JP5781455B2 - ガス供給装置及び方法 - Google Patents
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- 供給用ガス源からガス使用先にあらかじめ設定された第1設定圧力以上の圧力でガスを供給するガス供給経路と、該ガス供給経路にバックアップ装置からのガスを補給するバックアップ経路と、該バックアップ経路に設けられたバックアップ弁と、前記ガス供給経路内の圧力を検出する圧力検出器と、前記ガス供給経路内の圧力をあらかじめ設定された第2設定圧力に調節する圧力調節手段とを備えたガス供給装置において、前記供給用ガス源がガス供給を停止したときに、前記バックアップ弁を全開状態にするとともに、全開状態になったバックアップ弁の開度を徐々に閉方向に作動させるバックアップ弁制御手段を備えているガス供給装置。
- 前記バックアップ弁は、付勢手段により開方向に付勢されるとともに、弁駆動ガス供給経路から供給される弁駆動ガスによって閉方向に付勢され、弁駆動ガスの供給量を調節することによって開閉する弁であって、前記弁駆動ガス供給経路には、第1経路切替手段及び第2経路切替手段と該第2経路切替手段に接続した流量制御経路とが設けられ、第1経路切替手段は、一次側の弁駆動ガス供給経路と二次側の弁駆動ガス供給経路とを連通させる弁駆動ガス供給側と、バックアップ弁への弁駆動ガスの供給を遮断するとともにバックアップ弁から駆動ガスを排出するガス排出側とに切り替え可能に形成され、前記第2経路切替手段は、相対的に大流量で第1経路切替手段に弁駆動ガスを供給する弁駆動ガス供給側と前記流量制御経路を通して相対的に小流量で弁駆動ガスを第1経路切替手段に供給する流量制御経路側とに切替可能に形成されている請求項1記載のガス供給装置。
- 前記供給用ガス源が空気分離装置であり、ガス使用先に供給するガスが前記空気分離装置の製品ガスであり、前記バックアップ装置が前記空気分離装置に組み込まれている請求項1又は2記載のガス供給装置。
- 請求項1又は2記載のガス供給装置を用いたガス供給方法であって、前記バックアップ弁制御手段は、前記圧力検出器の検出圧力が前記第1設定圧力以上のときには前記バックアップ弁を全閉状態に保持し、前記供給用ガス源がガス供給を停止したときには前記バックアップ弁を全開状態にした後、該全開状態になったバックアップ弁の開度を徐々に閉方向に作動させ、その後、前記圧力調節手段により、前記圧力検出器の検出圧力を前記第2設定圧力に制御するガス供給方法。
- 前記バックアップ弁は、付勢手段により開方向に付勢されるとともに、弁駆動ガス供給経路から供給される弁駆動ガスによって閉方向に付勢され、弁駆動ガスの供給量を調節することによって開閉する弁であって、前記弁駆動ガス供給経路には、第1経路切替手段及び第2経路切替手段と該第2経路切替手段に接続した流量制御経路とが設けられ、前記圧力検出器の検出圧力が前記第1設定圧力以上のときには、第1経路切替手段及び第2経路切替手段が共に弁駆動ガス供給側に切り替えられ、前記弁駆動ガス供給経路の弁駆動ガスが第2経路切替手段から第1経路切替手段を通ってバックアップ弁に供給されることによってバックアップ弁が全閉状態に保持され、前記供給用ガス源がガス供給を停止したときに、第1段階として、前記第1経路切替手段がガス排出側に切り替えられて弁駆動ガス供給経路からバックアップ弁への駆動ガスの供給を遮断するとともに、バックアップ弁から駆動ガスを排出することによってバックアップ弁が前記付勢手段の付勢力によって全開状態となり、バックアップ弁が全開状態になった後の第2段階として、前記第1経路切替手段が弁駆動ガス供給側に切り替えられるとともに、前記第2経路切替手段が前記流量制御経路側に切り替えられ、弁駆動ガス供給経路の弁駆動ガスが流量制御経路で弁駆動ガス供給側に比べて小流量に制御された状態で第1経路切替手段を介してバックアップ弁に供給されることによってバックアップ弁が徐々に閉方向に作動し、前記第2経路切替手段が弁駆動ガス供給側に切り替えられた後の第3段階として、前記圧力調節手段が作動して前記圧力検出器の検出圧力を前記第2設定圧力に調節する請求項4記載のガス供給方法。
- 前記第1経路切替手段は、ガス排出側に切り替えられた後、あらかじめ設定された時間が経過した後に弁駆動ガス供給側に切り替えられる請求項4又は5記載のガス供給方法。
- 前記第2経路切替手段は、流量制御経路側に切り替えられた後、あらかじめ設定された時間が経過した後に弁駆動ガス供給側に切り替えられる請求項4乃至6のいずれか1項記載のガス供給方法。
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