JP5753521B2 - 配線基板の製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、実施形態に係る配線基板1の断面図である。配線基板1は、コア基板2と、コア基板2の両面に形成されたビルドアップ層3(表面側),13(裏面側)と、ビルドアップ層3上に形成されたソルダーレジスト層4(表面側)と、ビルドアップ層13上に形成されたソルダーレジスト層14(裏面側)と、ビルドアップ層3の接続端子T1上に形成された半田バンプ5(表面側)と、ビルドアップ層3の接続端子T11上に形成された半田ボール15(裏面側)とを備える。
ビルドアップ層3は、コア基板2の表面側に積層された樹脂絶縁層31,33及び樹脂絶縁層31,33上にそれぞれ形成された配線層32,34からなる。樹脂絶縁層31は、熱硬化性樹脂組成物からなる。樹脂絶縁層31には、所望の位置にビアホール31aが形成され、ビアホール31a内を含む樹脂絶縁層31表面には、金属配線L2をなす配線層32及びコア導体層21と配線層32とを電気的に接続するビア導体35がめっき法により形成されている。
ビルドアップ層13は、コア基板2の裏面側に積層された樹脂絶縁層131,133及び樹脂絶縁層131,133上にそれぞれ形成された配線層132,134からなる。樹脂絶縁層131は、熱硬化性樹脂組成物からなる。樹脂絶縁層131には、所望の位置にビアホール131aが形成され、ビアホール131a内を含む樹脂絶縁層131表面には、金属配線L12をなす配線層132及びコア導体層22と配線層132とを電気的に接続するビア導体135がめっき法により形成されている。
図3〜図5は、図1を参照して説明した配線基板1の製造工程を説明するための図である。以下図3〜図5を参照して配線基板1の製造方法について説明する。
板状の樹脂製基板の表面及び裏面に銅箔が貼付された銅張積層板を準備する。また、銅張積層板に対してドリルを用いて孔あけ加工を行い、スルーホール23となる貫通孔を所定位置にあらかじめ形成しておく。そして、従来公知の手法に従って無電解銅めっき及び電解銅めっきを行うことでスルーホール23内壁にスルーホール導体24を形成し、銅張積層板の両面に銅めっき層を形成する(図3(a)参照)。
コア基板2の表面及び裏面に、樹脂絶縁層31,131となるエポキシ樹脂を主成分とするフィルム状絶縁樹脂材料をそれぞれ重ね合わせて配置する。そして、この積層物を真空圧着熱プレス機で加圧加熱し、フィルム状絶縁樹脂材料を熱硬化させながら圧着する。次に、従来周知のレーザ加工装置を用いてレーザ照射を行い、樹脂絶縁層31,131にビアホール31a,131aをそれぞれ形成する(図4(a)参照)。
表層に接続端子T1,T11をそれぞれ有するビルドアップ層3,13上に、それぞれフィルム状のソルダーレジストをプレスして積層する。ビルドアップ層3,13上に、それぞれ積層したフィルム状のソルダーレジストを露光・現像して、各接続端子T1,T11の一部を露出させるSMD形状の開口4a,14aが形成されたソルダーレジスト層4,14を得る。次に、接続端子T1,T11の表面に、無電解めっきにより、ニッケル(Ni)及び金(Au)をめっきする。
半田印刷により、ソルダーレジスト層4,14に形成された開口4a,14aから露出した接続端子T1,T11の表面に半田ペーストを塗布した後、所定の温度と時間でリフローを行い、接続端子T1,T11と電気的に接続された半田バンプ5及び半田ボール15を形成する。
上記実施形態では、セミアディティブ法により配線基板を製造しているが、サブトラクティブ法により配線基板を製造するようにしてもよい。この実施形態の変形例では、サブトラクティブ法により配線基板を製造する方法について説明する。なお、図1〜図8を参照して説明した実施形態に係る配線基板1と同じ構成には、同一の符号を付して重複する説明を省略する。
コア基板2の表面及び裏面に、配線層32,132となる銅箔Dが貼り付けられた樹脂絶縁層31,131となるエポキシ樹脂を主成分とするフィルム状絶縁樹脂材料をそれぞれ重ね合わせて配置する(図9(a)参照)。なお、フィルム状絶縁樹脂材料には予め所望の位置にビアホール31a,131aが形成されており、内部にはビア導体35,135が充填されている。
以上、本発明を、具体例を挙げながら詳細に説明してきたが、本発明は上記内容に限定されるものではなく、本発明の範疇を逸脱しない限りにおいてあらゆる変形や変更が可能である。
Claims (5)
- 樹脂絶縁層と、前記樹脂絶縁層上に形成された配線層とを備える配線基板の製造方法であって、
前記樹脂絶縁層上に第1の金属層を形成する工程と、
前記第1の金属層上にレジスト層を形成する工程と、
前記レジスト層に所定のパターンの開口を形成する工程と、
前記開口から露出する前記第1の金属層上に第2の金属層を形成する工程と、
前記レジスト層を剥離する工程と、
前記レジスト層の剥離により露出した前記第1の金属層にレーザを照射して前記第1の金属層を除去することによって、幅方向の両端に裾を引いた形状の、前記配線層の配線を形成する工程と、
を有することを特徴とする配線基板の製造方法。 - 前記レーザの照射により前記樹脂絶縁層表面を粗化することを特徴とする請求項1記載の配線基板の製造方法。
- 前記配線の上端の幅は、20μm以下であることを特徴とする請求項1または2に記載の配線基板の製造方法。
- 前記配線の下端の幅は、前記配線の上端の幅の1.2〜1.4倍であることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の配線基板の製造方法。
- 前記配線層上に接続端子形成用樹脂絶縁層を形成する工程と、
前記接続端子形成用樹脂絶縁層上に接続端子形成用第1の金属層を形成する工程と、
前記接続端子形成用第1の金属層に接続端子形成用レジスト層を形成する工程と、
前記接続端子形成用レジスト層に所定のパターンの開口を形成する工程と、
前記開口から露出する前記接続端子形成用第1の金属層上に接続端子形成用第2の金属層を形成する工程と、
前記接続端子形成用レジスト層を剥離する工程と、
前記接続端子形成用レジスト層の剥離により露出した前記接続端子形成用第1の金属層にレーザを照射して前記接続端子形成用第1の金属層を除去することによって、幅方向の両端に裾を引いた形状の接続端子を形成する工程と、
をさらに有することを特徴とする請求項1乃至請求項4の何れか一項に記載の配線基板の製造方法。
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