JP5819571B1 - 表面処理銅箔、銅張積層板、プリント配線板、電子機器及びプリント配線板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
また、特許文献2には、電解銅箔による導体層を積層された絶縁層を有し、当該導体層をエッチングして回路形成した際のエッチング領域における絶縁層の光透過性が50%以上であるチップオンフレキ(COF)用フレキシブルプリント配線板において、前記電解銅箔は、絶縁層に接着される接着面にニッケル−亜鉛合金による防錆処理層を備え、該接着面の表面粗度(Rz)は0.05〜1.5μmであるとともに入射角60°における鏡面光沢度が250以上であることを特徴とするCOF用フレキシブルプリント配線板に係る発明が開示されている。
また、特許文献3には、印刷回路用銅箔の処理方法において、銅箔の表面に銅−コバルト−ニッケル合金めっきによる粗化処理後、コバルト−ニッケル合金めっき層を形成し、更に亜鉛−ニッケル合金めっき層を形成することを特徴とする印刷回路用銅箔の処理方法に係る発明が開示されている。
また、特許文献2では、粗化処理がなされておらず、COF用フレキシブルプリント配線板以外の用途においては銅箔と樹脂との密着強度が低く不十分である。
さらに、特許文献3に記載の処理方法では、銅箔へのCu−Co−Niによる微細処理は可能であったが、当該銅箔を樹脂越しに観察した際に、優れた視認性を実現できていない。
本発明は、樹脂と良好に接着し、且つ、樹脂越しに観察した際に、優れた視認性を実現する表面処理銅箔を提供する。
Sv=(ΔB×0.1)/(t1−t2) (1)
前記他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの十点平均粗さRzが、0.35μm以上である表面処理銅箔である。
Sv=(ΔB×0.1)/(t1−t2) (1)
前記他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの算術平均粗さRaが、0.05μm以上である表面処理銅箔である。
Sv=(ΔB×0.1)/(t1−t2) (1)
前記他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの二乗平均平方根高さRqが、0.08μm以上である表面処理銅箔である。
Sv=(ΔB×0.1)/(t1−t2) (1)
Sv=(ΔB×0.1)/(t1−t2) (1)
前記他方の表面処理がされた銅回路表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの十点平均粗さRzが、0.35μm以上であるプリント配線板である。
Sv=(ΔB×0.1)/(t1−t2) (1)
前記他方の表面処理がされた銅回路表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの算術平均粗さRaが、0.05μm以上であるプリント配線板である。
Sv=(ΔB×0.1)/(t1−t2) (1)
前記他方の表面処理がされた銅回路表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの二乗平均平方根高さRqが、0.08μm以上であるプリント配線板である。
Sv=(ΔB×0.1)/(t1−t2) (1)
前記他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの十点平均粗さRzが、0.35μm以上である銅張積層板である。
Sv=(ΔB×0.1)/(t1−t2) (1)
前記他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの算術平均粗さRaが、0.05μm以上である銅張積層板である。
Sv=(ΔB×0.1)/(t1−t2) (1)
前記他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの二乗平均平方根高さRqが、0.08μm以上である銅張積層板である。
本発明において使用する銅箔は、樹脂基板に積層させて積層体を作製し、エッチングにより回路を形成することで使用される銅箔等に有用である。
本発明において使用する銅箔は、電解銅箔或いは圧延銅箔いずれでも良い。通常、銅箔の、樹脂基板と接着する面(本発明では、当該面を「一方の表面」とも呼ぶ)には積層後の銅箔の引き剥し強さを向上させることを目的として、脱脂後の銅箔の表面にふしこぶ状の電着を行う粗化処理が施されてもよい。電解銅箔は製造時点で凹凸を有しているが、粗化処理により電解銅箔の凸部を増強して凹凸を一層大きくすることができる。本発明においては、この粗化処理は銅−コバルト−ニッケル合金めっきや銅−ニッケル−りん合金めっき等の合金めっき好ましくは銅合金めっきにより行うことができる。粗化前の前処理として通常の銅めっき等が行われることがあり、粗化後の仕上げ処理として電着物の脱落を防止するために通常の銅めっき等が行なわれることもある。
本発明において使用する銅箔は、一方の表面において、粗化処理を行った後、又は、粗化処理を省略して、耐熱めっき層や防錆めっき層を表面に施されていてもよい。粗化処理を省略して、耐熱めっき層や防錆めっき層を表面に施す処理として、下記条件のNi−Wめっき浴によるめっき処理を用いることができる。なお、本発明に用いられる、電解、表面処理又はめっき等に用いられる処理液の残部は特に明記しない限り水である。
pH:3.0〜4.0
温度:35〜45℃
電流密度Dk:1.7〜2.3A/dm2
めっき時間:18〜25秒
なお、本発明において使用する銅箔の厚みは特に限定する必要は無いが、例えば1μm以上、2μm以上、3μm以上、5μm以上であり、例えば3000μm以下、1500μm以下、800μm以下、300μm以下、150μm以下、100μm以下、70μm以下、50μm以下、40μm以下である。
<電解液組成>
銅:90〜110g/L
硫酸:90〜110g/L
塩素:50〜100ppm
レベリング剤1(ビス(3スルホプロピル)ジスルフィド):10〜30ppm
レベリング剤2(アミン化合物):10〜30ppm
上記のアミン化合物には以下の化学式のアミン化合物を用いることができる。
電流密度:70〜100A/dm2
電解液温度:50〜60℃
電解液線速:3〜5m/sec
電解時間:0.5〜10分間
めっき浴組成:Cu10〜20g/L、Co1〜10g/L、Ni1〜10g/L
pH:1〜4
温度:30〜50℃
電流密度Dk:20〜30A/dm2
めっき時間:1〜5秒
めっき浴組成:Cu10〜50g/L、Ni3〜20g/L、P1〜10g/L
pH:1〜4
温度:30〜40℃
電流密度Dk:20〜50A/dm2
めっき時間:0.5〜3秒
めっき浴組成:Cu5〜20g/L、Ni5〜20g/L、Co5〜20g/L、W1〜10g/L
pH:1〜5
温度:30〜50℃
電流密度Dk:20〜50A/dm2
めっき時間:0.5〜5秒
めっき浴組成:Cu5〜20g/L、Ni5〜20g/L、Mo1〜10g/L、P1〜10g/L
pH:1〜5
温度:20〜50℃
電流密度Dk:20〜50A/dm2
めっき時間:0.5〜5秒
耐熱層、防錆層としては公知の耐熱層、防錆層を用いることができる。例えば、耐熱層および/または防錆層はニッケル、亜鉛、錫、コバルト、モリブデン、銅、タングステン、リン、ヒ素、クロム、バナジウム、チタン、アルミニウム、金、銀、白金族元素、鉄、タンタルの群から選ばれる1種以上の元素を含む層であってもよく、ニッケル、亜鉛、錫、コバルト、モリブデン、銅、タングステン、リン、ヒ素、クロム、バナジウム、チタン、アルミニウム、金、銀、白金族元素、鉄、タンタルの群から選ばれる1種以上の元素からなる金属層または合金層であってもよい。また、耐熱層および/または防錆層はニッケル、亜鉛、錫、コバルト、モリブデン、銅、タングステン、リン、ヒ素、クロム、バナジウム、チタン、アルミニウム、金、銀、白金族元素、鉄、タンタルの群から選ばれる1種以上の元素を含む酸化物、窒化物、珪化物を含んでもよい。また、耐熱層および/または防錆層はニッケル−亜鉛合金を含む層であってもよい。また、耐熱層および/または防錆層はニッケル−亜鉛合金層であってもよい。前記ニッケル−亜鉛合金層は、不可避不純物を除き、ニッケルを50wt%〜99wt%、亜鉛を50wt%〜1wt%含有するものであってもよい。前記ニッケル−亜鉛合金層の亜鉛及びニッケルの合計付着量が5〜1000mg/m2、好ましくは10〜500mg/m2、好ましくは20〜100mg/m2であってもよい。また、前記ニッケル−亜鉛合金を含む層または前記ニッケル−亜鉛合金層のニッケルの付着量と亜鉛の付着量との比(=ニッケルの付着量/亜鉛の付着量)が1.5〜10であることが好ましい。また、前記ニッケル−亜鉛合金を含む層または前記ニッケル−亜鉛合金層のニッケルの付着量は0.5mg/m2〜500mg/m2であることが好ましく、1mg/m2〜50mg/m2であることがより好ましい。耐熱層および/または防錆層がニッケル−亜鉛合金を含む層である場合、スルーホールやビアホール等の内壁部がデスミア液と接触したときに銅箔と樹脂基板との界面がデスミア液に浸食されにくく、銅箔と樹脂基板との密着性が向上する。防錆層はクロメート処理層であってもよい。クロメート処理層には公知のクロメート処理層を用いることが出来る。例えばクロメート処理層とは無水クロム酸、クロム酸、二クロム酸、クロム酸塩または二クロム酸塩を含む液で処理された層のことをいう。クロメート処理層はコバルト、鉄、ニッケル、モリブデン、亜鉛、タンタル、銅、アルミニウム、リン、タングステン、錫、砒素およびチタン等の元素(金属、合金、酸化物、窒化物、硫化物等どのような形態でもよい)を含んでもよい。クロメート処理層の具体例としては、純クロメート処理層や亜鉛クロメート処理層等が挙げられる。本発明においては、無水クロム酸または二クロム酸カリウム水溶液で処理したクロメート処理層を純クロメート処理層という。また、本発明においては無水クロム酸または二クロム酸カリウムおよび亜鉛を含む処理液で処理したクロメート処理層を亜鉛クロメート処理層という。
めっき浴組成:Co1〜20g/L、Ni1〜20g/L
pH:1.5〜3.5
温度:30〜80℃
電流密度Dk:1.0〜20.0A/dm2
めっき時間:0.5〜4秒
めっき浴組成:Zn100〜300g/L
pH:3〜4
温度:50〜60℃
電流密度Dk:0.1〜0.5A/dm2
めっき時間:1〜3秒
シランカップリング処理に用いられるシランカップリング剤には公知のシランカップリング剤を用いてよく、例えばアミノ系シランカップリング剤又はエポキシ系シランカップリング剤、メルカプト系シランカップリング剤を用いてよい。また、シランカップリング剤にはビニルトリメトキシシラン、ビニルフェニルトリメトキシラン、γ‐メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ‐グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、4‐グリシジルブチルトリメトキシシラン、γ‐アミノプロピルトリエトキシシラン、N‐β(アミノエチル)γ‐アミノプロピルトリメトキシシラン、N‐3‐(4‐(3‐アミノプロポキシ)プトキシ)プロピル‐3‐アミノプロピルトリメトキシシラン、イミダゾールシラン、トリアジンシラン、γ‐メルカプトプロピルトリメトキシシラン等を用いてもよい。
本発明の表面処理銅箔は、一方の表面側から、銅箔に張り合わせ前の下記ΔB(PI)が50以上65以下であるポリイミドと積層して構成した銅張積層板における、前記ポリイミド越しの表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上に制御されている。このような構成により、背面とのコントラストが鮮明となり、当該銅箔をポリイミド基板越しに観察した際の視認性が高くなる。この結果、当該銅箔を回路形成に使用した場合等において、当該ポリイミド基板を透過して視認される位置決めパターンを介して行うICチップ搭載時の位置合わせ等が容易となる。当該色差ΔE*abが50未満であると、背面とのコントラストが不鮮明になる可能性が生じる。当該色差ΔE*abは、より好ましくは53以上、55以上、より好ましくは60以上である。色差ΔE*abの上限は特に限定する必要はないが、例えば90以下、88以下、あるいは87以下、あるいは85以下、あるいは75以下、あるいは70以下である。
ここで、色差ΔE*abは、色差計で測定され、黒/白/赤/緑/黄/青を加味し、JIS Z8730に基づくL*a*b表色系を用いて示される総合指標であり、ΔL:白黒、Δa:赤緑、Δb:黄青として、下記式で表される;
本発明の表面処理銅箔は、銅箔の一方の表面において、無粗化処理銅箔でも、粗化粒子が形成された粗化処理銅箔でもよく、粗化処理表面の接触式粗さ計で測定したTDの十点平均粗さRzが0.20〜0.64μmであるのが好ましい。このような構成により、ピール強度が高くなって樹脂と良好に接着し、且つ、銅箔をエッチングで除去した後の樹脂の透明性が高くなる。この結果、当該樹脂を透過して視認される位置決めパターンを介して行うICチップ搭載時の位置合わせ等が容易となる。銅箔の一方の表面において、接触式粗さ計で測定したTDの十点平均粗さRzが0.20μm未満であると、銅箔表面の粗化処理が不十分であるおそれがあり、樹脂と十分に接着できないという問題が生じるおそれがある。一方、銅箔の一方の表面において、接触式粗さ計で測定したTDの十点平均粗さRzが0.64μm超であると、銅箔をエッチングで除去した後の樹脂表面の凹凸が大きくなるおそれがあり、その結果樹脂の透明性が不良となる問題が生じるおそれがある。銅箔の一方の表面の接触式粗さ計で測定したTDの十点平均粗さRzは、0.26〜0.62μmがより好ましく、0.40〜0.55μmが更により好ましい。
なお、高光沢圧延は以下の式で規定される油膜当量を13000〜24000以下とすることで行うことが出来る。
油膜当量={(圧延油粘度[cSt])×(通板速度[mpm]+ロール周速度[mpm])}/{(ロールの噛み込み角[rad])×(材料の降伏応力[kg/mm2])}
圧延油粘度[cSt]は40℃での動粘度である。
油膜当量を13000〜24000とするためには、低粘度の圧延油を用いたり、通板速度を遅くしたりする等、公知の方法を用いればよい。
化学研磨は硫酸−過酸化水素−水系またはアンモニア−過酸化水素−水系等のエッチング液で、通常よりも濃度を低くして、長時間かけて行う。
本発明の表面処理銅箔は、一方の表面側から、銅箔に張り合わせ前の下記ΔB(PI)が50以上65以下であるポリイミドを積層させた後、銅箔をポリイミド越しにCCDカメラで撮影したとき、撮影によって得られた画像について、観察された銅箔が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、銅箔の端部から銅箔がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差ΔB(ΔB=Bt−Bb)が40以上となる。
また、前記観察地点−明度グラフにおいて、明度曲線とBtとの交点の内、銅箔に最も近い交点の位置を示す値をt1として、明度曲線とBtとの交点からBtを基準に0.1ΔBまでの深さ範囲において、明度曲線と0.1ΔBとの交点の内、前記銅箔に最も近い交点の位置を示す値をt2としたときに、下記(1)式で定義されるSvが3.0以上となるのが好ましい。
Sv=(ΔB×0.1)/(t1−t2) (1)
図1(a)及び図1(b)に、銅箔の幅を約0.3mmとした場合のBt及びBbを定義する模式図を示す。銅箔の幅を約0.3mmとした場合、図1(a)に示すようにV型の明度曲線となる場合と、図1(b)に示すように底部を有する明度曲線となる場合がある。いずれの場合も「明度曲線のトップ平均値Bt」は、銅箔の両側の端部位置から50μm離れた位置から30μm間隔で5箇所(両側で合計10箇所)測定したときの明度の平均値を示す。一方、「明度曲線のボトム平均値Bb」は、明度曲線が図1(a)に示すようにV型となる場合は、このV字の谷の先端部における明度の最低値を示し、図1(b)の底部を有する場合は、約0.3mmの中心部の値を示す。なお、マークの幅は、0.2mm、0.16mm、0.1mm程度としてもよい。さらに、「明度曲線のトップ平均値Bt」は、マークの両側の端部位置から100μm離れた位置、300μm離れた位置、或いは、500μm離れた位置から、それぞれ30μm間隔で5箇所(両側で合計10箇所)測定したときの明度の平均値としてもよい。
なお、表面処理銅箔をポリイミドの両表面に積層させた後、両表面の銅箔をエッチングで除去して一方の表面の銅箔のみ回路状に成形し、当該回路状の銅箔をポリイミド越しに観察して得られる視認性が良好であれば、そのような表面処理銅箔は、ポリイミドに積層させた後、ポイリミド越しに観察して得られる視認性が良好となる。
銅箔の一方の表面の三次元表面積Aと二次元表面積Bとの比A/Bは、上述の樹脂の透明性に大いに影響を及ぼす。すなわち、表面粗さRzが同じであれば、比A/Bが小さい銅箔ほど、上述の樹脂の透明性が良好となる。このため、本発明の表面処理銅箔は、当該比A/Bが1.0〜1.7であるのが好ましく、1.0〜1.6であるのがより好ましい。ここで、表面処理側の表面の粗化粒子の三次元表面積Aと二次元表面積Bとの比A/Bは、例えば当該表面が粗化処理されている場合、粗化粒子の表面積Aと、銅箔を銅箔表面側から平面視したときに得られる面積Bとの比A/Bとも云うことができる。
例えば、硫酸銅と硫酸水溶液を含むめっき液を用いて粗化処理を行ってもよく、また硫酸銅と硫酸水溶液から成るめっき液を用いて粗化処理を行ってもよい。銅−コバルト−ニッケル合金めっきや銅−ニッケル−りん合金めっき、ニッケル−亜鉛合金めっき等の合金めっきでもよい。また、好ましくは銅合金めっきにより行うことができる。銅合金めっき浴としては例えば銅と銅以外の元素を一種以上含むめっき浴、より好ましくは銅とコバルト、ニッケル、砒素、タングステン、クロム、亜鉛、リン、マンガンおよびモリブデンからなる群から選択されたいずれか1種以上とを含むめっき浴を用いることが好ましい。
他方の表面に凹凸を形成するための表面処理としては、電解研磨による表面処理を行ってもよい。例えば、硫酸銅と硫酸水溶液から成る溶液中で、銅箔の他方の表面を電解研磨することにより、銅箔の他方の表面に凹凸を形成させることができる。一般に電解研磨は平滑化を目的とするが、本発明の他方の表面処理では電解研磨により凹凸を形成するので、通常とは逆の考え方である。電解研磨により凹凸を形成する方法は公知の技術で行っても良い。前記凹凸を形成するための電解研磨の公知の技術の例としては特開2005-240132、特開2010-059547、特開2010-047842に記載の方法が挙げられる。電解研磨で凹凸を形成させる処理の具体的な条件としては、例えば、
・処理溶液:Cu:20g/L、H2SO4:100g/L、温度:50℃
・電解研磨電流:15A/dm2
・電解研磨時間:15秒
などが挙げられる。
なお、本発明の表面処理銅箔における他方の表面処理後に、耐熱層や防錆層や耐候性層を設けても良い。耐熱層や防錆層および耐候性層は、上記記載や実験例記載の方法でもよいし、公知の技術の方法でもよい。
ポリイミド基材樹脂の厚みは特に制限を受けるものではないが、一般的に25μmや50μmが挙げられる。
Sv=(ΔB×0.1)/(t1−t2) (1)
上記本発明の銅張積層板の銅箔は、本発明の表面処理銅箔を用いることができる。
このような銅張積層板を用いてプリント配線板を製造すると、プリント配線板の位置決めをより正確に行うことが出来る。
上記本発明の銅張積層板の銅箔は、本発明の表面処理銅箔を用いることができる。
このような銅張積層板を用いてプリント配線板を製造すると、プリント配線板の位置決めをより正確に行うことが出来る。
Sv=(ΔB×0.1)/(t1−t2) (1)
本発明の金属と樹脂との積層体の位置決めをする方法について説明する。まず、金属と樹脂との積層体を準備する。金属と樹脂との積層体としては、樹脂に金属を貼り合わせて構成されているものであれば、特に形態は限定されない。本発明の金属と樹脂との積層体の具体例としては、本体基板と付属の回路基板と、それらを電気的に接続するために用いられる、ポリイミド等の樹脂の少なくとも一方の表面に銅等の金属配線が形成されたフレキシブルプリント基板とで構成される電子機器において、フレキシブルプリント基板を正確に位置決めして当該本体基板及び付属の回路基板の配線端部に圧着させて作製される積層体が挙げられる。すなわち、この場合であれば、積層体は、フレキシブルプリント基板及び本体基板の配線端部が圧着により貼り合わせられた積層体、或いは、フレキシブルプリント基板及び回路基板の配線端部が圧着により貼り合わせられた積層体となる。積層体は、当該金属配線の一部や別途材料で形成したマークを有している。マークの位置については、当該積層体を構成する樹脂越しにCCDカメラ等の撮影手段で撮影可能な位置であれば特に限定されない。
なお、本発明の実施の形態に係る位置決め方法は表面実装機やチップマウンターに用いてもよい。
また、本発明において位置決めされる前記金属と樹脂との積層体が、樹脂板及び前記樹脂板の上に設けられた回路を有するプリント配線板であってもよい。また、その場合、前記マークが前記回路であってもよい。
・電解液組成(銅:100g/L、硫酸:100g/L、塩素:50ppm、レベリング剤1(ビス(3スルホプロピル)ジスルフィド):10〜30ppm、レベリング剤2(アミン化合物):10〜30ppm)
・電解液温度:50〜60℃
・電流密度:70〜100A/dm2
・電解時間:1分
・電解液線速:4m/秒
なお、アミン化合物には以下のアミン化合物を用いた。
(上記化学式中、R1及びR2はヒドロキシアルキル基、エーテル基、アリール基、芳香族置換アルキル基、不飽和炭化水素基、アルキル基からなる一群から選ばれるものである。)
また、比較例5については上記実施例2と同様の表面処理を行い、比較例6については上記実施例6と同様の表面処理を行った。
・表面処理条件
めっき液浴例
Cu:15g/L、Co:9g/L、Ni:9g/L
pH:3
温度:38℃
電流密度:25A/dm2
めっき時間:1秒
・表面粗さ(Rz)の測定;
各実施例、比較例の表面処理後の銅箔について、株式会社小阪研究所製接触式粗さ計Surfcorder SE−3Cを使用してJIS B0601−1994に準拠して十点平均粗さを一方の表面について測定した。測定基準長さ0.8mm、評価長さ4mm、カットオフ値0.25mm、送り速さ0.1mm/秒の条件で、圧延銅箔については圧延方向と垂直な方向(TD)に測定位置を変えて、または、電解銅箔については電解銅箔の製造装置における電解銅箔の進行方向と垂直な方向(TD)に測定位置を変えて、それぞれ10回行い、10回の測定での値を求めた。
なお、表面処理前の銅箔についても、同様にして表面粗さ(Rz)を求めておいた。
表面処理銅箔の他方の表面について、オリンパス社製レーザー顕微鏡OLS4000にて、表面粗さ(十点平均粗さ)RzをJIS B0601 1994に準拠して測定した。対物レンズ50倍を使用して、銅箔表面の観察において評価長さ258μm、カットオフ値ゼロの条件で、圧延銅箔については圧延方向と垂直な方向(TD)の測定で、または、電解銅箔については電解銅箔の製造装置における電解銅箔の進行方向と垂直な方向(TD)の測定で、それぞれ値を求めた。なお、レーザー顕微鏡による表面粗さRzの測定環境温度は23〜25℃とした。Rzを任意に10箇所測定し、そのRzの10箇所の平均値を表面粗さ(十点平均粗さ)Rzの値とした。また、測定に用いたレーザー顕微鏡のレーザー光の波長は405nmとした。
各実施例、比較例の銅箔の他方の表面について、オリンパス社製レーザー顕微鏡OLS4000にて、銅箔表面の二乗平均平方根高さRqをJIS B0601 2001に準拠して測定した。対物レンズ50倍を使用して、銅箔表面の観察において評価長さ258μm、カットオフ値ゼロの条件で、圧延銅箔については圧延方向と垂直な方向(TD)の測定で、または、電解銅箔については電解銅箔の製造装置における電解銅箔の進行方向と垂直な方向(TD)の測定で、それぞれ値を求めた。なお、レーザー顕微鏡による表面の二乗平均平方根高さRqの測定環境温度は23〜25℃とした。Rqを任意に10箇所測定し、そのRqの10箇所の平均値を二乗平均平方根高さRqの値とした。また、測定に用いたレーザー顕微鏡のレーザー光の波長は405nmとした。
各実施例、比較例の表面処理後の銅箔の他方の表面について、表面粗さRaを、JIS B0601−1994に準拠して、オリンパス社製レーザー顕微鏡OLS4000にて測定した。対物レンズ50倍を使用して、銅箔表面の観察において評価長さ258μm、カットオフ値ゼロの条件で、圧延銅箔については圧延方向と垂直な方向(TD)の測定で、また、電解銅箔については電解銅箔の製造装置における電解銅箔の進行方向と垂直な方向(TD)の測定で、それぞれ値を求めた。なお、レーザー顕微鏡による表面の算術平均粗さRaの測定環境温度は23〜25℃とした。Raを任意に10箇所測定し、そのRaの10箇所の平均値を算術平均粗さRaの値とした。また、測定に用いたレーザー顕微鏡のレーザー光の波長は405nmとした。
表面処理銅箔と、銅箔に張り合わせ前のΔB(PI)が50以上65以下であるポリイミドフィルム(カネカ製厚み25μmまたは50μm)とを積層して構成した銅張積層板における、ポリイミドフィルム越しの表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abを測定した。色差ΔE*abの測定は、HunterLab社製色差計MiniScan XE Plusを使用して、JIS Z8730に準拠して行った。なお、前述の色差計では、白色板の測定値をΔE*ab=0、黒い袋で覆って暗闇で測定したときの測定値をΔE*ab=90として、色差を校正する。ΔE*abは、L*a*b表色系を用い、ΔL:白黒、Δa:赤緑、Δb:黄青として、下記式に基づいて測定した。ここで色差ΔE*abは白色をゼロ、黒色を90で定義される;
銅箔の一方の表面の表面積はレーザー顕微鏡による測定法を使用した。各実施例、比較例の表面処理後の銅箔の一方の表面について、オリンパス社製レーザー顕微鏡OLS4000を用いて処理表面の倍率20倍における647μm×646μm相当面積B(実データでは417,953μm2)における三次元表面積Aを測定して、三次元表面積A÷二次元表面積B=面積比(A/B)とする手法により設定を行った。なお、レーザー顕微鏡による三次元表面積Aの測定環境温度は23〜25℃とした。
JIS Z8741に準拠した日本電色工業株式会社製光沢度計ハンディーグロスメーターPG−1を使用し、圧延銅箔については、圧延方向(圧延時の銅箔の進行方向、すなわち幅方向)に直角な方向(TD)の入射角60度で表面処理前の一方の表面について測定した。また、電解銅箔については、電解処理時の銅箔運搬方向に直角な方向(すなわち幅方向)(TD)の入射角60度で表面処理前の表面(マット面)について測定した。
作製した銅箔を一方の表面側からポリイミドフィルムに向けてポリイミドフィルムの両面に積層した。
ここで、上記ポリイミドフィルムについては、カネカ製厚み25μmまたは50μmのポリイミドフィルム〔PIXEO(ポリイミドタイプ:FRS)、銅張積層板用接着層付ポリイミドフィルム、PMDA(ピロメリット酸無水物)系のポリイミドフィルム(PMDA−ODA(4、4’-ジアミノジフェニルエーテル)系のポリイミドフィルム)〕を使用した。
なお、後述の「視認性(樹脂透明性)」、「ピール強度(接着強度)」、及び、「歩留まり」の評価において、各試験例に関する表面処理銅箔の表面を貼り合わせるポリイミドフィルムは、当該「明度曲線の傾き」の評価において使用したポリイミドフィルムと同様のものである。
そして、一方の面の銅箔を全てエッチングにより除去した。また、他方の面の銅箔をエッチングして幅0.3mmのライン状にした。その後、幅0.3mmのライン状にした銅箔の背面に白紙を敷き、当該ポリイミドフィルム越しにCCDカメラ(8192画素のラインCCDカメラ)で撮影し、撮影によって得られた画像について、観察された銅箔が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、マークの端部からマークがない部分にかけて生じる明度曲線からΔB及びt1、t2、Svを測定した。このとき用いた撮影装置の構成及び明度曲線の測定方法を表す模式図を図3に示す。なお、明度曲線の傾きの評価に用いた厚さ25μmまたは50μmのポリイミドは、銅箔に張り合わせ前のポリイミドについてのΔB(PI)が50以上65以下であるポリイミドを用いた。なお、当該銅箔に張り合わせ前のポリイミドについてのΔB(PI)の測定の際には幅0.3mmのライン状の銅箔の代わりに、幅0.3mmのライン状の黒色の印を白紙に印刷したもの(ライン状の黒色マークを印刷した印刷物)を用いて、ΔB(PI)の測定を行った。
また、上記「幅0.3mmのライン状にした銅箔の背面」に敷いた「白紙」には光沢度43.0±2の白色の光沢紙を用いた。
上記「ライン状の黒色マークを印刷した印刷物」は、光沢度43.0±2の白色の光沢紙上にJIS P8208(1998)(図1 きょう雑物計測図表のコピー)及びJIS P8145(2011)(附属書JA(規定)目視法異物比較チャート 図JA.1−目視法異物比較チャートのコピー)のいずれにも採用されている図6に示す透明フィルムに各種の線等が印刷されたきょう雑物(夾雑物)(株式会社朝陽会製 品名:「きょう雑物測定図表-フルサイズ判」 品番:JQA160−20151−1(独立行政法人国立印刷局で製造された))を載せたものを使用した。
上記光沢紙の光沢度は、JIS Z8741に準拠した日本電色工業株式会社製光沢度計ハンディーグロスメーターPG−1を使用し、入射角60度で測定した。
・撮影装置:株式会社ニレコ製シート検査装置Mujiken
・ラインCCDカメラ:8192画素(160MHz)、1024階調ディジタル(10ビット)
・照明用電源:高周波点灯電源(電源ユニット×2)
・照明:蛍光灯(30W、形名:FPL27EX−D、ツイン蛍光灯)
ラインCCDカメラによる撮影では、フルスケール256階調にて信号を確認し、測定対象のポリイミドフィルム(ポリイミド基板)を置かない状態で、印刷物の黒色マークが存在しない箇所(上記白色の光沢紙の上に上記透明フィルムを載せ、透明フィルム側から夾雑物に印刷されているマーク外の箇所をCCDカメラで測定した場合)のピーク階調信号が230±5に収まるようにレンズ絞りを調整した。カメラスキャンタイム(カメラのシャッターが開いている時間、光を取り込む時間)は250μ秒固定とし、上記階調以内に収まるようにレンズ絞りを調整した。
なお、図3に示された明度について、0は「黒」を意味し、明度255は「白」を意味し、「黒」から「白」までの灰色の程度(白黒の濃淡、グレースケール)を256階調に分割して表示している。
銅箔を一方の表面側からポリイミドフィルムの両面に貼り合わせ、銅箔をエッチング(塩化第二鉄水溶液)で除去してサンプルフィルムを作成した。得られた樹脂層の一面に印刷物(直径6cmの黒色の円)を貼り付け、反対面から樹脂層越しに印刷物の視認性を判定した。印刷物の黒色の円の輪郭が円周の90%以上の長さにおいてはっきりしたものを「◎」、黒色の円の輪郭が円周の80%以上90%未満の長さにおいてはっきりしたものを「○」(以上合格)、黒色の円の輪郭が円周の0〜80%未満の長さにおいてはっきりしたもの及び輪郭が崩れたものを「×」(不合格)と評価した。
IPC−TM−650に準拠し、引張り試験機オートグラフ100で常態ピール強度を測定し、上記常態ピール強度が0.7N/mm以上を積層基板用途に使用できるものとした。なお、本ピール強度の測定にはポリイミドフィルムと本発明の実験例に係る表面処理銅箔の一方の表面である表面処理面とを貼り合わせたサンプルを用いた。なお、ピール強度の測定は銅箔厚みを18μmとして測定を行った。厚みが18μmに満たない銅箔については銅めっきを行って銅箔厚みを18μmとした。また、厚みが18μmよりも大きい場合にはエッチングを行って銅箔厚みを18μmとした。
銅箔の一方の表面側からポリイミドフィルムの両面に貼り合わせ、銅箔をエッチング(塩化第二鉄水溶液)して、L/Sが30μm/30μmの回路幅のFPCを作成した。その後、20μm×20μm角のマークをポリイミド越しにCCDカメラで検出することを試みた。10回中9回以上検出できた場合には「◎」、7〜8回検出できた場合には「○」、6回検出できた場合には「△」、5回以下検出できた場合には「×」とした。
なお、プリント配線板または銅張積層板においては、樹脂を溶かして除去することで、銅回路または銅箔表面について、前述の(1)表面粗さ(Rz)、(3)銅箔表面の面積比(A/B)を測定することができる。
厚さ25μmのポリイミド樹脂の両表面に、それぞれ実施例、比較例の表面処理銅箔を、一方の表面側から積層し、さらに、各表面処理銅箔の他方の表面側へ厚さ125μmの保護フィルム(ポリイミド製)を積層させた状態、すなわち、保護フィルム/表面処理銅箔/ポリイミド樹脂/表面処理銅箔/保護フィルムの5層とした状態で、両方の保護フィルムの外側からラミネートロールを用いて熱と圧力をかけながら貼り合わせ加工(ラミネート加工)を行い、ポリイミド樹脂の両面に表面処理銅箔を貼り合わせた。続いて、両表面の保護フィルムを剥がした後、表面処理銅箔の他方の表面を目視観察し、シワ又はスジの有無を確認し、シワ又はスジが全く発生しないときを◎、銅箔長さ5mあたりにシワ又はスジが1箇所だけ観察されるときを○、銅箔5mあたりシワ又はスジが2箇所以上観察されるときを×と評価した。
上記各試験の条件及び評価を表1〜4に示す。
実施例1〜9は、いずれもポリイミド越しの色差ΔE*abが50以上であり、且つ、ΔBが40以上であり、視認性が良好であった。また、他方の表面に表面処理が形成されているため、両面ラミネート工法における銅箔の当該他方の表面にシワやスジの発生が良好に抑制されていた。
比較例1〜4は、ポリイミド越しの色差ΔE*abが50未満、または、ΔBが40未満であり、視認性が不良であった。
また、比較例1〜4及び比較例5及び6は、他方の表面に表面処理が形成されていないため、両面ラミネート工法における銅箔の当該他方の表面に生じるシワやスジの発生が抑制できなかった。
また、上記実施例1〜9において、幅0.3mmのライン状にした銅箔であるマーク並びに夾雑物のマークの幅を0.3mmから0.16mm(夾雑物のシートの面積0.5mm2の0.5の記載に近いほうから3番目のマーク(図6の矢印が指すマーク))に変更して同様のΔB(PI)、Sv値およびΔB値の測定を行ったが、いずれもΔB(PI)、Sv値およびΔB値はマークの幅を0.3mmとした場合と同じ値となった。
さらに、上記実施例1〜9において、「明度曲線のトップ平均値Bt」について、マークの両側の端部位置から50μm離れた位置を、100μm離れた位置、300μm離れた位置、500μm離れた位置として、当該位置から、それぞれ30μm間隔で5箇所(両側で合計10箇所)測定したときの明度の平均値に変更して同様のΔB(PI)、Sv値およびΔB値の測定を行ったが、いずれもΔB(PI)、Sv値およびΔB値は、マークの両側の端部位置から50μm離れた位置から30μm間隔で5箇所(両側で合計10箇所)測定したときの明度の平均値を「明度曲線のトップ平均値Bt」とした場合のΔB(PI)、Sv値およびΔB値と同じ値となった。
銅箔の両面に粗化処理等の表面処理を行う場合、両面に同時に表面処理をしてもよく、一方の面と、他方の面とに、それぞれ別々に表面処理を行ってもよい。なお、両面に同時に表面処理を行う場合には、銅箔の両面側にアノードを設けた、表面処理装置(めっき装置)を用いて表面処理を行うと良い。なお、本実施例では、同時に両面に表面処理を行った。
Claims (45)
- 一方の表面および他方の表面にそれぞれ表面処理が行われた表面処理銅箔であって、
表面処理銅箔を前記一方の表面側から、銅箔に張り合わせ前の下記ΔB(PI)が50以上65以下であるポリイミドと積層して構成した銅張積層板における、前記ポリイミド越しの表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上となり、
前記銅箔を一方の表面側から積層させた前記ポリイミド越しにCCDカメラで撮影したとき、
前記撮影によって得られた画像について、観察された前記銅箔が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、
前記銅箔の端部から前記銅箔がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差ΔB(ΔB=Bt−Bb)が40以上となり、
前記他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの十点平均粗さRzが、0.35μm以上である表面処理銅箔。 - 一方の表面および他方の表面にそれぞれ表面処理が行われた表面処理銅箔であって、
表面処理銅箔を前記一方の表面側から、銅箔に張り合わせ前の下記ΔB(PI)が50以上65以下であるポリイミドと積層して構成した銅張積層板における、前記ポリイミド越しの表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上となり、
前記銅箔を、一方の表面側から積層させた前記ポリイミド越しにCCDカメラで撮影したとき、
前記撮影によって得られた画像について、観察された前記銅箔が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、
前記銅箔の端部から前記銅箔がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差をΔB(ΔB=Bt−Bb)とし、前記観察地点−明度グラフにおいて、明度曲線とBtとの交点の内、前記銅箔に最も近い交点の位置を示す値をt1として、明度曲線とBtとの交点からBtを基準に0.1ΔBまでの深さ範囲において、明度曲線と0.1ΔBとの交点の内、前記銅箔に最も近い交点の位置を示す値をt2としたときに、下記(1)式で定義されるSvが3.0以上となり、
Sv=(ΔB×0.1)/(t1−t2) (1)
前記他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの十点平均粗さRzが、0.35μm以上である表面処理銅箔。 - 前記他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの算術平均粗さRaが、0.05μm以上である請求項1又は2に記載の表面処理銅箔。
- 一方の表面および他方の表面にそれぞれ表面処理が行われた表面処理銅箔であって、
表面処理銅箔を前記一方の表面側から、銅箔に張り合わせ前の下記ΔB(PI)が50以上65以下であるポリイミドと積層して構成した銅張積層板における、前記ポリイミド越しの表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上となり、
前記銅箔を一方の表面側から積層させた前記ポリイミド越しにCCDカメラで撮影したとき、
前記撮影によって得られた画像について、観察された前記銅箔が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、
前記銅箔の端部から前記銅箔がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差ΔB(ΔB=Bt−Bb)が40以上となり、
前記他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの算術平均粗さRaが、0.05μm以上である表面処理銅箔。 - 一方の表面および他方の表面にそれぞれ表面処理が行われた表面処理銅箔であって、
表面処理銅箔を前記一方の表面側から、銅箔に張り合わせ前の下記ΔB(PI)が50以上65以下であるポリイミドと積層して構成した銅張積層板における、前記ポリイミド越しの表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上となり、
前記銅箔を、一方の表面側から積層させた前記ポリイミド越しにCCDカメラで撮影したとき、
前記撮影によって得られた画像について、観察された前記銅箔が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、
前記銅箔の端部から前記銅箔がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差をΔB(ΔB=Bt−Bb)とし、前記観察地点−明度グラフにおいて、明度曲線とBtとの交点の内、前記銅箔に最も近い交点の位置を示す値をt1として、明度曲線とBtとの交点からBtを基準に0.1ΔBまでの深さ範囲において、明度曲線と0.1ΔBとの交点の内、前記銅箔に最も近い交点の位置を示す値をt2としたときに、下記(1)式で定義されるSvが3.0以上となり、
Sv=(ΔB×0.1)/(t1−t2) (1)
前記他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの算術平均粗さRaが、0.05μm以上である表面処理銅箔。 - 前記他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの二乗平均平方根高さRqが、0.08μm以上である請求項1〜5のいずれか一項に記載の表面処理銅箔。
- 一方の表面および他方の表面にそれぞれ表面処理が行われた表面処理銅箔であって、
表面処理銅箔を前記一方の表面側から、銅箔に張り合わせ前の下記ΔB(PI)が50以上65以下であるポリイミドと積層して構成した銅張積層板における、前記ポリイミド越しの表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上となり、
前記銅箔を一方の表面側から積層させた前記ポリイミド越しにCCDカメラで撮影したとき、
前記撮影によって得られた画像について、観察された前記銅箔が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、
前記銅箔の端部から前記銅箔がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差ΔB(ΔB=Bt−Bb)が40以上となり、
前記他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの二乗平均平方根高さRqが、0.08μm以上である表面処理銅箔。 - 一方の表面および他方の表面にそれぞれ表面処理が行われた表面処理銅箔であって、
表面処理銅箔を前記一方の表面側から、銅箔に張り合わせ前の下記ΔB(PI)が50以上65以下であるポリイミドと積層して構成した銅張積層板における、前記ポリイミド越しの表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上となり、
前記銅箔を、一方の表面側から積層させた前記ポリイミド越しにCCDカメラで撮影したとき、
前記撮影によって得られた画像について、観察された前記銅箔が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、
前記銅箔の端部から前記銅箔がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差をΔB(ΔB=Bt−Bb)とし、前記観察地点−明度グラフにおいて、明度曲線とBtとの交点の内、前記銅箔に最も近い交点の位置を示す値をt1として、明度曲線とBtとの交点からBtを基準に0.1ΔBまでの深さ範囲において、明度曲線と0.1ΔBとの交点の内、前記銅箔に最も近い交点の位置を示す値をt2としたときに、下記(1)式で定義されるSvが3.0以上となり、
Sv=(ΔB×0.1)/(t1−t2) (1)
前記他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの二乗平均平方根高さRqが、0.08μm以上である表面処理銅箔。 - 前記他方の表面の表面処理が粗化処理である請求項1〜8のいずれか一項に記載の表面処理銅箔。
- 前記観察地点−明度グラフにおいて、明度曲線とBtとの交点の内、前記銅箔に最も近い交点の位置を示す値をt1として、明度曲線とBtとの交点からBtを基準に0.1ΔBまでの深さ範囲において、明度曲線と0.1ΔBとの交点の内、前記銅箔に最も近い交点の位置を示す値をt2としたときに、下記(1)式で定義されるSvが3.0以上となる請求項1、3、4、6、7及び9のいずれか一項に記載の表面処理銅箔。
Sv=(ΔB×0.1)/(t1−t2) (1) - 前記表面処理銅箔を前記一方の表面側から、銅箔に張り合わせ前の下記ΔB(PI)が50以上65以下であるポリイミドと積層して構成した銅張積層板における、前記ポリイミド越しの表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが53以上となる請求項1〜10のいずれか一項に記載の表面処理銅箔。
- 前記明度曲線における(1)式で定義されるSvが3.5以上となる請求項2、3、5、6、8〜11のいずれか一項に記載の表面処理銅箔。
- 前記明度曲線における(1)式で定義されるSvが3.9以上となる請求項12に記載の表面処理銅箔。
- 前記明度曲線における(1)式で定義されるSvが5.0以上となる請求項13に記載の表面処理銅箔。
- 前記一方の表面の接触式粗さ計で測定したTDの十点平均粗さRzが0.20〜0.64μmであり、前記銅箔表面の三次元表面積Aと二次元表面積Bとの比A/Bが1.0〜1.7である請求項1〜14のいずれか一項に記載の表面処理銅箔。
- 前記一方の表面の接触式粗さ計で測定したTDの十点平均粗さRzが0.26〜0.62μmである請求項15に記載の表面処理銅箔。
- 前記A/Bが1.0〜1.6である請求項15又は16に記載の表面処理銅箔。
- 請求項1〜17のいずれか一項に記載の表面処理銅箔と樹脂基板とを積層して構成した銅張積層板。
- 請求項1〜17のいずれか一項に記載の表面処理銅箔を用いたプリント配線板。
- 請求項19に記載のプリント配線板を少なくとも1つ用いた電子機器。
- 絶縁樹脂基板と、絶縁樹脂基板上に設けられた銅回路とを有するプリント配線板であって、
前記銅回路は、前記絶縁樹脂基板側の一方の表面と、表面処理が行われた他方の表面とを有し、
前記絶縁樹脂基板越しの前記銅回路表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上であり、
前記銅回路を、前記絶縁樹脂基板越しにCCDカメラで撮影したとき、
前記撮影によって得られた画像について、観察された前記銅回路が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、
前記銅回路の端部から前記銅回路がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差ΔB(ΔB=Bt−Bb)が40以上となり、前記他方の表面処理がされた銅回路表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの十点平均粗さRzが、0.35μm以上であるプリント配線板。 - 絶縁樹脂基板と、絶縁樹脂基板上に設けられた銅回路とを有するプリント配線板であって、
前記銅回路は、前記絶縁樹脂基板側の一方の表面と、表面処理が行われた他方の表面とを有し、
前記絶縁樹脂基板越しの前記銅回路表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上であり、
前記銅回路を、前記絶縁樹脂基板越しにCCDカメラで撮影したとき、
前記撮影によって得られた画像について、観察された前記銅回路が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、
前記銅回路の端部から前記銅回路がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差をΔB(ΔB=Bt−Bb)とし、前記観察地点−明度グラフにおいて、明度曲線とBtとの交点の内、前記銅回路に最も近い交点の位置を示す値をt1として、明度曲線とBtとの交点からBtを基準に0.1ΔBまでの深さ範囲において、明度曲線と0.1ΔBとの交点の内、前記銅回路に最も近い交点の位置を示す値をt2としたときに、下記(1)式で定義されるSvが3.0以上となり、
Sv=(ΔB×0.1)/(t1−t2) (1)
前記他方の表面処理がされた銅回路表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの十点平均粗さRzが、0.35μm以上であるプリント配線板。 - 前記他方の表面処理がされた銅回路表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの算術平均粗さRaが、0.05μm以上である請求項21又は22に記載のプリント配線板。
- 絶縁樹脂基板と、絶縁樹脂基板上に設けられた銅回路とを有するプリント配線板であって、
前記銅回路は、前記絶縁樹脂基板側の一方の表面と、表面処理が行われた他方の表面とを有し、
前記絶縁樹脂基板越しの前記銅回路表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上であり、
前記銅回路を、前記絶縁樹脂基板越しにCCDカメラで撮影したとき、
前記撮影によって得られた画像について、観察された前記銅回路が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、
前記銅回路の端部から前記銅回路がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差ΔB(ΔB=Bt−Bb)が40以上となり、前記他方の表面処理がされた銅回路表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの算術平均粗さRaが、0.05μm以上であるプリント配線板。 - 絶縁樹脂基板と、絶縁樹脂基板上に設けられた銅回路とを有するプリント配線板であって、
前記銅回路は、前記絶縁樹脂基板側の一方の表面と、表面処理が行われた他方の表面とを有し、
前記絶縁樹脂基板越しの前記銅回路表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上であり、
前記銅回路を、前記絶縁樹脂基板越しにCCDカメラで撮影したとき、
前記撮影によって得られた画像について、観察された前記銅回路が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、
前記銅回路の端部から前記銅回路がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差をΔB(ΔB=Bt−Bb)とし、前記観察地点−明度グラフにおいて、明度曲線とBtとの交点の内、前記銅回路に最も近い交点の位置を示す値をt1として、明度曲線とBtとの交点からBtを基準に0.1ΔBまでの深さ範囲において、明度曲線と0.1ΔBとの交点の内、前記銅回路に最も近い交点の位置を示す値をt2としたときに、下記(1)式で定義されるSvが3.0以上となり、
Sv=(ΔB×0.1)/(t1−t2) (1)
前記他方の表面処理がされた銅回路表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの算術平均粗さRaが、0.05μm以上であるプリント配線板。 - 前記他方の表面処理がされた銅回路表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの二乗平均平方根高さRqが、0.08μm以上である請求項21〜25のいずれか一項に記載のプリント配線板。
- 絶縁樹脂基板と、絶縁樹脂基板上に設けられた銅回路とを有するプリント配線板であって、
前記銅回路は、前記絶縁樹脂基板側の一方の表面と、表面処理が行われた他方の表面とを有し、
前記絶縁樹脂基板越しの前記銅回路表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上であり、
前記銅回路を、前記絶縁樹脂基板越しにCCDカメラで撮影したとき、
前記撮影によって得られた画像について、観察された前記銅回路が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、
前記銅回路の端部から前記銅回路がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差ΔB(ΔB=Bt−Bb)が40以上となり、前記他方の表面処理がされた銅回路表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの二乗平均平方根高さRqが、0.08μm以上であるプリント配線板。 - 絶縁樹脂基板と、絶縁樹脂基板上に設けられた銅回路とを有するプリント配線板であって、
前記銅回路は、前記絶縁樹脂基板側の一方の表面と、表面処理が行われた他方の表面とを有し、
前記絶縁樹脂基板越しの前記銅回路表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上であり、
前記銅回路を、前記絶縁樹脂基板越しにCCDカメラで撮影したとき、
前記撮影によって得られた画像について、観察された前記銅回路が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、
前記銅回路の端部から前記銅回路がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差をΔB(ΔB=Bt−Bb)とし、前記観察地点−明度グラフにおいて、明度曲線とBtとの交点の内、前記銅回路に最も近い交点の位置を示す値をt1として、明度曲線とBtとの交点からBtを基準に0.1ΔBまでの深さ範囲において、明度曲線と0.1ΔBとの交点の内、前記銅回路に最も近い交点の位置を示す値をt2としたときに、下記(1)式で定義されるSvが3.0以上となり、
Sv=(ΔB×0.1)/(t1−t2) (1)
前記他方の表面処理がされた銅回路表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの二乗平均平方根高さRqが、0.08μm以上であるプリント配線板。 - 前記他方の表面の表面処理が粗化処理である請求項21〜28のいずれか一項に記載のプリント配線板。
- 請求項21〜29のいずれか一項に記載のプリント配線板を2つ以上接続して、プリント配線板が2つ以上接続したプリント配線板を製造する方法。
- 請求項21〜29のいずれか一項に記載のプリント配線板を少なくとも1つと、もう一つの請求項21〜29のいずれか一項に記載のプリント配線板又請求項21〜29のいずれか一項に記載のプリント配線板に該当しないプリント配線板とを接続する工程を少なくとも含む、プリント配線板が2つ以上接続したプリント配線板を製造する方法。
- 請求項21〜29のいずれか一項に記載のプリント配線板が少なくとも1つ接続したプリント配線板を1つ以上用いた電子機器。
- 請求項21〜29のいずれか一項に記載のプリント配線板に用いられている表面処理銅箔。
- 絶縁樹脂基板と、絶縁樹脂基板上に設けられた銅箔とを有する銅張積層板であって、
前記銅箔は、前記絶縁樹脂基板側の一方の表面と、表面処理が行われた他方の表面とを有し、
前記絶縁樹脂基板越しの前記銅箔の表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上であり、
前記銅張積層板の前記銅箔を、エッチングによりライン状の銅箔とした後に、前記絶縁樹脂基板越しにCCDカメラで撮影したとき、
前記撮影によって得られた画像について、観察された前記ライン状の銅箔が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、
前記ライン状の銅箔の端部から前記ライン状の銅箔がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差ΔB(ΔB=Bt−Bb)が40以上となり、前記他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの十点平均粗さRzが、0.35μm以上である銅張積層板。 - 絶縁樹脂基板と、絶縁樹脂基板上に設けられた銅箔とを有する銅張積層板であって、
前記銅箔は、前記絶縁樹脂基板側の一方の表面と、表面処理が行われた他方の表面とを有し、
前記絶縁樹脂基板越しの前記銅箔の表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上であり、
前記銅張積層板の前記銅箔を、エッチングによりライン状の銅箔とした後に、前記絶縁樹脂基板越しにCCDカメラで撮影したとき、
前記撮影によって得られた画像について、観察された前記ライン状の銅箔が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、
前記ライン状の銅箔の端部から前記ライン状の銅箔がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差ΔB(ΔB=Bt−Bb)とし、前記観察地点−明度グラフにおいて、明度曲線とBtとの交点の内、前記ライン状の銅箔に最も近い交点の位置を示す値をt1として、明度曲線とBtとの交点からBtを基準に0.1ΔBまでの深さ範囲において、明度曲線と0.1ΔBとの交点の内、前記ライン状の銅箔に最も近い交点の位置を示す値をt2としたときに、下記(1)式で定義されるSvが3.0以上となり、
Sv=(ΔB×0.1)/(t1−t2) (1)
前記他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの十点平均粗さRzが、0.35μm以上である銅張積層板。 - 前記他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの算術平均粗さRaが、0.05μm以上である請求項34又は35に記載の銅張積層板。
- 絶縁樹脂基板と、絶縁樹脂基板上に設けられた銅箔とを有する銅張積層板であって、
前記銅箔は、前記絶縁樹脂基板側の一方の表面と、表面処理が行われた他方の表面とを有し、
前記絶縁樹脂基板越しの前記銅箔の表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上であり、
前記銅張積層板の前記銅箔を、エッチングによりライン状の銅箔とした後に、前記絶縁樹脂基板越しにCCDカメラで撮影したとき、
前記撮影によって得られた画像について、観察された前記ライン状の銅箔が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、
前記ライン状の銅箔の端部から前記ライン状の銅箔がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差ΔB(ΔB=Bt−Bb)が40以上となり、前記他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの算術平均粗さRaが、0.05μm以上である銅張積層板。 - 絶縁樹脂基板と、絶縁樹脂基板上に設けられた銅箔とを有する銅張積層板であって、
前記銅箔は、前記絶縁樹脂基板側の一方の表面と、表面処理が行われた他方の表面とを有し、
前記絶縁樹脂基板越しの前記銅箔の表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上であり、
前記銅張積層板の前記銅箔を、エッチングによりライン状の銅箔とした後に、前記絶縁樹脂基板越しにCCDカメラで撮影したとき、
前記撮影によって得られた画像について、観察された前記ライン状の銅箔が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、
前記ライン状の銅箔の端部から前記ライン状の銅箔がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差ΔB(ΔB=Bt−Bb)とし、前記観察地点−明度グラフにおいて、明度曲線とBtとの交点の内、前記ライン状の銅箔に最も近い交点の位置を示す値をt1として、明度曲線とBtとの交点からBtを基準に0.1ΔBまでの深さ範囲において、明度曲線と0.1ΔBとの交点の内、前記ライン状の銅箔に最も近い交点の位置を示す値をt2としたときに、下記(1)式で定義されるSvが3.0以上となり、
Sv=(ΔB×0.1)/(t1−t2) (1)
前記他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの算術平均粗さRaが、0.05μm以上である銅張積層板。 - 前記他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの二乗平均平方根高さRqが、0.08μm以上である請求項34〜38のいずれか一項に記載の銅張積層板。
- 絶縁樹脂基板と、絶縁樹脂基板上に設けられた銅箔とを有する銅張積層板であって、
前記銅箔は、前記絶縁樹脂基板側の一方の表面と、表面処理が行われた他方の表面とを有し、
前記絶縁樹脂基板越しの前記銅箔の表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上であり、
前記銅張積層板の前記銅箔を、エッチングによりライン状の銅箔とした後に、前記絶縁樹脂基板越しにCCDカメラで撮影したとき、
前記撮影によって得られた画像について、観察された前記ライン状の銅箔が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、
前記ライン状の銅箔の端部から前記ライン状の銅箔がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差ΔB(ΔB=Bt−Bb)が40以上となり、前記他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの二乗平均平方根高さRqが、0.08μm以上である銅張積層板。 - 絶縁樹脂基板と、絶縁樹脂基板上に設けられた銅箔とを有する銅張積層板であって、
前記銅箔は、前記絶縁樹脂基板側の一方の表面と、表面処理が行われた他方の表面とを有し、
前記絶縁樹脂基板越しの前記銅箔の表面のJIS Z8730に基づく色差ΔE*abが50以上であり、
前記銅張積層板の前記銅箔を、エッチングによりライン状の銅箔とした後に、前記絶縁樹脂基板越しにCCDカメラで撮影したとき、
前記撮影によって得られた画像について、観察された前記ライン状の銅箔が伸びる方向と垂直な方向に沿って観察地点ごとの明度を測定して作製した、観察地点−明度グラフにおいて、
前記ライン状の銅箔の端部から前記ライン状の銅箔がない部分にかけて生じる明度曲線のトップ平均値Btとボトム平均値Bbとの差ΔB(ΔB=Bt−Bb)とし、前記観察地点−明度グラフにおいて、明度曲線とBtとの交点の内、前記ライン状の銅箔に最も近い交点の位置を示す値をt1として、明度曲線とBtとの交点からBtを基準に0.1ΔBまでの深さ範囲において、明度曲線と0.1ΔBとの交点の内、前記ライン状の銅箔に最も近い交点の位置を示す値をt2としたときに、下記(1)式で定義されるSvが3.0以上となり、
Sv=(ΔB×0.1)/(t1−t2) (1)
前記他方の表面処理がされた銅箔表面のレーザー光の波長が405nmであるレーザー顕微鏡で測定したTDの二乗平均平方根高さRqが、0.08μm以上である銅張積層板。 - 前記他方の表面の表面処理が粗化処理である請求項34〜41のいずれか一項に記載の銅張積層板。
- 請求項34〜42のいずれか一項に記載の銅張積層板に用いられている表面処理銅箔。
- 請求項34〜42のいずれか一項に記載の銅張積層板を用いて製造したプリント配線板。
- 請求項44に記載のプリント配線板を用いた電子機器。
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