JP5775722B2 - 蛍光温度計及び温度計測方法 - Google Patents
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Description
特定波長での蛍光の強度が温度により増減する現象を利用する温度センサでは、蛍光の発光強度に合わせて2種類の異なる波長透過フィルタを設置し、温度により蛍光の波長がシフトするに従い変化する2つの波長透過フィルタを透過する光量を計測し、これらの光量の比率と温度の関係を事前に計測しておき、温度に換算する等の方法が採用されている。
(1)測定温度が高くなると蛍光の発光スペクトルが広がり、それに伴って測定波長の強度が低下するために十分な信号強度を確保できない場合がある。
(2)温度センサ部の経時変化による較正を必要としたり、測定系における波長透過フィルタの透過特性ばらつき等の製造ばらつきが、そのまま温度測定精度のばらつきになってしまうため、測定装置の装置間格差が生じたり、測定精度の向上が困難である。
(3)蛍光を選択測定するための波長透過フィルタが必須であり、場合によっては複数枚の光学フィルタ必要になるため、高コストになりやすい。
(4)蛍光を伝達する手段として光ファイバを利用する場合、ファイバの劣化・曲げ等による影響を較正を必要とする。
(1)蛍光の減衰時間の測定が完了するまでは次の温度測定を開始できないため、速い温度変化に対する追従性が低い。
(2)蛍光の減衰時間の測定精度、ばらつきがそのまま温度測定の精度、ばらつきになってしまうため、高精度な温度測定が原理上難しい。
(3)測定温度が高くなると蛍光減衰時間が短くなるため、低温での測定と比較して測定精度が低下する。
(4)測定中のノイズや電源電圧変動によって蛍光の減衰時間の測定値が変化するため、測定精度が低下しやすい。
前記温度算出ステップにおいて、前記励起光の周波数に対する前記周波数成分の周波数の変化量に基づいて前記蛍光体の温度を算出する方法としてもよい。
前記温度算出ステップにおいて、強度が最大となる前記周波数成分の周波数の変化量に基づいて前記蛍光体の温度を算出する方法としてもよい。
前記信号変換ステップにおいて、前記蛍光の強度−時間信号の一部のみを抽出して周波数領域信号に変換する方法としてもよい。
前記信号変換ステップにおいて、前記蛍光の強度−時間信号の複数の部分を抽出し、抽出した各々の信号成分を周波数領域信号に変換し、前記温度算出ステップにおいて、各々の前記信号成分から得られた前記周波数領域信号を用いて差分強度−周波数信号である差分波形を求め、前記差分波形における周波数成分の周波数の変化量に基づいて前記蛍光体の温度を算出する方法としてもよい。
前記励起ステップにおいて、単一周波数の波形に強度変調された励起光を前記蛍光体に照射する方法としてもよい。
前記温度算出ステップにおいて、前記励起光の周波数成分と、前記蛍光の周波数成分との周波数の差分の変化量又は前記励起光の周波数成分と、前記蛍光の周波数成分との周波数の平均の変化量に基づいて前記蛍光体の温度を算出する方法としてもよい。
前記励起ステップにおいて、第1周波数、及び前記第1周波数と異なる第2周波数を含む波形に強度変調された励起光を前記蛍光体に照射する方法としてもよい。
前記温度算出ステップにおいて、前記第1周波数及び第2周波数と、前記蛍光の一又は複数の周波数成分との周波数の差分の変化量又は前記第1周波数及び第2周波数と、前記蛍光の一又は複数の周波数成分との周波数の平均の変化量に基づいて前記蛍光体の温度を算出する方法としてもよい。
前記励起ステップから前記温度算出ステップまでの一連の温度測定ステップを繰り返し実行するに際して、第1の前記温度測定ステップと第2の前記温度測定ステップとの間で、前記励起ステップにおいて前記蛍光体に照射する励起光の変調態様を異ならせる方法としてもよい。
変調の周波数が異なる複数の励起光を用いる方法としてもよい。
変調の関数が異なる複数の励起光を用いる方法としてもよい。
第1の前記温度測定ステップと第2の前記温度測定ステップとの間に、当該温度計測方法による温度測定の状況に応じて前記複数の励起光の切替を行う励起光切替ステップを有する方法としてもよい。
[蛍光温度計]
図1(a)は、第1実施形態に係る蛍光温度計を示す図である。図1(a)には、蛍光温度計10と、被検物50と、被検物50の表面に設置された蛍光体20とが示されている。
蛍光温度計10は、励起部(励起手段)11と、蛍光検出部(蛍光検出手段)12と、制御部13とを備えている。制御部13は、信号変換部(信号変換手段)14と、温度算出部(温度算出手段)15とを有しており、励起部11及び蛍光検出部12を含む蛍光温度計10の全体を制御する。
次に、上記構成を備えた本実施形態の蛍光温度計10を用いた温度計測方法について、図2から図5を参照して説明する。
図2は、本実施形態の温度計測方法を示すフローチャートである。図3は、蛍光の強度−時間信号の例を示す図である。図4は、蛍光の強度−時間信号を周波数領域信号に変換した例を示す図である。図5は、温度算出に用いる検量線の例を示す図である。
次いで、蛍光検出ステップS11では、蛍光体20から発光された蛍光を蛍光検出部12において検出する。検出された蛍光の強度−時間信号は、蛍光検出部12から制御部13の信号変換部14へ出力される。
なお、図3は、温度によって蛍光強度−時間信号の立ち上がり及び立ち下がりの形状変化を示した概略図であり、励起光のオンオフのタイミングとは必ずしも一致していない。
図4(b)に示すFFT波形Bfは、図3(b)に示す波形Bを高速フーリエ変換することにより得られた周波数領域信号であり、FFT波形Afと同様に、図示の範囲では、周波数f1’、f2’にそれぞれ対応する離散的な複数の周波数成分を有する。
一方、Δf=(f2’−f2)と設定した場合、図4(b)に示されるように、Δf=(f1’−f1)としたときよりも同じ温度変化に対する周波数変化量Δfの値が大きくなるため、温度換算の分解能を高めることができる。
次に、温度計測方法の第2の実施形態について、図6及び図7を参照して説明する。
第2の実施形態は、図1に示した蛍光温度計10の蛍光検出部12において得られる蛍光の強度−時間信号の一部のみを用いて周波数変化量Δfを算出し、被検物50の温度を測定する方法である。かかる温度測定方法は、制御部13の信号変換部14において蛍光の強度−時間信号の一部のみを抽出して周波数領域信号に変換する構成の蛍光温度計により実施することができる。
図6(a)に示す波形Cは、蛍光検出部12において得られる蛍光の強度−時間信号(例えば図3(a)に示した波形A)のうち、最大強度から20%の範囲にあたる部分波形Csを抽出したものである。図6(b)に示すFFT波形Cfは、波形Cを高速フーリエ変換した周波数領域信号である。
図7(a)に示す波形Dは、図6に示す波形Cよりも高温の被検物50を測定した場合の蛍光の強度−時間信号から、強度80%〜100%の範囲の部分波形Dsを抽出したものである。図7(b)に示すFFT波形Dfは、波形Dを高速フーリエ変換した周波数領域信号である。
従来の蛍光の減衰時間に基づいて温度を算出する方法では、蛍光が所定の強度に減衰するまでの間、蛍光の測定を継続しなければならなかった。例えば、図3(a)に示した波形Aを得るには、21秒間の蛍光測定が必要である。
これに対して本実施形態では、蛍光の測定動作を、蛍光の強度が最大となった後、強度80%に減衰する時刻までで打ち切ることができる。したがって、1回の温度測定に要する時間を大幅に短縮することができるので、一定期間内における温度測定可能回数を増やすことができる。これにより、速い温度変化に対する追従性を改善することができる。
また、図7(a)の波形Dについても同様である。
次に、温度計測方法の第3の実施形態について、図8から図10を参照して説明する。
第3の実施形態は、蛍光検出部12において得られる蛍光の強度−時間信号の一部のみを周波数領域信号に変換する点は第2実施形態と同様であるが、蛍光の強度−時間信号のうち一部の区間のみを利用する点で異なる。かかる温度測定方法は、制御部13の信号変換部14において、蛍光の強度−時間信号のうち一部の区間の時間領域信号のみを抽出して周波数領域信号に変換する構成とした蛍光温度計により実施することができる。
次に、温度計測方法の第4の実施形態について、図11から図16を参照して説明する。
第4の実施形態は、図1に示した蛍光温度計10の励起部11から蛍光体20に対して変調された励起光を照射し、蛍光体20から変調された蛍光を射出させる温度測定方法である。
したがって、本実施形態においても、周波数領域信号における周波数成分ft1、ft2と、温度との関係を示す検量線を予め作成しておくことで、観測された蛍光の周波数成分から被検物50の温度を容易に取得することができる。
以下、図12から図16により本実施形態の変形例について説明する。
上記実施形態では、励起光を正弦波の形状に変調して蛍光体20を励起する場合について説明したが、変調された励起光の波形としては、任意の形状のものを用いることができる。
図12は、第1変形例に係る温度測定方法の説明図である。
図12(a)は、波形として、第1周波数ft0の第1正弦波と、第2周波数2ft0の第2正弦波(第1正弦波の2倍波)との合成波を用いたときの励起光の波形を示す図である。図12(b)は、図12(a)に示す強度−時間信号を高速フーリエ変換した周波数領域信号である。
この場合、励起光の第1周波数ft0との差分や平均だけでなく、第2周波数2ft0と蛍光の周波数成分との差や平均を周波数変化量Δfとして設定することができる。あるいは、第1周波数ft0と蛍光の周波数成分との差(値a)と、第2周波数2ft0と蛍光の周波数成分との差(値b)との平均値(a+b)/2を周波数変化量Δfとして設定することもできる。
図13は、第2変形例に係る温度測定方法の説明図である。
図13(a)は、波形として三角波を用いたときの励起光の波形を示す図である。図13(b)は、図13(a)に示す強度−時間信号を高速フーリエ変換した周波数領域信号である。
しかし、図13(b)に示すように、三角波の場合には主要周波数(図示では最低周波数の成分)の強度が、高調波成分と比較して突出して大きい。したがって、三角波の主要周波数にのみ着目すれば、先の第1実施例と同様に扱うことができる。
第3変形例は、先の第1変形例と同様に、励起光の波形として、複数の周波数成分を含む波形を用いる場合の例である。すなわち、ある程度の強度を有する複数の周波数成分を含む波形の例である。以下、図14及び図15を参照しつつ説明する。
図14(a)は、波形としてランプ波を用いたときの励起光の波形を示す図である。図14(b)は、図14(a)に示す強度−時間信号を高速フーリエ変換した周波数領域信号である。
図15(a)は、波形として矩形波を用いたときの励起光の波形を示す図である。図15(b)は、図15(a)に示す強度−時間信号を高速フーリエ変換した周波数領域信号である。
したがって、ランプ波又は矩形波を用いて励起光を変調することで、計測される蛍光においても複数の周波数成分を観測することができ、複数の周波数成分の組み合わせから適宜選択して周波数変化量Δfを設定することが可能である。よって、蛍光体20の特性や測定温度範囲、温度変化速度に合わせて、周波数変化量Δfの設定を変更し、最適化することができる。これにより、より安定で精度が出せる条件の下で温度測定を行うことが可能となる。
また本例は、第1変形例のような正弦波の合成処理が困難である場合に有効である。
第4変形例は、第4実施形態の温度測定方法において、温度測定を繰り返す中で励起光の変調周波数を変更する温度測定方法である。
図17は、上記各実施形態の蛍光温度計の一適用例であるプラズマ処理装置を示す図である。
プラズマ処理装置100は、真空チャンバー102と、下部電極103と、静電チャック装置104と、上部電極105とを有する。被処理物であるウェハWは静電チャック装置104上に載置される。ウェハWは、静電チャック装置104に備えられた図示略の内部電極への直流電圧印加による静電力により吸着固定される。
またプラズマ処理装置100がスパッタ装置である場合には、上部電極105上に図示略のターゲットが取り付けられ、上部電極への直流電圧又は高周波電圧の印加により発生させたプラズマによりターゲットから成膜粒子を叩き出し、ウェハW上に堆積させる。
以上の動作により、静電チャック装置104の表層部の温度を計測することができる。
特に、先の実施形態の蛍光温度計では、ノイズや電源電圧変動の影響を受けにくい温度測定が可能であるため、従来は温度測定が困難であった高電界環境や高磁界環境においても高精度の温度測定が可能である。例えば、変圧装置内部や発電機内部、避雷器などの温度計測や、MRI(核磁気共鳴画像法)測定環境における温度計測にも好適に用いることができる。
また、前述の各実施形態では照射光及び蛍光の変化時間を秒(s:SEC)の単位で例示したが、msやμsの変化時間等、異なる変化時間であってもよい。
Claims (15)
- 強度変調された励起光を蛍光体に照射し前記蛍光体を励起する励起ステップと、
励起された蛍光体から発せられる蛍光を検出する蛍光検出ステップと、
前記蛍光検出ステップで検出された前記蛍光の強度−時間信号を高速フーリエ変換することにより、時間領域信号から周波数領域信号に変換する信号変換ステップと、
前記周波数領域信号における所定の周波数成分の変化量に基づいて前記蛍光体の温度を算出する温度算出ステップと、
を有し、
前記変化量は、異なる温度で求められる複数の前記周波数領域信号において、前記複数の周波数領域信号の間で互いに対応関係にある周波数成分についての周波数の変化量であることを特徴とする温度計測方法。 - 前記温度算出ステップにおいて、2つの周波数成分の周波数の差分の変化量又は2つの周波数成分の周波数の平均の変化量に基づいて前記蛍光体の温度を算出する、請求項1に記載の温度計測方法。
- 前記温度算出ステップにおいて、前記励起光の周波数に対する前記周波数成分の周波数の変化量に基づいて前記蛍光体の温度を算出する、請求項1に記載の温度計測方法。
- 前記温度算出ステップにおいて、強度が最大となる前記周波数成分の周波数の変化量に基づいて前記蛍光体の温度を算出する、請求項1に記載の温度計測方法。
- 前記信号変換ステップにおいて、前記蛍光の強度−時間信号の一部のみを抽出して周波数領域信号に変換する、請求項1から4のいずれか1項に記載の温度計測方法。
- 前記信号変換ステップにおいて、前記蛍光の強度−時間信号の複数の部分を抽出し、抽出した各々の信号成分を周波数領域信号に変換し、
前記温度算出ステップにおいて、各々の前記信号成分から得られた前記周波数領域信号を用いて差分強度−周波数信号である差分波形を求め、前記差分波形における周波数成分の周波数の変化量に基づいて前記蛍光体の温度を算出する、
請求項5に記載の温度計測方法。 - 前記励起ステップにおいて、単一周波数の波形に強度変調された励起光を前記蛍光体に照射する、請求項1に記載の温度計測方法。
- 前記温度算出ステップにおいて、前記励起光の周波数成分と、前記蛍光の周波数成分との周波数の差分の変化量又は前記励起光の周波数成分と、前記蛍光の周波数成分との周波数の平均の変化量に基づいて前記蛍光体の温度を算出する、請求項7に記載の温度計測方法。
- 前記励起ステップにおいて、第1周波数、及び前記第1周波数と異なる第2周波数を含む波形に強度変調された励起光を前記蛍光体に照射する、請求項1に記載の温度計測方法。
- 前記温度算出ステップにおいて、前記第1周波数及び第2周波数と、前記蛍光の一又は複数の周波数成分との周波数の差分の変化量又は前記第1周波数及び第2周波数と、前記蛍光の一又は複数の周波数成分との周波数の平均の変化量に基づいて前記蛍光体の温度を算出する、請求項9に記載の温度計測方法。
- 前記励起ステップから前記温度算出ステップまでの一連の温度測定ステップを繰り返し実行するに際して、
第1の前記温度測定ステップと第2の前記温度測定ステップとの間で、前記励起ステップにおいて前記蛍光体に照射する励起光の変調態様を異ならせる、請求項7から10のいずれか1項に記載の温度計測方法。 - 変調の周波数が異なる複数の励起光を用いる、請求項11に記載の温度計測方法。
- 変調の関数が異なる複数の励起光を用いる、請求項11に記載の温度計測方法。
- 第1の前記温度測定ステップと第2の前記温度測定ステップとの間に、当該温度計測方法による温度測定の状況に応じて前記複数の励起光の切替を行う励起光切替ステップを有する、請求項11から13のいずれか1項に記載の温度計測方法。
- 強度変調された励起光を蛍光体に照射し前記蛍光体を励起する励起手段と、
蛍光体への光照射によって前記蛍光体から発せられる蛍光を検出する蛍光検出手段と、
前記蛍光検出手段で検出された前記蛍光の強度−時間信号を高速フーリエ変換することにより、時間領域信号から周波数領域信号に変換する信号変換手段と、
前記周波数領域信号における所定の周波数成分の周波数の変化量に基づいて前記蛍光体の温度を算出する温度算出手段と、
を有し、
前記変化量は、異なる温度で求められる複数の前記周波数領域信号において、前記複数の周波数領域信号の間で互いに対応関係にある周波数成分についての周波数の変化量であり、
請求項1から14に記載のいずれかの方法で温度を算出することを特徴とする蛍光温度計。
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