JP5742055B2 - 電子放出源 - Google Patents
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Description
現在、電子銃材料としてはLaB6が実用化されている。LaB6の仕事関数は2.66〜3.55eVであり、性能上昇のためにはさらなる仕事関数の低減化が必要である。例えば、LaB6を、アルカリ土類金属酸化物であるBaOでコートすると、仕事関数が2.27〜2.07eVまで下がることが報告されている。
この場合、バッファ層と薄膜層の界面に対して、第1層からの電荷を、第2層をトンネルさせて供給することができる。
厚みが4ユニットセルを超えると、仕事関数が急激に減少し、それ以上になると、仕事関数の変化は緩やかとなる。したがって、厚みに応じた低い仕事関数を得ることができる。
電子放出源1は、SrTiO3(チタン酸ストロンチウム)バッファ層(以下、単にバッファ層ともいう)10およびLaAlO3(ランタナムアルミネート)薄膜層(以下、単に薄膜層ともいう)20を備える。バッファ層10は、電気的に中性なSr2+O2−層12とTi4+O2 4−層14が交互に積層されて形成される。バッファ層10の表層は、Ti4+O2 4−で終端されている。
1. バッファ層10の第1層16の形成
0.5重量%分、NbをドープしたSrTiO3(100)基板表面を、機械研磨の上に、NH4F−HF溶液でエッチングを施すことで、原子スケールで平坦なTiO2終端表面を得る。この基板を真空チャンバー内に導入し、900℃、酸素分圧1×10−3Pa雰囲気において1時間アニールすることで清浄平坦表面を得る。清浄平坦表面は、原子間力顕微鏡により確認された。第1層16に導電性を持たせるために、Nbに代えてLaをドープしてもよいし、酸素欠損を導入してもよい。
この基板上に、ノンドープSrTiO3(100)薄膜を20ユニットセル分、基板温度700℃、酸素分圧1×10−4Paにおいて堆積させた。このノンドープ層は絶縁体化する必要があるので、残留伝導度の起源となる酸素欠損を消滅させるため、基板温度700℃、酸素分圧1×101Paにおいて1時間アニールを行い、ノンドープ層の絶縁体化を行った。この絶縁体化の条件が適正であることは、ノンドープ基板上で同様の薄膜成長およびアニールを行うことで、もとのノンドープ基板と同等の絶縁性が得られることを確かめることで確認している。
このように得られたノンドープSrTiO3(100)薄膜上に、LaAlO3薄膜を基板温度600℃、酸素分圧1×10−4Paにおいて少量ずつ堆積させた。薄膜成長は、KrFエキシマレーザー(Lambda Physik COMPexPro 201)によるパルスレーザーアブレーション法を用い、レーザーの照射エネルギーはSrTiO3に対しては、約30mJ、LaAlO3に対しては約45mJである。パルスレーザーの周波数は1Hzとした。
なお、堆積方法としては、パルスレーザーアブレーション法に代えて、分子線ビームエピタキシー法を用いてもよい。
第2の実施の形態は、薄膜成長用基板に関する。薄膜成長用基板1は、図1と同様の構成を有する。図1の構造体は、非常に平坦性の高い表面を、ある程度の面積で実現することができる。また化学的な安定性も非常に高い。したがって薄膜成長用の基板としての用途に適している。
Claims (7)
- Sr2+O2−とTi4+O2 4−が積層されて、その表層がTi4+O2 4−で終端されているSrTiO3バッファ層と、
前記SrTiO3バッファ層上に、順に交互に積層されたLa3+O2−層およびAl3+O2 4−層を含むLaAlO3薄膜層と、
を備えることを特徴とする電子放出源。 - 前記SrTiO3バッファ層は、
導電性を有するSrTiO3である第1層と、
前記第1層上に形成された、絶縁性を有するノンドープのSrTiO3である第2層と、
を含むことを特徴とする請求項1に記載の電子放出源。 - 前記第1層のSrTiO3は、NbまたはLaがドープされ、もしくは酸素欠損が導入されていることを特徴とする請求項2に記載の電子放出源。
- 前記第2層の厚みは、20ユニットセルであることを特徴とする請求項2に記載の電子放出源。
- 前記SrTiO3バッファ層と前記LaAlO3薄膜層の界面に接続された電極をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の電子放出源。
- 前記LaAlO3薄膜層の厚みは、4ユニットセル以上20ユニットセル以下であることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の電子放出源。
- 前記LaAlO3薄膜層の厚みは、面方向に変化することを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の電子放出源。
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