JP5851882B2 - デジタル式変位測定器 - Google Patents

デジタル式変位測定器 Download PDF

Info

Publication number
JP5851882B2
JP5851882B2 JP2012040353A JP2012040353A JP5851882B2 JP 5851882 B2 JP5851882 B2 JP 5851882B2 JP 2012040353 A JP2012040353 A JP 2012040353A JP 2012040353 A JP2012040353 A JP 2012040353A JP 5851882 B2 JP5851882 B2 JP 5851882B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
spindle
moving speed
measuring instrument
displacement measuring
acceleration
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2012040353A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2013174554A (ja
Inventor
康裕 辻本
康裕 辻本
林田 秀二
秀二 林田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitutoyo Corp
Original Assignee
Mitutoyo Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitutoyo Corp filed Critical Mitutoyo Corp
Priority to JP2012040353A priority Critical patent/JP5851882B2/ja
Priority to CN201310061321.8A priority patent/CN103292681B/zh
Priority to EP20130156932 priority patent/EP2631591B1/en
Priority to US13/778,766 priority patent/US9404724B2/en
Publication of JP2013174554A publication Critical patent/JP2013174554A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5851882B2 publication Critical patent/JP5851882B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B3/00Measuring instruments characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B3/18Micrometers

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length-Measuring Instruments Using Mechanical Means (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Description

本発明は、スピンドルの変位量から被測定物の寸法等を測定するデジタル式変位測定器に関する。
デジタル式変位測定器の1つとして、送りねじを用いたデジタル式マイクロメータが知られている。
デジタル式マイクロメータは、本体と、この本体に螺合され軸方向へ移動されるスピンドルと、このスピンドルの移動変位量を検出するエンコーダと、このエンコーダによって検出されたスピンドルの変位量をデジタル表示する表示部とから構成されている。
従来、デジタル式マイクロメータにおいて、測定値のばらつきを低減する方法として、測定力を一定に管理する方法が採られている。
例えば、スピンドルの外端に操作スリーブを回転可能に設けるとともに、スピンドルと操作スリーブとの間に定圧機構(ラチェット機構など)を設け、スピンドルに一定以上の負荷が掛かったら、定圧機構が作動して操作スリーブが空転することにより、測定圧を一定に管理するマイクロメータなどが知られている(特許文献1参照)。
特開2001−141402号公報
ところが、上述したマイクロメータにおいて、測定力を一定に管理するために定圧機構を採用しても、スピンドルが被測定物に当接するときの移動速度によって測定結果がばらつく。これは、スピンドルが本体に螺合された構造の場合、くさび効果によって食い込みが発生しやすく、特に、スピンドルが被測定物に当接するときの移動速度によって食い込み量が異なるため、測定結果がばらつく。
近年、高能率化の要求によってスピンドルのねじ部リードを大きくする構成が採用されているが、このような構成にすると、スピンドルの移動速度が高速になり、測定結果がばらつくという課題が一層生じやすい。
本発明の目的は、スピンドルが被測定物に当接するときのスピンドルの移動速度による測定結果のばらつきを低減できるデジタル式変位測定器を提供することにある。
本発明のデジタル式変位測定器は、本体と、この本体に螺合され軸方向へ移動されるスピンドルと、このスピンドルの移動変位量を検出するエンコーダと、このエンコーダによって検出された前記スピンドルの変位量を表示する表示部とを備えたデジタル式変位測定器において、前記スピンドルの移動速度を検出する速度情報検出手段と、この速度情報検出手段によって検出された移動速度から、前記スピンドルが停止したか否かを判定するとともに、前記スピンドルが停止したと判定されたことを条件として前記スピンドルの停止時直前の移動速度が予め設定された閾値を超えたか否かを判定する判定手段と、この判定手段の判定結果を通知する通知手段と、を備えることを特徴とする。
このような構成によれば、測定に際して、スピンドルを回転させると、スピンドルの回転に伴って、スピンドルが軸方向へ移動される。すると、スピンドルの移動変位量がエンコーダによって検出されるから、このスピンドルの変位量から被測定物の寸法などを測定することができる。
この測定時において、本発明では、速度情報検出手段によってスピンドルの移動速度が検出されたのち、判定手段において、検出された移動速度から、スピンドルが停止したか否かが判定される。ここで、スピンドルが停止したと判定されると、スピンドルの停止時直前の移動速度が予め設定された閾値を超えたか否かが判定され、その判定結果が通知手段によって通知される。例えば、スピンドルの停止時直前の移動速度が予め設定された閾値を超えた旨や、スピンドルの停止時直前の移動速度が予め設定された閾値を超えなかった旨が通知される。
従って、測定者は、この通知によって、スピンドルの停止時直前の移動速度が予め設定された閾値を超えた高速で被測定物に当接されたこと、あるいは、スピンドルの停止時直前の移動速度が予め設定された閾値以内の適正速度で被測定物に当接されたことを確認することができる。そのため、スピンドルの停止時直前の移動速度が予め設定された閾値を超えた高速で被測定物に当接された場合には、改めて、測定をやり直すことができる。従って、スピンドルが被測定物に当接するときの移動速度による測定結果のばらつきを低減することができる。もとより、測定者によるばらつきも低減できる。
本発明のデジタル式変位測定器において、前記速度情報検出手段は、前記エンコーダで検出された前記スピンドルの変位量から前記スピンドルの移動速度を求める、ことが好ましい。
このような構成によれば、エンコーダで検出されたスピンドルの変位量を所定時間毎にサンプリングすることにより、スピンドルの移動速度を算出することができる。つまり、デジタル式変位測定器に備えられているスピンドルの変位量を検出するエンコーダを利用して、スピンドルの移動速度を検出できる。従って、新たな速度検出手段を付加しなくても構成することができるから、経済的に構成できる。
本発明のデジタル式変位測定器において、前記速度情報検出手段は、前記スピンドルの移動速度から前記スピンドルの停止時の加速度を求め、前記判定手段は、前記速度情報検出手段で検出された移動速度が0で、かつ、前記加速度が0でないとき、前記スピンドルが停止したと判定する、ことが好ましい。
このような構成によれば、判定手段において、速度情報検出手段で検出されたスピンドルの停止時直前の移動速度だけでなく、スピンドルの停止時の加速度も加味してスピンドルの停止を判定するようにしたので、スピンドルが移動している状態から停止した状態を正確に判定することができる。
本発明のデジタル式変位測定器において、前記通知手段は、前記スピンドルの停止時直前の移動速度が予め設定された閾値を超えたとき、または、前記スピンドルの停止時の加速度が予め設定された閾値を超えたときに、警告通知する、ことが好ましい。
このような構成によれば、通知手段は、スピンドルの停止時直前の移動速度が予め設定された閾値を超えたとき、または、スピンドルの停止時の加速度が予め設定された閾値を超えたときに、警告通知するようにしたので、例えば、表示部にエラーメッセージを表示したり、ブザーを鳴らすようにしたり、あるいは、ランプを点灯または点滅するようにしたので、測定者は、スピンドルの移動速度や加速度が予め設定された閾値を超えた値で、被測定物に当接したことを直ちに確認することができる。
本実施形態のデジタル式マイクロメータの正面図。 同上実施形態の部分断面図。 同上実施形態の制御ブロック図。 同上実施形態においてスピンドルの停止前後における位置検出値を示す図。 同上実施形態において演算制御部の処理を示すフローチャート。
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態においてデジタル式変位測定器としてデジタル式マイクロメータを例示するが、本発明はデジタル式マイクロメータに限定されるものではない。
<デジタル式マイクロメータの構成>
図1は、本実施形態のデジタル式マイクロメータの正面図である。図2はデジタル式マイクロメータの部分断面図である。
図1および図2において、デジタル式マイクロメータ1は、略U字形の本体10と、この本体10に螺合され軸方向へ移動されるスピンドル2と、本体10の内部においてスピンドル2の移動変位量を検出するエンコーダ40と、このエンコーダ40によって検出されたスピンドル2の変位量(位置検出値)を表示する表示部60とを備える。
本体10の一端にはアンビル10Aが固定され、他端にはスピンドル2を摺動自在に支持する軸受筒11が設けられている。軸受筒11は略円筒形状に形成され、この軸受筒11の内周にスピンドル2が挿通、支持されている。また、本体10には、軸受筒11と同軸上に略円筒形状の内筒13が設けられ、この内筒13の外周に設けられているシンブル3を回転操作することで、スピンドル2をアンビル10Aに対して進退させることができるようになっている。
スピンドル2は、一直線上に配置されたスピンドル本体21と、ねじ軸22と、スピンドル本体21の外周面軸方向に形成された断面V形のキー溝23とを備える。
スピンドル2の軸方向に沿って設けられている内筒13は、その一端部が本体10に保持されている。他端部内周面には雌ねじが形成され、この雌ねじにスピンドル2のねじ軸22が螺合されている。また、内筒13の他端部外周面には雄ねじが形成され、この雄ねじ部分にテーパナット14が螺合されている。内筒13の雄ねじが螺刻されている所定箇所には、三本のスリットが軸方向に形成され、三つ割部15が形成されている。つまり、テーパナット14を回転させて内筒13の軸方向に進退させると、三つ割部15の締め付け具合が変化するので、スピンドル2と内筒13との嵌合度合いを調整することができるようになっている。
内筒13の外周には外筒17が固定され、この外筒17の外周を覆う筒状のシンブル3がスピンドル2の外端(アンビル10Aとは反対側端)に支軸32およびフランジ部37を介して結合されている。
シンブル3の外周からスピンドル2の外端にかけて、操作スリーブ4が設けられている。操作スリーブ4は、スピンドル2に対して回転可能に設けられるとともに、スピンドル2の外端部に配置され外筒17の径より小さい径の第1操作部4Aおよび第1操作部4Aに嵌合され外筒17の外周に被嵌された第2操作部4Bを有する。
操作スリーブ4の第1操作部4Aとスピンドル2の外端との間には、スピンドル2に一定以上の負荷がかかったときに空転する定圧機構30が設けられている。なお、定圧機構30は、操作スリーブ4の第2操作部4Bと外筒17の外周との間に設けてもよい。
定圧機構30は、一端がスピンドル2の外端に螺合されかつ他端がねじ31を介して操作スリーブ4を回転可能に支持した支軸32と、第1操作部4Aの内周に固定された第1ラチェット車33と、この第1ラチェット車33に噛合されるとともにキー34を介して支軸32に対して回転不能かつ軸方向へ変位可能に設けられた第2ラチェット車35と、この第2ラチェット車35を第1ラチェット車33へ向かって付勢する圧縮コイルばね36と、この圧縮コイルばね36の一端を支持し支軸32に固定されたフランジ部37とを備える。
操作スリーブ4を回転させると、第1操作部4Aに固定された第1ラチェット車33が一体的に回転される。第1ラチェット車33と第2ラチェット車35とが噛み合っているため、第2ラチェット車35も回転される。第2ラチェット車35が回転すると、キー34を介して支軸32が回転され、支軸32が螺合されたスピンドル2と、これと一体的に結合されたシンブル3も操作スリーブ4と一緒に回転される。
一方、スピンドル2に一定以上の負荷がかかっている状態では、操作スリーブ4を更に回転させて第1ラチェット車33を回転させると、第2ラチェット車35は回転しづらい状態にあるため、圧縮コイルばね36に抗してキー34に沿って圧縮コイルばね36側に逃げる。つまり、第1ラチェット車33の回転力が第2ラチェット車35に伝達されず、操作スリーブ4は空転し、定圧状態が維持される。
エンコーダ40は、電磁誘導式エンコーダであって、スピンドル2の周方向に回転するロータ41と、このロータ41と所定間隔あけて対向し本体10に固定されたステータ42とを有する。
ロータ41は、略ドーナツ形板状に形成され、そのステータ42側の表面に図示しないコイルの電極パターンを有する。ロータ41のステータ42と逆側の表面は、ロータ保持部材としてのロータブッシュ44に係合されている。ロータブッシュ44は、スピンドル2のキー溝23に係合可能な係合キー43を有する。ロータブッシュ44に対してステータ42と逆側の位置において、ロータブッシュ44がスピンドル2の軸方向に沿ってステータ42と反対方向へ移動するのを規制する位置調節ねじ51が軸受筒11の内周面に螺合されている。
ステータ42は、スピンドル2の外周部に設けられ、ロータ41の電極パターンと電磁結合してロータ41の回転角を検出する送信コイルおよび受信コイルからなる電極パターンを有する略ドーナツ板形状のステータ環状部と、このステータ環状部の外周に設けられ本体10の内部側へ伸びる板状のステータ長手部とを有している。ステータ環状部のロータ41と逆側の面はステータブッシュ45に保持され、ステータブッシュ45は内筒13(本体10)に固定されている。つまり、ステータ42は、スピンドル2の近傍においてステータブッシュ45を介して内筒13(本体10)にスピンドル2の軸方向へ位置不変に固定されている。
図3は、エンコーダ40からの信号を処理して、表示部60に表示する演算制御部70を示している。
演算制御部70は、エンコーダ40で検出されたスピンドル2の位置検出値を一定時間t毎に取り込んで、スピンドル2の移動速度および加速度を求める速度情報検出手段71と、この速度情報検出手段71によって検出されたスピンドル2の移動速度および加速度から、スピンドル2が停止したか否かを判定するとともに、スピンドル2が停止したと判定されたことを条件として、スピンドル2の停止時直前の移動速度およびスピンドル2の停止時の加速度が予め設定された閾値を超えたか否かを判定する判定手段72と、この判定手段72の判定結果を通知する通知手段73とを含んで構成されている。
通知手段73は、本実施形態では、スピンドル2の停止時直前の移動速度またはスピンドル2の停止時の加速度が予め設定された閾値を超えたときに、表示部60に警告通知処理、具体的には、エラーメッセージを表示する。
<デジタル式マイクロメータの使用方法および効果>
測定にあたっては、シンブル3を回転操作する。すると、スピンドル2がアンビル10Aに対して進退するので、スピンドル2の端面とアンビル10Aとを被測定物の被測定部位間に当接させる。このとき、スピンドル2の回転が、キー溝23、係合キー43およびロータブッシュ44を介してロータ41に伝達される。エンコーダ40により検出されたロータ41の回転角が、スピンドル2の軸方向の変位量に変換されて表示部60に表示される。
なお、スピンドル2の端面とアンビル10Aとを被測定物の被測定部位間に当接させた状態において、操作スリーブ4を回転させても、第2ラチェット車35は回転しづらい状態にあるため、圧縮コイルばね36に抗してキー34に沿って圧縮コイルばね36側に逃げるから、第1ラチェット車33の回転力が第2ラチェット車35に伝達されず、操作スリーブ4は空転し、定圧状態が維持される。
この測定時において、エンコーダ40により検出されたスピンドル2の変位量、つまり、位置検出値が一定時間t毎に、演算制御部70の速度情報検出手段71に取り込まれる。
いま、図4に示すように、ある時点tnで取り込んだ位置検出値をLn、その前の各時点tn-1,tn-2,tn-3…で取り込んだ位置検出値をLn-1,Ln-2,Ln-3…、各区間での一定時間t当たりの変位量(移動速度)をDn,Dn-1,Dn-2…、加速度をAn,An-1…とすると、速度情報検出手段71は、スピンドル2の移動速度Dnおよび加速度Anを次式から求める。
Dn=Ln−(Ln-1)
An=Dn−(Dn-1)
演算制御部70は、図5に示すフローチャートに従って、判定処理(ST1〜ST4)および警告通知処理(ST5)を行う。
まず、判定手段72において、速度情報検出手段71によって求められたスピンドル2の移動速度Dnが0か否かを判定する(ST1)。ST1において、スピンドル2の移動速度Dnが0でない場合には、処理を終了する。スピンドル2の移動速度Dnが0の場合には、ST2において、加速度Anが0でないか否かを判定する。ST2において、加速度Anが0の場合には、処理を終了する。加速度Anが0でない場合には、スピンドル2が停止したと判定する。
続いて、スピンドル2が停止したと判定したとき、ST3において、スピンドル2の停止時直前の移動速度Dn-2が予め設定された閾値Dth以下であるか否か、つまり、スピンドル2の停止時直前の移動速度Dn-2が閾値Dthを超えたか否かを判定する。スピンドル2の停止時直前の移動速度Dn-2が閾値Dth以下の場合にはST4へ進む。スピンドル2の停止時直前の移動速度Dn-2が閾値Dthを超えた場合には、ST5へ進み警告通知処理を行う。
また、ST4において、スピンドル2の停止時の加速度An-1が予め設定された閾値Ath以下であるか否か、つまり、スピンドル2の停止時の加速度An-1が予め設定された閾値Athを超えたか否かを判定する。スピンドル2の停止時の加速度An-1が閾値Ath以下の場合には処理を終了する。スピンドル2の停止時の加速度An-1が閾値Athを超えた場合には、ST5へ進み警告通知処理を行う。
なお、各閾値Dth、Athについては、スピンドル2のねじ軸22のねじピッチや表示分解能などに応じて適宜変更される。
ST5では、通知手段73によって、表示部60に「Error」などのエラーメッセージが表示される。
従って、測定者は、表示部60に表示されたエラーメッセージによって、測定時のスピンドル2の移動速度が予め設定された閾値よりも高速で被測定物に当接されたことを確認することができるから、改めて、測定をやり直すことができる。これにより、スピンドル2が被測定物に当接するときのスピンドル2の移動速度による測定結果のばらつきを低減することができる。
本実施形態では、速度情報検出手段71において、エンコーダ40で検出されたスピンドル2の変位量を一定時間毎にサンプリングすることにより、スピンドル2の移動速度および加速度を算出することができる。つまり、測定器に通常備えられているスピンドル2の変位量を検出するエンコーダ40を利用して、スピンドル2の移動速度および加速度を算出することができる。従って、新たな速度検出手段を付加しなくても構成することができるから、経済的に構成できる。
また、判定手段72において、速度情報検出手段71で検出された移動速度が0で、かつ、加速度が0でないことを条件として、スピンドル2が停止したと判定するようにしたので、スピンドル2が停止したことを正確に判定できる。
また、通知手段73は、スピンドル2の停止時直前の移動速度が予め設定された閾値を超えたとき、または、加速度が予め設定された閾値を超えたときに、警告通知をするようにしたので、スピンドル2の移動速度や加速度が予め設定された閾値を超えて被測定物に当接したことを測定者に正確に通知することができる。
<実施形態の変形例>
なお、本発明は、本実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は、本発明に含まれる。
上記実施形態において、速度情報検出手段71は、エンコーダ40で検出された位置検出値からスピンドル2の移動速度および加速度を算出するようにしたが、エンコーダ40を利用しなくてもよい。例えば、スピンドル2の移動速度を検出する速度検出手段を別途設けるようにしてもよい。
上記実施形態において、判定手段72は、スピンドル2の移動速度と加速度とから、スピンドル2が停止したか否かを判定するようにしたが、スピンドル2の移動速度のみから、スピンドル2の停止を判定するようにしてもよい。
また、判定手段72は、スピンドル2が停止したと判定したのち、スピンドル2の停止直前の移動速度およびスピンドル2の停止時の加速度が予め設定した閾値以下であるか否かを判定するようにしたが、スピンドル2の停止直前の移動速度のみを閾値と比較するようにしてもよい。
上記実施形態において、通知手段73は、スピンドル2の停止直前の移動速度またはスピンドル2の停止時の加速度が予め設定した閾値を超えた判定されたときに、表示部60にエラーメッセージを表示するようにしたが、これに限られない。
例えば、ブザーや表示ランプを設け、スピンドル2の停止直前の移動速度および停止時の加速度が予め設定した閾値を超えたと判定されたときに、ブザーを作動させるようにしてもよく、また、表示ランプを点灯、点滅させるようにしてもよい。
あるいは、スピンドル2の停止直前の移動速度またはスピンドル2の停止時の加速度が予め設定した閾値を超えたか否かの判定結果を、そのまま通知するようにしてもよい。つまり、スピンドル2の停止直前の移動速度またはスピンドル2の停止時の加速度が予め設定した閾値以下であれば、その旨の通知を出すようにしてもよい。
上記実施形態において、デジタル式変位測定器としてデジタル式マイクロメータ1を例示したが、これに限定されない。例えば、デジタル式マイクロメータヘッド等であってもよく、本体10に摺動自在に設けられたスピンドル2と、このスピンドル2の変位量を検出するエンコーダ40とを備える構造であればよい。
また、スピンドル2に一定以上の負荷がかかったときに空転する定圧機構30については、特に備えてなくてもよい。
また、エンコーダ40は、上記実施形態で例示した電磁誘導式エンコーダに限定されない。エンコーダ40は、ステータ42とロータ41の相対的な回転量を検出するデジタル式エンコーダであればよく、例えば、光学式や静電容量式等でもよい。
本発明は、スピンドルの軸方向の変位量から、被測定物の寸法等を測定するデジタル式変位測定器として利用できる。
1…デジタル式マイクロメータ、
2…スピンドル、
10…本体、
40…エンコーダ、
60…表示部、
70…演算制御部、
71…速度情報検出手段、
72…判定手段、
73…通知手段。

Claims (4)

  1. 本体と、この本体に螺合され軸方向へ移動されるスピンドルと、このスピンドルの移動変位量を検出するエンコーダと、このエンコーダによって検出された前記スピンドルの変位量を表示する表示部とを備えたデジタル式変位測定器において、
    前記スピンドルの移動速度を検出する速度情報検出手段と、
    この速度情報検出手段によって検出された移動速度から、前記スピンドルが停止したか否かを判定するとともに、前記スピンドルが停止したと判定されたことを条件として前記スピンドルの停止時直前の移動速度が予め設定された閾値を超えたか否かを判定する判定手段と、
    この判定手段の判定結果を通知する通知手段と、を備えることを特徴とするデジタル式変位測定器。
  2. 請求項1に記載のデジタル式変位測定器において、
    前記速度情報検出手段は、前記エンコーダで検出された前記スピンドルの変位量から前記スピンドルの移動速度を求める、ことを特徴とするデジタル式変位測定器。
  3. 請求項2に記載のデジタル式変位測定器において、
    前記速度情報検出手段は、前記スピンドルの移動速度から前記スピンドルの停止時の加速度を求め、
    前記判定手段は、前記速度情報検出手段で検出された移動速度が0で、かつ、前記加速度が0でないとき、前記スピンドルが停止したと判定する、ことを特徴とするデジタル式変位測定器。
  4. 請求項3に記載のデジタル式変位測定器において、
    前記通知手段は、前記スピンドルの停止時直前の移動速度が予め設定された閾値を超えたとき、または、前記スピンドルの停止時の加速度が予め設定された閾値を超えたときに、警告通知する、ことを特徴とするデジタル式変位測定器。
JP2012040353A 2012-02-27 2012-02-27 デジタル式変位測定器 Active JP5851882B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012040353A JP5851882B2 (ja) 2012-02-27 2012-02-27 デジタル式変位測定器
CN201310061321.8A CN103292681B (zh) 2012-02-27 2013-02-27 数字式位移测量器
EP20130156932 EP2631591B1 (en) 2012-02-27 2013-02-27 Digital displacement measuring instrument
US13/778,766 US9404724B2 (en) 2012-02-27 2013-02-27 Digital displacement measuring instrument

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012040353A JP5851882B2 (ja) 2012-02-27 2012-02-27 デジタル式変位測定器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2013174554A JP2013174554A (ja) 2013-09-05
JP5851882B2 true JP5851882B2 (ja) 2016-02-03

Family

ID=47749714

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012040353A Active JP5851882B2 (ja) 2012-02-27 2012-02-27 デジタル式変位測定器

Country Status (4)

Country Link
US (1) US9404724B2 (ja)
EP (1) EP2631591B1 (ja)
JP (1) JP5851882B2 (ja)
CN (1) CN103292681B (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6297287B2 (ja) * 2013-09-18 2018-03-20 株式会社ミツトヨ ロータリエンコーダおよびこれを備えるマイクロメータ
USD740142S1 (en) * 2014-06-25 2015-10-06 Yanchen Zhang Digital micrometer
CN115541225B (zh) * 2022-10-29 2023-09-05 通用技术集团机床工程研究院有限公司 一种超精密机床主轴在线精度分析方法与系统

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4035922A (en) 1974-08-09 1977-07-19 Optograms, Inc. Digital electro-optical micrometer and gages
JPH0241814A (ja) * 1988-08-03 1990-02-13 Fanuc Ltd リジッドタップの動作確認装置
JP2752804B2 (ja) * 1991-04-23 1998-05-18 株式会社ミツトヨ 変位測定装置
JP3380254B2 (ja) * 1995-02-07 2003-02-24 日本信号株式会社 可動部の停止を確認する装置
CN1229909A (zh) 1998-03-24 1999-09-29 赵志强 直动式容栅数显千分尺
JP3115555B2 (ja) * 1998-04-03 2000-12-11 株式会社ミツトヨ マイクロメータ
US6286227B1 (en) * 1998-08-03 2001-09-11 General Electric Company Micrometer system and process of use therefor
JP3383229B2 (ja) 1998-11-11 2003-03-04 株式会社ミツトヨ マイクロメータ
JP3724995B2 (ja) 1999-11-10 2005-12-07 株式会社ミツトヨ マイクロメータ
JP4982243B2 (ja) 2007-05-10 2012-07-25 株式会社ミツトヨ デジタル表示式変位測定器
JP2009276137A (ja) 2008-05-13 2009-11-26 Mitsutoyo Corp デジタル表示式変位測定器
JP5265982B2 (ja) 2008-07-29 2013-08-14 株式会社ミツトヨ デジタル式変位測定器
CN102853727B (zh) 2012-09-29 2015-06-17 钟胜 高防护直动式数显千分尺

Also Published As

Publication number Publication date
CN103292681B (zh) 2016-10-05
EP2631591A1 (en) 2013-08-28
EP2631591B1 (en) 2014-04-30
US20130226507A1 (en) 2013-08-29
US9404724B2 (en) 2016-08-02
CN103292681A (zh) 2013-09-11
JP2013174554A (ja) 2013-09-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103662963B (zh) 一种具有阻尼功能的复合材料放卷对心调整装置
CN101629819B (zh) 内径测量器
JP5986790B2 (ja) マイクロメータ
JP5851882B2 (ja) デジタル式変位測定器
AU2012292861A1 (en) Internal thread micrometer
CN202255180U (zh) 制动盘、鼓综合测量仪
CN103217086B (zh) 一种用于轴类、套类零件的形位公差检测仪
CN112254619A (zh) 齿轮箱用滚子轴承轴向游隙调整装置
US20020059736A1 (en) Method and apparatus for precision axial free end play adjustment of tapered bearings
EP2131140B1 (en) Micrometer
US9897426B2 (en) Measuring tool for disc brake device brake pad
CN104344780B (zh) 滚轮式间隙测量装置
TWI544164B (zh) Ball screw device with pre-pressure sensing function
CN103318672A (zh) 铝加工设备的铝带卷径检测装置
CN210374923U (zh) 电机中心高度测量工具
JP2007047016A (ja) 測定器
CN206618367U (zh) 一种汽车电子助刹系统的内齿公法线测量装置
CN201047746Y (zh) 一种内锥度检测仪
TWI513955B (zh) 螺帽檢測工具及方法
JPH02242101A (ja) めねじ有効径測定方法
JP5462061B2 (ja) 測定器
CN219640890U (zh) 拼接式内径测量仪
RU2290599C1 (ru) Калибр-нутромер и устройство для измерения геометрических параметров мерного стержня калибра-нутромера
CN209840946U (zh) 钻杆接头外锥螺纹同轴度检测系统
CN108917544B (zh) 一种孔用测量装置及其使用方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20150113

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20151118

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20151124

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20151203

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5851882

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250