JP5793473B2 - ボンディング装置用ヒータ及びその冷却方法 - Google Patents
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Description
=毛細スリット35の両側面35aの面積=H1×L1×2×毛細冷却流路37の数
=H1×L1×504
となる。
全流路断面積
=W1×H1×毛細冷却流路37の数=W1×H1×504
となる。
Claims (4)
- セラミックス製でボンディングツールが取り付けられる第一の面と、前記第一の面と反対側で断熱材が取り付けられる第二の面とを有する平板形のボンディング装置用ヒータであって、
前記第二の面に設けられ、前記第二の面に沿った方向の幅が前記第二の面に垂直方向の深さよりも小さい多数の毛細スリットと、を備え、
多数の前記毛細スリットと前記第二の面に取り付けられる前記断熱材の合わせ面とは、多数の毛細冷却流路を形成し、
前記毛細スリットの両側面の合計面積が、前記第二の面上で前記毛細スリットが形成されている領域の面積よりも大きく、
前記第二の面は、中央近傍に窪みが設けられ、
前記窪みと前記第二の面に取り付けられる前記断熱材の合わせ面とは、冷却空気が流入するキャビティを形成し、
多数の前記毛細スリットは、前記キャビティから側面に延びること、を特徴とするボンディング装置用ヒータ。 - セラミックス製でボンディングツールが取り付けられる第一の面と、前記第一の面と反対側で断熱材が取り付けられる第二の面とを有する平板形のボンディング装置用ヒータであって、
前記第二の面に設けられ、前記第二の面に沿った方向の幅が前記第二の面に垂直方向の深さよりも小さい多数の毛細スリットと、を備え、
多数の前記毛細スリットと前記第二の面に取り付けられる前記断熱材の合わせ面とは、多数の毛細冷却流路を形成し、
前記毛細スリットの両側面の合計面積が、前記第二の面上で前記毛細スリットが形成されている領域の面積よりも大きく、
前記断熱材は、前記合わせ面の中央近傍に第二の窪みが設けられ、
前記第二の窪みと前記第二の面とは、冷却空気が流入するキャビティを形成し、
多数の前記毛細スリットは、前記キャビティに連通し、対向する各側面の間に延びること、を特徴とするボンディング装置用ヒータ。 - セラミックス製でボンディングツールが取り付けられる第一の面と、前記第一の面と反対側で断熱材が取り付けられる第二の面とを有する平板形状で、前記第二の面に設けられ、前記第二の面に沿った方向の幅が前記第二の面に垂直方向の深さよりも小さい多数の毛細スリットと、を備え、多数の前記毛細スリットと前記第二の面に取り付けられる前記断熱材の合わせ面とは、多数の毛細冷却流路を形成し、前記毛細スリットの両側面の合計面積が、前記第二の面上で前記毛細スリットが形成されている領域の面積よりも大きく、前記第二の面は、中央近傍に窪みが設けられ、前記窪みと前記第二の面に取り付けられる前記断熱材の合わせ面とは、冷却空気が流入するキャビティを形成し、多数の前記毛細スリットは、前記キャビティから側面に延びるボンディング装置用ヒータの冷却方法であって、
冷却空気流量は、前記毛細冷却流路出口の毛細スリット中央の冷却空気温度が前記毛細スリットの表面温度よりも所定の閾値だけ低い温度となる流量であること、
を特徴とする冷却方法。 - セラミックス製でボンディングツールが取り付けられる第一の面と、前記第一の面と反対側で断熱材が取り付けられる第二の面とを有する平板形状で、前記第二の面に設けられ、前記第二の面に沿った方向の幅が前記第二の面に垂直方向の深さよりも小さい多数の毛細スリットと、を備え、多数の前記毛細スリットと前記第二の面に取り付けられる前記断熱材の合わせ面とは、多数の毛細冷却流路を形成し、前記毛細スリットの両側面の合計面積が、前記第二の面上で前記毛細スリットが形成されている領域の面積よりも大きく、前記断熱材は、前記合わせ面の中央近傍に第二の窪みが設けられ、前記第二の窪みと前記第二の面とは、冷却空気が流入するキャビティを形成し、多数の前記毛細スリットは、前記キャビティに連通し、対向する各側面の間に延びるボンディング装置用ヒータの冷却方法であって、
冷却空気流量は、前記毛細冷却流路出口の毛細スリット中央の冷却空気温度が前記毛細スリットの表面温度よりも所定の閾値だけ低い温度となる流量であること、
を特徴とする冷却方法。
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