JP5799354B2 - Ga2O3系半導体素子 - Google Patents
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Description
図1は、参考発明の第1の実施の形態に係る発光素子を示す。この発光素子1は、β−Ga2O3化合物半導体からなるn型β−Ga2O3基板2に、β−AlGaO3化合物半導体からなるn型導電性を示すn型β−AlGaO3クラッド層4、β−Ga2O3からなる活性層5、p型導電性を示すp型β−AlGaO3クラッド層6、およびβ−Ga2O3化合物半導体からなるp型導電性を示すp型β−Ga2O3コンタクト層7を順次積層したものである。
図2は、参考発明の第2の実施の形態に係る発光素子を示す図である。この発光素子1は、第1の実施の形態に係る発光素子1とは、n側電極20のみが相違する。この発光素子1のn側電極20は、n型β−Ga2O3基板4の下面に、Ti層21を形成し、その下方にAu層22を形成したものである。Au層22の代わりにPt層であってもよい。
図3は、参考発明の第3の実施の形態に係る発光素子の要部を示す。この発光素子1は、第1の実施の形態に係る発光素子1とは、n側電極20のみが相違する。この発光素子1のn側電極20は、n型β−Ga2O3基板2の下面にTi層21、Al層23およびAu層22を順次積層したものである。
図4は、参考発明の第4の実施の形態に係る発光素子の要部を示す。この発光素子1は、第1の実施の形態に係る発光素子1とは、n側電極20のみが相違する。この発光素子1のn側電極20は、n型β−Ga2O3基板2の下面にTi層21、Al層23、Ni層24およびAu層22を順次積層したものである。
(参考例1)
(参考例2)
(参考例3)
(参考例4)
(参考例5)
(実施例1)
(実施例2)
2 基板
4 n型β−AlGaO3クラッド層
5 活性層
6 p型β−AlGaO3クラッド層
7 p型β−Ga2O3コンタクト層
8 透明電極
9 パッド電極
10,12 接合部
11,13 ワイヤ
20 n側電極
21 Ti層
22 Au層
23 Al層
24 Ni層
30 プリント基板
31 接着剤
40 出射光
41 発光光
Claims (1)
- n型導電性を有するβ−Ga2O3化合物半導体からなるn型基板と、
前記n型基板上に形成された、少なくとも25℃においてショットキー特性
を有する電極とを備え、
前記電極は、Au、Pt、あるいはNi及びAuの積層体のいずれかによって構成されることを特徴とするGa2O3系半導体素子。
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