JP5824199B2 - 検知用素子及び接触燃焼式ガスセンサ - Google Patents
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Description
更に、本実施形態では測温抵抗体3と触媒燃焼体2との間に絶縁性被覆10と金属被覆11とが介在し、触媒燃焼体2が測温抵抗体3の上に直接形成されていないため、触媒燃焼体2が測温抵抗体3の電気抵抗値に与える影響が第一及び第二の実施形態よりも小さくなる。尚、触媒燃焼体2と測温抵抗体3との間の熱の移動が絶縁性被覆10及び金属被覆11によって阻害されないようにするという観点からは、絶縁性被覆10及び金属被覆11の厚みはできるだけ薄い方が好ましい。また、金属被覆11の表面積を測温抵抗体3の表面積よりも大きくすることが可能であり、この場合、金属被覆11上に形成される触媒燃焼体2の量を測温抵抗体3上に直接形成される場合よりも大きくすることができ、それにより接触燃焼式ガスセンサの更なる高感度化が可能となる。
本実施例では,第一の実施形態と同じ構成を有する検知用素子1を使用した。
本実施例では、第二の実施形態と同じ構成を有する検知用素子1を使用した。
本実施例では、第三の実施形態と同じ構成を有する検知用素子1を使用した。
本比較例では、検知用素子を得るにあたり、実施例1において、電着物から構成される触媒燃焼体2を形成せず、それに代えてアルミナ担体とパラジウム触媒とを備える触媒燃焼体を形成した。
本比較例では、検知用素子を得るにあたり、実施例2において、電着物から構成される触媒燃焼体を形成しなかった。それに代えて、パラジウムを10質量%の割合で担持する多孔質のアルミナ粒子を含有するペーストを測温抵抗体上に付着させ、続いてこのペーストを加熱することで、厚み1μmの触媒燃焼体を形成した。
本比較例では、検知用素子を得るにあたり、実施例3において、電着物から構成される触媒燃焼体を形成しなかった。それに代えて、パラジウムを10質量%の割合で担持する多孔質のアルミナ粒子を含有するペーストを金属被覆上に付着させ、続いてこのペーストを加熱することで、厚み1μmの触媒燃焼体を形成した。
(アルコールに対する応答性評価試験)
実施例1,2及び比較例1,2のそれぞれにおいて、検知用素子と補償用素子とを測定用回路に組み込んで接触燃焼式ガスセンサを構成した。
実施例1〜3及び比較例1〜3のそれぞれにおいて、検知用素子と補償用素子とを測定用回路に組み込んで接触燃焼式ガスセンサを構成した。
実施例1〜3及び比較例1〜3のそれぞれにおいて、検知用素子と補償用素子とを測定用回路に組み込んで接触燃焼式ガスセンサを構成した。
実施例1〜3及び比較例1〜3のそれぞれにおいて、検知用素子と補償用素子とを測定用回路に組み込んで接触燃焼式ガスセンサを構成した。
2 触媒燃焼体
3 測温抵抗体
5 絶縁層
10 絶縁性被覆
11 金属被覆
Claims (7)
- 測温抵抗体と触媒燃焼体とを備え、
前記触媒燃焼体が可燃性ガスの燃焼反応を促進する触媒活性を有し、
前記触媒燃焼体上で可燃性ガスが燃焼するとそれにより生じる熱で前記測温抵抗体が加熱されて前記測温抵抗体の電気抵抗値が変化し、この電気抵抗値の変化によって前記可燃性ガスが検知されるように動作する接触燃焼式ガスセンサ用の検知用素子において、
前記触媒燃焼体が、樹枝状又はひげ状の電着物から構成される検知用素子。 - 前記測温抵抗体がコイル状に形成され、前記触媒燃焼体が前記測温抵抗体上に形成されている請求項1に記載の検知用素子。
- 更にシリコン基板と、このシリコン基板上に形成されている絶縁層とを備え、前記測温抵抗体が前記絶縁層上に形成されている請求項1に記載の検知用素子。
- 前記測温抵抗体が絶縁性被覆により覆われ、この絶縁性被覆上に更に金属被覆が形成され、前記金属被覆上に前記触媒燃焼体が形成されている請求項3に記載の検知用素子。
- 前記可燃性ガスがアルコール及び水素のうちの少なくとも一種である請求項1乃至4のいずれか一項に記載の検知用素子。
- 前記触媒燃焼体が、パラジウムから形成されている請求項1乃至5のいずれか一項に記載の検知用素子。
- 請求項1乃至6のいずれか一項に記載の検知用素子と、この検知用素子における測温抵抗体へ電圧を印加すると共に、前記測温抵抗体へ印加される電圧を、通常状態と、この通常状態よりも高い高電圧状態とに切り替え可能な測定用回路とを備える接触燃焼式ガスセンサ。
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