JP5401521B2 - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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Landscapes
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Description
2 一次電子ビーム
3 収束レンズ
4 X方向非点補正器
5 Y方向非点補正器
6 上段偏向器
7 下段偏向器
8 対物レンズ
9 試料
10 検出器
11 高電圧制御回路
12 集束レンズ制御回路
13 X方向非点補正器制御回路
14 Y方向非点補正器制御回路
15 偏向器制御回路
16 対物レンズ制御回路
17 検出信号制御回路
18 画像表示装置
19 コンピュータ
20 手動操作盤
21 記憶装置
22 メモリー
31 フォーカス調整つまみ
32 X方向非点補正条件調整つまみ
33 Y方向非点補正条件調整つまみ
50 練習用GUI
51 練習用画像表示部
52 採点ボタン
53 採点用GUI
54 合否表示部
55 調整終了画像表示部
56 理想画像表示部
57 戻るボタン
58 終了ボタン
61 初期パラメータセット
62 フォーカス調整経路
63 X方向非点調整経路
64 Y方向非点調整経路
65 最適パラメータセット
81 フォーカス条件調整の練習用画像準備領域
82 X方向非点補正条件調整の練習用画像準備領域
83 Y方向非点補正条件調整の練習用画像準備領域
Claims (8)
- 試料を観察するときにフォーカス条件および非点補正条件の調整を必要とする荷電粒子線装置において、
前記試料上に荷電粒子線を集束させる対物レンズと、
X方向の非点を調整するX方向非点補正器と、
Y方向の非点を調整するY方向非点補正器と、
前記対物レンズのフォーカス条件と前記X方向非点補正器のX方向非点補正条件と前記Y方向非点補正器のY方向非点補正条件とを制御する制御部と、
予め定められたフォーカス条件、X方向非点補正条件、Y方向非点補正条件の組ごとに対応した練習用画像を記憶する記憶部と、
ユーザの操作に応じて前記フォーカス条件と前記X方向非点補正条件と前記Y方向非点補正条件を設定する操作部と、
前記操作部で設定された前記フォーカス条件、前記X方向非点補正条件、前記Y方向非点補正条件の組に対応して前記記憶部から読み出された練習用画像を表示する表示部と、
を備えることを特徴とした荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記フォーカス条件、前記X方向非点補正条件、前記Y方向非点補正条件について調整の順番が指定されていることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項2に記載の荷電粒子線装置において、
前記フォーカス条件を、前記X方向非点補正条件および前記Y方向非点補正条件より先に調整するように調整の順番が指定されていることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、さらに、
前記記憶部よりも高速に画像を読み出すことができるメモリーを有し、
前記メモリーは複数の前記練習用画像を前記記憶部から読み出し、
前記表示部は前記メモリーを介して読み出された前記練習用画像を表示することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
ユーザの操作によって設定されたフォーカス条件、またはX方向非点補正条件、またはY方向非点補正条件、またはこれらの組み合わせを、予め定められた最適値と比較して最適値からのずれを評価する評価部を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
ユーザの調整前に前記表示部に表示する初期状態の練習用画像は、前記フォーカス条件、前記X方向非点補正条件、前記Y方向非点補正条件の調整の難易度に応じて選択されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
ユーザが調整終了と判断したときに表示されている前記練習用画像と、予め定められたフォーカス条件、X方向非点補正条件、Y方向非点補正条件の最適値での画像とを比較表示することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 予め定められたフォーカス条件、X方向非点補正条件、Y方向非点補正条件の組ごとに対応した練習用画像を記憶する記憶部と、
ユーザの操作に応じて前記フォーカス条件と前記X方向非点補正条件と前記Y方向非点補正条件を設定する操作部と、
前記練習用画像を表示する表示部とを備えたコンピュータにおいて実行されるプログラムが記憶された記憶媒体であって、
前記操作部で設定された前記フォーカス条件、前記X方向非点補正条件、前記Y方向非点補正条件の組に対応した練習用画像を前記記憶部から読み出し、
前記記憶部から読み出した練習用画像を表示することを特徴とするプログラムが記憶された記憶媒体。
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