JP5783975B2 - 半導体製造処理システムおよび方法 - Google Patents
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Description
第1の実施形態によるCMP処理システムは、図1と同様に、ウェハ準備装置10と、ストッカ20と、CMP装置30と、QC情報測定装置40と、搬送装置50と、制御装置60と、を備えるが、CMP装置30とQC情報測定装置40の構成が図1の場合と異なっている。以下では、一般的なCMP処理システムと異なる部分について説明する。
以下の実施形態では、図8−1のステップS36のメンテナンス処理時における処理の詳細とダミーロットとQCロットのCMP装置までの搬送処理の詳細について説明する。
第2の実施形態では、パッド交換開始ボタンが押されると、ウェハ準備装置からCMP装置のロードポートへダミーロットとQCロットとが搬送されるようになっていたが、ダミーロットとQCロットとをストッカ20で待機させるようにしてもよい。第3の実施形態では、ダミーロットとQCロットとをストッカ20へと搬送してそこで待機させる場合について説明する。
第3の実施形態では、ステップS95のNPWを用いたパッドサーチ開始ボタン331の押し下げからステップS97のパッドサーチ処理実行までの間にトラブルが発生してしまった場合に、自動搬送着工されたダミーロットとQCロットのマニュアルでの回収作業が必要となってしまう。そこで、第4の実施形態では、上記のような場合でも、自動搬送着工されたダミーロットとQCロットのマニュアルでの回収作業を必要としないCMP処理システムについて説明する。
Claims (17)
- 所定の数のウェハを収納する収納容器と、
ポートに載置される前記収納容器から前記ウェハを取り出して所定の処理を施すウェハ処理装置と、
前記ウェハ処理装置での処理品質となるパラメータであるQC情報を測定するQC情報測定装置と、
前記ウェハ処理装置に供給するウェハを前記収納容器に入れて準備するウェハ準備装置と、
前記各装置間で前記収納容器を搬送する搬送装置と、
を備え、レシピにしたがって前記各装置の動作が制御される半導体製造処理システムであって、
前記ウェハ処理装置は、
処理した前記ウェハの枚数を積算して計測する処理枚数計測手段と、
前記ウェハ処理装置でのメンテナンス処理が終了すると、ダミーランニング用のウェハを前記収納容器に収納したダミーロットを用いたダミーロット処理と、QC情報測定用のウェハを収納したQCロットを用いたQCロット処理と、を連続して行うメンテナンス後処理手段と、
前記収納容器を一時的に載置するストッカで待機している前記ダミーロットと前記QCロットとを前記ウェハ処理装置へ搬送させる第1ボタンと、
を有し、
前記ウェハ準備装置は、第1の処理枚数が前記ウェハ処理装置の前記処理枚数計測手段で計測されると、前記ダミーロットと前記QCロットとを準備し、
前記搬送装置は、前記処理枚数計測手段で前記第1の処理枚数より多い第2の処理枚数が計測されると、前記ウェハ準備装置で準備された前記ダミーロットと前記QCロットを前記ストッカで待機させ、前記ウェハ処理装置の前記第1ボタンが押されると、前記ダミーロットと前記QCロットの前記ストッカから前記ウェハ処理装置への搬送を開始し、前記メンテナンス処理と並行して前記メンテナンス処理が終了するまでの間に、前記ウェハ処理装置の前記ポートまで搬送し、
前記QC情報測定装置は、
前記ウェハ処理装置の前記メンテナンス後処理手段で処理される前後の前記QCロットの前記ウェハを用いて前記QC情報を測定する測定手段と、
前記QC情報の測定結果を用いて前記ウェハ処理装置を稼働可能かの判定処理を行う判定手段と、
を有し、
前記第1の処理枚数は、前記ウェハ処理装置での前記メンテナンス処理の実行まで所定の枚数であることを示す第1警告値であり、前記第2の処理枚数は、前記ウェハ処理装置の処理枚数の上限値である第2警告値であり、
前記ウェハ処理装置は、前記メンテナンス処理が終了すると、前記ダミーロット処理と前記QCロット処理とを連続して行い、前記QC情報測定装置での判定結果が稼働可能の場合に、前記QCロット処理の後に通常のロット処理を実行することを特徴とする半導体製造処理システム。 - 所定の数のウェハを収納する収納容器と、
ポートに載置される前記収納容器から前記ウェハを取り出して所定の処理を施すウェハ処理装置と、
前記ウェハ処理装置での処理品質となるパラメータであるQC情報を測定するQC情報測定装置と、
前記ウェハ処理装置に供給するウェハを前記収納容器に入れて準備するウェハ準備装置と、
前記各装置間で前記収納容器を搬送する搬送装置と、
を備え、レシピにしたがって前記各装置の動作が制御される半導体製造処理システムであって、
前記ウェハ処理装置は、
処理した前記ウェハの枚数を積算して計測する処理枚数計測手段と、
前記ウェハ処理装置でのメンテナンス処理が終了すると、ダミーランニング用のウェハを前記収納容器に収納したダミーロットを用いたダミーロット処理と、QC情報測定用のウェハを収納したQCロットを用いたQCロット処理と、を行うメンテナンス後処理手段と、
を有し、
前記ウェハ準備装置は、第1の処理枚数が前記ウェハ処理装置の前記処理枚数計測手段で計測されると、前記ダミーロットと前記QCロットとを準備し、
前記搬送装置は、前記処理枚数計測手段で前記第1の処理枚数より多い第2の処理枚数が計測されると、前記ウェハ準備装置で準備された前記ダミーロットと前記QCロットを所定の位置で待機させ、前記メンテナンス処理と並行して前記メンテナンス処理が終了するまでの間に、前記ウェハ処理装置の前記ポートまで搬送することを特徴とする半導体製造処理システム。 - 前記メンテナンス後処理手段は、前記ダミーロット処理と前記QCロット処理と、を連続して行うことを特徴とする請求項2に記載の半導体製造処理システム。
- 前記QC情報測定装置は、
前記ウェハ処理装置の前記メンテナンス後処理手段で処理される前後の前記QCロットの前記ウェハを用いて前記QC情報を測定する測定手段と、
前記QC情報の測定結果を用いて前記ウェハ処理装置を稼働可能かの判定処理を行う判定手段と、
を有し、
前記ウェハ処理装置は、前記メンテナンス処理が終了すると、前記ダミーロット処理と前記QCロット処理とを連続して行い、前記QC情報測定装置での判定結果が稼働可能の場合に、前記QCロット処理の後に通常のロット処理を実行することを特徴とする請求項2または3に記載の半導体製造処理システム。 - 前記第1の処理枚数は、前記ウェハ処理装置での前記メンテナンス処理の実行まで所定の枚数であることを示す第1警告値であり、前記第2の処理枚数は、前記ウェハ処理装置の処理枚数の上限値である第2警告値であることを特徴とする請求項2から4のいずれか1つに記載の半導体製造処理システム。
- 前記搬送装置は、前記第2警告値が計測されると、前記所定の位置として前記収納容器を一時的に載置するストッカまで前記ダミーロットと前記QCロットとを搬送することを特徴とする請求項5に記載の半導体製造処理システム。
- 前記ウェハ処理装置は、前記ストッカで待機している前記ダミーロットと前記QCロットとを前記ウェハ処理装置へ搬送させる第1ボタンをさらに有し、
前記搬送装置は、前記ウェハ処理装置の前記第1ボタンが押されると、前記ダミーロットと前記QCロットの前記ストッカから前記ウェハ処理装置への搬送を開始し、前記メンテナンス処理が完了するまでに前記ダミーロットと前記QCロットとの搬送を完了することを特徴とする請求項6に記載の半導体製造処理システム。 - 前記ウェハ処理装置は、前記メンテナンス処理の際に非製品ウェハを用いた前記ウェハ処理装置の初期設定を行う初期設定手段をさらに有し、
前記搬送装置は、前記ウェハ処理装置の前記初期設定手段によって初期設定完了信号が出力されると、前記ダミーロットと前記QCロットの前記ストッカから前記ウェハ処理装置への搬送を開始することを特徴とする請求項6に記載の半導体製造処理システム。 - 前記ウェハ処理装置は、CMP装置またはドライエッチング装置であることを特徴とする請求項2から8のいずれか1つに記載の半導体製造処理システム。
- 所定の数のウェハを収納する収納容器と、
ポートに載置される前記収納容器から前記ウェハを取り出して所定の処理を施すウェハ処理装置と、
前記ウェハ処理装置での処理品質となるパラメータであるQC情報を測定するQC情報測定装置と、
前記ウェハ処理装置に供給するウェハを前記収納容器に入れて準備するウェハ準備装置と、
前記各装置間で前記収納容器を搬送する搬送装置と、
を備える半導体製造処理システムでの半導体製造処理方法であって、
前記ウェハ処理装置での前記ウェハの処理枚数が第1の処理枚数になると、前記ウェハ準備装置が、ダミーランニング用のウェハを前記収納容器に収納したダミーロットと、QC情報測定用のウェハを収納したQCロットと、を準備するダミー・QCロット準備工程と、
前記ウェハ処理装置での前記ウェハの処理枚数が前記第1の処理枚数よりも多い第2の処理枚数になると、前記ウェハ処理装置でメンテナンス処理が行われるメンテナンス工程と、
前記ウェハ処理装置での前記ウェハの処理枚数が前記第2の処理枚数になると、前記搬送装置が、前記ダミーロットと前記QCロットとを所定の位置まで搬送して、待機させ、前記メンテナンス工程と並行して前記メンテナンス工程が終了するまでの間に、前記ダミーロットと前記QCロットとを前記ウェハ処理装置の前記ポートまで搬送するダミー・QCロット搬送工程と、
前記ウェハ処理装置は、前記メンテナンス処理終了後すぐに、前記ダミーロットを用いたダミーロット処理を行うダミーロット処理工程と、
前記ダミーロット処理工程の後、前記ウェハ処理装置が前記QCロットを用いてQCロット処理を行うQCロット処理工程と、
を含むことを特徴とする半導体製造処理方法。 - 前記ダミーロット処理工程と前記QCロット処理工程とは連続して行われることを特徴とする請求項10に記載の半導体製造処理方法。
- 前記QC情報測定装置が、前記QCロット処理工程の前後で前記QCロットを用いて前記ウェハ処理装置の稼働の可否を判断する基となるQC情報の測定を行うQCロット測定工程と、
前記QC情報測定装置が、前記QC情報を用いて、前記ウェハ処理装置の稼働の可否を判定する判定工程と、
稼働可能の場合に、前記判定工程に引き続いて通常ロット処理を行う通常ロット処理工程と、
をさらに含むことを特徴とする請求項10または11に記載の半導体製造処理方法。 - 前記第1の処理枚数は、前記ウェハ処理装置での前記メンテナンス処理の実行まで所定の枚数であることを示す第1警告値であり、前記第2の処理枚数は、前記ウェハ処理装置の処理枚数の上限値である第2警告値であることを特徴とする請求項10から12に記載の半導体製造処理方法。
- 前記ダミー・QCロット搬送工程では、前記ウェハの処理枚数が前記第2警告値になると、前記所定の位置として、前記ウェハ処理装置の近傍に配置され、前記収納容器を一時的に載置するストッカまで、前記ダミーロットと前記QCロットとを搬送し、待機させることを特徴とする請求項13に記載の半導体製造処理方法。
- 前記メンテナンス工程は、
前記ウェハ処理装置中の部品を交換する部品交換工程と、
前記部品を交換した後、非製品ウェハを用いて前記ウェハ処理装置の初期設定を行う初期設定工程と、
前記非製品ウェハの洗浄処理を行う洗浄工程と、
前記非製品ウェハを用いたダミーランニング処理を行うダミー処理工程と、
を含み、
前記ダミー・QCロット搬送工程では、前記部品交換工程の前に、前記ダミーロットと前記QCロットとを前記ストッカから前記ウェハ処理装置への搬送を開始することを特徴とする請求項10から14のいずれか1つに記載の半導体製造処理方法。 - 前記メンテナンス工程は、
前記ウェハ処理装置中の部品を交換する部品交換工程と、
前記部品を交換した後、非製品ウェハを用いて前記ウェハ処理装置の初期設定を行う初期設定工程と、
前記非製品ウェハを用いたダミーランニング処理を行うダミー処理工程と、
前記非製品ウェハの洗浄処理を行う洗浄工程と、
を含み、
前記ダミー・QCロット搬送工程では、前記初期設定工程の終了時に前記ウェハ処理装置から初期設定終了信号が出力されると、前記ダミーロットと前記QCロットの前記ストッカから前記ウェハ処理装置への搬送を開始することを特徴とする請求項10から14のいずれか1つに記載の半導体製造処理方法。 - 前記初期設定工程は、
前記ウェハの処理枚数をリセットするリセット工程と、
前記非製品ウェハを前記ウェハ処理装置内の格納位置から処理位置まで搬送する非製品ウェハ搬送工程と、
前記非製品ウェハを用いて前記初期設定を行う設定工程と、
をさらに含み、
前記ウェハ処理装置に不具合が発生した場合に、前記リセット工程から前記非製品ウェハ搬送工程までを繰り返し実行することを特徴とする請求項16に記載の半導体製造処理方法。
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