JP5735306B2 - 同時両極性電界効果型トランジスタ及びその製造方法 - Google Patents
同時両極性電界効果型トランジスタ及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5735306B2 JP5735306B2 JP2011044517A JP2011044517A JP5735306B2 JP 5735306 B2 JP5735306 B2 JP 5735306B2 JP 2011044517 A JP2011044517 A JP 2011044517A JP 2011044517 A JP2011044517 A JP 2011044517A JP 5735306 B2 JP5735306 B2 JP 5735306B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- channel layer
- sno
- field effect
- thin film
- tft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Description
の動作が可能な同時両極性(ambipolar)薄膜トランジスタ(以下、「同時両極性
TFT」ともいう)及びその製造方法に関する。また、本発明は、該同時両極性TFTを
用いた相補型金属酸化膜半導体ゲート構造(CMOS)に関する。
ム(In)・ガリウム(Ga)・亜鉛(Zn)を主成分とするアモルファス酸化物(以下「a−
IGZO」という)をn型チャネル層とする薄膜トランジスタ(以下、「nチャネルTF
T」という)の研究開発などが活発に行われている(非特許文献1、特許文献1)。
ZO・TFT」という)では、チャネル層中のキャリアの動き易さを表す物性値である電
界効果移動度(μEF)が10cm2(Vs)-1以上、閾値電圧付近におけるゲート電圧の
変動に対するドレイン電流の変化の度合いを示すサブスレショルド値が約200mV/d
ecade以下、オン・オフ(On/Off)比が106以上という優れたトランジスタ特
性を示す。よって、今日、このa−IGZO・TFTを大面積・高速ディスプレイのスイ
ッチングTFTとして応用することを目指した開発が精力的に進められている(非特許文
献2)。
半導体をチャネル層とするトランジスタが活発に研究され、実用レベルのnチャンネルT
FTが作製されている。現在では、a−IGZO・TFTをスイッチングTFTとした試
作ディスプレイが次々に作製され、既にサイズが70インチの、240Hz駆動する液晶
ディスプレイが試作されている(非特許文献3)。
T」という)においても、近年、TFT動作の実証試験結果が報告され活発に研究されて
いる(非特許文献4〜8)。
る酸素の2p軌道に3d電子軌道を混入させるという開発指針に沿って、これまでに、多
くの新規のp型伝導性金属酸化物を発見、報告してきた(非特許文献9〜12)。さらに
、本発明者らは、s軌道から価電子帯が構成されるオキシカルコゲナイドは、p型伝導性
を示すことを報告してきた(非特許文献13)。しかしながら、これらのp型伝導性材料
は、良好なTFT動作を妨げる高密度欠陥準位をギャップ内に含んでいたり、正孔濃度を
低濃度に制御できなかったりなどの理由から良好なTFT動作を示さず、同時両極性TF
Tのチャネル層材料には向かない。
いることと、イオン化エネルギーが5.8eVを有することから、p型伝導性を示し易く
、また、大きな正孔移動度を実現する材料として期待されている(非特許文献14,15
,8)。SnOは直接遷移光学バンドギャップが2.7eV、間接遷移光学バンドギャッ
プが0.7eVを有することが知られている(非特許文献15)。この狭い間接遷移光学
バンドギャップはSnOにおける伝導帯端エネルギーは価電子帯端から0.7eV上に位
置し、電子ドーピングが可能なこと示している。
ル層とすることで電界効果移動度が1.2cm2(Vs)-1 、電流オン・オフ比が約102
を示すpチャネルTFTを開発した(非特許文献4、特許文献2)。また、本発明者らは
、SnOの多結晶薄膜をチャネル層としたTFTを作製し、n-チャネル動作を確認した
(非特許文献6)。また、本発明者らは2010年に電子ドパーントとしてSbを用いる
ことでn型伝導(電子移動度約2cm2(Vs)-1、電子濃度約3×1017cm-3)を実現
し、p型SnOとn型SnO:Sbのエピタキシャル薄膜を活性層として用いたPN接合
ダイオードを発表した(非特許文献16、17)。よって、SnO単一材料において適切
な元素置換ドーピングにより正孔伝導と電子伝導を示す薄膜を作り分けることが可能なこ
とを示した。さらに、同一平面にSnOを含む膜を形成することによって、同一平面上に
SnO2からなるn型領域とSnOからなるp型領域を作り分けた半導体素子についての
発明の特許出願がされている(特許文献3)。
込むものが知られている。これに代わるものとして、同じ条件で作成された単一の材料そ
のものが両極の特性を示し、p型とn型の動作特性を持つ半導体材料を利用するトランジ
スタがあり、このようなトランジスタは、同時両極性トランジスタ(ambipolar
transistor)と呼ばれる。アンバイポーラトランジスタは、チャネル層へ電
子とホールとを同時に注入可能であり、キャリアとしてホールが注入されるとpチャネル
型の特性を示し、キャリアとして電子が注入されるとnチャネル型の特性を示す。
イト薄膜やカーボンナノチューブを用い、チャネル領域のキャリア濃度を制御するゲート
電極と、前記ゲート電極から見たトランジスタの極性を変更する電圧印加手段とを設けた
電界効果型トランジスタ及びそれを少なくとも2個接続して回路機能を持たせた半導体集
積回路装置(特許文献4)や、有機物膜と、タングステン、錫、チタンの少なくとも1つ
をドープしたインジウムを含み、電気抵抗率が予め制御された金属酸化物膜との積層を用
いたバイポーラ型薄膜トランジスタ(特許文献5)に係わる発明が特許出願されている。
しかしながら、単一種類の金属酸化物半導体をチャネル層に用いて、nチャネル特性及び
pチャネル特性をTFTの使用時に電圧印加手段により変更できる同時両極動作が可能な
TFTはまだ報告されていない。
及びpチャネルTFTの両者が不可欠であり、通常、それぞれ異種の材料から作製したn
チャネルTFT及びpチャネルTFTを用いているが、p型及びn型の両極性を有する半
導体層を用いることができるCMOS半導体装置に関する発明の特許出願もなされている
(特許文献6)。
、その多くはnチャネルやpチャネルのみで動作する単極性トランジスタである。すなわ
ち、組成や製法が同じ単一の金属酸化物半導体をチャネル層として用いてTFTの使用時
に電子及び正孔の両方をキャリアとして両極動作を可能とする同時両極性TFTは実現し
ていない。
ネルTFT動作も確認されている。しかしながら、SnOはバンドギャップ内に欠陥準位
を多く含んでいることから良好な同時両極性チャネル動作はしていない。
を構成する電子軌道は金属のs軌道であり、電子移動度は大きく良好な電気伝導を示すの
に対して、価電子帯は酸素の2p軌道で成されているために、価電子帯に存在する正孔の
局在性が強く、正孔注入が難しく、また、正孔移動度が小さいことに起因している。よっ
て、同時両極動作可能なTFTを実現するためには、良好な正孔による電気伝導(大きな
正孔移動度)を示す材料をTFTのチャネル層に用いることが有望である。
Tを使用することで、TFTの製造プロセスの簡略化・低コスト化につながる。また、通
常のnチャネルTFT及びpチャネルTFTを用いたCMOSインバータ回路では、正及
び負のどちらかの入力電圧に対してのみにしか動作しないが、同時両極性TFTを用いる
ことで正及び負の入力電圧に対して動作し大幅な電子回路の簡略化が実現される。
型伝導又はn型伝導に変更できる同時両極性電界効果型トランジスタを実現し、さらに、
該同時両極性TFTを用いたCMOS構造の実現を目的とする。
、p型伝導、n型伝導を作り分けるにはドーピングや成膜条件を工夫するしかなかった。
しかし、本発明者らは、SnO膜をチャネル層とした場合、チャネル層とゲート絶縁膜と
の界面の欠陥準位をある値以下に低減した場合に、ドーピングなしでSnO膜が同時両極
性を有するようになり、単一のSnO膜で良好な同時両極性TFT動作を実現することが
できることを見出した。
る。よって、SnOをTFTのチャネル層に用いることにより透明な両極性TFTが実現
できる。
ート絶縁膜を介して設けられて前記チャネル層のキャリア濃度を制御するゲート電極を有
する電界効果型トランジスタにおいて、前記チャネル層の材料は、酸化第一スズ(SnO
)薄膜であり、前記チャネル層とゲート絶縁膜との界面の欠陥準位密度が5×1014c
m−2eV−1以下以下であり、前記チャネル層は、電子(n型)及び正孔(p型)伝導
性の両方の動作が可能な同時両極性を有することを特徴とする同時両極性電界効果型トラ
ンジスタ、である。
あることを特徴とする上記(1)の同時両極性電界効果型トランジスタ、である。
少なくとも2個形成して互いに電気的に接続して回路機能を持たせた半導体集積回路装置
、である。
したゲート構造としたことを特徴とする相補型金属酸化膜半導体ゲート構造(CMOS)
、である。
において、チャネル層の形成に気相法を用い、該気相法において、SnO焼結体又はSn
金属をターゲットとして用いて、基板上に堆積するSnの酸化度合いを成膜室内の雰囲気
酸素分圧により制御し、Sn2+イオンの含有量が90原子%以上で、膜厚が20nm以下
、2nm以上のSnO薄膜を成膜することを特徴とする同時両極性電界効果型トランジス
タの製造方法、である。
ランジスタを少なくとも2個、同時に形成して互いに電気的に接続することを特徴とする
同時両極性電界効果型トランジスタの製造方法、である。
あればTFTが動作するが、より好ましくは8.5×1017cm-3以下である。正孔濃度
が1×1018cm-3超ではTFTが動作しないか、動作困難になる。また、チャネル層と
絶縁膜との界面の欠陥準位密度は、5×1014cm-2eV-1に低減することが必要である
。5×1014cm-2eV-1超では両極性動作せず、p型で動作するのみである。なお、正
孔濃度は、室温でホール効果方法により測定した値であり、欠陥準位密度はトランジスタ
の電流―電圧特性より測定した値である。
、本発明者は、欠陥準位密度の低減にSnO膜の膜厚の制御が有効であることを見出した
。すなわち、気相法によりSnOを成膜する際に、膜厚を薄くしていくと欠陥準位密度が
低減し、膜厚が20nm程度で同時両極性が発現する。よって、チャネル層とするSnO
薄膜の膜厚は、20nm以下、特に、15nm以下が好ましい。より薄くてもよいが2n
m未満では、TFT動作のオン電流が減少し、好ましくない。
4+)と、金属として安定な0価(Sn0=錫金属)の中間にあるために、比較的容易に2
価とは異なる価数状態のSn4+やSn0が不純物として混入する可能性があり、これらの
不純物を極限まで低減することが良好なTFT動作を得るために望ましい。チャネル層と
して前記の膜厚とSn4+及びSn0の含有量が小さいSnO薄膜作製には酸化度合いを制
御可能なパルスレーザ堆積法(PLD法)やスパッタ法を用いることが好ましい。なお、S
nの酸化度合いの制御が可能な成膜法であれば、成膜方法はPLD法やスパッタ法に限ら
れるものではない。
nO多結晶薄膜をチャネル層に用いたボトムゲート構造のトランジスタ(図1)を作製し
た。該トランジスタのチャネル層とゲート絶縁膜との界面の欠陥準位密度は4.5×10
14cm-2eV-1であり、nチャネル及びpチャネルの両方の動作が可能な同時両極性TF
Tである。飽和移動度及びオン・オフ(On/Off)比は、pチャネルで、0.78c
m2(Vs)-1、104以上、nチャネルで1.5×10-4cm2(Vs)-1、約101であった
。
の同時両極性TFTを提供する。該同時両極性TFTは、nチャネル特性及びpチャネル
特性の両方の動作が可能であることから、相補形に配置したゲート構造とすることにより
CMOS論理回路用のTFTとして用いることができる。 本発明者らは、該同時両極性
トランジスタを用いてCMOSインバータ回路を作製した。作製したインバータは、正及
び負の入力電圧に対して動作し、電圧利得2.5を得た。
いて、SnO薄膜が単一材料で両極性を呈する材料であることを発見したことにより、該
材料の薄膜をチャネル層として用いることによって、電界効果型トランジスタの使用時に
極性をp型伝導又はn型伝導に変更できる同時両極性トランジスタを初めて実現したもの
であり、トランジスタの製造プロセスの簡略化・低コスト化につながり、また、CMOS
論理回路など実用回路の簡略化、低コスト化などの優れた効果を奏する。また、ディスプ
レイ回路において単一TFTの代わりにCMO構造を使用することでトランジスタのOF
F電流を簡単に落とすことができる。
構造のトランジスタの断面模式図を示している。本発明のTFTはボトムゲート構造に限
らず、基板上に設けたチャネル層と、前記チャネル層上又は下にゲート絶縁膜を介して設
けられて前記チャネル層のキャリア濃度を制御するゲート電極を有する構造であればよく
、トップゲート構造等種々の構造を採用し得る。ソース電極、ドレイン電極、ゲート絶縁
膜、及びゲート電極の形成は通常採用されている材料、方法を用いればよい。例えば、n
+−Si基板1上にゲート絶縁膜となる熱酸化膜SiO2等の絶縁膜2を形成し、この絶
縁膜2上にSnO薄膜3を形成する。次いで、SnO薄膜3の両端部に接触してITO等
からなるソース電極4、ドレイン電極5を設ける。基板1はゲート電極としても用いられ
る。
を用いても良いし、SUS基板等の金属基板を用いても良い。さらには、ガラス基板やサ
ファイア基板等の絶縁基板を用いても良い。
の両極特性電界効果型トランジスタを集積化した場合には、各両極特性電界効果型トラン
ジスタに対する制御信号Vcを独立して印加することができる。また、Si基板の表面に
絶縁膜を形成した絶縁性基板を用いる場合にも、絶縁膜上に各両極特性電界効果型トラン
ジスタに対して別個のバックゲートを設けても良い。
て、SnO焼結体又はSn金属をターゲットとして用いて、基板上に堆積するSnの酸化
度合いを雰囲気酸素分圧により制御し、Sn2+イオンの含有量が90原子%以上のSnO
薄膜を成膜することが好ましい。SnO薄膜は多結晶膜又はアモルファス膜のいずれでも
よい。
動作するが、より好ましくは8.5×1017cm-3以下である。1×1018cm-3超では
TFTが動作しないか、動作困難にくなる。また、また、チャネル層と絶縁膜との界面の
欠陥準位は5×1014cm-2eV-1以下に低減することが必要である。5×1014cm-2
eV-1超では両極性動作せず、p型で動作するのみである。
以上の高温加熱が必要となり、作製できる基板に制限がある。一方、多結晶薄膜は比較的
低温で作製できることからプラスチックなどの各種基板に適用できる利点がある。多結晶
薄膜作製手法として、基板を意図して加熱して直接基板上に多結晶薄膜を作製する手法に
加えて、後述の実験例1に示すように室温でアモルファス状態の薄膜を形成し、その後低
温熱処理により多結晶薄膜を作製する手法がある。
板上に、市販品として入手できるSnO焼結体又はSn金属をターゲットとして用いて、
SnO薄膜をPLD 法やスパッタ法などで堆積させる成膜工程により形成できる。Sn
O薄膜チャネル層2は、SnO薄膜中に、結晶粒界が存在しないアモルファス状態でも同
時両極性を有する。また、基板は熱処理に耐え得る材料であれば制限されない。
形成するために、基板温度を室温以上700℃以下とし、成膜室内雰囲気の、すなわち、
Snの酸化度合いを純度の高い酸化第一スズを形成するようにコントロールする必要があ
る。そのために、酸素分圧の適正な範囲は予め実験的に求めておく。Sn4+及びSn0(
錫金属)の含有量が、出来るだけ少ない方が望ましく、合計で10原子%以上になると、
SnO2やSnが生成する。SnO2が生成すると著しTFT特性の劣化、また、Snが生
成することでTFT動作しなくなるので不適当である。
のことを意味する。酸素分圧が大きすぎるときは、Sn4+が析出し易い。p型伝導性が得
られる最も適切な酸素分圧の範囲は予め実験的に求めることができるが、PLD 法の場
合、好ましい範囲は1×10-3Pa超、1×10-1Pa未満である。
温度が150℃未満では、SnO多結晶相が得られず、基板温度が300℃超では、Sn
O多結晶相は得られるものの、Sn4+が析出し始める。よって、150〜300℃の熱処
理温度が適切である。熱処理温度250℃で作製したSnO多結晶薄膜は正孔移動度が0
.5cm2(Vs)-1以上のものが得られる。
プし、熱処理することで電気特性を改善できる。この場合も、基板温度が300℃超では
、Sn4+が析出し始める。よって、150〜300℃の熱処理温度が適切である。熱処理
温度250℃で作製したSnO多結晶薄膜の正孔濃度は約1017cm-3程度である。
法を用いればよい。ゲート絶縁膜としては、アモルファスアルミナ(a−Al2O3)、S
i3N4 、SiO2などを用いることができる。ゲート絶縁膜の種類は、界面欠陥準位には
関係しない。上記の作製方法により、同一平面上に同時両極性電界効果型トランジスタを
少なくとも2個、同時に形成することができる。
て回路機能を持たせた半導体集積回路装置を作製できる。また、本発明の2つの同時両極
性TFTを相補形に配置したゲート構造とすることで相補型金属酸化膜半導体ゲート構造
(CMOS)を特徴とするインバータ回路を作製できる。CMOSゲート構造としては、
公知の種々の構造に適用できる。
た。
[成膜実験]
SnO多結晶薄膜はPLD法により室温でアモルファス薄膜を堆積した後、熱処理をする
ことで作製した。PLD装置としてはULVAC社製レーザアブレーション成膜装置を用
いた。ターゲットにはSnO焼結体を用いて、KrFエキシマレーザ(波長248nm)を
照射してアブレーションを行った。基板とターゲット間の距離は35mmとした。アモル
ファス薄膜の堆積条件については、基板温度は室温、酸素分圧は10-2Pa、繰り返し周
波数は10Hz、強度は約0.5Jcm-2である。また、熱処理は大気中(1atm)、
250℃、30分間行った。
110nmの範囲とした。作製したSnO薄膜について、(1)X線回折計による相の同
定、結晶方位の確認、(2)紫外−近赤外域(波長範囲200〜2500nm)での光吸収ス
ペクトルの測定、(3)van der pauw法による室温でのホール(Hall)効
果測定を行った。
5°)を示す。X線回折の結果から、石英基板(22°付近)とSnO薄膜由来(29°
付近)のブロードな回折線のみが観察され、未熱処理膜ではアモルファス状であることが
分かる。一方、250℃熱処理後の膜では一連のSnO結晶に帰属にされる回折線のみが
観察され、SnO2(Sn4+)やSn(Sn0)などの異相を含まないSnO単相膜である
ことが分かる。また、このSnO単相膜は特定の結晶面の優先配向を持たない無配向Sn
O薄膜である。
ーhνの関係を示す。図3(b)に示す(αhν)2−hνプロットから見積もった直接遷移光学
バンドギャップは2.7eV、間接遷移光学バンドギャップは0.75eVであり、報告
されている(R. Sivaramasubramaniam et al., Phys. stat. sol., (a) 136, 215 (1993)
)値と一致した。よって、透明チャネルのTFTを形成できることが分かる。
果測定から求めた正孔濃度と正孔移動度を示す。全膜厚領域において、正孔濃度(Nh)
は5〜8×1017cm-3であったのに対して、正孔移動度(μh)は膜厚110nmで1
.8cm2(Vs)-1であり、膜厚減少とともに若干減少する傾向を示したものの、膜厚1
4.2nmにおいて1.2cm2(Vs)-1の正孔移動度を示した。よって、CMOS構造
用両極性TFTとして必要な正孔移動度を有していることが分かる。
。まず、TFTのチャネルとしてSiO2(厚さ15nm)/Si基板上に実験例1で示した
方法と同様に多結晶SnO層を形成した。次に、フォトリソグラフィーとPLD法により
ITO(40nmt)からなるソース電極及びドレイン電極を作製した。チャネル長(L)
及びチャネル幅(W)はL/W=20/120μmとした。X線反射率測定より求めた多
結晶SnO薄膜の膜厚は15.4nm、19.7nm、24.9nmであった。
SnOチャネル膜厚の減少とともに、ゲート−ソース間電圧の負領域及び正領域で電流変
調が見られ、膜厚15.4nmでは明確な電流変調が観察された。これは、印加電圧が負
の場合、電圧の増大に伴ってドレイン−ソース間電流が増大するpチャネル動作を示し、
印加電圧が正の場合にはnチャンネル動作を示しており、このTFTが電子(n型)及び
正孔(p型)伝導性の両方の動作が可能な同時両極性TFTであることがわかる。このト
ランジスタのチャネル層とゲート絶縁膜との界面の欠陥準位密度は、4.5×1014cm
-2eV-1である。
で熱処理することで正孔濃度を約1017cm-3程度まで低減でき、両極性TFT特性を改
善できる。図6に、膜厚15.4nmのSnO薄膜を絶縁膜でキャップして250℃で熱
処理して作製したTFTに関して、大気中、暗所におけるTFT特性を示す。
動作では102桁以上が得られている。また、図6(b)に、負ゲートバイアス(VGS=
−1→−10V,@−1V step)及び正ゲートバイアス(VGS=5→10V,@0
.5V step)によるドレイン電流の変化を示す。図6(b)に示した出力特性より
、負及び正ゲートバイアスによりドレイン電流が増加する両極性チャネルの特性が得られ
ているとともに明確なピンチオフ特性が得られている。この両極性TFTの飽和移動度は
pチャネル動作で約0.8cm2(Vs)-1、nチャネル動作で約5×10-4cm2(Vs)-1
であった。
した。図7に、インバータ回路構成図及びその入出力特性を示す。図7(a)は、基本ゲ
ート回路の回路構成図であり、2つの同時両極性TFTを平面に配列して一方を正電源に
、他方を接地電位に接続し、入力端子を共通にしたいわゆるCMOSインバータの構造と
した配置とする。図7(b)、(c)の実線はゲート入力電圧に対する出力電圧の変化を
示し、点線は電圧利得を示す。図7(b)及び(c)より正(VDD=5V)及び負(V
DD=−5V)の入力電圧に対してもインバータ動作していることが分かる。これは、同
時両極性TFTが、それぞれの入力に対して、nチャネル動作及びpチャネル動作してい
ることに起因している。また、電圧利得として約2.5が得られた。
である。本発明で開発した単一材料の透明金属酸化物薄膜を使った同時両極性TFTを使
用することでCMOS構造の製造プロセスの簡略化・低コスト化につながる。また、単一
TFTの代わりに本発明のCMOS構造を使用することで、トランジスタのOFF電流を
簡単に落とすことができるなど、ディスプレイ回路にも有用である。
Claims (6)
- 基板上に設けたチャネル層と、前記チャネル層上又は下にゲート絶縁膜を介して設けられ
て前記チャネル層のキャリア濃度を制御するゲート電極を有する電界効果型トランジスタ
において、前記チャネル層の材料は、酸化第一スズ(SnO)薄膜であり、前記チャネル
層とゲート絶縁膜との界面の欠陥準位密度が5×1014cm−2eV−1以下であり、
前記チャネル層は、電子(n型)及び正孔(p型)伝導性の両方の動作が可能な同時両極
性を有することを特徴とする同時両極性電界効果型トランジスタ。
- SnO薄膜からなるチャネル層の正孔濃度が1018cm−3以下であることを特徴とす
る請求項1記載の同時両極性電界効果型トランジスタ。 - 同一平面上に請求項1記載の同時両極性電界効果型トランジスタを少なくとも2個形成し
て互いに電気的に接続して回路機能を持たせた半導体集積回路装置。 - 請求項1記載の同時両極性電界効果型トランジスタを相補形に配置したゲート構造とした
ことを特徴とする相補型金属酸化膜半導体ゲート構造(CMOS)。 - 請求項1記載の同時両極性電界効果型トランジスタを製造する方法において、チャネル層
の形成に気相法を用い、
該気相法において、SnO焼結体又はSn金属をターゲットとして用いて、基板上に堆積
するSnの酸化度合いを成膜室内の雰囲気酸素分圧により制御し、Sn2+イオンの含有
量が90原子%以上で、膜厚が20nm以下、2nm以上のSnO薄膜を成膜することを
特徴とする同時両極性電界効果型トランジスタの製造方法。 - 請求項5記載の方法により、同一平面上に同時両極性電界効果型トランジスタを少なくと
も2個、同時に形成して互いに電気的に接続することを特徴とする同時両極性電界効果型
トランジスタの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011044517A JP5735306B2 (ja) | 2011-03-01 | 2011-03-01 | 同時両極性電界効果型トランジスタ及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011044517A JP5735306B2 (ja) | 2011-03-01 | 2011-03-01 | 同時両極性電界効果型トランジスタ及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012182329A JP2012182329A (ja) | 2012-09-20 |
JP5735306B2 true JP5735306B2 (ja) | 2015-06-17 |
Family
ID=47013276
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011044517A Active JP5735306B2 (ja) | 2011-03-01 | 2011-03-01 | 同時両極性電界効果型トランジスタ及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5735306B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10930744B2 (en) | 2018-09-20 | 2021-02-23 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor device |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103774098B (zh) * | 2014-01-15 | 2016-06-08 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 氧化亚锡织构薄膜及其制备方法 |
JP6150752B2 (ja) * | 2014-03-14 | 2017-06-21 | 株式会社日本製鋼所 | 酸化物系半導体材料および半導体素子 |
US9685542B2 (en) * | 2014-12-30 | 2017-06-20 | Qualcomm Incorporated | Atomic layer deposition of P-type oxide semiconductor thin films |
US9647135B2 (en) * | 2015-01-22 | 2017-05-09 | Snaptrack, Inc. | Tin based p-type oxide semiconductor and thin film transistor applications |
KR102526654B1 (ko) * | 2015-03-03 | 2023-04-26 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 산화물 반도체막, 상기 산화물 반도체막을 포함하는 반도체 장치, 및 상기 반도체 장치를 포함하는 표시 장치 |
CN104790029B (zh) * | 2015-04-27 | 2017-06-30 | 湖北大学 | 一种制备SnO外延薄膜的方法 |
CN114141884A (zh) * | 2021-12-14 | 2022-03-04 | 上海集成电路制造创新中心有限公司 | 可重构肖特基二极管 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5168605B2 (ja) * | 2008-07-24 | 2013-03-21 | 独立行政法人科学技術振興機構 | pチャネル薄膜トランジスタとその製造方法 |
JP5506213B2 (ja) * | 2009-03-06 | 2014-05-28 | キヤノン株式会社 | 半導体素子の形成方法 |
-
2011
- 2011-03-01 JP JP2011044517A patent/JP5735306B2/ja active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10930744B2 (en) | 2018-09-20 | 2021-02-23 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012182329A (ja) | 2012-09-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5735306B2 (ja) | 同時両極性電界効果型トランジスタ及びその製造方法 | |
JP5168605B2 (ja) | pチャネル薄膜トランジスタとその製造方法 | |
TWI453915B (zh) | Thin film transistor | |
CN104733515B (zh) | 薄膜晶体管及其制造方法,以及半导体装置 | |
Wang et al. | Recent developments in p‐Type oxide semiconductor materials and devices | |
JP5725698B2 (ja) | アモルファス酸化物半導体及び該アモルファス酸化物半導体を用いた薄膜トランジスタ | |
CN101309864B (zh) | 半导体薄膜及其制造方法以及薄膜晶体管 | |
Kim et al. | Low-temperature solution processing of AlInZnO/InZnO dual-channel thin-film transistors | |
JP5213458B2 (ja) | アモルファス酸化物及び電界効果型トランジスタ | |
Hwang et al. | Vertical channel ZnO thin-film transistors using an atomic layer deposition method | |
Tang et al. | Vacuum-free liquid-metal-printed 2D indium–tin oxide thin-film transistor for oxide inverters | |
He | Metal oxide semiconductors and conductors | |
JP2010205798A (ja) | 薄膜トランジスタの製造方法 | |
Chu et al. | Low-voltage operation of ZrO2-gated n-type thin-film transistors based on a channel formed by hybrid phases of SnO and SnO2 | |
JP2012238763A (ja) | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 | |
Lee et al. | Effect of Ag doping on the performance of ZnO thin film transistor | |
Li et al. | Preparation and characterization of solution-processed nanocrystalline p-Type CuAlO 2 thin-film transistors | |
JP5168599B2 (ja) | 薄膜トランジスタの製造方法 | |
Lee et al. | Characterization of ZnO–SnO2 nanocomposite thin films deposited by pulsed laser ablation and their field effect electronic properties | |
Ju et al. | High mobility field effect transistor of SnOx on glass using HfOx gate oxide | |
JP6036984B2 (ja) | 酸窒化物半導体薄膜 | |
Wang et al. | Fully transparent Al-doped ZnO thin-film transistors on flexible plastic substrates | |
WO2015115330A1 (ja) | 薄膜トランジスタ、酸化物半導体、およびその製造方法 | |
JP6252903B2 (ja) | 薄膜トランジスタおよびその製造方法 | |
Ma et al. | Fabrication and electrical characteristics of Li-N co-doped InZnO TFTs prepared by radio frequency magnetron |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140124 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20141211 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20141224 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150126 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150401 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150416 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5735306 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |