JP2007165338A - 電子線装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電子源から放出された1次電子ビーム4を対物レンズ7で細く絞るビーム収束手段5,6と、1次電子を試料10上で走査するビーム走査手段と、該ビーム走査によって試料から発生する2次信号12を検出する検出手段13と、2次信号12から試料像を形成する像形成手段を備え試料の走査像を得る電子線装置において、像形成条件に連動してビーム収束位置変化幅を決めるフォーカス制御量決定手段15と、フォーカス制御量
に対応してビームのフォーカス条件を制御するフォーカス制御手段と、画像の枚数を決定する画像数決定手段と、該フォーカス制御手段15で制御された異なる複数のフォーカス条件の画像を連続して取り込む画像取得手段と、複数画像を記憶する記憶手段とを有する電子線装置。
【選択図】図2
Description
fd=A1×(dpix/M)×R×√Vacc…〔1〕
ここで、A1は定数、dpixは画素サイズ、Mは観察倍率、Rはビーム分解能(ビーム径で決まる分解能)、Vaccは加速電圧を表す。
fd=A2×R2×√Vacc/√(1+0.73×(Ip/B0)×1014)…〔2〕
ここで、A2は定数、Ipはプローブ電流、B0は1V当りに換算した電子銃の輝度を表す。
(数3)
fd=A2×R2×√Vacc…〔3〕
と表すことができる。
(数4)
R=0.61λ/α=0.75/(α×√Vacc)…〔4〕
の関係で表すことができるため、式〔1〕〜〔3〕のビーム分解能Rを式〔4〕の第2項、または、第3項に置き換えて表すことができる。なお、λは電子の波長、αは1次ビームの収束角度(半角)を表す。
Claims (4)
- 電子源から放出された電子ビームを試料上に収束するレンズと、
前記電子ビームを走査する走査偏向器と、
前記試料への電子ビーム走査によって得られる電子を検出する検出器と、
前記レンズを制御する制御装置を備えた走査電子顕微鏡において、
前記制御装置は、
増倍率が所定の値よりも低い場合には、
前記増倍率の逆数と、前記電子ビームの加速電圧の大きさに応じて変化する変数と の関係から求められる値に基づいて、前記レンズの変化量を制御し、
前記増倍率が所定の値よりも高い場合には、
前記増倍率に依らず、前記加速電圧の大きさに応じて求まる値に基づいて、前記レ ンズの変化量を制御することを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項1に記載された走査電子顕微鏡において、
前記制御装置は、
前記レンズの焦点深度に関する値以下の変化量で前記レンズを調整することを特徴と する走査電子顕微鏡。 - 請求項1または2のいずれかに記載された走査電子顕微鏡において、
前記制御装置は、
前記レンズ条件の異なる複数の画像を合成して合成画像を形成することを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項1ないし3のいずれかに記載された走査電子顕微鏡において、
前記制御装置は、前記レンズの変化量をテーブルとして予め記憶していることを特徴とする走査電子顕微鏡。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011150956A (ja) * | 2010-01-25 | 2011-08-04 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置及び荷電粒子線装置の調整方法 |
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JPH05299048A (ja) * | 1992-04-24 | 1993-11-12 | Hitachi Ltd | 電子線装置および走査電子顕微鏡 |
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JP2000188075A (ja) * | 1998-12-22 | 2000-07-04 | Hitachi Ltd | 回路パターンの検査方法および検査装置 |
JP2000195457A (ja) * | 1998-12-25 | 2000-07-14 | Jeol Ltd | 走査顕微鏡 |
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2007
- 2007-02-19 JP JP2007037966A patent/JP4705057B2/ja not_active Expired - Lifetime
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