JP5844685B2 - p型窒化ガリウムアルミニウム半導体の製造方法 - Google Patents
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Description
本実施形態に係るp型AlGaN半導体の製造方法には、例えば、上述した特願2011−30875に開示したAlC薄膜を用いることができる。AlCは、例えば、サファイア基板を用い、AlC薄膜を形成するサファイア基板の上面をc面として、有機金属気相成長(以下、MOCVDという)法を用いて形成することができる。
図1は、本実施形態に係るp型AlGaN半導体の製造方法を示す模式図である。図2は、図1のAA’における断面図を示す。本実施形態においては、基板101の第1の面(上面)にAlC材料片110を配置し、MOCVDにより、基板101上にp型AlGaN半導体層130を形成する。具体的には、MOCVD装置内において、基板101の第1の面と直交する第1の方向から、アルミニウムを含むガスと、ガリウムを含むガスと、窒素を含むガスとを供給し、基板101上にp型AlGaN半導体層130を形成する。ここで、AlC材料片110は、例えば、サファイア基板111上にAlC層113を形成した断片である。AlC材料片110は、サファイア基板111が基板101と接するように配置する。
図5は、図1と異なる断面図を示す。実施形態2に係るp型AlGaN半導体の製造方法においては、基板101の第1の面がAlGaN層103により形成された基板を用いる(図5(a))。基板101のAlGaN層103上にAlC材料片110を、AlGaN層103とAlC層113とが接するように配置し、MOCVDにより、AlGaN半導体層を形成する。
上述した実施形態においては、基板101を固定した状態でAlGaN半導体層を形成した。本実施形態においては、基板101を回転しながらAlGaN半導体層を形成する例を説明する。図7は、本実施形態に係るp型AlGaN半導体の製造方法を説明する模式図である。
上述した実施形態においては、基板101上に直接AlC材料片110を配置してAlGaN半導体層を形成した。上述の実施形態から明らかなように、AlC材料片110に対し、原料ガスのガス流の下流側にp型AlGaN半導体層が形成される。したがって、AlC材料片110は、基板101上に配置しなくとも、MOCVD装置内の原料ガスの供給側であれば、基板101とは離間して配置してもよい。
実施例1として、アルミニウムを含むガスとしてTMA、ガリウムを含むガスとしてTMGa、窒素を含むガスとしてNH3を用いた。基板101として、AlGaN層103を形成した2インチのサファイア基板を用い、AlC材料片110を直接配置して、AlGaN層103上に炭素を拡散してp型AlGaN半導体層130を形成した。
実施例2として、基板101からAlC材料片110を離間し配置してp型AlGaN半導体層130を形成した。サファイア基板101の上に、500℃でGaNのバッファー層を20nm形成し、1050℃でGaNを2μm形成した。その後、1100℃でAl0.3Ga0.7Nを0.1μm成長する際に、1000℃で加熱したAlCを基板101より原料ガスの供給口側に5cm離間したカーボン製の台1600上に配置し、これを気層中で原料ガスと混合させた。加熱は、ヒータ1100により行った。図8は、本実施例に係るp型AlGaN半導体の製造方法を示す模式図である。AlC材料片110の加熱は、ランプ1200が発光した光をレンズ1300で集光して行った。1200℃までは温度を上昇させることができた。ここで、レンズ1300がカバー1400で隠されているときは、ガス流量にはAlCは全く寄与しない。これは、ランプ1200がついた状態でカバーをしてGaNを成長後、それのホール係数と移動度が同じであることで確認できる。
実施形態2で作成したP型AlGaNを用いてLEDを作成した。サファイア基板上にN型GaNを3μm、N型Al0.3Ga0.7Nを0.1μm、Al0.15Ga0.85Nを10nm、Al0.25Ga0.75Nを0.1μm、MgをドープしたP型GaNを10nm積層させた。なお、N型半導体層のドーパントにはSiH3、p型ドーパントにはCP2Mgを用いた。その上に、AlC層を形成したサファイア基板を、AlC面が下になる様に、LEDの構造と重なる様に配置した。この構造をアニール炉に入れ、アンモニア雰囲気、1050℃で10分間拡散した。
実施例2で作成したP型AlGaNを用いてLEDを作成した。サファイア上に3μmのGaN、0.1μm厚のN型Al0.3Ga0.7N、10nm厚のAl0.15Ga0.75N、AlCをドープした0.1μm厚のp型Al0.25Ga0.75N、Mgをドープしたp型GaNを10nmを積層した。その際、AlCの加熱温度は1000℃であった。p型AlGaNを成長するとき以外は、ランプのカバーをした。その後の工程は同じである。
Claims (7)
- 基板の第1の面に炭化アルミニウムを有する材料片を配置し、
前記基板の第1の面と直交する第1の方向から、アルミニウムを含むガスと、ガリウムを含むガスと、窒素を含むガスとを供給し、
前記基板の第1の面に炭素を含む窒化ガリウムアルミニウム半導体を形成することを特徴とするp型窒化ガリウムアルミニウム半導体の製造方法。 - 前記炭化アルミニウムを有する材料片が、サファイア基板上に炭化アルミニウム層を有することを特徴とする請求項1に記載のp型窒化ガリウムアルミニウム半導体の製造方法。
- 前記基板の第1の面は窒化ガリウムアルミニウム半導体層で形成され、
前記窒化ガリウムアルミニウム半導体層に前記炭化アルミニウム層が接するように前記炭化アルミニウムを有する材料片を配置し、
前記炭化アルミニウム層から前記基板の窒化ガリウムアルミニウム半導体層に炭素を拡散させて、
炭素を含む窒化ガリウムアルミニウム半導体を形成することを特徴とする請求項2に記載のp型窒化ガリウムアルミニウム半導体の製造方法。 - 前記炭素を含む窒化ガリウムアルミニウム半導体は、有機金属気相成長法を用いて、前記炭素を含む窒化ガリウムアルミニウム半導体の結晶を成長させることを特徴とする請求項1乃至3の何れか一に記載のp型窒化ガリウムアルミニウム半導体の製造方法。
- 前記アルミニウムを含むガスはトリメチルアルミニウムであり、前記ガリウムを含むガスはトリメチルガリウムであり、前記窒素を含むガスはアンモニアであることを特徴とする請求項1乃至4の何れか一に記載のp型窒化ガリウムアルミニウム半導体の製造方法。
- 前記基板の第1の面が窒化ガリウムアルミニウムにより形成されることを特徴とする請求項1乃至5の何れか一に記載のp型窒化ガリウムアルミニウム半導体の製造方法。
- 前記基板の第1の面がサファイアにより形成されることを特徴とする請求項1乃至5の何れか一に記載のp型窒化ガリウムアルミニウム半導体の製造方法。
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