JP6047724B2 - ボンディング装置用ヒータ、ボンディング装置用ヒータ組立体及びボンディング装置 - Google Patents
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Description
=毛細スリット35の両側面35aの面積=H1×L1×2×毛細冷却流路37の数
=H1×L1×504
となる。
全流路断面積
=W1×H1×毛細冷却流路37の数=W1×H1×504
となる。
Claims (5)
- 冷却空気が供給される冷却空気孔を有する流路形成部材の平面状の合わせ面に取り付けられ、セラミックス製で平板形の形状を有し、電流が流れることで発熱するボンディング装置用ヒータであって、
ボンディングツールが取り付けられる第一の面と、前記第一の面と反対側で前記流路形成部材の合わせ面に重ね合わされる第二の面とを備え、
前記第二の面は、当該面に沿った方向の幅が0.1mmから0.02mmの範囲で、且つ、当該面に沿った方向の幅が当該面に垂直方向の深さよりも小さい多数の毛細スリットを有し、
前記多数の毛細スリットは、対向する各側面の間に延び、前記空気冷却孔から冷却空気が流れることで発熱した当該ボンディング装置用ヒータを直接冷却する毛細冷却流路を構成すること、
を特徴とするボンディング装置用ヒータ。 - 請求項1に記載のボンディング装置用ヒータであって、
前記毛細スリットの前記幅に対する前記毛細スリットの深さの比率は、3〜10の範囲であること、
を特徴とするボンディング装置用ヒータ。 - ボンディングツールが取り付けられる第一の面と、前記第一の面と反対側の第二の面とを備えるセラミックス製で平板形の形状を有し、電流が流れることで発熱するボンディング装置用ヒータと、
前記第二の面に取り付けられる流路形成部材と、を含むボンディング装置用ヒータ組立体であって、
前記第二の面は、当該面に沿った方向の幅が0.1mmから0.02mmの範囲で、且つ、当該面に沿った方向の幅が当該面に垂直方向の深さよりも小さい多数の毛細スリットを有し、
前記第二の面と接触する前記流路形成部材の合わせ面は、中央付近に窪みが設けられ、前記窪みは、前記第二の面との間に冷却空気が流入するキャビティを形成し、
前記多数の毛細スリットは、対向する各側面の間に延び、前記キャビティに連通して冷却空気が流れることで発熱した当該ボンディング装置用ヒータを直接冷却する毛細冷却流路であること、
を特徴とするボンディング装置用ヒータ組立体。 - ボンディングツールが取り付けられる第一の面と、前記第一の面と反対側の第二の面とを備えるセラミックス製で平板形の形状を有し、電流が流れることで発熱するボンディング装置用ヒータと、
前記第二の面に取り付けられる流路形成部材と、を含むボンディング装置であって、
前記第二の面は、当該面に沿った方向の幅が0.1mmから0.02mmの範囲で、且つ、当該面に沿った方向の幅が当該面に垂直方向の深さよりも小さい多数の毛細スリットを有し、
前記第二の面と接触する前記流路形成部材の合わせ面は、中央付近に窪みが設けられ、前記窪みは、前記第二の面との間に冷却空気が流入するキャビティを形成し、
前記多数の毛細スリットは、対向する各側面の間に延び、前記キャビティに連通して冷却空気が流れることで発熱した当該ボンディング装置用ヒータを直接冷却する毛細冷却流路であること、
を特徴とするボンディング装置。 - 請求項1に記載のボンディング装置用ヒータであって、
前記流路形成部材は、中央付近に窪みを有し、
前記第二の面が前記流路形成部材の合わせ面に重ね合わされると、前記流路形成部材の前記窪みは、前記第二の面との間に冷却空気が流入するキャビティを形成する、ボンディング装置用ヒータ。
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