JP5851860B2 - 多層配線基板及びその製造方法 - Google Patents
多層配線基板及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5851860B2 JP5851860B2 JP2012015625A JP2012015625A JP5851860B2 JP 5851860 B2 JP5851860 B2 JP 5851860B2 JP 2012015625 A JP2012015625 A JP 2012015625A JP 2012015625 A JP2012015625 A JP 2012015625A JP 5851860 B2 JP5851860 B2 JP 5851860B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ceramic green
- green sheet
- carrier film
- wiring
- wiring board
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 22
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 95
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 26
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 12
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 8
- 238000005422 blasting Methods 0.000 claims description 6
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 6
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 claims description 5
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 claims description 5
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 4
- 238000011049 filling Methods 0.000 claims description 3
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 3
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 10
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 6
- 239000002241 glass-ceramic Substances 0.000 description 6
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 5
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 5
- 229920003207 poly(ethylene-2,6-naphthalate) Polymers 0.000 description 4
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 4
- 230000002500 effect on skin Effects 0.000 description 3
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 3
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 3
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 3
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 3
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 3
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 3
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 3
- 229910001316 Ag alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- -1 polyethylene naphthalate Polymers 0.000 description 2
- 239000001856 Ethyl cellulose Substances 0.000 description 1
- ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N Ethyl cellulose Chemical compound CCOCC1OC(OC)C(OCC)C(OCC)C1OC1C(O)C(O)C(OC)C(CO)O1 ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001252 Pd alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 229910001260 Pt alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003929 acidic solution Substances 0.000 description 1
- 229920005822 acrylic binder Polymers 0.000 description 1
- 230000001154 acute effect Effects 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- WUOACPNHFRMFPN-UHFFFAOYSA-N alpha-terpineol Chemical compound CC1=CCC(C(C)(C)O)CC1 WUOACPNHFRMFPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 210000003323 beak Anatomy 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- SQIFACVGCPWBQZ-UHFFFAOYSA-N delta-terpineol Natural products CC(C)(O)C1CCC(=C)CC1 SQIFACVGCPWBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical group O=[Si]=O.O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007606 doctor blade method Methods 0.000 description 1
- 229920001249 ethyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 235000019325 ethyl cellulose Nutrition 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000004898 kneading Methods 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 229910052863 mullite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 229940116411 terpineol Drugs 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
- Structure Of Printed Boards (AREA)
Description
一方、図9(c)に示す様に、予めスクリーンマスクの開口パターンを凹部(P6)の開口より広くしておくこともできるが、その場合には、凹部の表面を覆う導電ペースト(P7)の幅が大きくなってしまう(特許文献2参照)。
更に、図示しないが、キャリアフィルム側から凹部に導電ペーストを充填し、キャリアフィルムと同時にキャリアフィルム側の導電ペーストをセラミックグリーンシートから剥す方法もあるが、キャリアフィルムを剥す際に凹部の導電ペーストの表面がえぐれる恐れがある(特許文献3参照)。
(2)本発明は、第2態様として、前記第1台形部の前記平面方向における側辺と上底とで形成されるテーパ角θ1が、前記第2台形部の前記平面方向における側辺と上底とで形成されるテーパ角θ2より大きいことを特徴とする。
(4)本発明は、第4態様として、前記第2工程では、前記凹部を形成する方法として、レーザ照射、ショットブラスト、エッチング、及び凸状部材を押し当てる方法のうち、いずれか1種の方法を用いることを特徴とする。
(5)本発明は、第5態様として、前記レーザ照射を行う場合には、前記キャリアフィルムとして、レーザ光を70%以上吸収するものを用いることを特徴とする。
なお、ここで70%以上吸収するとは、レーザ光のエネルギーを70%以上吸収し、照射されたレーザ光のうち30%未満しかキャリアフィルムのレーザ光を照射された側と反対側の面に透過しないことをいう。
ここでは、キャリアフィルムとして好適な材料を例示している。ポリイミドやPENは、レーザ光をほぼ100%吸収して高熱となり、レーザ光によって容易にフィルム貫通孔を形成できるので、好適である。
図1に示す様に、本実施例の多層配線基板1は、複数のセラミック層3とそのセラミック層3の間に配置された複数の配線層5とが積層されて一体に焼結されたものであり、セラミック層3には、その積層方向(基板の厚み方向:図1上下方向)を貫いて配線層5同士や配線層5と表面導電層7と電気的に接続するビア9が形成されている。
なお、ビア9は、前記配線層5と同様な材料から構成された貫通導通部である。
図2に拡大して示す様に、配線層5の断面、即ち配線層5の延びる方向(配線方向:例えば図1の左右方向)に対して垂直に破断した断面は、2つの台形を重ね合わせた形状を有している。
c)次に、多層配線基板1の製造方法の具体例を、図3及び図4に基づいて詳細に説明する。
まず、ガラスセラミックからなるセラミック層3を形成するための原料粉末として、SiO2、Al2O3、B2O3を主成分とするホウケイ酸系ガラス粉末と、アルミナ粉末とを用意した。
次に、(図3(a)とは上下逆の)図3(b)に示す様に、配線層5を形成するために、まず、キャリアフィルム21の第1主面21aと対向する第2主面21b側から、レーザ光(例えばUV−YAG光)を照射して、キャリアフィルム21を厚み方向に貫通させて、配線方向に伸びるフィルム貫通孔25を形成した。それとともに、第1のセラミックグリーンシート23aに、厚み方向に貫通しない例えば深さ100〜200μmの配線方向に伸びるシート側凹部27を同時に形成した。
このとき、第1配線形成部33と第2配線形成部35とは連続して一体に形成されており、また、導電ペーストの粘度が(実験等により)適度に調整されているので、キャリアフィルム21を剥離する際に、第2配線形成部35は第1配線形成部33上に残る。
次に、第1、第2のセラミックグリーンシート23を積層するように、複数のセラミックグリーンシート23を積層して、図4(b)に示す様に、グリーンシート積層体41を形成した。
次に、図4(c)に示す様に、グリーンシート積層体41の表面に、導電ペーストを印刷して表面導電パターン43を形成した。なお、この導電ペーストは、配線層5用の導電ペーストと同様なものである。また、表面導体パターン43の形成は、グリーンシート積層体41の表面に行ってもよいし、セラミックグリーンシート23を積層する前の工程においてセラミックグリーンシート23の表面に行ってもよい。
次に、この表面導電パターン43が形成されたグリーン積層体41を、800〜1050℃にて焼成して、(表面導電パターン43が焼成されてなる)表面導電ベース層45を備えた積層焼成体47を形成した。
次に、この積層焼成体47の表面導電ベース層45の表面に、Niメッキ、Auメッキを施して、表面導電層7を形成し、多層配線基板1を完成した。
本実施例の多層配線基板1では、配線層5の断面形状は、第1台形部11の上底11aと第2台形部13の下底13bとを同じ長さとして、第1台形部11の上底11aと第2台形部13の下底13bとを一致させて一体とした形状である。
また、本実施例では、第1配線形成部33と第2配線形成部35とが連続的にセラミックグリーンシート21上に残るため、キャリアフィルム21を剥離する際に、第1配線形成部33の表面がえぐれることはない。
また、本実施例では、キャリアフィルム21の材料として、レーザ光をほぼ100%吸収するポリイミドを用いるので、レーザ光によって容易にフィルム貫通孔25を形成できる。
本実施例は、前記実施例1とは、凹部を形成する手法が異なるので、異なる点を説明する。
図5に示す様に、ショットブラストにより凹部51を形成する場合には、まず、セラミックグリーンシート53上のキャリアフィルム55の上に、配線パターンの形状に対応した開口部57を有するマスク59を配置する。
本実施例は、前記実施例1とは、凹部を形成する手法が異なるので、異なる点を説明する。
図6に示す様に、エッチングにより凹部71を形成する場合には、まず、セラミックグリーンシート73上のキャリアフィルム75の上に、配線パターンの形状に対応した開口部77を有するマスク79を配置する。
すなわち、エッチング処理によって、キャリアフィルム75にフィルム貫通孔81をあけるとともに、セラミックグリーンシート73にシート側凹部83を形成する。これにより、フィルム貫通孔81及びシート側凹部83からなる逆台形形状の凹部71が形成される。
本実施例は、前記実施例1とは、凹部を形成する手法が異なるので、異なる点を説明する。
図7に示す様に、凸状部材91で凹部93を形成する場合には、配線パターンに対応した(先端側ほど幅の狭くなった)テーパ形状の凸状部95を有する金型(凸状部材)91を用意し、この凸状部材91を、キャリアフィルム97側から押しつける。
(1)例えば配線層の断面形状は、前記図2に示す様に、(平面方向における)左右の両側辺が(同図)上方に向かって広がるような台形形状に限らず、図8に示す様に、配線層111の左右の一方の側辺111a、111bのみが、上方に向かって広がるような台形形状が挙げられる。
(2)また、前記実施例1では、セラミック層の材料として、低温焼成セラミックであるガラス−セラミックを例に挙げたが、アルミナ等の高温焼成セラミックを用いてもよい。
(5)また、レーザ加工以外で凹部を形成する場合には、キャリアフィルムの材料としては、凹部の形成が可能な範囲で、周知の各種の材料を使用できる。例えば、ポリエチレン、ポリエステル、PET等の有機高分子フィルムを用いることができる。
3…セラミック層
5…配線層
7…表面導電層(電極パッド)
9…ビア
11…第1台形部
11a、13a…上底
11b、13b…下底
13…第2台形部
21、55、75、97…キャリアフィルム
21a…第1主面
21b…第2主面
23、23a、23b、53、73、101…セラミックグリーンシート
25、61、81、99…フィルム貫通孔
27、63、83、103…シート側凹部
29、51、71、93…凹部
31…配線パターン
33…第1配線形成部
35…第2配線形成部
41…グリーンシート積層体
Claims (6)
- 積層されて一体化された複数のセラミック層の間に、該セラミック層が広がる平面方向にて所定の配線方向に延びる配線層を備えるとともに、前記セラミック層の積層方向に配置された前記配線層間を電気的に接続する貫通導電部を備えた多層配線基板において、
前記配線層を前記配線方向に対して垂直に破断した断面形状は、前記平面方向に延びる上底及び下底をそれぞれ有する第1台形部と第2台形部とを前記積層方向に並べて一体とした形状であるとともに、
前記第1台形部の上底と前記第2台形部の下底とを同じ長さとして、前記第1台形部の上底と前記第2台形部の下底とを一致させて一体とした形状であることを特徴とする多層配線基板。 - 前記第1台形部の前記平面方向における側辺と上底とで形成されるテーパ角θ1が、前記第2台形部の前記平面方向における側辺と上底とで形成されるテーパ角θ2より大きいことを特徴とする請求項1に記載の多層配線基板。
- セラミックグリーンシート上に配線パターンを形成する工程と、
前記配線パターンを形成した複数のセラミックグリーンシートを積層して焼成する工程と、
を有する多層配線基板の製造方法において、
キャリアフィルムの第1主面側に前記セラミックグリーンシートを形成する第1工程と、
前記キャリアフィルムの第2主面側より、該キャリアフィルムを貫通するとともに、前記セラミックグリーンシートの内部に到るまで、開口側が大径のテーパ状の凹部を形成する第2工程と、
前記キャリアフィルム及び前記セラミックグリーンシートに形成された凹部に対して、前記配線パターンの材料である導電ペーストを、前記キャリアフィルムの第2主面側の表面に到るまで充填する第3工程と、
前記凹部に充填された導電ペーストを前記セラミックグリーンシート側に残して、前記キャリアフィルムを前記セラミックグリーンシートから剥離する第4工程と、
前記セラミックグリーンシート側に残された前記導電ペーストを覆うように、前記セラミックグリーンシート上に他のセラミックグリーンシートを積層する第5工程と、
を有することを特徴とする多層配線基板の製造方法。 - 前記第2工程では、前記凹部を形成する方法として、レーザ照射、ショットブラスト、エッチング、及び凸状部材を押し当てる方法のうち、いずれか1種の方法を用いることを特徴とする請求項3に記載の多層配線基板の製造方法。
- 前記レーザ照射を行う場合には、前記キャリアフィルムとして、レーザ光を70%以上吸収するものを用いることを特徴とする請求項4に記載の多層配線基板の製造方法。
- 前記キャリアフィルムの材料として、ポリイミド又はPENを用いることを特徴とする請求項5に記載の多層配線基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012015625A JP5851860B2 (ja) | 2012-01-27 | 2012-01-27 | 多層配線基板及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012015625A JP5851860B2 (ja) | 2012-01-27 | 2012-01-27 | 多層配線基板及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013157402A JP2013157402A (ja) | 2013-08-15 |
JP5851860B2 true JP5851860B2 (ja) | 2016-02-03 |
Family
ID=49052318
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012015625A Active JP5851860B2 (ja) | 2012-01-27 | 2012-01-27 | 多層配線基板及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5851860B2 (ja) |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003174261A (ja) * | 2001-12-05 | 2003-06-20 | Murata Mfg Co Ltd | セラミック多層基板 |
JP4389484B2 (ja) * | 2002-07-15 | 2009-12-24 | 株式会社村田製作所 | セラミック多層回路基板及びその製造方法 |
JP2011243947A (ja) * | 2010-01-05 | 2011-12-01 | Panasonic Corp | 多層基板とその製造方法 |
-
2012
- 2012-01-27 JP JP2012015625A patent/JP5851860B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013157402A (ja) | 2013-08-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5104932B2 (ja) | 多層配線基板及びその製造方法 | |
JP3918101B2 (ja) | 内部導体の接続構造及び多層基板 | |
TW200947485A (en) | Ceramic electronic component, method of manufacturing the same, and collective component | |
CN110402615B (zh) | 高频传输用印刷线路板 | |
JP5772970B2 (ja) | 多層配線基板、プローブカード及び多層配線基板の製造方法 | |
JP2018133572A (ja) | 多層配線基板およびこれを備えるプローブカード | |
JP5212359B2 (ja) | 多層配線基板及びその製造方法 | |
JP5559717B2 (ja) | 電子部品の製造方法 | |
WO2013141339A1 (ja) | 多層配線基板およびその製造方法 | |
JP5851860B2 (ja) | 多層配線基板及びその製造方法 | |
JP2007251017A (ja) | 配線基板および多数個取り配線基板ならびにその製造方法 | |
JP2009188218A (ja) | 多層基板 | |
JP2007165540A (ja) | 多層セラミック基板の製造方法及び多層セラミック集合基板 | |
JP2009117564A (ja) | 配線基板 | |
JP5956185B2 (ja) | 多数個取り配線基板 | |
JP5257518B2 (ja) | 基板製造方法および樹脂基板 | |
JP5668867B2 (ja) | 多層配線基板、プローブカード及び多層配線基板の製造方法 | |
JP2006165108A (ja) | セラミック回路基板 | |
JP4214839B2 (ja) | セラミック多層回路基板及びその製造方法 | |
JP6750728B2 (ja) | 積層型電子部品および積層型電子部品モジュール | |
JP2011049342A (ja) | 電子部品搭載用基板およびその製造方法 | |
JP6888668B2 (ja) | 配線基板および電子モジュール | |
JP2009231649A (ja) | 配線基板およびその製造方法 | |
JP6139856B2 (ja) | 配線基板及びその製造方法 | |
JP6130278B2 (ja) | 多数個取り配線基板 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150113 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20151013 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20151110 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20151203 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5851860 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |