JP5741522B2 - Long surface treatment apparatus, surface treatment method, and copper clad laminated resin film substrate manufacturing method - Google Patents
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Description
本発明は、ロール・ツー・ロール方式により搬送されてくる長尺状樹脂フィルム、金属箔、金属ストリップ等の長尺体を、前フィードロールを介して冷却キャンロールの外周面に巻き付けると共に、冷却キャンロールの外周面と接していない長尺体の表面側に対して、スパッタリング等の熱負荷を伴う表面処理手段により表面処理する長尺体の表面処理装置と表面処理方法に係り、特に、表面処理の際、長尺状樹脂フィルム等の長尺体に皺の発生が起こり難い長尺体の表面処理装置と表面処理方法および銅張積層樹脂フィルム基板の製造方法に関するものである。 The present invention winds a long body such as a long resin film, a metal foil, and a metal strip conveyed by a roll-to-roll method around the outer peripheral surface of a cooling can roll through a front feed roll, The present invention relates to a surface treatment apparatus and a surface treatment method for a long body that is surface-treated by a surface treatment means that involves a thermal load such as sputtering, on the surface side of the long body that is not in contact with the outer peripheral surface of the can roll. The present invention relates to a surface treatment apparatus and a surface treatment method for a long body in which wrinkles are unlikely to occur in a long body such as a long resin film, and a method for producing a copper-clad laminated resin film substrate.
液晶パネル、ノートパソコン、デジタルカメラ、携帯電話等には、フレキシブル配線基板が用いられている。フレキシブル配線基板は、耐熱性樹脂フィルムの片面若しくは両面に金属膜を成膜した金属膜付耐熱性樹脂フィルムから作製される。近年、フレキシブル配線基板に形成される配線パターンはますます微細化、高密度化しており、金属膜付耐熱性樹脂フィルム自体が皺等のない平滑なものであることがより一層重要になってきている。 Flexible wiring boards are used in liquid crystal panels, notebook computers, digital cameras, mobile phones, and the like. The flexible wiring board is manufactured from a heat-resistant resin film with a metal film in which a metal film is formed on one side or both sides of a heat-resistant resin film. In recent years, wiring patterns formed on flexible wiring boards have become increasingly finer and denser, and it has become even more important that the heat-resistant resin film with metal film itself is smooth and free of defects. Yes.
この種の金属膜付耐熱性樹脂フィルムの製造方法としては、接着剤により金属箔を耐熱性樹脂フィルムに貼り付けて製造する方法(3層基板の製造方法と称される)、金属箔に耐熱性樹脂溶液をコーティングした後、乾燥させて製造する方法(キャスティング法と称される)、乾式めっき法(真空成膜法)若しくは乾式めっき法(真空成膜法)と湿式めっき法との組み合わせにより耐熱性樹脂フィルムに金属膜を成膜して製造する方法(メタライジング法と称される)等が従来から知られている。また、メタライジング法における上記乾式めっき法(真空成膜法)には、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、イオンビームスパッタリング法等がある。 As a manufacturing method of this kind of heat-resistant resin film with a metal film, a method of manufacturing by attaching a metal foil to a heat-resistant resin film with an adhesive (referred to as a manufacturing method of a three-layer substrate), heat-resistant to the metal foil By coating with a conductive resin solution and drying to manufacture (called casting method), dry plating method (vacuum film forming method) or a combination of dry plating method (vacuum film forming method) and wet plating method A method for producing a metal film on a heat-resistant resin film (referred to as a metallizing method) has been conventionally known. Further, the dry plating method (vacuum film forming method) in the metalizing method includes a vacuum deposition method, a sputtering method, an ion plating method, an ion beam sputtering method and the like.
上記メタライジング法については、特許文献1に、ポリイミド絶縁層上にクロムをスパッタリングした後、銅をスパッタリングしてポリイミド絶縁層上に導体層を形成する方法が開示されている。また、特許文献2に、銅ニッケル合金をターゲットとするスパッタリングで形成した第一の金属薄膜と、銅をターゲットとするスパッタリングで形成した第二の金属薄膜とが、この順でポリイミドフィルム上に積層されたフレキシブル回路基板用材料(すなわち、銅張積層樹脂フィルム基板)が開示されている。尚、ポリイミドフィルム等の耐熱性樹脂フィルムに真空成膜を行って金属膜付耐熱性樹脂フィルムを製造する場合、以下に述べるスパッタリングウェブコーターを用いることが一般的である。 Regarding the metallizing method, Patent Document 1 discloses a method in which chromium is sputtered on a polyimide insulating layer and then copper is sputtered to form a conductor layer on the polyimide insulating layer. In Patent Document 2, a first metal thin film formed by sputtering using a copper nickel alloy as a target and a second metal thin film formed by sputtering using copper as a target are laminated on a polyimide film in this order. A flexible circuit board material (that is, a copper-clad laminated resin film substrate) is disclosed. In addition, when manufacturing a heat resistant resin film with a metal film by vacuum film-forming to heat resistant resin films, such as a polyimide film, it is common to use the sputtering web coater described below.
そして、上述したスパッタリング法は、一般に、成膜された金属薄膜等の密着力に優れる利点を有する反面、真空蒸着法に比べて耐熱性樹脂フィルムに与える熱負荷が大きいといわれている。そして、成膜の際に耐熱性樹脂フィルムに大きな熱負荷がかかると、フィルムに皺が発生し易くなることも知られている。 And although the sputtering method mentioned above has the advantage which is excellent in the adhesive force of the metal thin film etc. which were formed into a film, it is said that the heat load given to a heat resistant resin film is large compared with the vacuum evaporation method. It is also known that when a large heat load is applied to the heat resistant resin film during film formation, wrinkles are likely to occur in the film.
この皺の発生を防ぐため、スパッタリングウェブコーターでは、ロール・ツー・ロール等により搬送される長尺耐熱性樹脂フィルムを、冷却機能を備える冷却キャンロールに密着させながら巻き付けることで成膜中の耐熱性樹脂フィルムを裏面側から冷却する方式が採用されている。例えば、特許文献3には、上記スパッタリングウェブコーターの一例である巻出巻取式(ロール・ツー・ロール方式)の真空スパッタリング装置が開示されている。この巻出巻取式の真空スパッタリング装置には、冷却キャンロールとして機能するクーリングロールを具備し、更に、クーリングロールの少なくとも耐熱性樹脂フィルムの搬入側(搬送上流側)にサブロール(前フィードロール)が設けられており、このサブロールによって耐熱性樹脂フィルムをクーリングロールに密着させる制御が行われている。 In order to prevent the generation of wrinkles, a sputtering web coater is used to heat-resistant during film formation by wrapping a long heat-resistant resin film conveyed by roll-to-roll or the like while closely contacting a cooling can roll having a cooling function. The system which cools a property resin film from the back side is adopted. For example, Patent Document 3 discloses an unwinding type (roll-to-roll type) vacuum sputtering apparatus which is an example of the sputtering web coater. This unwinding / winding-type vacuum sputtering apparatus includes a cooling roll that functions as a cooling can roll, and further, a sub-roll (pre-feed roll) on the carry-in side (upstream side of the heat-resistant resin film) of the cooling roll. The sub-roll is used to control the heat-resistant resin film in close contact with the cooling roll.
ところで、熱負荷が作用していない長尺状樹脂フィルム等の長尺体に対し、長さ方向へ向けて張力が印加された場合でも、図3(A)〜(C)に示すように長尺体の中央部に皺が発生する。すなわち、図3(A)に示すように長尺状樹脂フィルム等の長尺体に対し長さ方向へ向けて張力が印加されていない場合(張力開放状態)には長尺体に弛みがなく平坦状であるが、長尺体に対し長さ方向へ向けて張力が印加された場合(張力印加状態)には、図3(B)〜(C)に示すように冷却キャンロール(クーリングロール)に接触していない状態でも、長尺体全体が伸びて長尺体の中央部に皺が発生する状態(中だるみ状態)となる。 By the way, even when tension is applied in the length direction to a long body such as a long resin film to which no thermal load is applied, the length is long as shown in FIGS. A wrinkle occurs at the center of the scale. That is, as shown in FIG. 3A, when no tension is applied in the length direction to a long body such as a long resin film (in a tension released state), the long body has no slack. Although it is flat, when tension is applied to the long body in the length direction (tension applied state), a cooling can roll (cooling roll) as shown in FIGS. ) Even when not in contact with each other, the entire long body is stretched and wrinkles are generated in the central portion of the long body (a slackened state).
このため、長尺状樹脂フィルム等の長尺体に対し長さ方向へ向けて張力(搬送張力)が印加されていると、冷却キャンロール(円筒状クーリングロール)に巻き付けられた状態であっても、極僅かではあるが、図4(A)に示すように長尺体中央部に皺が発生する状態(中だるみ状態)となる。 For this reason, when tension (conveyance tension) is applied in the length direction to a long body such as a long resin film, the state is wound around a cooling can roll (cylindrical cooling roll). However, although it is very small, as shown in FIG. 4 (A), it will be in the state (medium slack state) which a wrinkle generate | occur | produces in the elongate body center part.
上記「中だるみ状態」が極僅かであっても、「中だるみ部位」に隙間が生じて冷却キャンロール(円筒状クーリングロール)との熱伝導効率が不十分となるため、その分、冷却効果が低下し、スパッタリング成膜の熱負荷に起因して上記「中だるみ部位」に幅方向の皺が発生し易くなる問題が存在した。特に、スパッタリング成膜の製造効率等を高める目的で長尺状樹脂フィルムの搬送速度を高めた場合には、所望膜厚のスパッタリング成膜を短時間で行う必要があるため、その分、長尺状樹脂フィルムに与える熱負荷が更に大きくなって上記問題が顕著となり、また、フィルムの搬送速度を高く設定しなくても、膜厚の薄い長尺状樹脂フィルムが適用された場合には、厚いフィルムと比較し長尺状樹脂フィルムに与える熱負荷が相対的に大きくなるため皺の発生が顕著となる。 Even if the above-mentioned “sagging state” is very small, a gap is generated in the “sagging part” and the heat conduction efficiency with the cooling can roll (cylindrical cooling roll) becomes insufficient, so the cooling effect is reduced accordingly. However, there has been a problem that wrinkles in the width direction are likely to occur in the above-mentioned “sagging portion” due to the thermal load of sputtering film formation. In particular, when the conveying speed of the long resin film is increased for the purpose of increasing the production efficiency of sputtering film formation, it is necessary to perform sputtering film formation with a desired film thickness in a short time. The thermal load applied to the resin film is further increased, and the above problem becomes significant. In addition, when a long resin film having a thin film thickness is applied without setting the film conveyance speed high, it is thick. Since the heat load applied to the long resin film is relatively larger than that of the film, wrinkles are prominent.
この問題を解消するため、非特許文献1では、ロール中央部に較べてロール端部側が高い逆クラウン形状の冷却キャンロール構造を採用し、冷却キャンロール端部側の周速がロール中央部より速くなるようにして長尺状樹脂フィルムの幅方向に皺が発生し難い装置を提案している。しかし、逆クラウン形状の冷却キャンロール構造を採用する方法は、大気中において長尺状樹脂フィルムとロールのグリップ力が弱くかつフィルムの搬送速度が速いときには効果的な方法であるが、スパッタリング成膜等真空チャンバー(減圧室)内の真空中において長尺状樹脂フィルムとロールのグリップ力が強くかつフィルムの搬送速度が遅いときには効果的な方法とは言えなかった。 In order to solve this problem, in Non-Patent Document 1, an inverted crown-shaped cooling can roll structure having a higher roll end side than the roll center portion is adopted, and the peripheral speed on the cooling can roll end side is higher than that of the roll center portion. An apparatus has been proposed in which wrinkles are less likely to occur in the width direction of the long resin film so as to be faster. However, the method using the inverted crown-shaped cooling can roll structure is effective when the grip force between the long resin film and the roll is weak and the film transport speed is high in the atmosphere. In a vacuum in an equal vacuum chamber (decompression chamber), it was not an effective method when the grip force between the long resin film and the roll was strong and the film transport speed was slow.
また、上記問題を解消するため、特許文献4では、ロール端部側に較べロール中央部が高い太鼓型(クラウンロール形状:特許文献4から計算すると中央部が2〜3mm程度高い)の冷却キャンロール形状にすることでフィルムの幅方向に皺が発生し難い装置を提案し、更に、特許文献5では、冷却キャンロールに搬入される前の長尺耐熱性樹脂フィルムに対し、電子線衝撃加熱装置等の付加手段により加熱し、熱膨張により伸びた長尺耐熱性樹脂フィルムをエキスパンドロールのような「伸ばしロール」によりフィルムの幅方向へ拡張させた後、冷却キャンロールに搬入させる装置を提案している。 Further, in order to solve the above problem, in Patent Document 4, a drum-type cooling canal (crown roll shape: the central part is about 2 to 3 mm higher when calculated from Patent Document 4) is higher than the roll end side. Proposing an apparatus in which wrinkles are less likely to occur in the width direction of the film by forming a roll shape. Further, in Patent Document 5, electron beam impact heating is applied to a long heat-resistant resin film before being carried into a cooling can roll. Proposed a device that is heated by additional means such as a device and expanded in the width direction of the long heat-resistant resin film stretched by thermal expansion with a “stretching roll” like an expand roll, and then carried into a cooling can roll doing.
そして、逆クラウン形状の冷却キャンロール構造を採用する上記非特許文献1の装置と比較し、真空中において長尺状樹脂フィルムとロールのグリップ力が強くかつフィルムの搬送速度が遅いときには、図4(B)に示すように太鼓型(クラウンロール)形状の冷却キャンロール構造を採用する特許文献4の装置(方法)は、クラウンロールに長尺状樹脂フィルムを巻き付けて上述の「中だるみ部位」を伸ばす作用があるため効果的であった。 When the grip force between the long resin film and the roll is strong and the transport speed of the film is slow in vacuum compared to the apparatus of Non-Patent Document 1 adopting the inverted crown-shaped cooling can roll structure, FIG. As shown in (B), the apparatus (method) of Patent Document 4 that employs a drum-shaped (crown roll) cooling can roll structure wraps a long resin film around a crown roll so that the above-mentioned “slack part” is formed. It was effective because of its stretching action.
しかし、特許文献4の装置(方法)は、真空中において長尺状樹脂フィルムとロールのグリップ力が強くかつフィルムの搬送速度が遅いときには効果的であるが、フィルムの搬送速度を速めた場合には、皺の発生を十分に防止できない問題が存在した。 However, the apparatus (method) of Patent Document 4 is effective when the grip force between the long resin film and the roll is strong and the film transport speed is slow in a vacuum, but when the film transport speed is increased. However, there was a problem that the generation of soot could not be sufficiently prevented.
また、特許文献5に記載された装置においても、冷却キャンロールの搬入側に電子線衝撃加熱装置やエキスパンドロールのような「伸ばしロール」を設ける必要があることから、これ等付加部材の配置スペースが余分に必要となり、更に、装置内の構造が複雑になってしまう問題を有していた。 Also, in the apparatus described in Patent Document 5, it is necessary to provide an “elongating roll” such as an electron beam impact heating device or an expanding roll on the carry-in side of the cooling can roll. However, there is a problem that the structure in the apparatus becomes complicated.
本発明はこのような問題点に着目してなされたもので、その課題とするところは、太鼓型(クラウンロール)形状の冷却キャンロール構造が採用された特許文献4の装置(方法)を改善し、長尺状樹脂フィルム等長尺体の搬送速度を速めた場合でも、上記スパッタリング成膜等の熱負荷に起因した長尺体の皺発生を回避できる長尺体の表面処理装置と表面処理方法および銅張積層樹脂フィルム基板の製造方法を提供することにある。 The present invention has been made paying attention to such problems, and the problem is to improve the apparatus (method) of Patent Document 4 in which a cooling can roll structure having a drum-shaped (crown roll) shape is adopted. Even when the conveying speed of the long body such as the long resin film is increased, the surface treatment apparatus and the surface treatment for the long body that can avoid wrinkling of the long body due to the thermal load such as the above-mentioned sputtering film formation It is in providing the method and the manufacturing method of a copper clad laminated resin film board | substrate.
すなわち、請求項1に係る発明は、
長尺体を巻き出す巻出ロールと、長尺体を巻き取る巻取ロールと、巻出ロールと巻取ロール間に設けられかつ回転駆動される冷却キャンロールと、冷却キャンロールの上流側に設けられかつロール・ツー・ロール方式により搬送される長尺体の張力を検出する張力センサーロールと、張力センサーロールと冷却キャンロール間に設けられかつ回転駆動されると共に巻出ロールから供給された上記長尺体を冷却キャンロールに搬入させる前フィードロールと、冷却キャンロールに対向する側でかつ冷却キャンロール外周面に沿って配置された熱負荷を伴う表面処理手段を真空チャンバー内に備え、
上記前フィードロールを介して冷却キャンロールの外周面に長尺体を巻き付けると共に、冷却キャンロール外周面と接していない長尺体の表面側を上記表面処理手段により表面処理する長尺体の表面処理装置において、
上記前フィードロールが加熱ロールにより構成され、この前フィードロールには搬送される長尺体に対しその幅方向へ向けて張力を付与するための幅拡げ機構を有するニップロールが付設されていると共に、冷却キャンロールの外周面は、その軸方向中央部より軸方向両端部が低いクラウン状に形成されており、
更に、上記ニップロールがゴム製ロールで構成され、かつ、ニップロールの幅拡げ機構が、ゴム製ロール面上の軸方向略中央に位置する中心点をそれぞれ結んで形成される外周線を基端側としかつこの基端側から軸方向両端側へ向けてV字形状となるように対称的に伸びる互いに平行若しくは略平行で上記V字形状先端が向かう方向とニップロールの回転方向が同一となるようにゴム製ロール外周面に設けられた複数の周期的溝体により構成されていることを特徴とし、
請求項2に係る発明は、
請求項1に記載の発明に係る長尺体の表面処理装置において、
上記張力センサーロールの外周面にも、搬送される長尺体に対しその幅方向へ向け張力を付与するための幅拡げ機構が設けられていることを特徴とする。
That is, the invention according to claim 1
An unwinding roll for unwinding the long body, a winding roll for winding the long body, a cooling can roll provided between the unwinding roll and the winding roll and driven to rotate, and upstream of the cooling can roll A tension sensor roll that detects tension of a long body that is provided and conveyed by a roll-to-roll system, and is provided between a tension sensor roll and a cooling can roll, and is rotated and supplied from an unwinding roll. Provided in the vacuum chamber with a surface treatment means with a heat load arranged on the side facing the cooling can roll and along the outer peripheral surface of the cooling can roll before feeding the long body into the cooling can roll,
The surface of the long body is wound around the outer peripheral surface of the cooling can roll via the front feed roll and the surface treatment of the surface of the long body that is not in contact with the outer peripheral surface of the cooling can roll by the surface treatment means. In the processing device,
The front feed roll is constituted by a heating roll, and the front feed roll is provided with a nip roll having a widening mechanism for applying a tension in the width direction to the long body to be conveyed, The outer peripheral surface of the cooling can roll is formed in a crown shape in which both axial end portions are lower than the axial central portion ,
Further, the nip roll is composed of a rubber roll, and the outer circumferential line formed by connecting the center points of the nip roll widening mechanism located approximately in the center in the axial direction on the rubber roll surface is defined as the base end side. The rubber extends so that the direction of the V-shaped tip and the rotational direction of the nip roll are the same as each other, extending parallel to or substantially parallel to each other so as to form a V-shape from the base end toward both ends in the axial direction. It is composed of a plurality of periodic grooves provided on the outer peripheral surface of the roll ,
The invention according to claim 2
In the surface treatment apparatus of the elongate body which concerns on invention of Claim 1,
The outer surface of the tension sensor roll is also provided with a widening mechanism for applying tension in the width direction to the long body to be conveyed.
次に、請求項3に係る発明は、
請求項2に記載の発明に係る長尺体の表面処理装置において、
上記張力センサーロールがゴム製ロールで構成され、かつ、張力センサーロールの幅拡げ機構が、ゴム製ロール面上の軸方向略中央に位置する中心点をそれぞれ結んで形成される外周線を基端側としかつこの基端側から軸方向両端側へ向けてV字形状となるように対称的に伸びる互いに平行若しくは略平行で上記V字形状先端が向かう方向と張力センサーロールの回転方向が同一となるようにゴム製ロール外周面に設けられた複数の周期的溝体により構成されていることを特徴とし、
請求項4に係る発明は、
請求項1〜3のいずれかに記載の発明に係る長尺体の表面処理装置において、
熱負荷を伴う上記表面処理手段により昇温される表面処理中における長尺体の温度以上に、表面処理前における長尺体が上記前フィードロールにより予め加熱されるようになっていることを特徴し、
請求項5に係る発明は、
請求項1に記載の発明に係る長尺体の表面処理装置において、
クラウン状に形成された上記冷却キャンロールの外周面が、冷却キャンロールにおける軸方向の長さ800mm当たり、その軸方向中央部が軸方向両端部より100〜900μm高く設定された形状を有していることを特徴とする。
Next, the invention according to claim 3 is
In the surface treatment apparatus of the elongate body which concerns on invention of Claim 2,
The tension sensor roll is composed of a rubber roll, and the tension sensor roll widening mechanism is based on an outer peripheral line formed by connecting center points located substantially in the axial direction on the rubber roll surface. The direction in which the V-shaped leading ends are parallel to or substantially parallel to each other and extend symmetrically so as to form a V shape from the base end side toward both ends in the axial direction is the same as the rotation direction of the tension sensor roll. It is constituted by a plurality of periodic grooves provided on the outer peripheral surface of the rubber roll so as to be,
The invention according to claim 4
In the surface treatment apparatus of the elongate body which concerns on the invention in any one of Claims 1-3 ,
The elongate body before the surface treatment is preliminarily heated by the front feed roll above the temperature of the elongate body during the surface treatment that is heated by the surface treatment means with thermal load. And
The invention according to claim 5
In the surface treatment apparatus of the elongate body which concerns on invention of Claim 1,
The outer peripheral surface of the cooling can roll formed in a crown shape has a shape in which the axial central portion is set 100 to 900 μm higher than both axial end portions per 800 mm in the axial direction of the cooling can roll. It is characterized by being.
また、請求項6に係る発明は、
請求項1〜5のいずれかに記載の発明に係る長尺体の表面処理装置において、
上記前フィードロールの下流側で冷却キャンロールとの間に、搬送される長尺体に対しその幅方向へ向けて張力を付与するための幅拡げ機構を有するゴム製ロールが組み込まれ、かつ、この幅拡げ機構が、ゴム製ロール面上の軸方向略中央に位置する中心点をそれぞれ結んで形成される外周線を基端側としかつこの基端側から軸方向両端側へ向けてV字形状となるように対称的に伸びる互いに平行若しくは略平行で上記V字形状先端が向かう方向とゴム製ロールの回転方向が同一となるようにゴム製ロール外周面に設けられた複数の周期的溝体により構成されていることを特徴とし、
請求項7に係る発明は、
請求項1〜6のいずれかに記載の発明に係る長尺体の表面処理装置において、
回転駆動される冷却キャンロールの周速度より回転駆動される前フィードロールの周速度が遅く設定されていることを特徴とし、
請求項8に係る発明は、
請求項1〜7のいずれかに記載の発明に係る長尺体の表面処理装置において、
熱負荷を伴う上記表面処理手段が、スパッタリングによる成膜手段で構成されていることを特徴とし、
請求項9に係る発明は、
請求項1〜7のいずれかに記載の発明に係る長尺体の表面処理装置において、
熱負荷を伴う上記表面処理手段が、コロナ若しくはプラズマによる表面活性化手段で構成されていることを特徴とする。
The invention according to claim 6
In the surface treatment apparatus of the elongate body which concerns on the invention in any one of Claims 1-5 ,
A rubber roll having a widening mechanism for applying tension toward the width direction of the elongated body to be conveyed is incorporated between the cooling can roll on the downstream side of the front feed roll, and This widening mechanism has a V-shape with the outer peripheral line formed by connecting the central points located substantially in the center in the axial direction on the rubber roll surface as the base end side and from the base end side toward both axial end sides. A plurality of periodic grooves provided on the outer peripheral surface of the rubber roll so that the direction of the V-shaped tip and the direction of rotation of the rubber roll are the same, extending symmetrically so as to form a shape, and being parallel to each other. It is composed of the body,
The invention according to claim 7 provides:
In the surface treatment apparatus of the elongate body which concerns on the invention in any one of Claims 1-6 ,
The peripheral speed of the front feed roll that is rotationally driven is set slower than the peripheral speed of the cooling can roll that is rotationally driven,
The invention according to claim 8 provides:
In the surface treatment apparatus of the elongated body according to the invention according to any one of claims 1 to 7
The surface treatment means with thermal load is composed of film formation means by sputtering,
The invention according to claim 9 is:
In the surface treatment apparatus of the elongated body according to the invention according to any one of claims 1 to 7
The surface treatment means accompanied by a thermal load is constituted by surface activation means using corona or plasma.
次に、請求項10に係る発明は、
長尺体を巻き出す巻出ロールと、長尺体を巻き取る巻取ロールと、巻出ロールと巻取ロール間に設けられかつ回転駆動される冷却キャンロールと、冷却キャンロールの上流側に設けられかつロール・ツー・ロール方式により搬送される長尺体の張力を検出する張力センサーロールと、張力センサーロールと冷却キャンロール間に設けられかつ回転駆動されると共に巻出ロールから供給された上記長尺体を冷却キャンロールに搬入させる前フィードロールと、冷却キャンロールに対向する側でかつ冷却キャンロール外周面に沿って配置された熱負荷を伴う表面処理手段を真空チャンバー内に具備する表面処理装置を用い、
上記前フィードロールを介して冷却キャンロールの外周面に長尺体を巻き付けると共に、冷却キャンロール外周面と接していない長尺体の表面側を上記表面処理手段により表面処理する長尺体の表面処理方法において、
上記冷却キャンロールの外周面をその軸方向中央部より軸方向両端部が低いクラウン状に形成し、上記前フィードロールを加熱ロールで構成すると共に、搬送される長尺体に対しその幅方向へ向け張力を付与するための幅拡げ機構を有するニップロールを上記前フィードロールに付設し、更に、該ニップロールをゴム製ロールで構成し、かつ、ニップロールの幅拡げ機構を、ゴム製ロール面上の軸方向略中央に位置する中心点をそれぞれ結んで形成される外周線を基端側としかつこの基端側から軸方向両端側へ向けてV字形状となるように対称的に伸びる互いに平行若しくは略平行で上記V字形状先端が向かう方向とニップロールの回転方向が同一となるようにゴム製ロール外周面に設けられた複数の周期的溝体で構成して、搬送されてくる表面処理前の長尺体を前フィードロールにより予め加熱し、かつ、表面処理前の上記長尺体に対しニップロールの幅拡げ機構により幅方向へ向け張力を付与しながら冷却キャンロールへ搬入させることを特徴とし、
請求項11に係る発明は、
請求項10に記載の発明に係る長尺体の表面処理方法において、
上記張力センサーロールの外周面にも、搬送される長尺体に対しその幅方向へ向け張力を付与するための幅拡げ機構を設けたことを特徴とする。
Next, the invention according to
An unwinding roll for unwinding the long body, a winding roll for winding the long body, a cooling can roll provided between the unwinding roll and the winding roll and driven to rotate, and upstream of the cooling can roll A tension sensor roll that detects tension of a long body that is provided and conveyed by a roll-to-roll system, and is provided between a tension sensor roll and a cooling can roll, and is rotated and supplied from an unwinding roll. The vacuum chamber includes a feed roll before carrying the long body into the cooling can roll, and a surface treatment means with a thermal load arranged on the side facing the cooling can roll and along the outer peripheral surface of the cooling can roll. Using surface treatment equipment
The surface of the long body is wound around the outer peripheral surface of the cooling can roll via the front feed roll and the surface treatment of the surface of the long body that is not in contact with the outer peripheral surface of the cooling can roll by the surface treatment means. In the processing method,
The outer peripheral surface of the cooling can roll is formed in a crown shape whose axial both ends are lower than the axial center portion, and the front feed roll is constituted by a heating roll, and in the width direction with respect to the long body to be conveyed. A nip roll having a widening mechanism for applying a tension toward the front is attached to the front feed roll , and the nip roll is formed of a rubber roll, and the nip roll widening mechanism is connected to a shaft on the rubber roll surface. The outer peripheral lines formed by connecting the center points located substantially in the center in the direction are the base end sides, and extend symmetrically so as to form a V shape from the base end side toward the both axial end sides. parallel and composed of a plurality of periodic grooves body provided rubber roll outer surface so that the rotation direction of the direction and nip rolls the V-shaped tip is directed is the same, it is conveyed The long body before the surface treatment is preheated by the front feed roll, and the long body before the surface treatment is carried into the cooling can roll while applying a tension in the width direction by the nip roll widening mechanism. Features
The invention according to
In the surface treatment method for a long body according to the invention of
Also provided on the outer peripheral surface of the tension sensor roll is a widening mechanism for applying tension in the width direction to the conveyed long body.
また、請求項12に係る発明は、
請求項11に記載の発明に係る長尺体の表面処理方法において、
上記張力センサーロールをゴム製ロールで構成し、かつ、張力センサーロールの幅拡げ機構を、ゴム製ロール面上の軸方向略中央に位置する中心点をそれぞれ結んで形成される外周線を基端側としかつこの基端側から軸方向両端側へ向けてV字形状となるように対称的に伸びる互いに平行若しくは略平行で上記V字形状先端が向かう方向と張力センサーロールの回転方向が同一となるようにゴム製ロール外周面に設けられた複数の周期的溝体で構成したことを特徴とし、
請求項13に係る発明は、
請求項10〜12のいずれかに記載の発明に係る長尺体の表面処理方法において、
熱負荷を伴う上記表面処理手段により昇温される表面処理中における長尺体の温度以上に、表面処理前における長尺体を上記前フィードロールにより予め加熱することを特徴とし、
請求項14に係る発明は、
請求項10に記載の発明に係る長尺体の表面処理方法において、
上記冷却キャンロールにおける外周面のクラウン形状を、冷却キャンロールにおける軸方向の長さ800mm当たり、その軸方向中央部が軸方向両端部より100〜900μm高くなるように設定したことを特徴とする。
The invention according to
In the surface treatment method of the elongate body which concerns on invention of
The tension sensor roll is composed of a rubber roll, and the tension sensor roll widening mechanism is connected to a central point located approximately in the center in the axial direction on the rubber roll surface. The direction in which the V-shaped leading ends are parallel to or substantially parallel to each other and extend symmetrically so as to form a V shape from the base end side toward both ends in the axial direction is the same as the rotation direction of the tension sensor roll. It is characterized by comprising a plurality of periodic grooves provided on the outer peripheral surface of the rubber roll,
The invention according to
In the surface treatment method of the elongate body according to the invention described in any one of claims 10-12,
More than the temperature of the long body during the surface treatment that is heated by the surface treatment means with heat load, the long body before the surface treatment is preheated by the pre-feed roll,
The invention according to
In the surface treatment method for a long body according to the invention of
The crown shape of the outer peripheral surface of the cooling can roll is set so that the axial central portion is 100 to 900 μm higher than both axial end portions per 800 mm of the axial length of the cooling can roll.
次に、請求項15に係る発明は、
請求項10〜14のいずれかに記載の発明に係る長尺体の表面処理方法において、
上記前フィードロールの下流側で冷却キャンロールとの間に、搬送される長尺体に対しその幅方向へ向けて張力を付与するための幅拡げ機構を有するゴム製ロールを組み込むと共に、上記幅拡げ機構を、ゴム製ロール面上の軸方向略中央に位置する中心点をそれぞれ結んで形成される外周線を基端側としかつこの基端側から軸方向両端側へ向けてV字形状となるように対称的に伸びる互いに平行若しくは略平行で上記V字形状先端が向かう方向とゴム製ロールの回転方向が同一となるようにゴム製ロール外周面に設けた複数の周期的溝体で構成したことを特徴とし、
請求項16に係る発明は、
請求項10〜15のいずれかに記載の発明に係る長尺体の表面処理方法において、
回転駆動される上記冷却キャンロールの周速度より、回転駆動される上記前フィードロールの周速度を遅く設定することを特徴とし、
請求項17に係る発明は、
請求項16に記載の発明に係る長尺体の表面処理方法において、
上記冷却キャンロールの周速度に対して上記前フィードロールの周速度を0.02%〜1%遅く設定することを特徴とし、
請求項18に係る発明は、
請求項10〜17のいずれかに記載の発明に係る長尺体の表面処理方法において、
熱負荷を伴う上記表面処理手段が、スパッタリングによる成膜手段であることを特徴とし、
請求項19に係る発明は、
請求項10〜17のいずれかに記載の発明に係る長尺体の表面処理方法において、
熱負荷を伴う上記表面処理手段が、コロナ若しくはプラズマによる表面活性化手段であることを特徴とする。
Next, the invention according to
In the surface treatment method of the elongate body according to the invention described in any one of claims 10-14,
Incorporating a rubber roll having a widening mechanism for applying tension in the width direction to the long body to be conveyed between the cooling can roll on the downstream side of the front feed roll and the width The spreading mechanism has a V-shape with the outer peripheral line formed by connecting the center points located substantially in the center in the axial direction on the rubber roll surface as the base end side and from the base end side toward the both ends in the axial direction. A plurality of periodic grooves provided on the outer peripheral surface of the rubber roll so that the direction of the V-shaped tip and the rotation direction of the rubber roll are the same. It is characterized by
The invention according to
In the surface treatment method of the elongate body according to the invention described in any one of claims 10-15,
The peripheral speed of the front feed roll that is rotationally driven is set slower than the peripheral speed of the cooling can roll that is rotationally driven,
The invention according to
In the surface treatment method of the elongate body which concerns on invention of
The peripheral speed of the front feed roll is set to be 0.02% to 1% slower than the peripheral speed of the cooling can roll,
The invention according to claim 18
In the surface treatment method of the elongate body according to the invention described in any one of claims 10-17,
The surface treatment means accompanied by a thermal load is a film formation means by sputtering,
The invention according to claim 19 is
In the surface treatment method of the elongate body according to the invention described in any one of claims 10-17,
The surface treatment means accompanied by a thermal load is a surface activation means using corona or plasma.
更に、請求項20に係る発明は、
請求項18に記載の発明に係る長尺体の表面処理方法において、
上記長尺体が長尺の耐熱性樹脂フィルムで構成され、かつ、熱負荷を伴うスパッタリング成膜手段により昇温される成膜中における耐熱性樹脂フィルムの成膜時フィルム温度以上かつ該成膜時フィルム温度に80℃を加えた温度以下の範囲で、表面処理前における上記耐熱性樹脂フィルムを前フィードロールにより予め加熱することを特徴とし、
請求項21に係る発明は、
請求項20に記載の長尺体の表面処理方法を用いて、長尺の耐熱性樹脂フィルム基板と、耐熱性樹脂フィルム基板の表面に成膜されたニッケル合金またはクロムから成る下地金属層と、下地金属層の表面に成膜された銅薄膜層とで構成される銅張積層樹脂フィルム基板を製造する方法において、
真空チャンバー内に複数のスパッタリング成膜手段を設けると共に、複数のスパッタリング成膜手段を用いて耐熱性樹脂フィルム基板の表面にニッケル合金またはクロムから成る下地金属層と、下地金属層の表面に銅薄膜層を連続して成膜することを特徴とする。
Furthermore, the invention according to claim 20 is
In the surface treatment method of an elongated body according to the invention of claim 18 ,
The long body is composed of a long heat-resistant resin film, and the film temperature is higher than the film temperature at the time of film formation of the heat-resistant resin film during film formation in which the temperature is raised by sputtering film formation means with a thermal load. In the range below the temperature obtained by adding 80 ° C. to the film temperature, the heat-resistant resin film before the surface treatment is preheated by a pre-feed roll,
The invention according to claim 21 is
Using the surface treatment method for a long body according to claim 20 , a long heat-resistant resin film substrate, a base metal layer made of nickel alloy or chromium formed on the surface of the heat-resistant resin film substrate, In a method for producing a copper-clad laminated resin film substrate composed of a copper thin film layer formed on the surface of a base metal layer,
A plurality of sputtering film forming means are provided in the vacuum chamber, and a plurality of sputtering film forming means are used to form a base metal layer made of nickel alloy or chromium on the surface of the heat-resistant resin film substrate and a copper thin film on the surface of the base metal layer. It is characterized in that the layers are continuously formed.
本発明に係る長尺体の表面処理装置並びに表面処理方法は、
冷却キャンロールの近傍位置でかつ長尺体の搬入側に配置された前フィードロールが加熱ロールにより構成され、この前フィードロールには搬送される長尺体に対しその幅方向へ向けて張力を付与するための幅拡げ機構を有するニップロールが付設されていると共に、冷却キャンロールの外周面は、その軸方向中央部より軸方向両端部が低いクラウン状に形成されており、更に、上記ニップロールがゴム製ロールで構成され、かつ、ニップロールの幅拡げ機構が、ゴム製ロール面上の軸方向略中央に位置する中心点をそれぞれ結んで形成される外周線を基端側としかつこの基端側から軸方向両端側へ向けてV字形状となるように対称的に伸びる互いに平行若しくは略平行で上記V字形状先端が向かう方向とニップロールの回転方向が同一となるようにゴム製ロール外周面に設けられた複数の周期的溝体により構成されていることを特徴としている。
A surface treatment apparatus and a surface treatment method for a long body according to the present invention include:
The front feed roll arranged near the cooling can roll and on the carry-in side of the long body is constituted by a heating roll, and this front feed roll applies tension to the long body to be conveyed in the width direction. with nip rolls having a width widened mechanism for imparting is attached, the outer peripheral surface of the cooling can roll has axial end portions is formed in the lower crown shape than its axially central portion, further, the nip rolls It is composed of rubber rolls, and the nip roll widening mechanism has a base line on the outer peripheral line formed by connecting the center points located substantially in the center in the axial direction on the rubber roll surface. The direction of the V-shaped tip and the direction of rotation of the nip roll are the same in parallel or substantially parallel to each other, extending symmetrically so as to form a V shape toward both ends in the axial direction. It is characterized by being composed of a plurality of periodic grooves body provided rubber roll outer surface so.
そして、表面処理前における長尺体を上記前フィードロールにより予め加熱し、かつ、加熱された長尺体に対しニップロールの幅拡げ機構により幅方向へ向け張力を付与しながら上記長尺体をクラウン状冷却キャンロールに搬入させていることから、搬送張力により生じた長尺体の「中だるみ部位」が上記前フィードロールの加熱作用とニップロールの幅拡げ作用並びにクラウン状冷却キャンロールの伸ばし作用により幅方向へ拡げられるため、熱負荷を伴う表面処理に起因した長尺体の皺発生を回避することが可能となる。 Then, the long body before the surface treatment is pre-heated by the front feed roll, and the long body is crowned while applying a tension in the width direction by a nip roll widening mechanism. Since it is carried into the cylindrical cooling can roll, the “slack part” of the elongated body caused by the transport tension is reduced by the heating action of the front feed roll, the widening action of the nip roll and the extending action of the crown cooling can roll. Since it is expanded in the direction, it is possible to avoid the occurrence of wrinkles on the long body due to the surface treatment with heat load.
以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail.
まず、真空チャンバー(減圧室)内に表面処理手段を具備する従来例に係る表面処理装置と本発明に係る表面処理装置について、スパッタリングウェブコーターを例に挙げてそれぞれの概略構成を説明する。 First, a schematic configuration of a surface treatment apparatus according to a conventional example having a surface treatment means in a vacuum chamber (decompression chamber) and a surface treatment apparatus according to the present invention will be described by taking a sputtering web coater as an example.
尚、このスパッタリングウェブコーター(表面処理装置)において、ロール・ツー・ロール方式で搬送される長尺の耐熱性樹脂フィルムを長尺体の一例として挙げている。 In this sputtering web coater (surface treatment apparatus), a long heat-resistant resin film conveyed by a roll-to-roll method is cited as an example of a long body.
また、図1に示す従来例に係る表面処理装置と図2に示す本発明に係る表面処理装置において、同一の構成部品は原則として同一番号で表示している。 Further, in the surface treatment apparatus according to the conventional example shown in FIG. 1 and the surface treatment apparatus according to the present invention shown in FIG. 2, the same components are generally indicated by the same numbers.
(1)従来例に係る表面処理装置(スパッタリングウェブコーター)
従来例に係るスパッタリングウェブコーター(表面処理装置)50は、図1に示すように真空チャンバー(減圧室)内に、長尺樹脂フィルム52を巻き出す巻出ロール51と、長尺樹脂フィルム52を巻き取る巻取ロール64と、巻出ロール51と巻取ロール64間に設けられ内部で温調された冷媒が循環していると共にサーボモータにより回転駆動される円筒状の冷却キャンロール56と、冷却キャンロール56の上流側に設けられかつサーボモータにより回転駆動されると共に巻出ロール51から供給された長尺樹脂フィルム52を冷却キャンロール56に搬入させる前フィードロール55と、冷却キャンロール56の下流側に設けられかつサーボモータにより回転駆動されると共に冷却キャンロール56から送り出される長尺樹脂フィルム52を上記巻取ロール64側へ搬出させる後フィードロール61が配置された構造を有しており、かつ、表面処理手段(乾式めっき手段)としてマグネトロンスパッタリングカソード57、58、59、60が、冷却キャンロール56の対向側で冷却キャンロール56の外周面に沿って設けられている。
(1) Conventional surface treatment apparatus (sputtering web coater)
A sputtering web coater (surface treatment apparatus) 50 according to a conventional example includes an unwinding
また、上記巻出ロール51から冷却キャンロール56までの上流側搬送路上には、長尺樹脂フィルム52を案内するフリーロール53と、長尺樹脂フィルム52の張力測定を行う張力センサーロール54と、サーボモータにて回転駆動される前フィードロール55がそれぞれ配置されている。そして、サーボモータにて回転駆動される冷却キャンロール56に対しその周速度が遅くなるように調整された上記前フィードロール55により長尺樹脂フィルム52に搬入張力が作用し、張力センサーロール54から送り出されて冷却キャンロール56に向かう長尺樹脂フィルム52が冷却キャンロール56の外周面に密着し搬送されるようになっている。
Further, on the upstream conveyance path from the unwinding
また、冷却キャンロール56から巻取ロール64までの下流側搬送路上にも、サーボモータにて回転駆動される後フィードロール61と、長尺樹脂フィルム52の張力測定を行う張力センサーロール62と、長尺樹脂フィルム52を案内するフリーロール63がそれぞれ配置されている。そして、冷却キャンロール56に対しその周速度が同一若しくは速くなるように調整された上記後フィードロール61により長尺樹脂フィルム52に搬出張力が作用し、冷却キャンロール56から巻取ロール64側に向けて長尺樹脂フィルム52が排出されるようになっている。
In addition, a
(2)従来例に係る表面処理装置(スパッタリングウェブコーター)の弊害
図5は、表面処理された長尺樹脂フィルム(ポリイミドフィルム)に皺が発生するメカニズムを分かり易く説明するため、図1に示した表面処理装置(スパッタリングウェブコーター)における「前フィードロール」「冷却キャンロール」「マグネトロンスパッタリングカソード」の位置関係、長尺樹脂フィルムの搬送方向、フィルムに生じた皺等を二次元平面に直して表示したものである。
(2) Disadvantages of Surface Treatment Apparatus (Sputtering Web Coater) According to Conventional Example FIG. 5 is shown in FIG. 1 in order to easily understand the mechanism of wrinkles generated on a surface-treated long resin film (polyimide film). In the surface treatment equipment (sputtering web coater), the positional relationship of the “front feed roll”, “cooling can roll”, “magnetron sputtering cathode”, the direction of transport of the long resin film, wrinkles generated on the film, etc. It is displayed.
そして、図5に示すように前フィードロール11を通過した長尺樹脂フィルム10は、長さ方向(搬送方向)へ向け作用する搬送張力により発生した「中だるみ部位」(図3B参照)をフィルム中央に有しながら冷却キャンロール12に搬入され、かつ、冷却キャンロール12に密着したままマグネトロンスパッタリングカソード13、14、15、16を通過するが、スパッタリングカソード13、14、15、16の熱負荷により長尺樹脂フィルム10は110℃付近まで加熱されて熱膨張する。
Then, as shown in FIG. 5, the
この場合、円筒状の冷却キャンロール12の冷却作用により長尺樹脂フィルム10は冷却されるが、長尺樹脂フィルム10の中央に存在する「中だるみ部位」により冷却作用は十分でなく(図4A参照)、かつ、長尺樹脂フィルム10は冷却キャンロール12に拘束されているため伸びることができず皺17が発生する。尚、長尺樹脂フィルムの一例として用いたポリイミドフィルムの代表的な線熱膨張係数は12ppm/Kであり、長尺樹脂フィルムがポリイミドフィルムの場合、幅1000mm当たり10℃の上昇で0.12mm伸びる計算になる。
In this case, the
(3)本発明に係る表面処理装置(スパッタリングウェブコーター)
本発明に係る表面処理装置(スパッタリングウェブコーター)50は、図2に示すように真空チャンバー(減圧室)内に、長尺樹脂フィルム52を巻き出す巻出ロール51と、長尺樹脂フィルム52を巻き取る巻取ロール64と、巻出ロール51と巻取ロール64間に設けられかつ内部で温調された冷媒が循環していると共にサーボモータにより回転駆動されるクラウン形状の冷却キャンロール56と、冷却キャンロール56の上流側に設けられかつサーボモータにより回転駆動されると共に巻出ロール51から供給された長尺樹脂フィルム52を加熱しながら冷却キャンロール56に搬入させる前フィードロール55と、冷却キャンロール56の下流側に設けられかつサーボモータにより回転駆動されると共に冷却キャンロール56から送り出される長尺樹脂フィルム52を上記巻取ロール64側へ搬出させる後フィードロール61が配置された構造を有しており、かつ、上記前フィードロール55には搬送される長尺樹脂フィルム52に対しその幅方向へ向けて張力を付与するための幅拡げ機構を有するニップロール65が付設されており、更に、上記前フィードロール55の下流側で冷却キャンロール56との間には搬送される長尺樹脂フィルム52に対しその幅方向へ向けて張力を付与するための幅拡げ機構を有するゴム製ロール66が組み込まれていると共に、上記冷却キャンロール56の対向側には表面処理手段(乾式めっき手段)としてマグネトロンスパッタリングカソード57、58、59、60が冷却キャンロール56の外周面に沿って設けられている。
(3) Surface treatment apparatus (sputtering web coater) according to the present invention
A surface treatment apparatus (sputtering web coater) 50 according to the present invention includes an unwinding
ここで、本発明に係る表面処理装置において、上記前フィードロール55は加熱ロールにより構成され、上述したように巻出ロール51から供給された長尺樹脂フィルム52を加熱しながら冷却キャンロール56に搬入させる構造になっている。また、上記ニップロール65は、前フィードロール55と冷却キャンロール56との間に組み込まれたゴム製ロール66と同様のゴム製ロールで構成されており、上記ゴム製ロール66とニップロール65が具備する各幅拡げ機構は、図11に示すようにゴム製ロール110面上の軸方向略中央に位置する中心点をそれぞれ結んで形成される外周線110aを基端側とし、かつ、この基端側から軸方向両端側へ向けてV字形状となるように対称的に伸びる互いに平行若しくは略平行でかつ上記V字形状先端が向かう方向とニップロール65等の回転方向が同一となるように上記ゴム製ロール110外周面に設けられた複数の周期的溝体110bにより構成されている。上記周期的溝体110bの角度とその深さ、ピッチは、長尺樹脂フィルム(長尺体)52の厚さ、密着力、搬送張力と抱き角等により決定される。尚、図2に示す本発明の表面処理装置においては、前フィードロール55と冷却キャンロール56との間にゴム製ロール66を組み込んだ構造になっているが、上記長尺樹脂フィルム(長尺体)52に対する幅拡げ作用がニップロール65の幅拡げ機構で十分に機能する場合にはゴム製ロール66の組み込みを省略することも可能である。
Here, in the surface treatment apparatus according to the present invention, the
また、上記巻出ロール51から冷却キャンロール56までの上流側搬送路上には、長尺樹脂フィルム52を案内するフリーロール53と、長尺樹脂フィルム52の張力測定を行う張力センサーロール54と、サーボモータにて回転駆動される前フィードロール55がそれぞれ配置されている。また、張力センサーロール54はゴム製ロールで構成されており、上述したニップロール65と同様、ゴム製ロールの外周面に複数の周期的溝体110b(図11参照)で構成される幅拡げ機構が設けられている。尚、上記長尺樹脂フィルム52に対する幅拡げ作用がニップロール65の幅拡げ機構で十分に機能する場合には、幅拡げ機構を具備しない通常の張力センサーロールを適用することも可能である。
Further, on the upstream conveyance path from the unwinding
そして、サーボモータにて回転駆動される上記冷却キャンロール56に対しその周速度が遅くなるように調整された前フィードロール55により長尺樹脂フィルム52に搬入張力が作用し、張力センサーロール54から送り出されて冷却キャンロール56に向かう長尺樹脂フィルム52が冷却キャンロール56の外周面に密着し搬送されるようになっている。尚、冷却キャンロール56に対する長尺樹脂フィルム52の密着をより完全にさせるため、基準速度となる冷却キャンロール56の周速度に対して上記前フィードロール55の周速度を0.02%〜1%遅く設定することが望ましい。0.02%未満では長尺樹脂フィルム52の密着効果が十分でなく、また、1%を越えると長尺樹脂フィルム52に傷が入ることがあるからである。
Then, a carry-in tension is applied to the
また、上記冷却キャンロール56から巻取ロール64までの下流側搬送路上にも、サーボモータにて回転駆動される後フィードロール61と、長尺樹脂フィルム52の張力測定を行う張力センサーロール62と、長尺樹脂フィルム52を案内するフリーロール63がそれぞれ配置されている。
In addition, a
そして、冷却キャンロール56に対しその周速度が同一若しくは速くなるように調整された上記後フィードロール61により長尺樹脂フィルム52に搬出張力が作用し、冷却キャンロール56から巻取ロール64側に向けて長尺樹脂フィルム52が排出されるようになっている。
Then, a carry-out tension is applied to the
また、上記巻出ロール51と巻取ロール64では、パウダークラッチ等によるトルク制御によって、長尺樹脂フィルム52の張力バランスが保たれるようになっている。更に、冷却キャンロール56の回転とこれに連動して回転するサーボモータ駆動の前フィードロール55と後フィードロール61により、巻出ロール51から長尺樹脂フィルム52が巻き出されて上記巻取ロール64に巻き取られるようになっている。
Further, the unwinding
また、スパッタリングウェブコーター(表面処理装置)50では、上述したように表面処理手段(乾式めっき手段)としてマグネトロンスパッタリングカソード57、58、59、60が上記冷却キャンロール56の外周面に沿って設けられている。
In the sputtering web coater (surface treatment apparatus) 50, as described above, the
そして、スパッタリング成膜に際しては、スパッタリングウェブコーター50の減圧室内を到達圧力10-4Pa程度まで減圧した後、スパッタリングガスの導入により0.1〜10Pa程度の圧力調整が行われる。スパッタリングガスにはアルゴン等公知のガスが使用され、目的に応じて更に酸素等のガスが添加される。スパッタリングウェブコーター(表面処理装置)50の形状や材質に関しては、減圧状態に耐え得るものであれば特に限定はなく、種々のものが使用される。また、スパッタリングウェブコーター50における減圧室内の減圧状態を維持するため、スパッタリングウェブコーター50には、図示しないドライポンプ、ターボ分子ポンプ、クライオコイル等の種々の装置が付設されている。
In sputtering film formation, the pressure inside the reduced pressure chamber of the
尚、金属膜のスパッタリング成膜の場合には、板状のターゲット(図示せず)を使用することができるが、板状ターゲットを用いた場合、ターゲット上にノジュール(異物の成長)が発生することがある。これが問題となる場合には、ノジュールの発生がなく、ターゲットの使用効率が高い円筒形のロータリーターゲットを使用することが好ましい。また、図2に示すスパッタリングウェブコーター(表面処理装置)50は、熱負荷を伴う表面処理手段としてスパッタリングを想定したものであることからマグネトロンスパッタリングカソード57、58、59、60が示されているが、熱負荷を伴う表面処理手段が蒸着処理等他のものである場合は、板状ターゲットに代えて他の表面処理手段を備えることもできる。尚、熱負荷を伴う他の表面処理手段として、CVD(化学的気相成長)による成膜手段や、コロナ若しくはプラズマによる表面活性化手段等がある。
In the case of sputtering a metal film, a plate-like target (not shown) can be used. However, when a plate-like target is used, nodules (foreign material growth) are generated on the target. Sometimes. When this becomes a problem, it is preferable to use a cylindrical rotary target that generates no nodules and has high target use efficiency. Moreover, since the sputtering web coater (surface treatment apparatus) 50 shown in FIG. 2 assumes sputtering as a surface treatment means with a thermal load,
そして、図2に示した本発明の表面処理装置は、前フィードロール55がIH(誘導加熱)方式の加熱ロールにより構成され、この前フィードロール55にはニップロール65が付設されていると共に、上記張力センサーロール54、ニップロール65およびゴム製ロール66が、周期的溝体110b(図11参照)により構成された幅拡げ機構を外周面に有するゴム製ロールで構成されており、かつ、冷却キャンロール56の外周面が軸方向中央部より軸方向両端部が低いクラウン形状になっていることを特徴としている。
In the surface treatment apparatus of the present invention shown in FIG. 2, the
尚、上記冷却キャンロール56における外周面のクラウン形状に関しては、長尺樹脂フィルム52の厚さ、搬送張力に依存する。そして、厚さ10〜40μmのポリイミドフィルムで長尺樹脂フィルム52が構成される場合、冷却キャンロール56における軸方向の長さ800mm当たり、その軸方向中央部が軸方向両端部より100〜900μm高くなるように設定するとよい。軸方向中央部の高さが100μm未満の太鼓型(クラウンロール形状)では十分な効果が認められず、また、上記軸方向中央部の高さが900μmを超えて1000μm以上の太鼓型(クラウンロール形状)では長尺樹脂フィルム52の端部側が冷却キャンロール56から浮いてしまう傾向が認められ、長尺樹脂フィルム52の中央に皺が発生することがあるからである。
The crown shape of the outer peripheral surface of the cooling can roll 56 depends on the thickness of the
(4)本発明に係る表面処理装置(スパッタリングウェブコーター)の作用
以下、図2に示した表面処理装置(スパッタリングウェブコーター)の作用について、図6〜図10を用いて説明する。
(4) Action of surface treatment apparatus (sputtering web coater) according to the present invention The action of the surface treatment apparatus (sputtering web coater) shown in FIG. 2 will be described below with reference to FIGS.
図6〜図10は、表面処理された長尺樹脂フィルム(ポリイミドフィルム)に皺が発生するメカニズムまたは皺の発生が抑制されるメカニズムについて分かり易く説明するため、図2に示した表面処理装置(スパッタリングウェブコーター)の「張力センサーロール」(幅拡げ機構を具備させた場合のみ表示)、「前フィードロール」、「ニップロール」、「冷却キャンロール」、「ゴム製ロール」(前フィードロールと冷却キャンロールとの間に組み込んだ場合のみ表示)、「マグネトロンスパッタリングカソード」におけるこれ等の位置関係、長尺樹脂フィルムの搬送方向等を二次元平面に直し表示したものである。 FIGS. 6 to 10 illustrate the mechanism for generating wrinkles or suppressing the generation of wrinkles in the surface-treated long resin film (polyimide film). Sputtering web coater “tension sensor roll” (displayed only when equipped with a widening mechanism), “front feed roll”, “nip roll”, “cooling can roll”, “rubber roll” (front feed roll and cooling) These are displayed only when they are incorporated in between the can rolls), the positional relationship of these in the “magnetron sputtering cathode”, the transport direction of the long resin film, etc., in a two-dimensional plane.
但し、「張力センサーロール」「ニップロール」「ゴム製ロール」の各外周面に設けられた周期的溝体のV字形状先端は、長尺樹脂フィルムに対する各ロールの幅拡げ作用が視覚的に分かり易くなるように長尺樹脂フィルムの搬送に従い拡がる方向へ向けて表示しており、「張力センサーロール」「ニップロール」「ゴム製ロール」の各回転方向(時計回りか、あるいは、逆時計回りか)については無視した表示となっている。 However, the V-shaped tips of the periodic grooves provided on the outer peripheral surfaces of the “tension sensor roll”, “nip roll”, and “rubber roll” visually indicate the widening effect of each roll on the long resin film. It is displayed in the direction of spreading along the conveyance of the long resin film so that it becomes easy. Each direction of rotation of the “tension sensor roll”, “nip roll”, and “rubber roll” (clockwise or counterclockwise) Is ignored.
そして、表面処理装置(スパッタリングウェブコーター)の使用条件は、冷却キャンロールと前フィードロールの周速度差(冷却キャンロールに対し前フィードロールの周速度を遅くした割合)が「0.5(%)」、冷却キャンロールのクラウン量(冷却キャンロールにおける軸方向の長さ800mm当たり軸方向中央部が軸方向両端部より高くした量)が「500μm」、長尺樹脂フィルム(ポリイミドフィルム)の搬送速度が該フィルムに作用する熱負荷が相対的に大きくなる「8m/分」とし、かつ、全てのマグネトロンスパッタリングを用い成膜している(マグネトロンスパッタへの「投入総電力は65kW」)。 The use condition of the surface treatment apparatus (sputtering web coater) is that the difference in the peripheral speed between the cooling can roll and the front feed roll (the ratio of the peripheral speed of the front feed roll being slower than the cooling can roll) is "0.5 (% ) ”, The crown amount of the cooling can roll (the amount in which the axial central portion is higher than the axial both ends per 800 mm in the axial direction of the cooling can roll) is“ 500 μm ”, and the long resin film (polyimide film) is conveyed. The film is formed by using all the magnetron sputtering (“total input power to the magnetron sputtering is 65 kW”) at a speed of “8 m / min” where the heat load acting on the film becomes relatively large.
尚、成膜時の長尺樹脂フィルム温度は該フィルムに張り付けた熱電対で測定し、その温度は110℃に達している。 In addition, the temperature of the long resin film at the time of film-forming is measured with the thermocouple stuck on this film, and the temperature has reached 110 degreeC.
(4-1)幅拡げ機構を有しない張力センサーロールが用いられ、前フィードロールと冷却キャンロールとの間にゴム製ロールが組込まれておらず、「前フィードロール(ロール温度が常温20℃に設定)」と「幅拡げ機構を有するニップロール」と「クラウン形状の冷却キャンロール(ロール温度が60℃に設定)」を備えた図2の表面処理装置(スパッタリングウェブコーター)を用いて長尺樹脂フィルムに対しマグネトロンスパッタリング成膜を行った場合
図6に示すように、前フィードロール71と幅拡げ機構を有するニップロール72間を通過する長尺樹脂フィルム(ポリイミドフィルム)70は、ニップロール72の作用により幅方向へ引っ張られるが、20℃に設定された前フィードロール71の加熱作用がないため幅寸法を殆ど変えずに60℃に設定されたクラウン形状の冷却キャンロール73に搬入され、冷却キャンロール73に密着しかつ冷却キャンロール73により暖められた状態で搬送される。暖められた長尺樹脂フィルム70は、図6の矢印方向(フィルム幅方向の外側向き)へ伸びようとするが、冷却キャンロール73表面がクラウン形状で長尺樹脂フィルム70は張られた状態のため緩み難い。
(4-1) A tension sensor roll having no widening mechanism is used, and no rubber roll is incorporated between the front feed roll and the cooling can roll. 2) equipped with “a nip roll having a widening mechanism” and a “crown-shaped cooling can roll (roll temperature set to 60 ° C.)”. When Magnetron Sputtering Film Formation is Performed on a Resin Film As shown in FIG. 6, the long resin film (polyimide film) 70 passing between the
そして、冷却キャンロール73表面に密着した状態で長尺樹脂フィルム70はスパッタリングカソード74、75、76、77を通過し、スパッタリングカソード74、75、76、77の熱負荷により長尺樹脂フィルム70は110℃付近まで加熱されるため、フィルムに皺78が発生してしまう。
The
尚、長尺樹脂フィルム(ポリイミドフィルム)の搬送速度を「4m/分」とし、長尺樹脂フィルムに作用する熱負荷が相対的に小さくなる(成膜時間が2倍となるため熱負荷は1/2となる)ように調整することで皺の発生を防止できるが、搬送速度が遅くなる分、製造効率が低下するデメリットが存在する。 In addition, the conveyance speed of the long resin film (polyimide film) is set to “4 m / min”, and the heat load acting on the long resin film becomes relatively small (the film formation time is doubled, so the heat load is 1). 2), the occurrence of wrinkles can be prevented, but there is a demerit that the production efficiency is lowered as the conveyance speed is reduced.
(4-2)幅拡げ機構を有しない張力センサーロールが用いられ、前フィードロールと冷却キャンロールとの間にゴム製ロールが組込まれておらず、かつ、「前フィードロール(ロール温度が110℃に設定)」と「幅拡げ機構を有するニップロール」と「クラウン形状の冷却キャンロール(ロール温度が60℃に設定)」を備えた図2の表面処理装置(スパッタリングウェブコーター)を用いて長尺樹脂フィルムに対しマグネトロンスパッタリング成膜を行った場合
前フィードロール81を通過した長尺樹脂フィルム80は、図7に示すように前フィードロール81により加熱されてフィルム温度が常温20℃から110℃まで上昇し、長尺樹脂フィルム80は熱膨張により幅方向外側へ向けて約1080ppm[(12ppm/K)×(Δ90℃=110−20)]拡げられた状態となり、更に、図11に示したニップロール82の幅拡げ機構によりフィルム幅方向の外側へ向け拡げられながら60℃に設定された冷却キャンロール83に搬入される。
(4-2) A tension sensor roll having no widening mechanism is used, no rubber roll is incorporated between the front feed roll and the cooling can roll, and “front feed roll (roll temperature is 110 2) equipped with a “nip roll having a widening mechanism” and a “crown-shaped cooling can roll (roll temperature set to 60 ° C.)”. When the magnetron sputtering film formation is performed on the long resin film The
次に、110℃まで昇温した長尺樹脂フィルム80が60℃に設定された冷却キャンロール83へ搬入されると、長尺樹脂フィルム80は冷却されて図7の矢印方向(フィルム幅方向の内側向き)へ向かう収縮力が長尺樹脂フィルム80に作用するが、長尺樹脂フィルム80は冷却キャンロール83に密着した状態(密着により収縮力が抑制され、引っ張り応力を受けた状態)でマグネトロンスパッタリングカソード84、85、86、87の配置領域へ搬送される。
Next, when the
そして、この領域においてマグネトロンスパッタリングカソード84、85、86、87の熱負荷により長尺樹脂フィルム80は110℃付近まで加熱されるため、図7の矢印方向(フィルム幅方向の内側向き)へ向かう収縮力(引っ張り応力)が緩和されると共に、上記ニップロール82の幅拡げ機構により収縮力(引っ張り応力)への緩和作用が増幅して図7に示すように長尺樹脂フィルム80に皺が発生することはない。
In this region, the
尚、前フィードロール81を構成する加熱ロールの設定温度は、熱負荷を伴うスパッタリング成膜手段により昇温される成膜中における長尺樹脂フィルム80の成膜時フィルム温度(すなわち110℃)以上かつ該成膜時フィルム温度に80℃を加えた温度以下、望ましくは、上記成膜時フィルム温度以上かつ該成膜時フィルム温度に30℃を加えた温度以下の範囲に設定するとよい。前フィードロール81を構成する加熱ロールの設定温度が、熱負荷を伴うスパッタリング成膜手段により昇温される成膜中における長尺樹脂フィルム80の成膜時フィルム温度に80℃を加えた温度を越えると、長尺樹脂フィルム80が前フィードロール81に搬入されたとき、長尺樹脂フィルム80の急激な温度変化により前フィードロール81上で長尺樹脂フィルム80に皺が発生することがあるからである。表面処理装置(スパッタリングウェブコーター)において、上記長尺樹脂フィルム80は減圧雰囲気下の真空チャンバー内を搬送されるため、前フィードロール81と冷却キャンロール83間の放熱は輻射熱のみであり、前フィードロール81と冷却キャンロール83間で長尺樹脂フィルム80の温度が下がることもない。
Note that the set temperature of the heating roll constituting the
(4-3)前フィードロールと冷却キャンロールとの間にゴム製ロールが組込まれておらず、かつ、「幅拡げ機構を有する張力センサーロール」と「前フィードロール(ロール温度が110℃に設定)」と「幅拡げ機構を有するニップロール」と「クラウン形状の冷却キャンロール(ロール温度が60℃に設定)」を備えた図2の表面処理装置(スパッタリングウェブコーター)を用いて長尺樹脂フィルムに対しマグネトロンスパッタリング成膜を行った場合
図7に示した表面処理装置(スパッタリングウェブコーター)において、幅拡げ機構を有しない通常の張力センサーロールに変えて、図8に示すように幅拡げ機構を有する張力センサーロール98とした場合である。
(4-3) A rubber roll is not incorporated between the front feed roll and the cooling can roll, and the “tension sensor roll having a widening mechanism” and the “previous feed roll (the roll temperature is 110 ° C.) Long surface resin using the surface treatment apparatus (sputtering web coater) of FIG. 2 equipped with “setting)”, “nip roll having a widening mechanism” and “crown-shaped cooling can roll (roll temperature set to 60 ° C.)” When performing magnetron sputtering film formation on the film In the surface treatment apparatus (sputtering web coater) shown in FIG. 7, instead of a normal tension sensor roll having no width expanding mechanism, a width expanding mechanism as shown in FIG. This is the case of the
そして、幅拡げ機構を有する張力センサーロール98により、予め、長尺樹脂フィルム90に対し幅方向へ向け引っ張り力を作用させることで、前フィードロール91の加熱とニップロール92の幅拡げ機構による幅方向外側へ向けた長尺樹脂フィルム90の拡張をスムーズに行える効果がある。
Then, by applying a tensile force in the width direction to the
(4-4)幅拡げ機構を有しない張力センサーロールが用いられ、かつ、「前フィードロール(ロール温度が110℃に設定)」と「幅拡げ機構を有するニップロール」と「前フィードロールと冷却キャンロールとの間に組み込まれたゴム製ロール」と「クラウン形状の冷却キャンロール(ロール温度が60℃に設定)」を備えた図2の表面処理装置(スパッタリングウェブコーター)を用いて長尺樹脂フィルムに対しマグネトロンスパッタリング成膜を行った場合
図7に示した表面処理装置(スパッタリングウェブコーター)に変えて、図9に示すように前フィードロール101と冷却キャンロール103との間に幅拡げ機構を有するゴム製ロール108を組み込んだ場合である。
(4-4) A tension sensor roll having no widening mechanism is used, and “front feed roll (roll temperature is set to 110 ° C.)”, “nip roll with widening mechanism”, and “front feed roll and cooling” Using the surface treatment apparatus (sputtering web coater) of FIG. 2 equipped with a “rubber roll incorporated between the can roll” and a “crown-shaped cooling can roll (roll temperature set to 60 ° C.)” When magnetron sputtering film formation is performed on a resin film In place of the surface treatment apparatus (sputtering web coater) shown in FIG. 7, the width is increased between the
そして、前フィードロール101により長尺樹脂フィルム100を加熱し、かつ、幅拡げ機構を有するニップロール102を作用させた直後において、幅拡げ機構を有するゴム製ロール108を作用させることで、長尺樹脂フィルム100に対する幅方向外側へ向けた拡張をスムーズに行える効果がある。
Then, immediately after the
(4-5)「幅拡げ機構を有する張力センサーロール」と「前フィードロール(ロール温度が110℃に設定)」と「幅拡げ機構を有するニップロール」と「前フィードロールと冷却キャンロールとの間に組み込まれたゴム製ロール」と「クラウン形状の冷却キャンロール(ロール温度が60℃に設定)」を備えた図2の表面処理装置(スパッタリングウェブコーター)を用いて長尺樹脂フィルムに対しマグネトロンスパッタリング成膜を行った場合
図7に示した表面処理装置(スパッタリングウェブコーター)において、幅拡げ機構を有しない通常の張力センサーロールに変えて、図10に示すように幅拡げ機構を有する張力センサーロール209とし、かつ、前フィードロール201と冷却キャンロール203との間に幅拡げ機構を有するゴム製ロール208を組み込んだ場合である。
(4-5) “Tension sensor roll with widening mechanism”, “Front feed roll (roll temperature set to 110 ° C.)”, “Nip roll with widening mechanism” and “Front feed roll and cooling can roll” Using the surface treatment device (sputtering web coater) of FIG. 2 equipped with a “rubber roll incorporated in between” and “crown-shaped cooling can roll (roll temperature set to 60 ° C.)” When performing magnetron sputtering film formation In the surface treatment apparatus (sputtering web coater) shown in FIG. 7, instead of a normal tension sensor roll having no widening mechanism, tension having a widening mechanism as shown in FIG. The
そして、幅拡げ機構を有する張力センサーロール209により、予め、長尺樹脂フィルム200に対し幅方向へ向け引っ張り力を作用させ、かつ、前フィードロール201により長尺樹脂フィルム200を加熱し、更に、幅拡げ機構を有するニップロール202を作用させた直後において、幅拡げ機構を有するゴム製ロール208を作用させることで、長尺樹脂フィルム200に対する幅方向外側へ向けた拡張をよりスムーズに行える効果がある。
Then, a tensile force is applied to the
(5)長尺体と銅張積層樹脂フィルム基板
(5-1)長尺体
表面処理の対象となる長尺体は、長尺状の樹脂フィルム、金属箔、金属ストリップ等が挙げられる。そして、樹脂フィルムとしては、ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムのような長尺樹脂フィルムや、ポリイミドフィルムのような長尺耐熱性樹脂フィルム等が例示される。
(5) Long body and copper clad laminated resin film substrate (5-1) Long body Examples of the long body to be surface-treated include a long resin film, metal foil, and metal strip. Examples of the resin film include a long resin film such as a polyethylene terephthalate (PET) film, a long heat resistant resin film such as a polyimide film, and the like.
(5-2)銅張積層樹脂フィルム(金属膜付耐熱性樹脂フィルム)基板
本発明に係る長尺体の表面処理方法を用いて、銅張積層樹脂フィルム(金属膜付耐熱性樹脂フィルム)基板を製造することができる。
(5-2) Copper-clad laminated resin film (heat-resistant resin film with metal film) substrate A copper-clad laminated resin film (heat-resistant resin film with metal film) substrate using the surface treatment method for a long body according to the present invention. Can be manufactured.
上記銅張積層樹脂フィルム(金属膜付耐熱性樹脂フィルム)基板としては、耐熱性樹脂フィルム表面にNi、Ni系合金、クロム等からなる下地金属層と、下地金属層の表面に積層された銅薄膜層とで構成された構造体が例示される。このような構造を有する銅張積層樹脂フィルム基板は、サブトラクティブ法によりフレキシブル配線基板に加工される。ここで、サブトラクティブ法とは、レジストで覆われていない金属膜(例えば、上記銅薄膜層)をエッチングにより除去してフレキシブル配線基板を製造する方法である。 The copper-clad laminated resin film (heat-resistant resin film with metal film) substrate includes a base metal layer made of Ni, Ni-based alloy, chromium, etc. on the surface of the heat-resistant resin film, and copper laminated on the surface of the base metal layer. A structure composed of a thin film layer is exemplified. The copper clad laminated resin film substrate having such a structure is processed into a flexible wiring substrate by a subtractive method. Here, the subtractive method is a method of manufacturing a flexible wiring board by removing a metal film (for example, the copper thin film layer) not covered with a resist by etching.
上記Ni合金等からなる層はシード層(下地金属層)と呼ばれ、銅張積層樹脂フィルム基板の電気絶縁性や耐マイグレーション性等の所望の特性によりその組成が選択される。そして、シード層には、Ni−Cr合金またはインコネル、コンズタンタンやモネル等の各種公知の合金を用いることができる。また、銅張積層樹脂フィルム(金属膜付耐熱性樹脂フィルム)基板の金属膜(銅薄膜層)を更に厚くしたい場合は、湿式めっき法を用いて金属膜を形成することがある。尚、電気めっき処理(すなわち、電解めっき処理)のみで金属膜を形成する場合と、一次めっきとして無電解めっき処理を行い、二次めっきとして電解めっき処理等の湿式めっき法を組み合わせて行う場合もある。湿式めっき処理は、常法による湿式めっき法の諸条件を採用すればよい。 The layer made of Ni alloy or the like is called a seed layer (underlying metal layer), and its composition is selected depending on desired characteristics such as electrical insulation and migration resistance of the copper-clad laminated resin film substrate. The seed layer can be made of various known alloys such as Ni—Cr alloy or Inconel, Condanthan, Monel and the like. Moreover, when it is desired to further increase the thickness of the metal film (copper thin film layer) of the copper-clad laminated resin film (heat-resistant resin film with metal film) substrate, the metal film may be formed using a wet plating method. There are cases where a metal film is formed only by electroplating (ie, electroplating), and electroless plating is performed as primary plating and wet plating such as electrolytic plating is combined as secondary plating. is there. The wet plating process may employ various conditions of a conventional wet plating method.
また、上記銅張積層樹脂フィルム(金属膜付耐熱性樹脂フィルム)に用いる耐熱性樹脂フィルムとしては、例えば、ポリイミド系フィルム、ポリアミド系フィルム、ポリエステル系フィルム、ポリテトラフルオロエチレン系フィルム、ポリフェニレンサルファイド系フィルム、ポリエチレンナフタレート系フィルムまたは液晶ポリマー系フィルムから選ばれる樹脂フィルムが挙げられ、銅張積層樹脂フィルムとしての柔軟性、実用上必要な強度、配線材料として好適な電気絶縁性を有する点から好ましい。 Moreover, as a heat resistant resin film used for the said copper clad laminated resin film (heat resistant resin film with a metal film), for example, a polyimide film, a polyamide film, a polyester film, a polytetrafluoroethylene film, a polyphenylene sulfide film A resin film selected from a film, a polyethylene naphthalate-based film or a liquid crystal polymer-based film is mentioned, which is preferable in terms of flexibility as a copper-clad laminated resin film, practically necessary strength, and electrical insulation suitable as a wiring material. .
尚、上記銅張積層樹脂フィルム(金属膜付耐熱性樹脂フィルム)として、長尺耐熱性樹脂フィルムにNi-Cr合金やCu等の金属膜を積層した構造体を例示したが、上記金属膜以外に、目的に応じて酸化物膜、窒化物膜、炭化物膜等を用いることも可能である。 In addition, as the copper-clad laminated resin film (heat-resistant resin film with metal film), a structure in which a metal film such as a Ni—Cr alloy or Cu is laminated on a long heat-resistant resin film is exemplified. In addition, an oxide film, a nitride film, a carbide film, or the like can be used depending on the purpose.
以下、本発明の実施例について具体的に説明する。 Examples of the present invention will be specifically described below.
図2に示す表面処理装置(スパッタリングウェブコーター)50を用い、長尺樹脂フィルム(長尺耐熱性樹脂フィルム)52には、幅500mm、長さ1000m、厚さ25μmの東レ・デュポン株式会社製の耐熱性ポリイミドフィルム「カプトン(登録商標)」を使用した。 Using a surface treatment apparatus (sputtering web coater) 50 shown in FIG. 2, a long resin film (long heat resistant resin film) 52 is manufactured by Toray DuPont Co., Ltd. having a width of 500 mm, a length of 1000 m, and a thickness of 25 μm. A heat-resistant polyimide film “Kapton (registered trademark)” was used.
「冷却キャンロール56」は、直径800mm、幅800mmで、冷却キャンロール本体表面にハードクロムめっきが施されている。また、冷却キャンロール56の外周面形状は、ロール軸方向両端部よりロール軸方向中央部が高い太鼓型(クラウンロール形状)となっており、そのクラウン量(冷却キャンロールにおける軸方向の長さ800mm当たり軸方向中央部が軸方向両端部より高くした量)が「200μm」と「500μm」(実施例の条件)の2種と、上記クラウン量が「0μm」と「1000μm」(比較例の条件)の2種を準備した。 The “cooling can roll 56” has a diameter of 800 mm and a width of 800 mm, and the surface of the cooling can roll body is subjected to hard chrome plating. Moreover, the outer peripheral surface shape of the cooling can roll 56 is a drum type (crown roll shape) whose central portion in the roll axial direction is higher than both ends in the roll axial direction, and the crown amount (the axial length of the cooling can roll). The amount of the central portion in the axial direction per 800 mm higher than the axial end portions) is “200 μm” and “500 μm” (conditions of the example), and the crown amounts are “0 μm” and “1000 μm” (in the comparative example) Two types of conditions) were prepared.
「前フィードロール55」は、IH(誘導加熱)方式の加熱ロール(トクデン株式会社製)で構成し、直径が150mm、有効幅が500mmであり、かつ、前フィードロール55の設定温度について、「20℃」、「60℃」、「110℃」および「200℃」の4条件を選定している。更に、冷却キャンロール56と前フィードロール55の周速度差(冷却キャンロール56に対し前フィードロール55の周速度を遅くする割合)については、「0.5(%)」と「1.0(%)」(実施例の条件)の2条件と、上記周速度差が「0(%)」と「2.0(%)」(比較例の条件)の2条件を選定している。
The “
「ニップロール65」は、直径70mm、幅800mmのゴム製ロールで構成され、ロール外周面にフィルムの進行方向に広がる図11に示すような周期的溝体(幅拡げ機構)が形成されている。尚、周期的溝体の溝の深さ0.2mm、溝の幅0.2mm、ピッチ1mmで、かつ、V字形状先端の開き角度(リード角度)が70°に設定されている。
The “nip
「張力センサーロール54」は、直径120mm、幅800mmのゴム製ロールで構成され、ロール外周面にフィルムの進行方向に広がる図11に示すような周期的溝体(幅拡げ機構)が形成されている。尚、周期的溝体の溝の深さ0.2mm、溝の幅0.2mm、ピッチ1mmで、V字形状先端の開き角度(リード角度)が70°に設定されている。
The “
前フィードロール55と冷却キャンロール56との間に組み込まれる「ゴム製ロール66」は、直径70mm、幅800mmのゴム製ロールで構成され、ロール外周面にフィルムの進行方向に広がる図11に示すような周期的溝体(幅拡げ機構)が形成されている。尚、周期的溝体の溝の深さ0.2mm、溝の幅0.2mm、ピッチ1mmで、V字形状先端の開き角度(リード角度)が70°に設定されている。
The “
また、上記耐熱性ポリイミドフィルム(長尺耐熱性樹脂フィルム)52に成膜される金属膜はシード層であるNi−Cr膜の上にCu膜を成膜するものとし、かつ、マグネトロンスパッタターゲット57にはNi−Crターゲットを用い、マグネトロンスパッタターゲット58、59、60にはCuターゲットを用い、更に、アルゴンガスを300sccm導入し、各カソードへの印加電力は電力制御で成膜を行った。
The metal film formed on the heat-resistant polyimide film (long heat-resistant resin film) 52 is formed by forming a Cu film on the Ni—Cr film as a seed layer, and the
また、上記巻出ロール51と巻取ロール64の張力は100Nとした。巻出ロール51に上記耐熱性ポリイミドフィルム(長尺耐熱性樹脂フィルム)52をセットし、かつ、冷却キャンロール56を経由して上記耐熱性ポリイミドフィルム50の先端部を巻取ロール64に取り付けた。
Moreover, the tension | tensile_strength of the said
また、減圧室(真空チャンバー)を複数台のドライポンプにより5Paまで排気した後、更に、複数台のターボ分子ポンプとクライオコイルを用いて3×10-3Paまで排気した。 The decompression chamber (vacuum chamber) was evacuated to 5 Pa with a plurality of dry pumps, and further evacuated to 3 × 10 −3 Pa using a plurality of turbo molecular pumps and cryocoils.
そして、耐熱性ポリイミドフィルム(長尺耐熱性樹脂フィルム)52の搬送速度を設定した後、各マグネトロンスパッタカソード57、58、59、60にアルゴンガスを導入して電力を印加し、シード層を構成するNi−Cr膜と、このNi−Cr膜上に形成するCu膜の成膜を開始した。
Then, after setting the conveyance speed of the heat-resistant polyimide film (long heat-resistant resin film) 52, argon gas is introduced into each of the
「評価試験」
図2に示す表面処理装置(スパッタリングウェブコーター)50を用い、かつ、前フィードロール55を介して冷却キャンロール56上に耐熱性ポリイミドフィルム(長尺耐熱性樹脂フィルム)52を巻きつけると共に、冷却キャンロール56近傍に配置されたマグネトロンスパッタカソード57、58、59、60により耐熱性ポリイミドフィルム(長尺耐熱性樹脂フィルム)52表面に対しスパッタリング成膜を行い、成膜終了後、耐熱性ポリイミドフィルム(長尺耐熱性樹脂フィルム)52が後フィードロール61へ搬出される手前側の冷却キャンロール56上で、熱負荷を伴うスパッタリング成膜による耐熱性ポリイミドフィルム(長尺耐熱性樹脂フィルム)52の皺発生の有無を観察窓から目視にて観察した。
"Evaluation test"
A surface treatment apparatus (sputtering web coater) 50 shown in FIG. 2 is used, and a heat-resistant polyimide film (long heat-resistant resin film) 52 is wound around a cooling can roll 56 via a
また、マグネトロンスパッタリングカソード57を構成する1枚のNi−Crターゲットを用いてNi−Cr層を成膜し、その膜厚は10nmである。また、マグネトロンスパッタリングカソード58、59、60を構成する3枚のCuターゲットを用いてCu膜を成膜し、その膜厚は100nmである。
Further, a Ni—Cr layer is formed using one Ni—Cr target constituting the
また、フィルムの搬送速度については、上記Ni−Cr層とCu膜の膜厚が保たれるようにして、皺が発生しない最高フィルム搬送速度を求めた。 Moreover, about the film conveyance speed, the maximum film conveyance speed | rate which does not generate | occur | produce a wrinkle was calculated | required so that the film thickness of the said Ni-Cr layer and Cu film | membrane could be maintained.
例えば、耐熱性ポリイミドフィルム(長尺耐熱性樹脂フィルム)の搬送速度を2倍に設定したとき、Ni−Cr膜とCu膜の膜厚を保つには各スパッタ電源の投入電力を2倍にすればよい。 For example, when the conveyance speed of a heat-resistant polyimide film (long heat-resistant resin film) is set to double, in order to maintain the film thickness of Ni-Cr film and Cu film, the input power of each sputtering power supply should be doubled. That's fine.
その結果を、表1〜4にまとめる。 The results are summarized in Tables 1-4.
「確 認」
(1)クラウン量(冷却キャンロールにおける軸方向の長さ800mm当たり軸方向中央部が軸方向両端部より高くした量)が「1000μm」の冷却キャンロールを適用した場合、前フィードロールにおける設定温度、冷却キャンロールと前フィードロールの周速度差の条件と無関係にフィルムに「搬送皺」が発生していることが表1〜表4から確認できる。
"Confirmation"
(1) When a cooling can roll having a crown amount (the amount that the axial central portion is higher than the axial end portions per 800 mm in the axial direction of the cooling can roll) of “1000 μm” is applied, the set temperature in the front feed roll It can be confirmed from Tables 1 to 4 that “conveyance flaws” are generated on the film regardless of the peripheral speed difference between the cooling can roll and the previous feed roll.
上記クラウン量が「1000μm」と大き過ぎると、フィルムの端部が冷却キャンロールに密着しなくなることからフィルムの搬送が不安定となり、熱負荷を伴うスパッタリング成膜を行わなくてもフィルムに「搬送皺」が発生してしまうことが分かる。 If the crown amount is too large, “1000 μm”, the end of the film will not be in close contact with the cooling can roll, so the film will become unstable and the film will be “conveyed” even without performing sputtering film formation with a thermal load. It can be seen that “皺” occurs.
(2)クラウン量(冷却キャンロールにおける軸方向の長さ800mm当たり軸方向中央部が軸方向両端部より高くした量)が「0μm」(従来の円筒状冷却キャンロール)の冷却キャンロールを適用した場合、前フィードロールにおける設定温度の高低に拘わらず皺無し最高フィルム搬送速度が「2.0(m/分)」であることが表1〜表3から確認できる。 (2) A cooling can roll having a crown amount (the amount that the axial central portion is higher than the axial end portions per 800 mm in the axial length of the cooling can roll) is “0 μm” (conventional cylindrical cooling can roll). In this case, it can be confirmed from Tables 1 to 3 that the maximum wrinkle-free film transport speed is “2.0 (m / min)” regardless of the set temperature of the previous feed roll.
(3)前フィードロールの設定温度が「200℃」に設定された場合、上記クラウン量が「200μm」と「500μm」の条件(実施例の条件)で、冷却キャンロールと前フィードロールの周速度差が「0.5(%)」と「1.0(%)」の条件(実施例の条件)に設定してもフィルムに「加熱皺」が発生していることが表4から確認できる。 (3) When the set temperature of the front feed roll is set to “200 ° C.”, the circumference of the cooling can roll and the front feed roll is set under the conditions (examples) where the crown amount is “200 μm” and “500 μm”. Table 4 confirms that “heating flaws” occur in the film even when the speed difference is set to “0.5 (%)” and “1.0 (%)” conditions (example conditions). it can.
上記前フィードロールの設定温度が「200℃」と高過ぎると、急激な温度変化により前フィードロール上でスパッタリング成膜を行わなくてもフィルムに「加熱皺」が発生してしまうことが分かる。 It can be seen that if the set temperature of the front feed roll is too high at “200 ° C.”, a “heating soot” is generated on the film without performing sputtering film formation on the front feed roll due to a rapid temperature change.
ここで、上記前フィードロールの設定温度について、「20℃」(表1)、「60℃」(表2)、「110℃」(表3)および「200℃」(表4)の4条件が選定された理由は、「20℃」は前フィードロールを温度制御しない室温、「110℃」はスパッタリング成膜中の熱負荷によるフィルム最高温度(成膜時フィルム温度)、また、「60℃」は「20℃」と「110℃」のほぼ中間温度、「200℃」は実用的な前フィードロール(加熱ロール)の最高温度のためである。 Here, for the set temperature of the front feed roll, four conditions of “20 ° C.” (Table 1), “60 ° C.” (Table 2), “110 ° C.” (Table 3) and “200 ° C.” (Table 4) “20 ° C.” is the room temperature at which the temperature of the previous feed roll is not controlled, “110 ° C.” is the maximum film temperature (film temperature during film formation) due to the thermal load during sputtering film formation, and “60 ° C.” "Is an intermediate temperature between" 20 ° C "and" 110 ° C ", and" 200 ° C "is for the maximum temperature of a practical pre-feed roll (heating roll).
(4)冷却キャンロールと前フィードロールの周速度差(冷却キャンロールに対し前フィードロールの周速度を遅くした割合)が「2.0(%)」に設定された場合、上記クラウン量が「200μm」と「500μm」、前フィードロールの設定温度が「20℃」、「60℃」、「110℃」の条件と無関係にフィルムに「スリ傷」が発生していることが表1〜表3から確認できる。 (4) When the peripheral speed difference between the cooling can roll and the front feed roll (the ratio of the peripheral speed of the front feed roll being slower than the cooling can roll) is set to “2.0 (%)”, the crown amount is It is shown in Table 1 that “scratches” are generated on the film regardless of the conditions of “200 μm” and “500 μm” and the setting temperature of the front feed roll is “20 ° C.”, “60 ° C.”, “110 ° C.” It can be confirmed from Table 3.
(5)図2の表面処理装置を用いて成膜速度の向上が図れる条件は、表3「皺無し最高フィルム搬送速度 8.0(m/分)」の結果から、「前フィードロールの設定温度が110℃」、「冷却キャンロールのクラウン量が200μmと500μm」(実施例の条件)、「冷却キャンロールと前フィードロールの周速度差が0.5%と1.0%」(実施例の条件)であることが確認された。 (5) The conditions under which the film forming speed can be improved using the surface treatment apparatus of FIG. 2 are based on the results of Table 3 “Maximum film transport speed without wrinkles 8.0 (m / min)”. “Temperature is 110 ° C.”, “Crown amount of cooling can roll is 200 μm and 500 μm” (conditions of the example), “Difference in peripheral speed between cooling can roll and front feed roll is 0.5% and 1.0%” (implemented) Example conditions).
但し、これ等の条件は耐熱性樹脂フィルムの表面状態や厚み、搬送張力、ロール抱き角等により変化することがあるので絶対的な値ではない。 However, these conditions are not absolute values because they may vary depending on the surface state and thickness of the heat resistant resin film, the transport tension, the roll holding angle, and the like.
(6)また、上記ニップロール65に、図11に示す周期的溝体(幅拡げ機構)を具備させた場合とさせない場合を比較したところ、周期的溝体(幅拡げ機構)を具備させた場合、皺が発生しない「最高フィルム搬送速度」は約0.5m/分向上することが確認され、また、上記張力センサーロール54についても同様の比較を行ったところ、周期的溝体(幅拡げ機構)を具備させた場合、皺が発生しない「最高フィルム搬送速度」は約1.0m/分向上することが確認された。
(6) In addition, when the case where the
更に、前フィードロール55と冷却キャンロール56との間に上記周期的溝体(幅拡げ機構)を具備させたゴム製ロール66を組み込んだ場合と組み込まない場合を比較したところ、ゴム製ロール66を組み込んだ場合、皺が発生しない「最高フィルム搬送速度」は約0.5m/分向上することが確認された。
Furthermore, when the case where the
これ等結果から、前フィードロールの加熱前、加熱中、加熱後に拘わらず、周期的溝体(幅拡げ機構)を具備する各ロールの作用により、「最高フィルム搬送速度」の向上効果が確認されたが、耐熱性樹脂フィルムの各ロールへの抱き角、フィルム張力、ロール押しつけ圧力等によりその効果は変化する。 From these results, the effect of improving the “maximum film conveyance speed” was confirmed by the action of each roll having a periodic groove body (width expanding mechanism) regardless of before, during and after heating of the front feed roll. However, the effect varies depending on the holding angle of the heat-resistant resin film to each roll, film tension, roll pressing pressure, and the like.
本発明に係る長尺体の表面処理装置並びに表面処理方法によれば、表面処理前における長尺体を前フィードロールにより予め加熱し、かつ、加熱された長尺体に対しニップロールの幅拡げ機構により幅方向へ向け張力を付与しながら上記長尺体をクラウン状冷却キャンロールに搬入させていることから、搬送張力により生じた長尺体の「中だるみ部位」が上記前フィードロールの加熱作用とニップロールの幅拡げ作用並びにクラウン状冷却キャンロールの伸ばし作用により幅方向へ拡げられるため、熱負荷を伴う表面処理に起因した長尺体の皺発生を回避することが可能となる。従って、液晶テレビ、携帯電話等のフレキシブル配線基板に用いられる銅張積層樹脂フィルム(金属膜付耐熱性樹脂フィルム)の製造法として適用される産業上の利用可能性を有している。 According to the surface treatment apparatus and the surface treatment method for the long body according to the present invention, the long body before the surface treatment is preheated by the front feed roll, and the nip roll widening mechanism is applied to the heated long body. Since the long body is carried into the crown-shaped cooling can roll while applying a tension in the width direction by the above, the “sagging portion” of the long body caused by the transport tension is the heating action of the front feed roll. Since the nip roll is expanded in the width direction by the widening action of the nip roll and the extending action of the crown-shaped cooling can roll, it is possible to avoid the occurrence of wrinkles of the long body due to the surface treatment with a thermal load. Therefore, it has industrial applicability applied as a method for producing a copper-clad laminated resin film (heat-resistant resin film with a metal film) used for flexible wiring boards such as liquid crystal televisions and mobile phones.
10 長尺樹脂フィルム(長尺体)
11 前フィードロール
12 冷却キャンロール
13、14、15、16 マグネトロンスパッタリングカソード
17 皺
50 表面処理装置(スパッタリングウェブコーター)
51 巻出ロール
52 長尺樹脂フィルム(長尺耐熱性樹脂フィルム)(長尺体)
53 フリーロール
54 張力センサーロール
55 前フィードロール
56 冷却キャンロール
57、58、59、60 マグネトロンスパッタリングカソード
61 後フィードロール
62 張力センサーロール
63 フリーロール
64 巻取ロール
65 幅拡げ機構を有するニップロール
66 幅拡げ機構を有するゴム製ロール
70 長尺樹脂フィルム(長尺体)
71 前フィードロール
72 幅拡げ機構を有するニップローム
73 冷却キャンロール
74、75、76、77 マグネトロンスパッタリングカソード
78 皺
80 長尺樹脂フィルム(長尺体)
81 前フィードロール
82 幅拡げ機構を有するニップローム
83 冷却キャンロール
84、85、86、87 マグネトロンスパッタリングカソード
90 長尺樹脂フィルム(長尺体)
91 前フィードロール
92 幅拡げ機構を有するニップローム
93 冷却キャンロール
94、95、96、97 マグネトロンスパッタリングカソード
98 幅拡げ機構を有する張力センサーロール
100 長尺樹脂フィルム(長尺体)
101 前フィードロール
102 幅拡げ機構を有するニップローム
103 冷却キャンロール
104、105、106、107 マグネトロンスパッタリングカソード
108 幅拡げ機構を有するゴム製ロール
200 長尺樹脂フィルム(長尺体)
201 前フィードロール
202 幅拡げ機構を有するニップローム
203 冷却キャンロール
204、205、206、207 マグネトロンスパッタリングカソード
208 幅拡げ機構を有するゴム製ロール
209 幅拡げ機構を有する張力センサーロール
110 ゴム製ロール
110a 外周線
110b 周期的溝体
10 Long resin film (long body)
11
51
53
71
81
91
DESCRIPTION OF
201
Claims (21)
上記前フィードロールを介して冷却キャンロールの外周面に長尺体を巻き付けると共に、冷却キャンロール外周面と接していない長尺体の表面側を上記表面処理手段により表面処理する長尺体の表面処理装置において、
上記前フィードロールが加熱ロールにより構成され、この前フィードロールには搬送される長尺体に対しその幅方向へ向けて張力を付与するための幅拡げ機構を有するニップロールが付設されていると共に、冷却キャンロールの外周面は、その軸方向中央部より軸方向両端部が低いクラウン状に形成されており、
更に、上記ニップロールがゴム製ロールで構成され、かつ、ニップロールの幅拡げ機構が、ゴム製ロール面上の軸方向略中央に位置する中心点をそれぞれ結んで形成される外周線を基端側としかつこの基端側から軸方向両端側へ向けてV字形状となるように対称的に伸びる互いに平行若しくは略平行で上記V字形状先端が向かう方向とニップロールの回転方向が同一となるようにゴム製ロール外周面に設けられた複数の周期的溝体により構成されていることを特徴とする長尺体の表面処理装置。 An unwinding roll for unwinding the long body, a winding roll for winding the long body, a cooling can roll provided between the unwinding roll and the winding roll and driven to rotate, and upstream of the cooling can roll A tension sensor roll that detects tension of a long body that is provided and conveyed by a roll-to-roll system, and is provided between a tension sensor roll and a cooling can roll, and is rotated and supplied from an unwinding roll. Provided in the vacuum chamber with a surface treatment means with a heat load arranged on the side facing the cooling can roll and along the outer peripheral surface of the cooling can roll before feeding the long body into the cooling can roll,
The surface of the long body is wound around the outer peripheral surface of the cooling can roll via the front feed roll and the surface treatment of the surface of the long body that is not in contact with the outer peripheral surface of the cooling can roll by the surface treatment means. In the processing device,
The front feed roll is constituted by a heating roll, and the front feed roll is provided with a nip roll having a widening mechanism for applying a tension in the width direction to the long body to be conveyed, The outer peripheral surface of the cooling can roll is formed in a crown shape in which both axial end portions are lower than the axial central portion ,
Further, the nip roll is composed of a rubber roll, and the outer circumferential line formed by connecting the center points of the nip roll widening mechanism located approximately in the center in the axial direction on the rubber roll surface is defined as the base end side. The rubber extends so that the direction of the V-shaped tip and the rotational direction of the nip roll are the same as each other, extending parallel to or substantially parallel to each other so as to form a V-shape from the base end toward both ends in the axial direction. A long surface treatment apparatus comprising a plurality of periodic grooves provided on an outer peripheral surface of a roll .
上記前フィードロールを介して冷却キャンロールの外周面に長尺体を巻き付けると共に、冷却キャンロール外周面と接していない長尺体の表面側を上記表面処理手段により表面処理する長尺体の表面処理方法において、
上記冷却キャンロールの外周面をその軸方向中央部より軸方向両端部が低いクラウン状に形成し、上記前フィードロールを加熱ロールで構成すると共に、搬送される長尺体に対しその幅方向へ向け張力を付与するための幅拡げ機構を有するニップロールを上記前フィードロールに付設し、更に、該ニップロールをゴム製ロールで構成し、かつ、ニップロールの幅拡げ機構を、ゴム製ロール面上の軸方向略中央に位置する中心点をそれぞれ結んで形成される外周線を基端側としかつこの基端側から軸方向両端側へ向けてV字形状となるように対称的に伸びる互いに平行若しくは略平行で上記V字形状先端が向かう方向とニップロールの回転方向が同一となるようにゴム製ロール外周面に設けられた複数の周期的溝体で構成して、搬送されてくる表面処理前の長尺体を前フィードロールにより予め加熱し、かつ、表面処理前の上記長尺体に対しニップロールの幅拡げ機構により幅方向へ向け張力を付与しながら冷却キャンロールへ搬入させることを特徴とする長尺体の表面処理方法。 An unwinding roll for unwinding the long body, a winding roll for winding the long body, a cooling can roll provided between the unwinding roll and the winding roll and driven to rotate, and upstream of the cooling can roll A tension sensor roll that detects tension of a long body that is provided and conveyed by a roll-to-roll system, and is provided between a tension sensor roll and a cooling can roll, and is rotated and supplied from an unwinding roll. The vacuum chamber includes a feed roll before carrying the long body into the cooling can roll, and a surface treatment means with a thermal load arranged on the side facing the cooling can roll and along the outer peripheral surface of the cooling can roll. Using surface treatment equipment
The surface of the long body is wound around the outer peripheral surface of the cooling can roll via the front feed roll and the surface treatment of the surface of the long body that is not in contact with the outer peripheral surface of the cooling can roll by the surface treatment means. In the processing method,
The outer peripheral surface of the cooling can roll is formed in a crown shape whose axial both ends are lower than the axial center portion, and the front feed roll is constituted by a heating roll, and in the width direction with respect to the long body to be conveyed. A nip roll having a widening mechanism for applying a tension toward the front is attached to the front feed roll , and the nip roll is formed of a rubber roll, and the nip roll widening mechanism is connected to a shaft on the rubber roll surface. The outer peripheral lines formed by connecting the center points located substantially in the center in the direction are the base end sides, and extend symmetrically so as to form a V shape from the base end side toward the both axial end sides. parallel and composed of a plurality of periodic grooves body provided rubber roll outer surface so that the rotation direction of the direction and nip rolls the V-shaped tip is directed is the same, it is conveyed The long body before the surface treatment is preheated by the front feed roll, and the long body before the surface treatment is carried into the cooling can roll while applying a tension in the width direction by the nip roll widening mechanism. A surface treatment method for a long body characterized by the above.
真空チャンバー内に複数のスパッタリング成膜手段を設けると共に、複数のスパッタリング成膜手段を用いて耐熱性樹脂フィルム基板の表面にニッケル合金またはクロムから成る下地金属層と、下地金属層の表面に銅薄膜層を連続して成膜することを特徴とする銅張積層樹脂フィルム基板の製造方法。 Using the surface treatment method for a long body according to claim 20 , a long heat-resistant resin film substrate, a base metal layer made of nickel alloy or chromium formed on the surface of the heat-resistant resin film substrate, In a method for producing a copper-clad laminated resin film substrate composed of a copper thin film layer formed on the surface of a base metal layer,
A plurality of sputtering film forming means are provided in the vacuum chamber, and a plurality of sputtering film forming means are used to form a base metal layer made of nickel alloy or chromium on the surface of the heat-resistant resin film substrate and a copper thin film on the surface of the base metal layer. A method for producing a copper-clad laminated resin film substrate, wherein the layers are continuously formed.
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