JP5799147B2 - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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Description
2 一次電子ビーム
3 収束レンズ
4 X方向非点補正器
5 Y方向非点補正器
6 上段偏向器
7 下段偏向器
8 対物レンズ
9 試料
10 検出器
11 高電圧制御回路
12 集束レンズ制御回路
13 X方向非点補正器制御回路
14 Y方向非点補正器制御回路
15 偏向器制御回路
16 対物レンズ制御回路
17 検出信号制御回路
18 画像表示装置
19 コンピュータ
20 手動操作盤
21 記憶装置
22 メモリー
31 フォーカス調整つまみ
32 X方向非点補正条件調整つまみ
33 Y方向非点補正条件調整つまみ
50 練習用GUI
51 練習用画像表示部
52 採点ボタン
53 採点用GUI
54 合否表示部
55 調整終了画像表示部
56 理想画像表示部
57 戻るボタン
58 終了ボタン
61 初期パラメータセット
62 フォーカス調整経路
63 X方向非点調整経路
64 Y方向非点調整経路
65 最適パラメータセット
81 フォーカス条件調整の練習用画像準備領域
82 X方向非点補正条件調整の練習用画像準備領域
83 Y方向非点補正条件調整の練習用画像準備領域
Claims (8)
- 試料上に荷電粒子線を集束させる対物レンズと、
X方向の非点を調整するX方向非点補正器と、
Y方向の非点を調整するY方向非点補正器と、
前記対物レンズのフォーカス条件、並びに前記X方向非点補正器のX方向非点補正条件、及び前記Y方向非点補正器のY方向非点補正条件を制御する制御部と、
ユーザの操作に応じて前記フォーカス条件、並びに前記X方向非点補正条件、及び前記Y方向非点補正条件を設定する操作部と、を備える荷電粒子線装置において、
フォーカス条件、X方向非点補正条件及びY方向非点補正条件の調整手順が限定されている、フォーカス調整及び非点調整の練習機能を備えることを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
練習モードにおいてフォーカス調整を第一に実施することを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
練習モードにおけるフォーカス調整中はX方向及びY方向の非点補正条件が初期状態のまま固定されることを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
練習モードにおけるフォーカス条件が最適値になっていない場合には、ユーザに再度の調整を促す評価部を備えることを特徴とする荷電粒子線装置。
- フォーカス調整及び非点調整の練習機能を備えるコンピュータにおいて、
ユーザの操作に応じてフォーカス条件、並びにX方向非点補正条件、及びY方向非点補正条件を設定する操作部を備え、
フォーカス条件、X方向非点補正条件及びY方向非点補正条件の調整手順が限定されている、フォーカス調整及び非点調整の練習機能を備えることを特徴とするコンピュータ。
- 請求項5に記載のコンピュータにおいて、
練習モードにおいてフォーカス調整を第一に実施することを特徴とするコンピュータ。
- 請求項5に記載のコンピュータにおいて、
練習モードにおけるフォーカス調整中はX方向及びY方向の非点補正条件が初期状態のまま固定されることを特徴とするコンピュータ。
- 請求項5に記載のコンピュータにおいて、
練習モードにおけるフォーカス条件が最適値になっていない場合には、ユーザに再度の調整を促す評価部を備えることを特徴とするコンピュータ。
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JP2014162024A JP5799147B2 (ja) | 2014-08-08 | 2014-08-08 | 荷電粒子線装置 |
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JP2013219733A Division JP5597295B2 (ja) | 2013-10-23 | 2013-10-23 | 荷電粒子線装置 |
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JP2014239063A JP2014239063A (ja) | 2014-12-18 |
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Family Cites Families (2)
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DE102006038211A1 (de) * | 2006-08-16 | 2008-02-21 | Forschungszentrum Jülich GmbH | Verfahren und Elektronenmikroskop zur Messung der Ähnlichkeit zweidimensionaler Bilder |
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2014
- 2014-08-08 JP JP2014162024A patent/JP5799147B2/ja active Active
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