JP5762999B2 - 磁気浮上装置 - Google Patents
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Description
図1は、第1の実施形態に係る磁気浮上装置の構成を示す側面図である。
第2の実施形態に係る磁気浮上装置について、第1の実施形態からの変更点のみ説明する。特に記載していない部分は第1の実施形態と同様である。
第3の実施形態に係る磁気浮上装置について、第1の実施形態からの変更点のみ説明する。特に記載していない部分は第1の実施形態と同様である。
以上、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更、また各実施形態の特徴を組み合わせることができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
2 … 磁気支持ユニット
3 … 浮上体
4 … 外力補償装置
5 … 縦方向支持装置
6 … 横方向支持装置
7 … 位置調整脚
8 … ベース
9 … 縦方向固定枠
10 … 横方向固定枠
11 … 縦方向可動枠
12 … 横方向可動枠
13 … 磁石ユニット
14 … 第1のギャップセンサ
15 … 第2のギャップセンサ
16 … リニアガイド
17 … バネ
21 … 永久磁石
22 … 継鉄
23 … コイル
24 … 電磁石
31 … 制御装置
32 … センサ部
33 … 制御演算器
34 … ドライバ
35 … 電流センサ
41 … フレーム
42 … 水平調整機構
43 … 鉛直調整機構
44 … 水平リニアガイド
45 … 水平送りねじ
46 … 鉛直リニアガイド
47 … 鉛直送りねじ
48 … 補助磁石ユニット
50 … 補助永久磁石
51 … 継鉄
60 … 外力補償付磁気支持ユニット
61 … 外力補償付縦方向支持装置
Claims (7)
- 少なくとも一部が強磁性体で形成された浮上体と、
少なくとも電磁石を備え、前記浮上体を挟んで対向配置され、前記浮上体に空隙を介して前記電磁石に起因する磁束の磁気回路を形成する磁石ユニットと、
前記磁石ユニットが固定された可動枠と前記可動枠および前記浮上体に加わる荷重を支持する固定枠とを備え、前記固定枠と前記可動枠との間の距離を調整可能な磁気支持手段と、
前記浮上体と前記磁石ユニットとの相対変位に基づいて前記電磁石の電流を制御することにより、前記浮上体を非接触で支持する制御手段と、
前記固定枠に対して相対変位が生じない部品又は当該固定枠のうち前記浮上体より鉛直上側に配置された永久磁石を有し、当該浮上体に空隙を介して当該永久磁石に起因する磁束の磁気回路を形成する補助磁石ユニットと、
前記補助磁石ユニットが設けられた外力補助手段と、
を具備することを特徴とする磁気浮上装置。 - 少なくとも一部が強磁性体で形成された浮上体と、
少なくとも電磁石を備え、前記浮上体を挟んで対向配置され、前記浮上体に空隙を介して前記電磁石に起因する磁束の磁気回路を形成する磁石ユニットと、
前記磁石ユニットが固定された可動枠と前記可動枠および前記浮上体に加わる荷重を支持する固定枠とを備え、前記固定枠と前記可動枠との間の距離を調整可能な磁気支持手段と、
前記浮上体と前記磁石ユニットとの相対変位に基づいて前記電磁石の電流を制御することにより、前記浮上体を非接触で支持する制御手段と、
補助磁石を備え、前記浮上体に空隙を介して前記補助磁石に起因する磁束の磁気回路を形成する補助磁石ユニットと、
前記補助磁石ユニットが設けられた外力補助手段と、
を備え、
前記外力補助手段は、前記補助磁石ユニットと前記浮上体との相対位置を調整可能な機構を備えている
ことを特徴とする磁気浮上装置。 - 少なくとも一部が強磁性体で形成された浮上体と、
少なくとも電磁石を備え、前記浮上体を挟んで対向配置され、前記浮上体に空隙を介して前記電磁石に起因する磁束の磁気回路を形成する磁石ユニットと、
前記磁石ユニットが固定された可動枠と前記可動枠および前記浮上体に加わる荷重を支持する固定枠とを備え、前記固定枠と前記可動枠との間の距離を調整可能な磁気支持手段と、
前記浮上体と前記磁石ユニットとの相対変位に基づいて前記電磁石の電流を制御することにより、前記浮上体を非接触で支持する制御手段と、
補助磁石を備え、前記浮上体に空隙を介して前記補助磁石に起因する磁束の磁気回路を形成する補助磁石ユニットと、
前記補助磁石ユニットが設けられた外力補助手段と、
を備え、
前記外力補助手段は複数設けられ、前記複数の外力補助手段は、前記補助磁石ユニットと前記浮上体との相対位置をそれぞれ独立に調整可能な機構を備えている
ことを特徴とする磁気浮上装置。 - 前記磁気支持手段は、前記固定枠と前記可動枠との間の距離を調整可能な弾性要素を備えている
ことを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載の磁気浮上装置。 - 前記浮上体は回転体であり、
前記磁石ユニットは、前記浮上体を前記浮上体の回転軸と直交するy方向から挟む一対のy軸磁石ユニットと、前記浮上体を前記回転軸およびy方向と直交するz方向から挟む一対のz軸磁石ユニットとを有し、
前記磁気支持手段の前記可動枠は、前記y軸磁石ユニットを固定するy軸可動枠と、前記z軸磁石ユニットを固定するz軸可動枠とを有し、
前記磁気支持手段の前記固定枠は、前記y軸可動枠を支持するy軸固定枠と、前記z軸可動枠を支持するz軸固定枠とを有する
ことを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか一項に記載の磁気浮上装置。 - 少なくとも一部が強磁性体で形成された浮上体と、
少なくとも電磁石を備え、前記浮上体を挟んで対向配置され、前記浮上体に空隙を介して前記電磁石に起因する磁束の磁気回路を形成する磁石ユニットと、
前記磁石ユニットが固定された可動枠と前記可動枠および前記浮上体に加わる荷重を支持する固定枠とを備え、前記固定枠と前記可動枠との間の距離を調整可能な磁気支持手段と、
前記浮上体と前記磁石ユニットとの相対変位に基づいて前記電磁石の電流を制御することにより、前記浮上体を非接触で支持する制御手段と、
補助磁石を備え、前記浮上体に空隙を介して前記補助磁石に起因する磁束の磁気回路を形成する補助磁石ユニットと、
前記補助磁石ユニットが設けられた外力補助手段と、
を備え、
前記浮上体は回転体であり、
前記磁石ユニットは、前記浮上体を前記浮上体の回転軸と直交するy方向から挟む一対のy軸磁石ユニットと、前記浮上体を前記回転軸およびy方向と直交するz方向から挟む一対のz軸磁石ユニットとを有し、
前記磁気支持手段の前記可動枠は、前記y軸磁石ユニットを固定するy軸可動枠と、前記z軸磁石ユニットを固定するz軸可動枠とを有し、
前記磁気支持手段の前記固定枠は、前記y軸可動枠を支持するy軸固定枠と、前記z軸可動枠を支持するz軸固定枠とを有し、
前記外力補助手段は、前記浮上体の回転軸方向に対して、前記補助磁石ユニットと前記浮上体との相対位置を調整可能な回転軸方向調整機構を有している
ことを特徴とする磁気浮上装置。 - 少なくとも一部が強磁性体で形成された浮上体と、
少なくとも電磁石を備え、前記浮上体を挟んで対向配置され、前記浮上体に空隙を介して前記電磁石に起因する磁束の磁気回路を形成する磁石ユニットと、
前記磁石ユニットが固定された可動枠と前記可動枠および前記浮上体に加わる荷重を支持する固定枠とを備え、前記固定枠と前記可動枠との間の距離を調整可能な磁気支持手段と、
前記浮上体と前記磁石ユニットとの相対変位に基づいて前記電磁石の電流を制御することにより、前記浮上体を非接触で支持する制御手段と、
補助磁石を備え、前記浮上体に空隙を介して前記補助磁石に起因する磁束の磁気回路を形成する補助磁石ユニットと、
前記補助磁石ユニットが設けられた外力補助手段と、
を備え、
前記浮上体は回転体であり、
前記磁石ユニットは、前記浮上体を前記浮上体の回転軸と直交するy方向から挟む一対のy軸磁石ユニットと、前記浮上体を前記回転軸およびy方向と直交するz方向から挟む一対のz軸磁石ユニットとを有し、
前記磁気支持手段の前記可動枠は、前記y軸磁石ユニットを固定するy軸可動枠と、前記z軸磁石ユニットを固定するz軸可動枠とを有し、
前記磁気支持手段の前記固定枠は、前記y軸可動枠を支持するy軸固定枠と、前記z軸可動枠を支持するz軸固定枠とを有し、
前記外力補助手段は、前記浮上体の半径方向に対して、前記補助磁石ユニットと前記浮上体との相対位置を調整可能な半径方向調整機構を有している
ことを特徴とする磁気浮上装置。
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