JP5815881B2 - ベース幅決定式ラッチおよび非ラッチ状態を伴うmct素子 - Google Patents
ベース幅決定式ラッチおよび非ラッチ状態を伴うmct素子 Download PDFInfo
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Description
US第61/540,819号(2011年9月29日出願)を基礎とする優先権を主張する。該出願は、参照により本明細書に援用される。
・低オン電圧
・高性能
・製造コストの削減
・IGBTのために使用されるであろうものと同一の駆動回路によって制御可能
・Rodovの大部分の好ましい教示より幅の広いトレンチ距離およびより厚いトレンチゲート酸化物の使用が可能。
本発明はさらに、例えば、以下を提供する。
(項目1)
ゲート制御式サイリスタであって、
p−型ベース領域の上に位置しているn−型エミッタ領域であって、前記p−型ベース領域は、それ自体は、n−型ベース領域の上に位置し、前記n−型ベース領域は、順に、高濃度にドープされたp−型エミッタ領域の上に位置している、n−型エミッタ領域と、
前記p−型ベース領域内へと下方に延在するが、貫通しないゲートトレンチ内に位置する1つ以上の絶縁ゲート電極と
を備え、
前記n−型エミッタと前記p−型ベースおよび前記n−型ベースの組み合わせによって定義されるNPN電流ゲインと、前記p−型エミッタと前記n−型ベースおよび前記p−型ベースの組み合わせによって定義されるPNP電流ゲインとの乗算の値は、1未満であり、
前記1つ以上の絶縁ゲート電極が、前記p−型ベース領域の部分を反転させるために十分に正に駆動されている場合、前記トレンチの底部に誘導された電子の集合と前記p−型ベースおよび前記n−型ベースの組み合わせによって定義されるNPN電流ゲインと、前記p−型エミッタと前記n−型ベースおよび前記p−型ベースの組み合わせによって定義されるPNP電流ゲインとの乗算の値は、1を上回り、
それによって、前記ゲート電極が、前記p−ベース領域を反転させるために十分に正である場合、電流は、順方向バイアスのもとで、アノード端子からカソード端子に流動し、前記1つ以上の絶縁ゲート電極が、前記p−ベース領域を反転させるために十分に正ではない場合、前記アノード端子から前記カソード端子への電流は、中断され、
前記p−型ベース領域内のp−型ドーパント濃度と前記1つ以上の絶縁ゲート電極の前記p−型ベース領域内における深度および場所とは、前記1つ以上の絶縁ゲート電極が、前記電流に前記アノード端子から前記カソード端子に流動させるために十分に正に駆動されている場合、前記n−型エミッタ領域と前記n−型ベース領域との間の垂直または側方n−型反転チャネルが、前記p−型ベース領域内に生成されないようなものである、サイリスタ。
(項目2)
前記1つ以上の絶縁ゲート電極は、ドープされたポリシリコンから作製される、項目1に記載のサイリスタ。
(項目3)
前記ベース領域の各々は、シリコンから作製される、項目1に記載のサイリスタ。
(項目4)
前記ベース領域の一方は、エピタキシャル層であり、前記ベース領域の他方は、前記エピタキシャル層内に形成されている井戸領域である、項目1に記載のサイリスタ。
(項目5)
前記1つ以上の絶縁ゲート電極の上部は、前記トレンチの上部の下方にある、項目1に記載のサイリスタ。
(項目6)
前記ベース領域の各々は、シリコンから作製され、前記1つ以上の絶縁ゲート電極は、成長させられた二酸化ケイ素の層によって、前記ベース領域の各々から絶縁されている、項目1に記載のサイリスタ。
(項目7)
ゲート制御式サイリスタであって、
p−型ベース領域の上に位置している高濃度にドープされたn−型エミッタ領域であって、前記p−型ベース領域は、それ自体は、n−型ベース領域の上に位置し、前記n−型ベース領域は、順に、高濃度にドープされたp−型エミッタ領域の上に位置している、n−型エミッタ領域と、
前記p−型ベース領域の深度の10%を上回るが、90%未満下方まで延在するゲートトレンチ内に位置する1つ以上の絶縁ゲート電極と
を備え、
前記n−型エミッタと前記p−型ベースおよび前記n−型ベースの組み合わせによって定義されるNPN電流ゲインと、前記p−型エミッタと前記n−型ベースおよび前記p−型ベースの組み合わせによって定義されるPNP電流ゲインとの乗算の値は、1未満であり、
前記1つ以上の絶縁ゲート電極が、前記p−型ベース領域の部分を反転させるために十分に正に駆動されている場合、前記トレンチの底部に誘導された電子の集合と前記p−型ベースおよび前記n−型ベースの組み合わせによって定義されるNPN電流ゲインと、前記p−型エミッタと前記n−型ベースおよび前記p−型ベースの組み合わせによって定義されるPNP電流ゲインとの乗算の値は、1を上回り、
それによって、前記1つ以上の絶縁ゲート電極が、前記p−ベース領域を反転させるために十分に正である場合、電流は、順方向バイアスが存在する場合、アノード端子からカソード端子に流動し、前記ゲート電極が、前記p−ベース領域を反転させるために十分に正ではない場合、前記アノード端子から前記カソード端子への電流は、停止し、
前記p−型ベース領域内のp−型ドーパント濃度と前記1つ以上の絶縁ゲート電極の前記p−型ベース領域内における深度および場所とは、前記ゲート電極が、前記電流に前記アノード端子から前記カソード端子に流動させるために十分に正に駆動されている場合、前記n−型エミッタ領域と前記n−型ベース領域との間の垂直または側方n−型反転チャネルが、前記p−型ベース領域内に生成されないようなものである、サイリスタ。
(項目8)
前記1つ以上の絶縁ゲート電極は、ドープされたポリシリコンから作製される、項目7に記載のサイリスタ。
(項目9)
前記ベース領域の各々は、シリコンから作製される、項目7に記載のサイリスタ。
(項目10)
前記ベース領域の一方は、エピタキシャル層であり、前記ベース領域の他方は、前記エピタキシャル層内に形成されている井戸領域である、項目7に記載のサイリスタ。
(項目11)
前記1つ以上の絶縁ゲート電極の上部は、前記トレンチの上部の下方にある、項目7に記載のサイリスタ。
(項目12)
前記トレンチの底部は、前記ベース領域間の接合部の1.5ミクロンを上回って上方にある、項目7に記載のサイリスタ。
(項目13)
前記ベース領域の各々は、シリコンから作製され、前記1つ以上の絶縁ゲート電極は、成長させられた二酸化ケイ素の層によって、前記ベース領域の各々から絶縁されている、項目7に記載のサイリスタ。
(項目14)
前記トレンチは、前記それぞれのベース領域の深度の40%を上回るが、80%未満下方まで延在する、項目7に記載のサイリスタ。
(項目15)
ゲート制御式サイリスタであって、
p−型ベース領域の上に位置している高濃度にドープされたn−型エミッタ領域であって、前記p−型ベース領域は、それ自体は、n−型ベース領域の上に位置し、前記n−型ベース領域は、順に、高濃度にドープされたp−型エミッタ領域の上に位置している、n−型エミッタ領域と、
前記p−型ベース領域内へと下方に延在するが、貫通しないゲートトレンチ内に位置する1つ以上の絶縁ゲート電極と
を備え、
前記サイリスタは、十分な正電圧が、前記1つ以上の絶縁ゲート電極に印加されていない限り、導電を持続させることができず、
前記n−型エミッタと前記p−型ベースおよび前記n−型ベースの組み合わせによって定義されるNPN電流ゲインと、前記p−型エミッタと前記n−型ベースおよび前記p−型ベースの組み合わせによって定義されるPNP電流ゲインとの乗算の値は、1未満であり、
前記1つ以上の絶縁ゲート電極が、前記p−型ベース領域の部分を反転させるために十分に正に駆動されている場合、前記トレンチの底部に誘導された電子の集合と前記p−型ベースおよび前記n−型ベースの組み合わせによって定義されるNPN電流ゲインと、前記p−型エミッタと前記n−型ベースおよび前記p−型ベースの組み合わせによって定義されるPNP電流ゲインとの乗算の値は、1を上回り、
それによって、前記1つ以上の絶縁ゲート電極が、前記p−ベース領域を反転させるために十分に正である場合、電流は、順方向バイアスが存在する場合、アノード端子からカソード端子に流動し、前記ゲート電極が、前記p−ベース領域を反転させるために十分に正ではない場合、前記アノード端子から前記カソード端子への電流は、停止し、
前記p−型ベース領域内のp−型ドーパント濃度と前記1つ以上の絶縁ゲート電極の前記p−型ベース領域内における深度および場所とは、前記ゲート電極が、前記電流に前記アノード端子から前記カソード端子に流動させるために十分に正に駆動されている場合、前記n−型エミッタ領域と前記n−型ベース領域との間の垂直または側方n−型反転チャネルが、前記p−型ベース領域内に生成されないようなものである、サイリスタ。
(項目16)
前記サイリスタは、十分な電圧が、前記1つ以上の絶縁ゲート電極に印加されていない限り、ラッチアップ状態になることができない、項目15に記載のサイリスタ。
(項目17)
前記サイリスタは、十分な正電圧が前記1つ以上の絶縁ゲート電極に印加されている場合、導電を持続させることができ、前記サイリスタは、電圧または負電圧が、前記1つ以上の絶縁ゲート電極に印加されていない場合、導電を持続させることができない、項目15に記載のサイリスタ。
(項目18)
前記1つ以上の絶縁ゲート電極は、ドープされたポリシリコンから作製される、項目15に記載のサイリスタ。
(項目19)
前記ベース領域の各々は、シリコンから作製される、項目15に記載のサイリスタ。
(項目20)
前記ベース領域の一方は、エピタキシャル層であり、前記ベース領域の他方は、前記エピタキシャル層内に形成されている井戸領域である、項目15に記載のサイリスタ。
(項目21)
前記1つ以上の絶縁ゲート電極の上部は、前記トレンチの上部の下方にある、項目15に記載のサイリスタ。
(項目22)
前記トレンチの底部は、前記ベース領域間の接合部の1.5ミクロンを上回って上方にある、項目15に記載のサイリスタ。
(項目23)
前記トレンチは、前記それぞれのベース領域の深度の40%を上回るが、80%未満下方まで延在する、項目7に記載のサイリスタ。
(項目24)
絶縁ゲート型三端子サイリスタであって、
第1の不純物濃度を有する第1の導電型の第1の半導体エミッタ領域と、
第2の不純物濃度を有し、前記第1の半導体エミッタ領域上に形成されている、前記第1の導電型と反対の第2の導電型の第1の半導体ベース領域と、
前記第1の不純物濃度未満の第3の不純物濃度を有し、前記第1の半導体ベース領域上に形成されている、前記第1の導電型の第2の半導体ベース領域と、
前記第2の不純物濃度を上回る第4の不純物濃度を有し、前記第2の半導体ベース領域上に形成されている、前記第2の導電型の第2の半導体エミッタ領域と、
前記第1の半導体ベース領域に到達せずに、前記第2の半導体エミッタ領域を通過し、前記第2の半導体ベース領域に進入する、トレンチ構造と、
前記トレンチ構造内に形成されている絶縁ゲート電極構造と
を備え、
前記トレンチ構造は、前記第2のベース半導体領域の上側部分を複数の領域に分割し、前記トレンチ構造は、概して、各分割された領域の全部ではないが一部の周囲に形成され、
前記第2の半導体エミッタ領域と前記第2の半導体ベース領域および前記第1の半導体ベース領域の組み合わせによって定義される第1のバイポーラトランジスタ電流ゲインと、前記第1の半導体エミッタ領域と前記第1の半導体ベース領域および前記第2の半導体ベース領域の組み合わせによって定義される第2のバイポーラトランジスタ電流ゲインとの乗算の値は、1未満であり、
前記1つ以上の絶縁ゲート電極が、前記第2の半導体ベース領域の部分を反転させるために十分に正に駆動されている場合、前記トレンチの底部に誘導された電子の集合と前記第2の半導体ベース領域および前記第1の半導体ベース領域の組み合わせによって定義される第1のバイポーラトランジスタ電流ゲインと、前記第1の半導体エミッタ領域と前記第1の半導体ベース領域および前記第2の半導体ベース領域の組み合わせによって定義される第2のバイポーラトランジスタ電流ゲインとの乗算の値は、1を上回り、
それによって、前記1つ以上の絶縁ゲート電極が、前記第2の半導体ベース領域を反転させるために十分に正である場合、電流は、順方向バイアスが存在する場合、前記第1の半導体エミッタ領域と前記第2の半導体エミッタ領域との間を流動し、前記ゲート電極が、前記第2の半導体ベース領域を反転させるために十分に正ではない場合、前記電流は、停止し、
前記第2の半導体ベース領域内のドーパント濃度ならびに前記第2の半導体ベース領域内における前記1つ以上の絶縁ゲート電極の深度および場所は、前記1つ以上の絶縁ゲート電極が、前記電流に前記第1の半導体エミッタ領域と前記第2の半導体エミッタ領域との間に流動させるために十分に正に駆動されている場合、前記第2の半導体エミッタ領域と前記第1の半導体ベース領域との間の垂直または側方反転チャネルが、前記第2の半導体ベース領域内に生成されないようなものである、絶縁ゲート型三端子サイリスタ。
(項目25)
前記絶縁ゲート電極構造および前記第2の半導体エミッタ領域を被覆して形成されている絶縁層と、前記絶縁層を通過し、複数の位置において、前記エミッタ部分に接触している電流端子電極と、前記絶縁層を通過し、前記絶縁ゲート電極構造の接触部分に接触しているゲートリード電極とをさらに備えている、項目24に記載の絶縁ゲート型三端子サイリスタ。
(項目26)
前記絶縁ゲート電極構造は、前記トレンチ構造の表面上に形成されている酸化ケイ素膜と、前記酸化ケイ素膜上に堆積さているポリシリコン膜と、前記ポリシリコン膜上に堆積されているシリサイド膜とを含む、項目24に記載の絶縁ゲート型三端子サイリスタ。
(項目27)
前記トレンチ構造は、前記第2の半導体ベース領域の厚さの30%を上回るが、90%未満をエッチングすることによって形成されている、項目24に記載の絶縁ゲート型三端子サイリスタ。
(項目28)
前記第1の導電型は、p−型であり、前記第2の導電型は、n−型である、項目24に記載の絶縁ゲート型三端子サイリスタ。
(項目29)
前記第1の半導体エミッタ領域は、高不純物濃度p−型シリコン基板であり、前記第1の半導体ベース領域は、低不純物濃度n−型シリコンエピタキシャル層であり、前記第2の半導体ベース領域は、イオン注入を通して、前記エピタキシャル層の表面層内に形成されているp−型領域であり、前記第2の半導体エミッタ領域は、イオン注入を通して、前記p−型領域の上側部分内に形成されている高不純物濃度n−型領域である、項目28に記載の絶縁ゲート型三端子サイリスタ。
(項目30)
前記第2の半導体ベース領域は、前記第1の半導体ベース領域内に形成されている井戸領域であり、前記サイリスタは、前記第1の半導体ベース領域内に形成され、前記井戸領域を囲む前記第1の導電型のガードリングをさらに備えている、項目24に記載の絶縁ゲート型三端子サイリスタ。
(項目31)
複数のトレンチ構造が形成され、前記絶縁ゲート電極構造は、各トレンチ構造内に形成されている、項目24に記載の絶縁ゲート型三端子サイリスタ。
(項目32)
前記第1のベース半導体領域および前記第2のベース半導体領域は、端子への直接電気接続を有していない、項目24に記載の絶縁ゲート型三端子サイリスタ。
(項目33)
前記第2の半導体エミッタ領域は、直接、前記第2の半導体ベース領域上に形成されている、項目24に記載の絶縁ゲート型三端子サイリスタ。
(項目34)
前記第1のベース半導体領域の分割された上側部分は、平面で見て、ストライプ形状部分を有し、前記ストライプ形状部分を囲む前記トレンチ構造は、ストライプ縦方向に沿った少なくとも一端において、共通接触陥凹を画定し、前記絶縁ゲート電極構造は、前記第1のベース半導体領域の上側位置におけるストライプ形状部分を囲むゲート電極部分と、前記共通接触陥凹内に形成されている接触部分とを含む、項目24に記載の絶縁ゲート型三端子サイリスタ。
(項目35)
定格電圧における制御可能バイポーラ導電のための半導体素子であって、
第2の導電型の第1の半導体ベース領域の上に位置する、第1の導電型の1つ以上の第1のエミッタ領域を含む活性面積であって、前記第1のベース領域の上側部分は、絶縁ゲート電極を含む1つ以上のトレンチによって部分的に貫通され、前記1つ以上のトレンチは、前記第1のベース領域のメサ部分を囲むかまたは部分的に囲む、活性面積と、
前記第1のベース領域の下に位置しているベース−ベース接合部であって、前記ベース−ベース接合部は、前記第1のベース領域のある厚さだけ、前記トレンチの底部から分離され、前記厚さは、前記素子がオフである場合、前記トレンチの底部の下方の前記第1のベース領域の一部が、完全に空乏化されず、前記定格電圧に耐えるように十分である、ベース−ベース接合部と、
前記ベース−ベース接合部によって前記第1のベース領域から分離されている前記第1の導電型の第2のベース領域と、前記第2の導電型の第2のエミッタ領域と、
前記第1および第2のエミッタ領域と前記ゲートとへの外部接続と
を備え、
前記ゲート電極が前記上側部分の隣接する部分を反転させる電位を有する場合、前記第2のエミッタ領域、前記第2のベース領域、前記第1のベース領域、および前記トレンチの底部近傍の誘導された第1の導電型のキャリアの集合、の組み合わせは、導電が開始すると、オン状態にラッチされたままであるための十分な二次キャリア発生を提供し、
前記第1のエミッタおよび前記第1のベース領域の組み合わせは、前記第2のエミッタおよび前記第2のベース領域の組み合わせと一緒に、前記誘導された集合が存在しない限り、導電が開始しても、オン状態にラッチされたままであるための十分な二次キャリア発生を提供せず、
前記第1のエミッタ領域と前記第1のベース領域および前記第2のベース領域の組み合わせによって定義される第1のバイポーラトランジスタ電流ゲインと、前記第2のエミッタ領域と前記第2のベース領域および前記第1のベース領域の組み合わせによって定義される第2のバイポーラトランジスタ電流ゲインとの乗算の値は、1未満であり、
前記ゲート電極が、前記第1のベース領域の部分を反転させるために十分に正に駆動されている場合、前記トレンチの底部に誘導された電子の集合と前記第1の半導体ベース領域および前記第2の半導体ベース領域の組み合わせによって定義される第1のバイポーラトランジスタ電流ゲインと、前記第2のエミッタ領域と前記第2のベース領域および前記第1のベース領域の組み合わせによって定義される第2のバイポーラトランジスタ電流ゲインとの乗算の値は、1を上回り、
それによって、前記ゲート電極が、前記第1のベース領域を反転させるために十分に正である場合、電流は、順方向バイアスが存在する場合、前記第1のエミッタ領域と前記第2のエミッタ領域との間を流動し、前記ゲート電極が、前記第1のベース領域を反転させるために十分に正でない場合、前記電流は、停止し、
前記第1のベース領域内のドーパント濃度と前記第1のベース領域内における前記ゲート電極の深度および場所とは、前記ゲート電極が、前記電流に前記第1のエミッタ領域と前記第2のエミッタ領域との間に流動させるために十分に正に駆動されている場合、前記第1のエミッタ領域と前記第2のベース領域との間の垂直または側方反転チャネルが、前記第1のベース領域内に生成されないようなものである、素子。
(項目36)
前記ゲート電極は、ドープされたポリシリコンから作製される、項目35に記載の素子。
(項目37)
前記ベース領域の各々は、シリコンから作製される、項目35に記載の素子。
(項目38)
前記ベース領域の一方は、エピタキシャル層であり、前記ベース領域の他方は、前記エピタキシャル層内に形成されている井戸領域である、項目35に記載の素子。
(項目39)
前記ゲート電極の上部は、前記トレンチの上部の下方にある、項目35に記載の素子。
(項目40)
前記トレンチの底部は、前記ベース領域間の接合部の1.5ミクロンを上回って上方にある、項目35に記載の素子。
(項目41)
前記ベース領域の各々は、シリコンから作製され、前記ゲート電極は、成長させられた二酸化ケイ素の層によって、前記ベース領域の各々から絶縁されている、項目35に記載の素子。
(項目42)
前記トレンチは、前記それぞれのベース領域の深度の40%を上回るが、80%未満下方まで延在する、項目35に記載の素子。
(項目43)
前記第1の導電型は、n−型である、項目35に記載の素子。
(項目44)
ソリッドステート切り替え方法であって、第2のエミッタ領域を覆う第2のベース領域を覆う第1のベース領域を覆う第1のエミッタ領域を有し、前記第1のベース領域の厚さの全部ではないが、一部に延在する、トレンチと、前記トレンチ内のゲート電極とを伴う構造内において、
導電が所望される場合、前記ゲート電極を、前記第1のベース領域の隣接する部分を反転させるために十分である第1の電圧に接続し、それによって、第1の導電型の移動可能な電荷キャリアの集合を前記トレンチの底部に生成することと、
導電が所望されない場合、前記ゲート電極を、前記トレンチ間の前記第1のベース領域の部分を通して、反転も空乏化も生じさせない第2の電圧に接続することと
を含み、
前記ゲートが前記第1の電圧に接続されている場合、正味往復キャリア増倍が、前記集合と前記第2のエミッタ領域との間に生じ、前記ゲートが前記第2の電圧に接続されている場合、前記正味往復キャリア増倍は、生じず、
前記第1のエミッタ領域と前記第1のベース領域および前記第2のベース領域の組み合わせによって定義される第1のバイポーラトランジスタ電流ゲインと、前記第2のエミッタ領域と前記第2のベース領域および前記第1のベース領域の組み合わせによって定義される第2のバイポーラトランジスタ電流ゲインとの乗算の値は、1未満であり、
前記ゲート電極が、前記第1のベース領域の部分を反転させるために十分に正に駆動されている場合、前記トレンチの底部に誘導された電子の集合と前記第1の半導体ベース領域および前記第2の半導体ベース領域の組み合わせによって定義される第1のバイポーラトランジスタ電流ゲインと、前記第2のエミッタ領域と前記第2のベース領域および前記第1のベース領域の組み合わせによって定義される第2のバイポーラトランジスタ電流ゲインとの乗算の値は、1を上回り、
それによって、前記ゲート電極が、前記第1のベース領域を反転させるために十分に正である場合、電流は、順方向バイアスが存在する場合、前記第1のエミッタ領域と前記第2のエミッタ領域との間を流動し、前記ゲート電極が、前記第1のベース領域を反転させるために十分に正でない場合、前記電流は、停止し、
前記第1のベース領域内のドーパント濃度と前記第1のベース領域内における前記ゲート電極の深度および場所とは、前記ゲート電極が、前記電流に前記第1のエミッタ領域と前記第2のエミッタ領域との間に流動させるために十分に正に駆動されている場合、前記第1のエミッタ領域と前記第2のベース領域との間の垂直または側方反転チャネルが、前記第1のベース領域内に生成されないようなものである、方法。
(項目45)
前記ゲート電極は、ドープされたポリシリコンから作製される、項目44に記載の方法。
(項目46)
前記ベース領域の各々は、シリコンから作製される、項目44に記載の方法。
(項目47)
前記ベース領域の一方は、エピタキシャル層であり、前記ベース領域の他方は、前記エピタキシャル層内に形成されている井戸領域である、項目44に記載の方法。
(項目48)
前記ゲート電極の上部は、前記トレンチの上部の下方にある、項目44に記載の方法。
(項目49)
前記トレンチの底部は、前記ベース領域間の接合部の1.5ミクロンを上回って上方にある、項目44に記載の方法。
(項目50)
前記トレンチは、前記それぞれのベース領域の深度の40%を上回るが、80%未満下方まで延在する、項目44に記載の方法。
(項目51)
前記第1の導電型は、n−型である、項目44に記載の方法。
βNPNβPNP>1
素子は、トリガされると、ラッチするであろうが、以下である場合、
βNPNβPNP<1
素子は、既にオンにされている場合でも、導電を持続させないであろう。
βNPN−wide<1/βPNP
βNPN−narrow>1/βPNP
当業者によって認識されるであろうように、本願に記載される革新的な概念は、膨大な範囲の用途にわたって変更および変形を加えることが可能であり、したがって、特許される主題の範囲は、所与の特定の例示的な教示のいずれによっても限定されない。添付の特許請求の範囲の趣旨およびその広い範囲に含まれる全ての代替、変更、および変形を包含するものとする。
(項目A1)
ゲート制御式サイリスタであって、
p−型ベース領域の上に位置しているn−型エミッタ領域であって、前記p−型ベース領域は、それ自体は、n−型ベース領域の上に位置し、前記n−型ベース領域は、順に、高濃度にドープされたp−型エミッタ領域の上に位置している、n−型エミッタ領域と、
ゲートトレンチ内に位置する1つ以上の絶縁ゲート電極であって、前記ゲートトレンチは、前記p−型ベース領域内に下方に延在するが、前記p−型ベース領域を貫通しない、1つ以上の絶縁ゲート電極と、
を備え、
前記n−型エミッタと前記p−型ベースおよび前記n−型ベースの組み合わせによって定義されるNPN電流ゲインと、前記p−型エミッタと前記n−型ベースおよび前記p−型ベースの組み合わせによって定義されるPNP電流ゲインとの乗算の値は、1未満であり、
前記ゲート電極が、前記p−型ベース領域の部分を反転させるために十分に正に駆動されている場合、前記トレンチの底部に誘導された電子の集合と前記p−型ベースおよび前記n−型ベースの組み合わせによって定義されるNPN電流ゲインと、前記p−型エミッタと前記n−型ベースおよび前記p−型ベースの組み合わせによって定義されるPNP電流ゲインとの乗算の値は、1を上回り、
それによって、前記ゲート電極が、前記p−ベース領域を反転させるために十分に正である場合、電流は、順方向バイアスのもとで、前記アノードから前記カソード端子に流動し、前記ゲート電極が、前記p−ベース領域を反転させるために十分に正ではない場合、前記アノードから前記カソードへの電流は、中断されるであろう、
サイリスタ。
(項目A2)
前記ゲート電極は、ドープされたポリシリコンから作製される、項目A1に記載のサイリスタ。
(項目A3)
前記ベース領域の各々は、シリコンから作製される、項目A1に記載のサイリスタ。
(項目A4)
前記ベース領域の一方は、エピタキシャル層であり、前記ベース領域の他方は、前記エピタキシャル層内に形成される井戸領域である、項目A1に記載のサイリスタ。
(項目A5)
前記ゲート電極の上部は、前記トレンチの上部の下方にある、項目A1に記載のサイリスタ。
(項目A6)
前記ベース領域の各々は、シリコンから作製され、前記ゲート電極は、成長させられた二酸化ケイ素の層によって、前記ベース領域の各々から絶縁されている、項目A1に記載のサイリスタ。
(項目A7)
ゲート制御式サイリスタであって、
p−型ベース領域の上に位置している高濃度にドープされたn−型エミッタ領域であって、前記p−型ベース領域は、それ自体は、n−型ベース領域の上に位置し、前記n−型ベース領域は、順に、高濃度にドープされたp−型エミッタ領域の上に位置している、n−型エミッタ領域と、
前記p−型ベース領域の深度の10%を上回るが、90%未満下方まで延在するゲートトレンチ内に位置する1つ以上の絶縁ゲート電極と
を備え、
前記ゲート電極が、前記p−型ベース領域の部分を反転させるために十分に正に駆動されている場合、前記トレンチの底部に誘導された電子の集合と前記p−型ベースおよび前記n−型ベースの組み合わせによって定義されるNPN電流ゲインと、前記p−型エミッタと前記n−型ベースおよび前記p−型ベースの組み合わせによって定義されるPNP電流ゲインとの乗算の値は、1を上回り、
それによって、前記ゲート電極が、前記p−ベース領域を反転させるために十分に正である場合、電流は、順方向バイアスが存在する場合、前記アノードから前記カソード端子に流動し、前記ゲート電極が、前記p−ベース領域を反転させるために十分に正ではない場合、前記アノードから前記カソードへの電流は、停止するであろう、
サイリスタ。
(項目A8)
前記ゲート電極は、ドープされたポリシリコンから作製される、項目A7に記載のサイリスタ。
(項目A9)
前記ベース領域の各々は、シリコンから作製される、項目A7に記載のサイリスタ。
(項目A10)
前記ベース領域の一方は、エピタキシャル層であり、前記ベース領域の他方は、前記エピタキシャル層内に形成される井戸領域である、項目A7に記載のサイリスタ。
(項目A11)
前記ゲート電極の上部は、前記トレンチの上部の下方にある、項目A7に記載のサイリスタ。
(項目A12)
前記トレンチの底部は、前記ベース領域間の接合部の1.5ミクロンを上回って上方にある、項目A7に記載のサイリスタ。
(項目A13)
前記ベース領域の各々は、シリコンから作製され、前記ゲート電極は、成長させられた二酸化ケイ素の層によって、前記ベース領域の各々から絶縁されている、項目A7に記載のサイリスタ。
(項目A14)
前記トレンチは、前記それぞれのベース領域の深度の40%を上回るが、80%未満下方まで延在する、項目A7に記載のサイリスタ。
(項目A15)
ゲート制御式サイリスタであって、
p−型ベース領域の上に位置している高濃度にドープされたn−型エミッタ領域であって、前記p−型ベース領域は、それ自体は、n−型ベース領域の上に位置し、前記n−型ベース領域は、順に、高濃度にドープされたp−型エミッタ領域の上に位置している、n−型エミッタ領域と、
前記p−型ベース領域内に下方に延在するが、貫通しないゲートトレンチ内に位置する1つ以上の絶縁ゲート電極と
を備え、前記サイリスタは、十分な正電圧が、前記ゲート電極に印加されていない限り、導電を持続させることができない、サイリスタ。
(項目A16)
前記サイリスタは、十分な電圧が、前記ゲート電極に印加されていない限り、ラッチアップ状態になることができない、項目A15に記載のサイリスタ。
(項目A17)
前記サイリスタは、十分な正電圧が、前記ゲート電極に印加されている場合、導電を持続させることができ、前記サイリスタは、前記ゲート電極に電圧が印加されていない場合、または負電圧が印加されている場合、導電を持続させることができない、項目A15に記載のサイリスタ。
(項目A18)
前記ゲート電極は、ドープされたポリシリコンから作製される、項目A15に記載のサイリスタ。
(項目A19)
前記ベース領域の各々は、シリコンから作製される、項目A15に記載のサイリスタ。
(項目A20)
前記ベース領域の一方は、エピタキシャル層であり、前記ベース領域の他方は、前記エピタキシャル層内に形成される井戸領域である、項目A15に記載のサイリスタ。
(項目A21)
前記ゲート電極の上部は、前記トレンチの上部の下方にある、項目A15に記載のサイリスタ。
(項目A22)
前記トレンチの底部は、前記ベース領域間の接合部の1.5ミクロンを上回って上方にある、項目A15に記載のサイリスタ。
(項目A23)
前記トレンチは、前記それぞれのベース領域の深度の40%を上回るが、80%未満下方まで延在する、項目A7に記載のサイリスタ。
(項目A24)
絶縁ゲート型三端子サイリスタであって、
第1の不純物濃度を有する第1の導電型の第1の半導体エミッタ領域と、
第2の不純物濃度を有し、前記第1の電流端子半導体領域上に形成されている、前記第1の導電型と反対の第2の導電型の第1の半導体ベース領域と、
前記第1の不純物濃度未満の第3の不純物濃度を有し、前記第1の半導体ベース領域上に形成されている、前記第1の導電型の第2の半導体ベース領域と、
前記第2の不純物濃度を上回る第4の不純物濃度を有し、前記第2の半導体ベース領域上に形成されている、前記第2の導電型の第2の半導体エミッタ領域と、
前記第1の半導体エミッタ領域を通過し、前記第1の半導体ベース領域に進入するトレンチ構造であって、前記トレンチ構造は、前記第2の半導体ベース領域に到達しない、トレンチ構造と、
前記トレンチ構造内に形成されている絶縁ゲート電極構造と
を備え、前記トレンチ構造は、前記第1のベース半導体領域の上側部分を複数の領域に分割し、前記トレンチ構造は、概して、各分割された領域の全部ではないが一部の周囲に形成されている、絶縁ゲート型三端子サイリスタ。
(項目A25)
前記絶縁ゲート電極構造および前記第2の電流端子半導体領域を被覆して形成されている絶縁層と、前記絶縁層を通過し、複数の位置において、前記エミッタ部分に接触している電流端子電極と、前記絶縁層を通過し、前記絶縁ゲート電極構造の接触部分に接触しているゲートリード電極とをさらに備えている、項目A24に記載の絶縁ゲート型三端子サイリスタ。
(項目A26)
前記絶縁ゲート電極構造は、前記トレンチ構造の表面上に形成されている酸化ケイ素膜と、前記酸化ケイ素膜上に堆積さているポリシリコン膜と、前記ポリシリコン膜上に堆積されているシリサイド膜とを含む、項目A24に記載の絶縁ゲート型三端子サイリスタ。
(項目A27)
前記トレンチ構造は、前記第1の半導体ベース領域の厚さの30%を上回るが、90%未満をエッチングすることによって形成されている、項目A24に記載の絶縁ゲート型三端子サイリスタ。
(項目A28)
前記第1の導電型は、p−型であり、前記第2の導電型は、n−型である、項目A24に記載の絶縁ゲート型三端子サイリスタ。
(項目A29)
前記第1の電流端子半導体領域は、高不純物濃度p−型シリコン基板であり、前記第2の半導体ベース領域は、低不純物濃度n−型シリコンエピタキシャル層であり、前記第1の半導体ベース領域は、イオン注入を通して、前記エピタキシャル層の表面層内に形成されているp−型領域であり、前記第2の電流端子半導体領域は、イオン注入を通して、前記p−型領域の上側部分内に形成されている高不純物濃度n−型領域である、項目A28に記載の絶縁ゲート型三端子サイリスタ。
(項目A30)
前記第1の半導体ベース領域は、前記第2の半導体ベース領域内に形成されている井戸領域であり、前記第2の半導体ベース領域内に形成され、前記サイリスタは、前記井戸領域を囲む前記第1の導電型のガードリングをさらに備えている、項目A24に記載の絶縁ゲート型三端子サイリスタ。
(項目A31)
複数のトレンチ構造が形成され、前記絶縁ゲート電極構造は、各トレンチ構造内に形成されている、項目A24に記載の絶縁ゲート型三端子サイリスタ。
(項目A32)
前記第1のベース半導体領域および前記第2のベース半導体領域は、端子への直接電気接続を有していない、項目A24に記載の絶縁ゲート型三端子サイリスタ。
(項目A33)
前記第2の電流端子半導体領域は、直接、前記第1のベース半導体領域上に形成されている、項目A24に記載の絶縁ゲート型三端子サイリスタ。
(項目A34)
前記第1のベース半導体領域の前記分割された上側部分は、平面で見て、ストライプ形状部分を有し、前記ストライプ形状部分を囲む前記トレンチ構造は、ストライプ縦方向に沿った少なくとも一端において、共通接触陥凹を画定し、前記絶縁ゲート電極構造は、前記第1のベース半導体領域の上側位置において前記ストライプ形状部分を囲むゲート電極部分と、前記共通接触陥凹内に形成されている接触部分とを含む、項目A24に記載の絶縁ゲート型三端子サイリスタ。
(項目A35)
定格電圧における制御可能バイポーラ導電のための半導体素子であって、
第2の導電型の第1の半導体ベース領域の上に位置する、第1の導電型の1つ以上の第1のエミッタ領域を含む活性面積であって、前記第1のベース領域の上側部分は、絶縁ゲート電極を含む1つ以上のトレンチによって部分的に貫通され、前記1つ以上のトレンチは、前記第1のベース領域のメサ部分を囲むかまたは部分的に囲む、活性面積と、
前記第1のベース領域の下に位置しているベース−ベース接合部であって、前記ベース−ベース接合部は、前記第1のベース領域のある厚さだけ、前記トレンチの底部から分離され、前記厚さは、前記素子がオフである場合、前記トレンチの底部の下方の前記第1のベース領域の一部が、完全に空乏化されず、前記定格電圧に耐えるように十分である、ベース−ベース接合部と、
前記ベース−ベース接合部によって前記第1のベース領域から分離されている前記第1の導電型の第2のベース領域と、前記第2の導電型の第2のエミッタ領域と、
前記第1および第2のエミッタ領域と前記ゲートとへの外部接続と
を備え、
前記ゲート電極が前記上側部分の隣接する部分を反転させる電位を有する場合、前記第2のエミッタ領域、前記第2のベース領域、前記第1のベース領域、および前記トレンチの底部近傍の誘導された第1の導電型のキャリアの集合、の組み合わせは、導電が開始すると、オン状態にラッチされたままであるための十分な二次キャリア発生を提供し、
前記第1のエミッタおよび前記第1のベース領域の組み合わせは、前記第2のエミッタおよび前記第2のベース領域の組み合わせと一緒に、前記誘導された集合が存在しない限り、導電が開始しても、オン状態にラッチされたままであるための十分な二次キャリア発生を提供しない、素子。
(項目A36)
前記ゲート電極は、ドープされたポリシリコンから作製される、項目A35に記載の素子。
(項目A37)
前記ベース領域の各々は、シリコンから作製される、項目A35に記載の素子。
(項目A38)
前記ベース領域の一方は、エピタキシャル層であり、前記ベース領域の他方は、前記エピタキシャル層内に形成されている井戸領域である、項目A35に記載の素子。
(項目A39)
前記ゲート電極の上部は、前記トレンチの上部の下方にある、項目A35に記載の素子。
(項目A40)
前記トレンチの底部は、前記ベース領域間の接合部の1.5ミクロンを上回って上方にある、項目A35に記載の素子。
(項目A41)
前記ベース領域の各々は、シリコンから作製され、前記ゲート電極は、成長させられた二酸化ケイ素の層によって、前記ベース領域の各々から絶縁されている、項目A35に記載の素子。
(項目A42)
前記トレンチは、前記それぞれのベース領域の深度の40%を上回るが、80%未満下方まで延在する、項目A35に記載の素子。
(項目A43)
前記第1の導電型は、n−型である、項目A35に記載の素子。
(項目A44)
バイポーラ導電を伴う、半導体活性素子であって、
過剰な第1の型の電荷キャリアを含む第1の半導体領域と、過剰な第2の型の電荷キャリアを含む第2の半導体領域と、
前記第1の領域への第1のpn−接合部および前記第2の領域への第2のpn−接合部であって、前記第1および第2のpn−接合部は、同一の配向を有する、第1および第2のpn−接合部と、
前記第1のpn−接合部と前記第2のpn−接合部とを分離し、前記第1および第2のpn−接合部のそれと反対の配向を有する第3のpn−接合部と、
第3の半導体領域であって、
前記第3の半導体領域は、前記第1の場所に切り替え可能に接続され、
前記第3の半導体領域は、前記第1の領域より前記第3のpn−接合部に近接し、
前記第3の半導体領域は、前記第1の場所に接続されている場合、過剰な第1の型の電荷キャリアを提供し、
前記第3の領域が、前記第1の領域に接続されていない場合、前記第1、第2、および第3の接合部の組み合わせは、前記第3の接合部を横断する導電を持続させるためにラッチせず、前記第3の領域が、前記第1の領域に接続されている場合、前記第1、第2、および第3の接合部の組み合わせは、少なくともある状況のもとで、前記第3の接合部を横断する導電を持続させるようにラッチするであろう、第3の半導体領域と
を備えている、素子。
(項目A45)
ソリッドステート切り替え方法であって、第2のエミッタ領域を覆う第2のベース領域を覆う第1のベース領域を覆う第1のエミッタ領域を有し、前記第1のベース領域の厚さの全部ではないが一部内に延在するトレンチ在と、前記トレンチ内のゲート電極とを伴う構造内において、
導電が所望される場合、前記ゲート電極を、前記第1のベース領域の隣接する部分を反転させるために十分である第1の電圧に接続し、それによって、第1の導電型の移動可能な電荷キャリアの集合を前記トレンチの底部に生成すことと、
導電が所望されない場合、前記ゲート電極を、前記トレンチ間の前記第1のベース領域の部分を通して、反転も空乏化も生じさせない第2の電圧に接続することと
を含み、
前記ゲートが前記第1の電圧に接続されている場合、正味往復キャリア増倍が前記集合と前記第2のエミッタ領域との間で生じ、前記ゲートが前記第2の電圧に接続されている場合、前記正味往復キャリア増倍が生じない、方法。
(項目A46)
前記ゲート電極は、ドープされたポリシリコンから作製される、項目A45に記載の方法。
(項目A47)
前記ベース領域の各々は、シリコンから作製される、項目A45に記載の方法。
(項目A48)
前記ベース領域の一方は、エピタキシャル層であり、前記ベース領域の他方は、前記エピタキシャル層内に形成されている井戸領域である、項目A45に記載の方法。
(項目A49)
前記ゲート電極の上部は、前記トレンチの上部の下方にある、項目A45に記載の方法。
(項目A50)
前記トレンチの底部は、前記ベース領域間の接合部の1.5ミクロンを上回って上方にある、項目A45に記載の方法。
(項目A51)
前記トレンチは、前記それぞれのベース領域の深度の40%を上回るが、80%未満下方まで延在する、項目A45に記載の方法。
(項目A52)
前記第1の導電型は、n−型である、項目A45に記載の方法。
(項目A53)
サイリスタ素子を動作させる方法であって、
導電が所望される場合、電界効果トランジスタをオンにし、前記サイリスタの一方のバイポーラトランジスタ構成要素のベース幅を低減させることと、
遮断が所望される場合、前記バイポーラトランジスタの前記ベース領域を通る導電をピンチオフせずに、前記電界効果トランジスタをオフにすることと
を含む、方法。
(項目A54)
前記トランジスタは、絶縁ゲートトレンチトランジスタである、項目A53に記載の方法。
(項目A55)
前記一方のバイポーラトランジスタ構成要素は、NPN構造である、項目A53に記載の方法。
(項目A56)
前記電界効果トランジスタがオンにされている場合、前記ベース幅は、30%を上回るが、90%未満だけ、低減される、項目A53に記載の方法。
(項目A57)
前記電界効果トランジスタは、n−チャネル素子である、項目A53に記載の方法。
(項目A58)
少なくとも3つの連続して直列に対向される接合部を有する高電力半導体素子を動作させる方法であって、
導電が所望される場合、電界効果トランジスタをオンにし、前記接合部の2つ間の有効間隔を低減させることと、
遮断が所望される場合、前記素子のメサ部分を通る導電をピンチオフせずに、前記電界効果トランジスタをオフにすることと
を含む、方法。
(項目A59)
前記トランジスタは、絶縁ゲートトレンチトランジスタである、項目A58に記載の方法。
(項目A60)
前記接合部の前記2つは、p−型半導体材料によって分離されている、項目A58に記載の方法。
(項目A61)
前記電界効果トランジスタがオンにされている場合、前記接合部の前記2つ間の有効間隔は、30%を上回るが、90%未満だけ、低減される、項目A58に記載の方法。
(項目A62)
前記電界効果トランジスタは、n−チャネル素子である、項目A58に記載の方法。
Claims (14)
- ゲート制御式サイリスタであって、
p−型ベース領域の上に位置しているn−型エミッタ領域であって、前記p−型ベース領域は、それ自体は、n−型ベース領域の上に位置し、前記n−型ベース領域は、高濃度にドープされたp−型エミッタ領域の上に位置している、n−型エミッタ領域と、
前記p−型ベース領域内へと下方に延在するが、貫通しないゲートトレンチ内に位置する1つ以上の絶縁ゲート電極と
を備え、
前記1つ以上の絶縁ゲート電極が、前記サイリスタをオンにするために十分に正に駆動されていない場合、前記n−型エミッタと前記p−型ベースおよび前記n−型ベースとの組み合わせによって定義されるNPN電流ゲインと、前記p−型エミッタと前記n−型ベースおよび前記p−型ベースとの組み合わせによって定義されるPNP電流ゲインとの乗算の値は、1未満であり、
前記1つ以上の絶縁ゲート電極が、前記p−型ベース領域の部分を反転させるために十分に正に駆動されている場合、前記トレンチの底部に誘導された電子の集合と前記p−型ベースおよび前記n−型ベースとの組み合わせによって定義されるNPN電流ゲインと、前記p−型エミッタと前記n−型ベースおよび前記p−型ベースとの組み合わせによって定義されるPNP電流ゲインとの乗算の値は、1を上回り、
それによって、前記ゲート電極が、前記p−ベース領域を反転させるために十分に正である場合、電流は、順方向バイアスのもとで、アノード端子からカソード端子に流動し、前記1つ以上の絶縁ゲート電極が、前記p−ベース領域を反転させるために十分に正ではない場合、前記アノード端子から前記カソード端子への電流は、中断され、
前記p−型ベース領域内のp−型ドーパント濃度と前記1つ以上の絶縁ゲート電極の前記p−型ベース領域内における深度および場所とは、前記1つ以上の絶縁ゲート電極が、前記電流に前記アノード端子から前記カソード端子に流動させるために十分に正に駆動されている場合、前記n−型エミッタ領域と前記n−型ベース領域との間の垂直または側方n−型反転チャネルが、前記p−型ベース領域内に生成されないようなものである、サイリスタ。 - 前記1つ以上の絶縁ゲート電極は、ドープされたポリシリコンから作製される、請求項1に記載のサイリスタ。
- 前記ベース領域の各々は、シリコンから作製される、請求項1に記載のサイリスタ。
- 前記ベース領域の一方は、エピタキシャル層であり、前記ベース領域の他方は、前記エピタキシャル層内に形成されている井戸領域である、請求項1に記載のサイリスタ。
- 前記1つ以上の絶縁ゲート電極の上部は、前記トレンチの上部の下方にある、請求項1に記載のサイリスタ。
- 前記ベース領域の各々は、シリコンから作製され、前記1つ以上の絶縁ゲート電極は、成長させられた二酸化ケイ素の層によって、前記ベース領域の各々から絶縁されている、請求項1に記載のサイリスタ。
- ソリッドステート切り替え方法であって、第2のエミッタ領域を覆う第2のベース領域を覆う第1のベース領域を覆う第1のエミッタ領域を有し、前記第1のベース領域の厚さの全部ではないが、一部に延在する、トレンチと、前記トレンチ内のゲート電極とを伴う構造内において、
導電が所望される場合、前記ゲート電極を、前記第1のベース領域の隣接する部分を反転させるために十分である第1の電圧に接続し、それによって、第1の導電型の移動可能な電荷キャリアの集合を前記トレンチの底部に生成することと、
導電が所望されない場合、前記ゲート電極を、前記トレンチ間の前記第1のベース領域の部分を通して、反転も空乏化も生じさせない第2の電圧に接続することと
を含み、
前記ゲート電極が前記第1の電圧に接続されている場合、正味往復キャリア増倍が、前記集合と前記第2のエミッタ領域との間に生じ、前記ゲート電極が前記第2の電圧に接続されている場合、前記正味往復キャリア増倍は、生じず、
前記ゲート電極が、前記構造をオンにするために十分に正に駆動されていない場合、前記第1のエミッタ領域と前記第1のベース領域および前記第2のベース領域との組み合わせによって定義される第1のバイポーラトランジスタ電流ゲインと、前記第2のエミッタ領域と前記第2のベース領域および前記第1のベース領域との組み合わせによって定義される第2のバイポーラトランジスタ電流ゲインとの乗算の値は、1未満であり、
前記ゲート電極が、前記第1のベース領域の部分を反転させるために十分に正に駆動されている場合、前記トレンチの底部に誘導された電子の集合と前記第1の半導体ベース領域および前記第2の半導体ベース領域との組み合わせによって定義される第1のバイポーラトランジスタ電流ゲインと、前記第2のエミッタ領域と前記第2のベース領域および前記第1のベース領域との組み合わせによって定義される第2のバイポーラトランジスタ電流ゲインとの乗算の値は、1を上回り、
それによって、前記ゲート電極が、前記第1のベース領域を反転させるために十分に正である場合、電流は、順方向バイアスが存在する場合、前記第1のエミッタ領域と前記第2のエミッタ領域との間を流動し、前記ゲート電極が、前記第1のベース領域を反転させるために十分に正でない場合、前記電流は、停止し、
前記第1のベース領域内のドーパント濃度と前記第1のベース領域内における前記ゲート電極の深度および場所とは、前記ゲート電極が、前記電流に前記第1のエミッタ領域と前記第2のエミッタ領域との間に流動させるために十分に正に駆動されている場合、前記第1のエミッタ領域と前記第2のベース領域との間の垂直または側方反転チャネルが、前記第1のベース領域内に生成されないようなものである、方法。 - 前記ゲート電極は、ドープされたポリシリコンから作製される、請求項7に記載の方法。
- 前記ベース領域の各々は、シリコンから作製される、請求項7に記載の方法。
- 前記ベース領域の一方は、エピタキシャル層であり、前記ベース領域の他方は、前記エピタキシャル層内に形成されている井戸領域である、請求項7に記載の方法。
- 前記ゲート電極の上部は、前記トレンチの上部の下方にある、請求項7に記載の方法。
- 前記トレンチの底部は、前記ベース領域間の接合部の1.5ミクロンを上回って上方にある、請求項7に記載の方法。
- 前記トレンチは、前記それぞれのベース領域の深度の40%を上回るが、80%未満下方まで延在する、請求項7に記載の方法。
- 前記第1の導電型は、n−型である、請求項7に記載の方法。
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