JP5739099B2 - ターゲット供給装置、その制御システム、その制御装置およびその制御回路 - Google Patents
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Description
図1は、この発明の実施の形態1によるターゲット供給装置が用いられる極端紫外光光源装置の構成を示す模式図である。図2は、図1に示したターゲット供給装置の詳細構成を示す模式図である。なお、図1に示した極端紫外光光源装置は、レーザビームをターゲット物質に照射して励起させることにより極端紫外光を生成するレーザ励起プラズマ(LPP)方式を採用している。
つぎに、この発明の実施の形態2について説明する。図5は、この発明の実施の形態2によるターゲット供給装置の構成を示す模式図である。図5に示すように、この実施の形態2によるターゲット供給装置2では、上述の実施の形態1によるターゲット供給装置1の圧力調整器41とバルブ42との間の接続点P3にガス流路L4が接続される。このガス流路L4の他端には、タンク47が設けられる。また、流路L4上には、バルブ48が設けられる。このタンク47の容量は、タンク30の容量に比して大きく、たとえばタンク30の容量の10倍程度である。その他の構成は、図2に示したターゲット供給装置1の構成と同じであり、同一構成部分には同一符号を付している。
つぎに、この発明の実施の形態3について説明する。図7は、この発明の実施の形態3によるターゲット供給装置の構成を示す模式図である。図7に示すように、この実施の形態3によるターゲット供給装置3では、上述の実施の形態1に示したガス流路L2の排気口Laに替えて、タンク49が設けられている。このタンク49は、タンク30の容積に比して大きく、たとえばタンク30の容積の100倍程度の容積を備える。このタンク49には、さらにバルブ44と真空ポンプ46との間のガス流路L3上の接続点P3と接続されたガス流路L5が設けられる。このガス流路L5上には、バルブ50が設けられる。また、タンク49には、タンク内の圧力を検出する圧力計51が設けられる。その他の構成は、図2に示したターゲット供給装置1の構成と同じであり、同一構成部分には同一符号を付している。
つぎに、この発明の実施の形態4について説明する。図10は、この発明の実施の形態4によるターゲット供給装置の構成を示す模式図である。図10に示すように、この実施の形態4によるターゲット供給装置4では、上述の実施の形態1によるターゲット供給装置1の圧力調整器41とバルブ42との間のガス流路L1上に圧力コントローラ52が設けられるとともに、この圧力コントローラ52をバイパスするために圧力コントローラ52の入力側および出力側のガス流路L1上の接続点P5およびP6を接続するガス流路L6が設けられる。さらに、接続点P5と圧力コントローラ52との間のガス流路L1上には、バルブ53が設けられるととともに、ガス流路L6上には、バルブ54が設けられる。その他の構成は、図2に示したターゲット供給装置1の構成と同じであり、同一構成部分には同一符号を付している。
つぎに、この発明の実施の形態5について説明する。図12は、この発明の実施の形態5によるターゲット供給装置の構成を示す模式図である。図12に示すように、この実施の形態5によるターゲット供給装置5は、上述の実施の形態1によるターゲット供給装置1と同様の構成を備える。ただし、本実施の形態5によるターゲット供給装置5では、ターゲット供給装置1における真空ポンプ46、ガス流路L3、およびバルブ44が削除されている。その他の構成は、図2に示したターゲット供給装置1の構成と同じであり、同一構成部分には同一符号を付している。
図14は、上述の実施の形態5に示した構成に上述の実施の形態2に示した昇圧側の構成を適用した変形例1によるターゲット供給装置の構成を示す模式図である。すなわち、この変形例1では、昇圧機構として上述の実施の形態2に示した構成を用い、減圧機構として上述の実施の形態5に示した構成を用いる。これにより、昇圧処理では、上述の実施の形態2と同様に、タンク47を用いて短時間での昇圧を行うことができ、減圧処理では、上述の実施の形態5と同様に、簡易な構成でターゲット物質の消費を抑えることができる。
図15は、上述の実施の形態3に示した減圧機構の構成を簡易にした変形例2によるターゲット供給装置の構成を示す模式図である。図15に示すように、この変形例2では、上述の実施の形態3に示したガス流路L3およびバルブ44が削除され、ガス流路L5の接続点P3が真空ポンプ46に接続されている。その他の構成は、上述の実施の形態3と同じである。この変形例2では、減圧処理前に予め真空ポンプ46でタンク49内を真空排気しておくことで、簡易な構成でかつ短時間で減圧処理を行うことが可能となる。
図16は、上述の実施の形態5に示した構成に上述の実施の形態4に示した昇圧側の構成を適用した変形例3によるターゲット供給装置の構成を示す模式図である。すなわち、この変形例3では、昇圧機構として上述の実施の形態4に示した構成を用い、減圧機構として上述の実施の形態5に示した構成を用いる。これにより、昇圧処理では、上述の実施の形態4と同様に、短時間での昇圧と高精度な圧力制御とを行うことができるとともに、上述の実施の形態5と同様に、簡易な構成で無駄なターゲット物質の消費を抑えることができる。
つぎに、この発明の実施の形態6について説明する。上述した実施の形態1〜5およびその変形例では、ターゲットの供給方法にコンティニュアスジェット法を採用していた。このため、上述の実施の形態1〜5およびその変形例では、タンク30内の圧力が数MPa〜十数MPa程度の比較的高い圧力に維持されていた。これに対し、本実施の形態6では、静電引出し法を採用する。この静電引出し法では、ノズル先端と対向する位置に電極が配置される。例えば、ノズル先端を接地して、この電極に電圧を印加すると、ターゲット材に静電引力が働く。この静電引力とタンク内のガス圧により、ノズル先端からターゲット材が、ドロップレットの形態で射出される。このように、静電引出し法を採用したターゲット供給装置では、電極に電圧を印加することにより、静電引力が働くため、ターゲット材を蓄えるタンク内部の圧力は、コンティニュアスジェット法を採用した場合よりも、比較的低い圧力、たとえば1MPa以下の圧力であってもよい。
10 真空チャンバ
11,21 ターゲット供給部
13 ターゲット
14 集光ミラー
15 ドライバレーザ
16 レーザ集光光学系
17 排気装置
18 プラズマ
19 極端紫外光
20 励起用レーザビーム
25 圧力切替機構
25a 昇圧機構
25b 減圧機構
30,47 タンク
31 ノズル
31a ノズル先端
32 ピエゾ素子
33 ヒータ
34 溶融錫
35 絶縁部
36 電極
36a 孔
40 ガスボンベ
41 圧力調整器
42,43,44,48,50,53,54 バルブ
45,51 圧力計
46 真空ポンプ
49 タンク
60〜68 コントローラ
L,L1〜L6 ガス流路
La 排気口
P1〜P6 接続点
C メインコントローラ
Claims (17)
- 液状のターゲット材を蓄えるタンクと、前記タンク内の前記液状ターゲット材を出力するノズルと、前記タンク内へガスを供給するガス供給源と、を備え、前記タンク内のガス圧を、圧力調整器が備えつけられたガス供給源から供給されるガスの圧力で制御するターゲット供給装置であって、
前記タンクに接続された共通ガス流路と、
一端が前記共通ガス流路に接続され、他端が排気口を形成する減圧ガス流路と、
前記減圧ガス流路上に設置された減圧用バルブと、
一端が前記共通ガス流路に接続され、他端が前記ガス供給源に接続され、前記圧力調整器が配置された昇圧ガス流路と、
前記圧力調整器と前記共通ガス流路との間の前記昇圧ガス流路上に設置された昇圧用バルブと、
前記減圧用バルブおよび前記昇圧用バルブの開閉を制御するコントローラと、
を有し、
前記コントローラは、前記ターゲット材を前記ノズルから出力させない場合、前記減圧用バルブを開にして前記タンク内を減圧し、
前記コントローラは、前記ターゲット材を前記ノズルから出力する場合、前記昇圧用バルブを開にするとともに前記減圧用バルブを閉にすることで前記タンク内を昇圧し、前記ターゲット材を前記ノズルから出力させない場合、前記昇圧用バルブを閉にするとともに前記減圧用バルブを開にすることで前記タンク内を減圧することを特徴とするターゲット供給装置。 - 前記ターゲット材は、前記タンク内の圧力によって前記タンクに設けられた前記ノズルから出力することを特徴とする請求項1に記載のターゲット供給装置。
- 前記ノズルと対向する位置に設けられた電極をさらに備え、
前記ターゲット材は、前記タンク内の圧力と前記電極に電位が与えられることで生じた静電引力とによって前記ノズルから出力することを特徴とする請求項1に記載のターゲット供給装置。 - 前記減圧用バルブより前記タンク側の前記減圧ガス流路に接続された第1ガス流路と、
前記第1ガス流路の他端に接続された真空ポンプと、
前記第1ガス流路上に設けられた第1バルブと、
をさらに備え、
前記コントローラは、前記ターゲット材の前記ノズルからの出力を停止する場合、前記第1バルブを閉にするとともに前記減圧用バルブを開にすることで前記タンク内を減圧した後、前記減圧用バルブを閉にし且つ前記第1バルブを開にするとともに前記真空ポンプを用いて前記タンク内をさらに減圧することを特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載のターゲット供給装置。 - 前記排気口に接続され前記タンクの容量に比して大きい容量を有した減圧タンクと、
一端が前記減圧タンクに接続され他端が前記第1バルブと前記真空ポンプとの間の第1ガス流路に接続された第2ガス流路と、
前記第2ガス流路上に設けられた第2バルブと、
をさらに備え、
前記コントローラは、前記第2バルブを開にした状態で前記減圧タンク内を前記真空ポンプを用いて真空排気しておき、前記ターゲット材の前記ノズルからの出力を停止させる場合、前記第1バルブと前記第2バルブとを閉にするとともに前記減圧用バルブを開にすることで前記タンク内を減圧した後、前記減圧用バルブを閉にし且つ前記第1バルブを開にするとともに前記真空ポンプを用いて前記タンク内をさらに減圧することを特徴とする請求項4に記載のターゲット供給装置。 - 前記排気口に接続され前記タンクの容量に比して大きい容量を有した減圧タンクと、
一端が前記減圧タンクに接続された第3ガス流路と、
前記第3ガス流路の他端に接続された真空ポンプと、
前記第3ガス流路上に設けられた第3バルブと、
をさらに備え、
前記コントローラは、前記第3バルブを開にした状態で前記減圧タンク内を前記真空ポンプを用いて真空排気しておき、前記ターゲット材を前記ノズルから出力させない場合、前記減圧用バルブを開にすることで前記タンク内を減圧することを特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載のターゲット供給装置。 - 前記圧力調整器と前記昇圧用バルブとの間に一端が接続された第4ガス流路と、
前記第4ガス流路の他端に接続され前記タンクの容量に比して大きい容量を有した蓄積タンクと、
前記第4ガス流路上に設けられた第4バルブと、
をさらに備え、
前記コントローラは、前記昇圧用バルブを閉にするとともに前記第4バルブを開にすることで前記蓄積タンク内を昇圧しておき、前記タンク内を昇圧する場合、前記昇圧用バルブを開にすることで前記蓄積タンクによる昇圧アシストを受けて前記タンク内を昇圧することを特徴とする請求項3〜6のいずれか一つに記載のターゲット供給装置。 - 前記圧力調整器と前記昇圧用バルブとの間の前記昇圧ガス流路上に設けられ、前記圧力調整器よりも高精度の圧力調整が可能な高精度圧力調整器と、
前記圧力調整器と前記高精度圧力調整器との間の前記昇圧ガス流路上に設けられた第5バルブと、
前記第5バルブと前記高精度圧力調整器とをバイパスするバイパスガス流路と、
前記バイパスガス流路上に設けられた第6バルブと、
をさらに備え、
前記コントローラは、前記タンク内を昇圧する場合、前記第5バルブを閉にするとともに前記第6バルブを開にすることで前記圧力調整器によって圧力調整されたガスを前記バイパスガス流路を介して前記タンク内に供給した後、前記第5バルブを開にするとともに前記第6バルブを閉にすることで前記高精度圧力調整器によって圧力調整されたガスを前記タンク内に供給することを特徴とする請求項3〜6のいずれか一つに記載のターゲット供給装置。 - ノズルから出力される液状のターゲット材を蓄えるタンク内のガス圧を圧力調整器が備えつけられたガス供給源から供給されるガスの圧力で制御するターゲット供給部の制御システムであって、
前記タンクに接続された共通ガス流路と、
一端が前記共通ガス流路に接続され、他端が排気口を形成する減圧ガス流路と、
前記減圧ガス流路上に設置された減圧用バルブと、
一端が前記共通ガス流路に接続され、他端が前記ガス供給源に接続され、前記圧力調整器が配置された昇圧ガス流路と、
前記圧力調整器と前記共通ガス流路との間の前記昇圧ガス流路上に設置された昇圧用バルブと、
前記ターゲット材を前記ノズルから出力させる場合、前記昇圧用バルブを開にするとともに前記減圧用バルブを閉にすることで前記タンク内を所定圧に昇圧して維持し、前記ターゲット材の出力が不要な場合、前記減圧用バルブを開にして前記タンク内を減圧することで、前記ターゲット材の出力を停止、または、前記ターゲット材の出力を減少させるコントローラと、
を備えたことを特徴とするターゲット供給部の制御システム。 - 一端が前記減圧用バルブより前記共通ガス流路側の前記減圧ガス流路に接続された第1ガス流路と、
前記第1ガス流路の他端に接続された真空ポンプと、
前記第1ガス流路上に設けられた第1バルブと、
前記昇圧用バルブと前記減圧用バルブと前記タンクとの間の流路内の圧力を検出する圧力計と、
をさらに備え、
前記コントローラは、前記ターゲット材を前記ノズルから出力させる場合、前記圧力計が検出した圧力に基づいて、前記昇圧用バルブを開にするとともに前記減圧用バルブおよび第1バルブを閉にすることで前記タンク内を昇圧し、前記ターゲット材の前記ノズルからの出力を停止させる場合、前記圧力計が検出した圧力に基づいて、前記第1バルブを閉の状態で前記減圧用バルブを開にすることで前記タンク内を減圧した後、前記減圧用バルブを閉にするとともに前記第1バルブを開にすることで前記タンク内をさらに減圧することを特徴とする請求項9に記載のターゲット供給部の制御システム。 - ノズルを有するタンク内のターゲット材を圧力調整器が備えつけられたガス供給源から供給されるガスの圧力で前記ノズルから出力するターゲット供給部の前記タンクに接続された共通ガス流路と、前記ガス供給源と前記共通ガス流路とを接続する昇圧ガス流路と、前記圧力調整器と前記共通ガス流路との間の前記昇圧ガス流路上に設置された昇圧用バルブと、一端が前記共通ガス流路に接続され、他端が排気口を形成する減圧ガス流路と、前記減圧ガス流路上に設置された減圧用バルブと、一端が前記減圧用バルブより前記共通ガス流路側の前記減圧ガス流路に接続された第1ガス流路と、前記第1ガス流路の他端に接続された真空ポンプと、前記第1ガス流路上に設けられた第1バルブと、前記昇圧用バルブと前記減圧用バルブと前記タンクとの間の流路内の圧力を検出する圧力計と、を含む制御回路を備えたターゲット供給部の制御装置であって、
前記圧力計が検出した圧力に基づいて、前記ターゲット材を前記ノズルから出力させる場合、前記昇圧用バルブを開にするとともに前記減圧用バルブおよび第1バルブを閉にすることで前記タンク内を昇圧し、前記ターゲット材の前記ノズルからの出力を停止させる場合、前記第1バルブを閉の状態で前記減圧用バルブを開にすることで前記タンク内を減圧した後、前記減圧用バルブを閉にするとともに前記第1バルブを開にすることで前記タンク内をさらに減圧するコントローラを備えたことを特徴とするターゲット供給部の制御装置。 - ノズルを有するタンク内のターゲット材を圧力調整器が備えつけられたガス供給源から供給されるガスの圧力で前記ノズルから出力するターゲット供給部の前記タンクに接続された共通ガス流路と、
前記ガス供給源と前記共通ガス流路とを接続する昇圧ガス流路と、
前記圧力調整器と前記共通ガス流路との間の前記昇圧ガス流路上に設置された昇圧用バルブと、
一端が前記共通ガス流路に接続され、他端が排気口を形成する減圧ガス流路と、
前記減圧ガス流路上に設置された減圧用バルブと、
一端が前記減圧用バルブより前記共通ガス流路側の前記減圧ガス流路に接続された第1ガス流路と、
前記第1ガス流路の他端に接続された真空ポンプと、
前記第1ガス流路上に設けられた第1バルブと、
前記昇圧用バルブと前記減圧用バルブと前記タンクとの間の流路内の圧力を検出する圧力計と、
を備え、
前記圧力計が検出した圧力に基づいて、前記ターゲット材を前記ノズルから出力させる場合、前記昇圧用バルブを開にするとともに前記減圧用バルブおよび第1バルブを閉にすることで前記タンク内を昇圧し、前記ターゲット材の前記ノズルからの出力を停止する場合、前記第1バルブが閉の状態で前記減圧用バルブを開にすることで前記タンク内を減圧した後、前記減圧用バルブを閉にするとともに前記第1バルブを開にすることで前記タンク内をさらに減圧することを特徴とするターゲット供給部の制御回路。 - 液状のターゲット材を蓄えるタンクと、前記タンク内の前記液状ターゲット材を出力するノズルと、前記タンク内へガスを供給するガス供給源と、を備え、前記タンク内のガス圧を、圧力調整器が備えつけられたガス供給源から供給されるガスの圧力で制御するターゲット供給装置であって、
一端が前記タンクに接続され、他端が排気口を形成する減圧ガス流路と、
前記減圧ガス流路上に設置された減圧用バルブと、
前記減圧用バルブの開閉を制御するコントローラと、
前記ノズルと対向する位置に設けられた電極と、
を有し、
前記コントローラは、前記ターゲット材を前記ノズルから出力させない場合、前記減圧用バルブを開にして前記タンク内を減圧し、
前記ターゲット材は、前記タンク内の圧力と前記電極に電位が与えられることで生じた静電引力とによって前記ノズルから出力することを特徴とするターゲット供給装置。 - 液状のターゲット材を蓄えるタンクと、前記タンク内の前記液状ターゲット材を出力するノズルと、前記タンク内へガスを供給するガス供給源と、を備え、前記タンク内のガス圧を、圧力調整器が備えつけられたガス供給源から供給されるガスの圧力で制御するターゲット供給装置であって、
一端が前記タンクに接続され、他端が排気口を形成する減圧ガス流路と、
前記減圧ガス流路上に設置された減圧用バルブと、
前記減圧用バルブの開閉を制御するコントローラと、
前記減圧用バルブより前記タンク側の前記減圧ガス流路に接続された第1ガス流路と、
前記第1ガス流路の他端に接続された真空ポンプと、
前記第1ガス流路上に設けられた第1バルブと、
前記排気口に接続され前記タンクの容量に比して大きい容量を有した減圧タンクと、
一端が前記減圧タンクに接続され他端が前記第1バルブと前記真空ポンプとの間の第1ガス流路に接続された第2ガス流路と、
前記第2ガス流路上に設けられた第2バルブと、
を有し、
前記コントローラは、前記ターゲット材を前記ノズルから出力させない場合、前記減圧用バルブを開にして前記タンク内を減圧し、
前記コントローラは、前記第2バルブを開にした状態で前記減圧タンク内を前記真空ポンプを用いて真空排気しておき、前記ターゲット材の前記ノズルからの出力を停止させる場合、前記第1バルブと前記第2バルブとを閉にするとともに前記減圧用バルブを開にすることで前記タンク内を減圧した後、前記減圧用バルブを閉にし且つ前記第1バルブを開にするとともに前記真空ポンプを用いて前記タンク内をさらに減圧することを特徴とするターゲット供給装置。 - 液状のターゲット材を蓄えるタンクと、前記タンク内の前記液状ターゲット材を出力するノズルと、前記タンク内へガスを供給するガス供給源と、を備え、前記タンク内のガス圧を、圧力調整器が備えつけられたガス供給源から供給されるガスの圧力で制御するターゲット供給装置であって、
一端が前記タンクに接続され、他端が排気口を形成する減圧ガス流路と、
前記減圧ガス流路上に設置された減圧用バルブと、
前記減圧用バルブの開閉を制御するコントローラと、
前記排気口に接続され前記タンクの容量に比して大きい容量を有した減圧タンクと、
一端が前記減圧タンクに接続された第3ガス流路と、
前記第3ガス流路の他端に接続された真空ポンプと、
前記第3ガス流路上に設けられた第3バルブと、
を有し、
前記コントローラは、前記ターゲット材を前記ノズルから出力させない場合、前記減圧用バルブを開にして前記タンク内を減圧し、
前記コントローラは、前記第3バルブを開にした状態で前記減圧タンク内を前記真空ポンプを用いて真空排気しておき、前記ターゲット材を前記ノズルから出力させない場合、前記減圧用バルブを開にすることで前記タンク内を減圧することを特徴とするターゲット供給装置。 - 液状のターゲット材を蓄えるタンクと、前記タンク内の前記液状ターゲット材を出力するノズルと、前記タンク内へガスを供給するガス供給源と、を備え、前記タンク内のガス圧を、圧力調整器が備えつけられたガス供給源から供給されるガスの圧力で制御するターゲット供給装置であって、
一端が前記タンクに接続され、他端が排気口を形成する減圧ガス流路と、
前記減圧ガス流路上に設置された減圧用バルブと、
前記減圧用バルブの開閉を制御するコントローラと、
前記ガス供給源と前記タンクとを接続するとともに前記圧力調整器が配置された昇圧ガス流路と、
前記圧力調整器と前記タンクとの間の前記昇圧ガス流路上に設置された昇圧用バルブと、
前記圧力調整器と前記昇圧用バルブとの間に一端が接続された第4ガス流路と、
前記第4ガス流路の他端に接続され前記タンクの容量に比して大きい容量を有した蓄積タンクと、
前記第4ガス流路上に設けられた第4バルブと、
を有し、
前記コントローラは、前記ターゲット材を前記ノズルから出力させない場合、前記減圧用バルブを開にして前記タンク内を減圧し、
前記減圧ガス流路の一端は、前記昇圧用バルブと前記タンクとの間の前記昇圧ガス流路に接続され、
前記コントローラは、前記ターゲット材を前記ノズルから出力する場合、前記昇圧用バルブを開にするとともに前記減圧用バルブを閉にすることで前記タンク内を昇圧し、前記ターゲット材を前記ノズルから出力させない場合、前記昇圧用バルブを閉にするとともに前記減圧用バルブを開にすることで前記タンク内を減圧し、
前記コントローラは、前記昇圧用バルブを閉にするとともに前記第4バルブを開にすることで前記蓄積タンク内を昇圧しておき、前記タンク内を昇圧する場合、前記昇圧用バルブを開にすることで前記蓄積タンクによる昇圧アシストを受けて前記タンク内を昇圧することを特徴とするターゲット供給装置。 - 液状のターゲット材を蓄えるタンクと、前記タンク内の前記液状ターゲット材を出力するノズルと、前記タンク内へガスを供給するガス供給源と、を備え、前記タンク内のガス圧を、圧力調整器が備えつけられたガス供給源から供給されるガスの圧力で制御するターゲット供給装置であって、
一端が前記タンクに接続され、他端が排気口を形成する減圧ガス流路と、
前記減圧ガス流路上に設置された減圧用バルブと、
前記減圧用バルブの開閉を制御するコントローラと、
前記ガス供給源と前記タンクとを接続するとともに前記圧力調整器が配置された昇圧ガス流路と、
前記圧力調整器と前記タンクとの間の前記昇圧ガス流路上に設置された昇圧用バルブと、
前記圧力調整器と前記昇圧用バルブとの間の前記昇圧ガス流路上に設けられ、前記圧力調整器よりも高精度の圧力調整が可能な高精度圧力調整器と、
前記圧力調整器と前記高精度圧力調整器との間の前記昇圧ガス流路上に設けられた第5バルブと、
前記第5バルブと前記高精度圧力調整器とをバイパスするバイパスガス流路と、
前記バイパスガス流路上に設けられた第6バルブと、
を有し、
前記コントローラは、前記ターゲット材を前記ノズルから出力させない場合、前記減圧用バルブを開にして前記タンク内を減圧し、
前記減圧ガス流路の一端は、前記昇圧用バルブと前記タンクとの間の前記昇圧ガス流路に接続され、
前記コントローラは、前記ターゲット材を前記ノズルから出力する場合、前記昇圧用バルブを開にするとともに前記減圧用バルブを閉にすることで前記タンク内を昇圧し、前記ターゲット材を前記ノズルから出力させない場合、前記昇圧用バルブを閉にするとともに前記減圧用バルブを開にすることで前記タンク内を減圧し、
前記コントローラは、前記タンク内を昇圧する場合、前記第5バルブを閉にするとともに前記第6バルブを開にすることで前記圧力調整器によって圧力調整されたガスを前記バイパスガス流路を介して前記タンク内に供給した後、前記第5バルブを開にするとともに前記第6バルブを閉にすることで前記高精度圧力調整器によって圧力調整されたガスを前記タンク内に供給することを特徴とするターゲット供給装置。
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