JP5755102B2 - 半導体発光素子 - Google Patents
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Description
前記p側の前記第1の絶縁膜の開口部で前記p型半導体層と接続するp側の中間配線、
及び前記n側の前記第1の絶縁膜の開口部で前記n型半導体層と接続するn側の中間配線と、
前記中間配線を覆う第2の絶縁膜と、
前記p側の中間配線及び前記第2の絶縁膜の開口部を介して前記p型半導体層と接続するp側の接続電極、並びに前記n側の中間配線及び前記第2の絶縁膜の開口部を介して前記n型半導体層と接続するn側の接続電極と
を備え、
電極面において、前記p側の前記第1の絶縁膜の開口部と前記p側の接続電極、及び前記n側の前記第1の絶縁膜の開口部と前記n側の接続電極とが平面的に重ならず、
前記n側の前記第1の絶縁膜の開口部が前記電極面の中央に存在し、
前記p側の前記第1の絶縁膜の開口部が複数あり、
前記複数のp側の前記第1の絶縁膜の開口部が前記n側の前記第1の絶縁膜の開口部を挟むようにして、前記複数のp側の前記第1の絶縁膜の開口部と前記n側の前記第1の絶縁膜の開口部が一列に並んでいる
ことを特徴とする。
明特定事項との関係をカッコ内に記載している。
(第1実施形態)
図1は本実施形態のLED素子10(半導体発光素子)の電極面を示す底面図である。なお、理解を容易にするため、後述の絶縁膜16(図2、図3参照)は図示していない。LED素子10の電極面にはp側突起電極17(p側の接続電極)とn側突起電極18(n側の接続電極)がある。さらにp側突起電極17と垂直に交差するようにp側の中間配線19が2本ある。各p側の中間配線19の右側には開口部19a(p側の開口部)があり、左側には開口部19b(中間配線上の開口部)がある。開口部19aは絶縁膜14(第1の絶縁膜)が開口したものであり、開口部19aにおいてp型半導体層13(図3参照)がp側の中間配線19と接続する。開口部19bは絶縁膜16(第2の絶縁膜、図3参照)が開口したものであり、開口部19bにおいてp側の中間配線19がp側突起電極17と接続する。また図中、透視部を点線で示した。
図2は図1のAA線に沿って描いたLED素子10の断面図である。サファイア基板11の下面にはn型半導体層12が形成され、さらにn型半導体層12の下面にはp型半導体層13が形成されている。なおp型半導体層13は、図では開口部15aにより二つに分断されているように見えるが、平面的には連続した一枚の層である。p型半導体層13の上面及び側面並びにn型半導体層12の左右の露出部は絶縁膜14で被覆されている。絶縁膜14には開口部15aがあり、開口部15aにおいてn型半導体層12がp型半導体層13から露出し、n型半導体層12とn側の中間配線15が接続している。n側の中間配線15は絶縁膜16で覆われ、絶縁膜16の開口部15b(図1参照)ではn側の中間配線15とn側突起電極18が接続している。なお開口部15aとn側突起電極18は平面的に重ならないようにしている。絶縁膜16の下面に形成されたp側突起電極17は本図では電気的な接続はない。
0μmである。p側及びn側の中間配線19,15はAl層からなり厚さが1μm程度である。またp型半導体層13及びn型半導体層12とp側及びn側の中間配線19,15との間に接続性を改善するための金属層を設けることがある。
め、p側及びn側の突起電極17,18の直下において絶縁膜16が応力を分散するので、開口部19a,15aにおける金属−金属間界面への剥離力が大きく低減される。
(第2実施形態)
6(図6参照)が開口したものであり、開口部55bにおいてn側の中間配線55がn側突起電極58と接続する。
図6は図5のCC線に沿って描いたLED素子50の断面図である。サファイア基板51の下面にはn型半導体層52が形成され、さらにn型半導体層52の下面にはp型半導体層53が形成されている。なおp型半導体層53三つに分断されているように見えるが、実際には平面的に連続した一枚の層である。p型半導体層53の上面及び側面並びにn型半導体層52の左右の露出部は絶縁膜54で被覆されている。絶縁膜54には開口部55aがあり、開口部55aにおいてn型半導体層52がp型半導体層53から露出し、n型半導体層52とn側の中間配線55が接続している。n側の中間配線55は絶縁膜56で覆われ、絶縁膜56の開口部55b(図5参照)ではn側の中間配線55とn側突起電極58が接続している。なお図1に示したLED素子10と異なり、右側の開口部55aとn側突起電極58は平面的に重なっている。絶縁膜56の下面に形成されたp側突起電極57は本図では電気的な接続はない。
bを示している。開口部59b,55bからそれぞれp側及びn側の中間配線59,55が見える。まずポリイミドをウェハー全面に塗布し、その後ホトリソグラフィ法で開口部59b,55bを形成する。
11,51…サファイア基板、
12,52…n型半導体層、
13,53…p型半導体層、
14,54…絶縁膜(第1の絶縁膜)、
15,55…n側の中間配線、
15a,55a…開口部(p側の開口部)、
15b,55b…開口部(中間配線上の開口部)、
16,56…絶縁膜(第2の絶縁膜)、
17,57…p側突起電極(p側の接続電極)、
18,58…n側突起電極(n側の接続電極)、
19,59…p側の中間配線、
19a,59a…開口部(n側の開口部)、
19b,59b…開口部(中間配線上の開口部)。
Claims (1)
- p型半導体層とn型半導体層と、該p型半導体層と該n型半導体層を覆う第1の絶縁膜とを備え、該第1の絶縁膜が前記p型半導体層に電流を入力させるp側の開口部、及び前記n型半導体層から電流を引き出すn側の開口部を有する半導体発光素子において、
前記p側の前記第1の絶縁膜の開口部で前記p型半導体層と接続するp側の中間配線、及び前記n側の前記第1の絶縁膜の開口部で前記n型半導体層と接続するn側の中間配線と、
前記中間配線を覆う第2の絶縁膜と、
前記p側の中間配線及び前記第2の絶縁膜の開口部を介して前記p型半導体層と接続するp側の接続電極、並びに前記n側の中間配線及び前記第2の絶縁膜の開口部を介して前記n型半導体層と接続するn側の接続電極と
を備え、
電極面において、前記p側の前記第1の絶縁膜の開口部と前記p側の接続電極、及び前記n側の前記第1の絶縁膜の開口部と前記n側の接続電極とが平面的に重ならず、
前記n側の前記第1の絶縁膜の開口部が前記電極面の中央に存在し、
前記p側の前記第1の絶縁膜の開口部が複数あり、
前記複数のp側の前記第1の絶縁膜の開口部が前記n側の前記第1の絶縁膜の開口部を挟むようにして、前記複数のp側の前記第1の絶縁膜の開口部と前記n側の前記第1の絶縁膜の開口部が一列に並んでいる
ことを特徴とする半導体発光素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011226679A JP5755102B2 (ja) | 2011-10-14 | 2011-10-14 | 半導体発光素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2011226679A JP5755102B2 (ja) | 2011-10-14 | 2011-10-14 | 半導体発光素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013089667A JP2013089667A (ja) | 2013-05-13 |
JP5755102B2 true JP5755102B2 (ja) | 2015-07-29 |
Family
ID=48533311
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011226679A Active JP5755102B2 (ja) | 2011-10-14 | 2011-10-14 | 半導体発光素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5755102B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6273945B2 (ja) | 2013-04-26 | 2018-02-07 | 日亜化学工業株式会社 | 発光装置 |
US9640729B2 (en) | 2013-07-03 | 2017-05-02 | Koninklijke Philips N.V. | LED with stress-buffer layer under metallization layer |
JP6303344B2 (ja) | 2013-09-05 | 2018-04-04 | 日亜化学工業株式会社 | 発光装置 |
KR101855202B1 (ko) * | 2017-06-23 | 2018-05-08 | 주식회사 세미콘라이트 | 반도체 발광소자 |
KR102410809B1 (ko) * | 2017-08-25 | 2022-06-20 | 쑤저우 레킨 세미컨덕터 컴퍼니 리미티드 | 반도체 소자 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3896704B2 (ja) * | 1998-10-07 | 2007-03-22 | 松下電器産業株式会社 | GaN系化合物半導体発光素子 |
JP2003303994A (ja) * | 2002-04-12 | 2003-10-24 | Sony Corp | 半導体発光素子の製造方法 |
JP4683832B2 (ja) * | 2003-10-30 | 2011-05-18 | 京セラ株式会社 | 発光ダイオードアレイ装置及びそれを用いた発光ダイオードプリンタ |
JP4353232B2 (ja) * | 2006-10-24 | 2009-10-28 | ソニー株式会社 | 発光素子 |
-
2011
- 2011-10-14 JP JP2011226679A patent/JP5755102B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013089667A (ja) | 2013-05-13 |
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Date | Code | Title | Description |
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