領域から弾性部材２２４の先端にかけての部分が先細りになっており、案内部２５４が中間壁２５２から離れるにしたがって内径が拡がっているので、軸芯部材２５を支持させるときの煩わしさが軽減できる。
また、エア抜き孔２５５から太軸部２２１Ａと中間壁２５２との間のエアが抜けるので、スムーズに軸芯部材２５を支持させることができる。
そして、可動当て板２６１の挿入孔２６２に細軸部２２１Ｂを挿入し、軸芯部材２５の位置決めを行う。これにより、軸芯部材２５は、両側で支持されるので、ぐらつかず安定して支持される。
なお、細軸部２２１Ｂの先端領域が弾性部材２２４で構成されているので、データキャリア２７や中間壁２５２に当たっても衝撃が軽減される上、中間壁２５２も弾性部材で構成されているので、更に衝撃が軽減される。
さらに、軸芯部材２５が太軸部２２１Ａの段差部２２１Ｄと可動当て板２６１とで位置決めされると、ループアンテナ２４とデータキャリア２７とが対向するようになっているため、ループアンテナ２４とデータキャリア２７との適切な位置決めを容易に行える。
この後、回動モータ３５および回動モータ３９の駆動により、軸芯部材２５を支持軸２２１および位置決め手段２６とともに回転させることで接着シートＳを繰り出し、当該接着シートＳを移動手段５により搬送されるウェハＷに貼付する。

ここで、制御手段６は、貼付開始前にリーダライタ７を制御し、ループアンテナ２４に電流を流すことで磁束Ｍを発生させ、データキャリア２７に書き込まれたデータを読み取り、当該読み取ったデータに基づいて、貼付装置１全体を制御する。この制御は、例えば、データキャリア２７に書き込まれたデータのうち、接着シートＳの推奨繰出速度を基にして、回動モータ３５及び回動モータ３９の回転速度や、単軸ロボット５３でテーブル５１を移動させる移動速度を決定したり、推奨押圧力を基にして、押圧手段４を昇降させる図示しない直動モータの昇降量を決定し、押圧力を設定したりすることができる。このとき、データキャリア２７の対向面２７１とアンテナ面とが対向するように設けられているため、軸芯部材２５を支持軸２２１で支持させる際の軸線Ｄ回りの角度によらず、データキャリア２７が磁束Ｍの通過位置に存在することとなり、リーダライタ７は、軸芯部材２５の取り付け角度によらず、データキャリア２７のデータを適切に読み取ることができる。
また、制御手段６は、貼付開始後の軸芯部材２５の回転中に、リーダライタ７を制御して磁束Ｍを発生させ、データキャリア２７にデータを書き込むこともできる。このように軸芯部材２５が回転している場合であっても、データキャリア２７が磁束Ｍの通過位置に常時存在することとなり、リーダライタ７は、データキャリア２７にデータを適切に書き込むことができる。このときに書き込むデータとしては、例えば、接着シートＳを使用した枚数や、原反Ｒを使用した長さ等が例示できる。なお、原反Ｒを使用した長さは、回動モータ３５の回転数やパルスによって算出することができる。
そして、所定枚数のウェハＷに接着シートＳが貼付し終わると、リーダライタ７を制御してデータキャリア２７にデータを書き込むこともできる。このときに書き込むデータとしては、例えば、繰出開始前の接着シートＳの残数から接着シートＳを使用した枚数を差し引いた繰出開始後の接着シートＳの残数や、原反Ｒの残りの長さ等が例示できる。
さらに、中間壁２５２を筒状部材２５１の軸線Ｄ方向略中央に設けているため、軸芯部材２５のいずれの開口端を支持軸２２１で支持させても、上述のようなデータを適切に読み取る効果を期待できる。

以上のような本実施形態によれば、軸芯部材２５内の中間壁２５２に設けたデータキャリア２７と、支持軸２２１に設けられたループアンテナ２４とを対向させることができるため、支持軸２２１に対してどのような角度で軸芯部材２５を取り付けても、磁束Ｍの通過位置にデータキャリア２７を位置させることができ、データキャリア２７に対するデータの通信を適切に行うための正確な位置合わせが不要となる。

［第２実施形態］
図３において、貼付装置１Ａ（図１参照）を構成する支持装置２Ａは、フレーム２１に支持された支持部２２Ａを備えている。この支持部２２Ａと第１実施形態の支持部２２との相違点は、支持軸２２５Ａを太軸部２２１Ａのみで構成し、細軸部２２１Ｂと弾性部材２２４を設けていない点である。
また、支持部２２Ａにおける他端（図３中右端）の先端面２２１Ｃには、ループアンテナ２４が設けられている。
軸芯部材２５Ａの筒状部材２５１には、中間壁２５２Ａが設けられている。この中間壁２５２Ａの外縁側には、複数のエア抜き孔２５５が設けられ、中間壁２５２Ａには、１個のデータキャリア２７Ａが設けられている。このデータキャリア２７Ａのアンテナ面と対向可能な対向面２７１Ａには、導電性コイルが設けられている。
なお、第２実施形態では、軸芯部材２５Ａは、支持軸２２５Ａにより片持ちで支持されている。

以上の貼付装置１Ａにおいて、データキャリア２７Ａとアンテナ面とが対向するように設けられているため、軸芯部材２５Ａを支持軸２２５Ａで支持させる際の軸線Ｄ回りの角度によらず、データキャリア２７Ａが磁束Ｍの通過位置に存在することとなり、リーダライタ７は、軸芯部材２５Ａの取り付け角度によらず、データキャリア２７Ａのデータを適切に読み取ることができる。
また、軸芯部材２５Ａが回転している場合であっても、データキャリア２７Ａが磁束Ｍの通過位置に常時存在することとなり、リーダライタ７は、データキャリア２７Ａにデータを適切に書き込むことができる。

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。

例えば、図２および図３に二点鎖線で示すように、ブラケット２９３Ｂで保持された駆動機器としての回動モータ２９１Ｂの出力軸２９２Ｂを、カップリング２９４Ｂを介して基端軸２２２に接続し、回動モータ２９１Ｂによって支持軸２２１，２２５Ａを回転させるようにしてもよい。
また、支持軸２２１，２２５Ａをフレーム２１に対して回転不可能に設けた場合には、軸芯部材２５，２５Ａを支持軸２２１，２２５Ａに対して回転可能にしてもよい。
さらに、中間壁２５２，２５２Ａを筒状部材２５１の端部近傍に設けてもよく、この場合には、支持軸２２１，２２５Ａの長さを当該支持軸２２１，２２５Ａの先端面が中間壁２５２，２５２Ａ近傍に位置するような長さにすればよい。また、この際、支持軸２２１の細軸部２２１Ｂと、中間壁２５２の壁中心孔２５３とを設けなくてもよい。
また、アンテナは、ループアンテナに限定されることはなく、データキャリアと電波で通信ができればよい。さらに、データキャリア２７，２７Ａは、中間壁２５２，２５２Ａの両面に配置されていてもよいし、各面に１個または複数個配置されていてもよい。

さらに、案内部２５４やエア抜き孔２５５を設けなくてもよい。
また、中間壁２５２，２５２Ａの一方の面のみにデータキャリア２７，２７Ａを設けてもよいし、中間壁２５２，２５２Ａは、弾性変形可能でなくてもよい。
また、データキャリア２７，２７Ａは、データの記憶のみができるものであってもよいし、データの送信のみができるものであってもよい。

また、本発明における接着シートＳの種別や材質などは、特に限定されず、例えば、基材シートＢＳと接着剤層ＡＤとの間に中間層を有するものや、他の層を有する等３層以上のものでもよい。また、接着シートＳは、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムなどであってもよい。半導体ウェハは、シリコン半導体ウェハや化合物半導体ウェハ等が例示でき、このような半導体ウェハに貼付する接着シートは、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムに限らず、その他の任意のシート、フィルム、テープ等、任意の用途、形状の接着シート等が適用できる。さらに、板状部材が光ディスクの基板であって、接着シートが記録層を構成する樹脂層を有したものであってもよい。以上のように、板状部材としては、ガラス板、鋼板、樹脂板等や、その他の部材のみならず、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。
また、押圧手段４は、ブレード材、エア噴き付け、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用することができる。
さらに、押圧手段４は、前記実施形態で示したもの以外のもので構成してもよく、押圧手段４は板状部材に接着シートが貼付できる限りにおいて何ら限定されるものではない。

また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。

２５，２５Ａ…軸芯部材
２７，２７Ａ…データキャリア
２２１，２２５Ａ…支持軸
２５１…筒状部材
２５２，２５２Ａ…中間壁
２５３…壁中心孔
２５４…案内部
２５５…エア抜き孔
Ｓ…接着シート（帯状シート）

Claims

支持軸に支持されて帯状シートを繰出可能に巻回する帯状シートの軸芯部材において、
外周に前記帯状シートを巻回可能、かつ、中空部に前記支持軸が挿入可能な両端開放型の筒状部材と、
前記筒状部材の内側に設けられた中間壁とを備え、
前記中間壁には、所定のデータの記憶と送信のうち少なくとも一方が可能なデータキャリアと、前記支持軸が貫通可能な壁中心孔とが設けられていることを特徴とする帯状シートの軸芯部材。