JP5719793B2 - センサの製造方法 - Google Patents

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Description

本発明は、エンジンの排気ガスなどの流体の温度などを測定するためのセンサの製造方法に関する。詳しくは、サーミスタなどのセンサ素子(以下、センサ素子又は単に素子ともいう)が、先端が閉じられたチューブ(有底チューブ又はキャップ)内の先端又は先端寄り部位に配置され、そのチューブの先端寄り部位を排気ガスの熱に晒されるように排気マニホルド(排気ガス管)などの取付け対象部位に取り付け、その熱を内部のセンサ素子に伝わらせることで、そのガスの温度を測定(検出)するのに好適なセンサの製造方法に関する。
この種のセンサ、例えば温度センサとしては、従来、種々の構造のものが提案されている(例えば、特許文献1参照)。特許文献1で開示されているセンサは、温度センサ素子が先端(閉塞端)側の内部に配置された金属製のチューブ(保護管)に、外周面にネジを有する環状取付金具(ハウジング)が外嵌され、両者の内外周面間がロウ付けされて固定された構造を有している。この環状取付金具は、そのネジの後方に設けられたねじ込み用の工具係合部を備えている。しかして、このセンサは、環状取付金具の工具係合部を回螺することで、そのネジを介して排気マニホルドなどの取付け対象部位(外周面に突出状に設けられたボス)に貫通、形成されたネジ穴にねじ込むことで直接、取り付けられ、排気ガスの温度測定に使用される。
ところで、このようなセンサの取り付け対象部位(排気マニホルド)における内外のシール(気密性)の確保は、次のようにして行われている。すなわち、そのねじ込みに際して、環状取付金具のネジの後方の工具係合部における先端向き面にシール用のワッシャを外嵌、装着しておくのである。このようにしておくことで、その工具係合部と、ネジ穴の開口周縁面をなすボスの端面との間で、そのねじ込みにおいてワッシャを圧縮、変形して、その間のシールを確保するというものである。
ところで、このような構成のセンサのねじ込みによる取り付けにおいては、温度センサ自体を、ネジの軸線回りに回転させる作業となる。このため、その取付け作業においては、温度センサ自体を回転させるだけでなく、センサにおけるチューブの後端から引き出される電気信号取り出し用のリード線も、センサと共に一緒に回転させることになる。こうしたことも含め、上記従来のセンサでは、そのねじ込みにおける取付けに、各種の制約を受けるなどの難点があった。
こうした中、図13に示したセンサ100のように、そのチューブ11には、中間部位に単なる円環リング状の環状部材(フランジ)31をロウ付けにより固定してなるものがある。このものでは、別部品である中空ボルト部材301を、後方からチューブ11に隙間嵌め状態で外嵌して、取付け対象部位(例えば、排気マニホルド)500におけるねじ穴(以下、単にネジ穴とも言う)510にねじ込んで、同ボルト部材301の先端305で、ロウ付けされた環状部材31を押し付けるというものである。すなわち、別部品である中空ボルト部材301によるねじ込みにより、チューブ11に固定された環状部材31の先端向き面33を、ねじ穴510の奥の環状座面520に強く圧着(金属接触による密着)させることでシールを確保して取り付けるというものである。このような取り付け法によれば、センサ自体を回転させる必要はないから、後方のリード線51を回転させる必要もない。
特開平07−140012号公報
ところが、このような構成による取り付けにおいては、そのシールの確保のため、環状部材31の先端向き面33は、高度の仕上げ面粗度が要求される。なお、ネジ穴510の奥の環状座面520は、シール性を高めるため、図13に示したように先すぼまり状のテーパ環状座面とされることが多く、したがって、このような場合には、これに押付けられる環状部材31の先端向き面33は、それに対応するテーパが付けられることになる。
一方、中空ボルト部材301はその先端305で環状部材31の後端向き面35を押し付ける。このため、環状部材31の後端向き面35は、中空ボルト部材301のねじ込みによるその先端305のスリップによる摩擦抵抗を伴いながら押付け圧力(締付け力)を受圧する受圧面(押付けられ面)となる。他方、このような押付け圧力を付与するためのねじ込みトルクは、センサの取り付け作業、及びシール性能の標準化のため、一定値に設定される。したがって、一定の締付け力を付与するため、その受圧面をなす環状部材31の後端向き面35についても、高度の仕上げ面粗度が要求される。
ところで、上記センサ100をなす環状部材31をチューブ11に外嵌してロウ付けする工程においは、環状部材31の内周面とチューブ11の外周面との隙間に毛管現象を利用して溶融ロウを流し込むことになる。この場合、溶融ロウが、環状部材31の先端向き面33、若しくは後端向き面35、又はその両者に濡れ広がって付着してしまうことがあった。このようにロウが、環状部材31の先端向き面33、若しくは後端向き面35に付着すると、それらの表面が如何に高度に仕上げられていたとしても、面粗度が低下する(平滑性が損なわれる)ことになる。一方、ロウの付着が先端向き面33、又は後端向き面35にあるとしても、それが環状部材31の内側であるチューブ挿通孔の内周面32aに極近い位置であり、シールや、押圧力の受圧に預からない位置である場合には問題はない。しかし、その両面33,35とも、外方に広く濡れ拡がって付着すると、上記したセンサは、その取付け構造上、所望とするシール性能が得られないことになる。というのは、後端向き面にロウの付着があれば、中空ボルト部材に所定のトルクを付与しても摩擦抵抗の増大により、所定の押圧力が得られない。また、偏在した付着があると後端向き面に対する押付け力(面圧)の均一性が得られない。また、先端向き面にロウの付着がある場合には、さらに問題が大きい。こうした問題の発生の原因ないし過程の詳細は次のようである。
この種のセンサの製造工程において、チューブに、環状部材を外嵌してロウ付けするには、次のようにしてその作業が行われる。その一例としては、まず、図14の左図に示したように、チューブ11を鉛直に立てて、これに環状部材31を外嵌した状態として、その先後方向の位置決めする。この位置決めは、図示のように例えば、チューブ11の先端(閉塞端)12を下にして立てる場合には、チューブ11の先端12を基台面201に当接させると共に、環状部材31の下向き面(先端向き面33)を基台面201上に置かれた支持ジグ211にて支持させることで行われる。
次に、環状部材31のうち上向き面をなす後端向き面35であって、内挿されているチューブ11の外周面15aとのなす隅角、又はその近傍に、チューブ11の周方向に沿って適量のロウ材220を配置する。例えば、ロウ材が銅ロウであり、これが線材、又はリングのときは、環状部材31の後端向き面35において、チューブ11の外周面に沿う形で配置する。その後、リフロー炉(真空炉)中にて所定温度で所定時間、加熱し、ロウを溶融する。こうすることで、溶融したロウは、環状部材31の内側であるチューブ挿通孔の内周面32aとチューブ11の外周面15aとの微小な隙間に毛管現象で引き込まれるように流れて濡れ広がる。なお、ロウ材にNiロウを用いる場合には、ペースト状のロウ材が使用されるが、この場合には塗布される。
ところが、上記のようにしてロウ付けする過程においては、図14の右図(拡大図)に示したように、溶融ロウ230がその隙間の図示上端の後端から一部が流れ出て環状部材31の後端向き面35に濡れ広がって付着してしまうことがある。これは、上記ロウ付けにおいては、ロウ材220が環状部材31の上向き面である後端向き面35に設置されているため、溶融したロウは、溶融開始時(溶融直後)には、その設置位置を出発点として、一部が不可避的に後端向き面35において外方(外周方向)にも濡れ拡がることに起因する。特に、Niロウのようにペースト状のロウ材を用いる場合には、その嵩(ボリューム)が増すことから、環状部材の後端向き面において、こうした問題が発生しやすい。
一方、上記ロウ付けとは逆に、チューブ11の後端を下にして立ててロウ付けする場合には、環状部材31における先端向き面33におけるチューブ11の外周面に沿う形でロウ材を配置し、これを溶融してロウ付けすることになる。このため、この場合には、上記したのと同様の理由から、環状部材31の先端向き面33にロウが付着し易い。しかも、先端向き面が先細りテーパとされている場合には、ロウが外方に濡れ拡がり易く、上記した問題を発生させやすい。
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたもので、別部品である中空ボルト部材をチューブの後方から外嵌して取付け対象部位におけるねじ穴にねじ込むことで、チューブにロウ付けされた環状部材をネジ穴の奥の環状座面に押付けてシールを確保して取り付けられるセンサにおいて、その環状部材の後端向き面のうち、上記受圧面をなす面、又は先端向き面のうち、該環状座面に押付けられる面にロウ付けにおけるロウが付着するのを抑制ないし防止するのに有効なロウ付け工程を含む、センサの製造方法を提供することにある。
前記の目的を達成するため、請求項1記載の発明は、チューブに環状部材が外嵌され、該チューブの外周面と該環状部材の内周面とがロウ付けされてなると共に、該チューブの先端側内部にセンサ素子を備えてなる構成を有するセンサであって、
前記チューブに後端側から中空ボルト部材が外嵌され、該中空ボルト部材をセンサの取り付け対象部位におけるネジ穴にねじ込むことによって、該中空ボルト部材の先端にて前記環状部材の後端向き面を先方に押圧して、該環状部材の先端向き面をそのネジ穴の奥の環状座面に押付けることによってシールを保持して取り付けられる構成のセンサの製造方法において、
前記中空ボルト部材には、その先端と、その中空部の内周面とのなす角に周方向に沿ってアール面取りが付けられているものを用いることとする一方、
前記ロウ付け前の前記環状部材には、その後端向き面のうちの内周縁寄り部位に、前記中空ボルト部材の先端の中空部内に隙間嵌めで入り込み可能に、しかも、該環状部材の内周面と同心で、後方へ突出するリング状又はパイプ状の環状凸部を一体で形成しておき、
前記チューブの外周面と前記環状部材の内周面とをロウ付けするにあたり、
該環状部材を外嵌した該チューブを先端を下にして立てた状態とし、前記後端向き面における前記環状凸部における突出先の端面又は該端面の近傍にロウ材を配置し又は塗布しておき、その後、該ロウ材を溶融することでロウ付けする工程を含むことを特徴とする。
請求項2記載の発明は、チューブに環状部材が外嵌され、該チューブの外周面と該環状部材の内周面とがロウ付けされてなると共に、該チューブの先端側内部にセンサ素子を備えてなる構成を有するセンサであって、
前記チューブに後端側から中空ボルト部材が外嵌され、該中空ボルト部材をセンサの取り付け対象部位におけるネジ穴にねじ込むことによって、該中空ボルト部材の先端にて前記環状部材の後端向き面を先方に押圧して、該環状部材の先端向き面をそのネジ穴の奥の環状座面に押付けることによってシールを保持して取り付けられる構成のセンサの製造方法において、
前記中空ボルト部材には、その先端と、その中空部の内周面とのなす角に周方向に沿ってアール面取りが付けられているものを用いることとする一方、
前記ロウ付け前の前記環状部材には、その先端向き面のうちの内周縁寄り部位に、前記環状座面の内周をなす空孔内に隙間嵌めで入り込み可能に、しかも、該環状部材の内周面と同心で、先方へ突出するリング状又はパイプ状の環状凸部を一体で形成しておき、
前記チューブの外周面と前記環状部材の内周面とをロウ付けするにあたり、
該環状部材を外嵌した該チューブを先端を上にして立てた状態とし、前記先端向き面における前記環状凸部における突出先の端面又は該端面の近傍にロウ材を配置し又は塗布しておき、その後、該ロウ材を溶融することでロウ付けする工程を含むことを特徴とする。
請求項3記載の発明は、チューブに環状部材が外嵌され、該チューブの外周面と該環状部材の内周面とがロウ付けされてなると共に、該チューブの先端側内部にセンサ素子を備えてなる構成を有するセンサであって、
前記チューブに後端側から中空ボルト部材が外嵌され、該中空ボルト部材をセンサの取り付け対象部位におけるネジ穴にねじ込むことによって、該中空ボルト部材の先端にて前記環状部材の後端向き面を先方に押圧して、該環状部材の先端向き面をそのネジ穴の奥の環状座面に押付けることによってシールを保持して取り付けられる構成のセンサの製造方法において、
前記中空ボルト部材には、その先端と、その中空部の内周面とのなす角に周方向に沿ってアール面取りが付けられているものを用いることとする一方、
前記ロウ付け前の前記環状部材には、その後端向き面のうちの内周縁寄り部位に、前記中空ボルト部材の先端の中空部内に隙間嵌めで入り込み可能に、しかも、該環状部材の内周面と同心で、後方へ突出するリング状又はパイプ状の環状凸部を一体で形成しておくと共に、その先端向き面のうちの内周縁寄り部位に、前記環状座面の内周をなす空孔内に隙間嵌めで入り込み可能に、しかも、該環状部材の内周面と同心で、先方へ突出するリング状又はパイプ状の環状凸部を一体で形成しておき、
前記チューブの外周面と前記環状部材の内周面とをロウ付けするにあたり、
該環状部材を外嵌した該チューブを立てた状態とし、その状態における上向き面をなす前記後端向き面又は前記先端向き面における前記環状凸部における突出先の端面又は該端面の近傍にロウ材を配置し又は塗布しておき、その後、該ロウ材を溶融することでロウ付けする工程を含むことを特徴とする。
請求項4記載の発明は、前記環状凸部における突出先の端面と、内周面とのなす角に沿って、面取り状又は凹状の切欠き部が形成されていることを特徴とする、請求項1又は2のいずれか1項に記載のセンサの製造方法である。
請求項5記載の発明は、前記後端向き面及び前記先端向き面に形成された前記環状凸部における突出先の端面のうちの少なくとも一方の端面と、内周面とのなす角に沿って、面取り状又は凹状の切欠き部が形成されていることを特徴とする、請求項3に記載のセンサの製造方法である。
請求項6記載の発明は、前記チューブが、小径筒部に続く後方に、大径筒部を有する異径構造のものであり、前記環状部材が、該小径筒部に隙間嵌めとされ、異径の境界部である前記大径筒部の先端に当接状態として位置決めされ、
前記小径筒部の外周面と前記環状部材の内周面とがロウ付けされる構成のものであることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか1項に記載のセンサの製造方法である。
請求項1記載の発明では、次の効果が得られる。本発明では、前記環状部材には、その後端向き面のうち、前記中空ボルト部材にて先方に押圧されない内周縁寄り部位に、同心状で後方に向けて突出する前記環状凸部を有している。このため、この環状凸部の突出先の端面(以下、単に「端面」ともいう)は、ロウ付け時においては、前記中空ボルト部材の先端にて先方に押圧されることになる部位(前記後端向き面のうち、中空ボルト部材の先端に圧接して押圧力を受ける面。以下、受圧面ともいう)より、その突出量分、高位にある。これにより、ロウが溶融される前記端面はその受圧面と同一面にはなく、それより高位にある。
すなわち、本発明では、前記受圧面より高位にある前記環状凸部の端面又は該端面の近傍でロウが溶融される。このため、この端面で溶融したロウは、溶融と同時に、環状部材の内周面とチューブの外周面との隙間に毛管現象により引き込まれるように流れ込んで濡れ拡がるが、後端向き面(前記受圧面)は、この端面より相対的に低位にあるから、その分、ロウが濡れ難いため、そこへのロウの付着が防止される。
しかも、前記端面における外周端縁には角(前記端面と環状凸部の外周面(外周壁面)とのなす角)があり、この角においてロウは濡れ難く、したがって、これを乗り越え難い。そして、ロウがその角を乗り越えて環状凸部の外周面へ濡れ拡がるとしても、その濡れ広がりは、その外周面の存在自体により、その外周面にて止める働きがある。すなわち、本発明では、その角が、溶融したロウが前記端面からの外周面に濡れ拡がることを抑制ないし防止する堰き止め作用をする。しかも、ロウが溶融される前記端面は、前記受圧面とは高さが異なり、高位にあるから、その分、ロウの溶融面と受圧面とが同じ高さにある(同一面である)従来の場合に比べると、その受圧面への濡れ広がり経路が長くなるため、受圧面をなす後端向き面へのロウの付着を防止する効果が得られる。
本発明において、前記環状凸部は、その端面を受圧面よりなるべく高くなるようにその突出量(リング又はパイプの高さ)を大きく設定するのが好ましい。これが大きいほど、環状凸部の外周面(外周壁面)の高さが確保されるためである。つまり、環状凸部の外周面は、いわば、ロウの付着の許容部位(面)であり、その突出量が大きいほど、これを大きく確保できるためである。しかも、ロウが、環状凸部の端面より低位の受圧面へ到達できる距離を大きくすることにより、該受圧面へロウが付着する危険性を一層、低下させることができるためである。
請求項2に記載の発明は、チューブの先端を上にして立てた状態としてロウ付けするものである。これに基づき、請求項1に記載の発明とは、前記環状凸部が、該環状部材の先端向き面において突出するように形成されている点が相違するのみである。すなわち、本発明では、環状凸部は、前記ロウ付け前において、その先端向き面のうち、前記環状座面に押付けられない(圧接されない)内周縁寄り部位に形成されている。このため、この環状凸部の突出先の端面(以下、単に「端面」ともいう)は、ロウ付け時においては、前記環状座面に押付けられることになる部位(環状座面への押付け面。以下、押付け面ともいう)より、その突出量分、高位にある。このため、このような環状凸部の端面において溶融したロウは、環状部材の内周面とチューブの外周面との隙間に毛管現象により引き込まれるように流れ込んで濡れ拡がり、ロウ付けするが、その際には、請求項1の発明におけるのと同様の作用効果が得られる。すなわち、前記端面における外周端縁には角(前記端面と環状凸部の外周面(外周壁面)とのなす角)があり、また、前記端面に対し、前記押付け面は、その外周面の高さ分、低位にあり、従来のようにロウの溶融面と同一高さにないためである。これにより、溶融ロウが環状凸部の外周面に濡れ拡がるとしても、前記先端向き面における前記押付け面に濡れ拡がったり、付着したりするのを抑制ないし防止できる。
請求項3に記載の発明においては、その構成に基づき、チューブは、その先端、又は後端のいずれを下にしてロウ付けしても上記各発明と同様の効果が得られる。このため、ロウ付け工程の勝手性(自由度)に優れるという効果がある。例えば、チューブの先端を下にしてロウ付けする場合(環状部材の後端向き面が上向き面をなす場合)には、請求項1の発明と同様の効果が得られる。逆に、チューブの先端を上にしてロウ付けする場合(環状部材の先端向き面が上向き面をなす場合)には、請求項2の発明と同様の効果が得られる。さらに、請求項3に記載の発明においては次のような効果も得られる。溶融ロウが、ロウ付けされる隙間の下端において溢出したとしても、常に、下方にも環状凸部があることになる。このため、溶融ロウが、下向き面をなす前記受圧面又は前記押付け面まで回りこんで付着するということも抑制ないし防止することができる。
請求項4に記載の発明においては、前記環状凸部における突出先の端面と、内周面とのなす角に沿って、面取り状又は凹状の切欠き部が形成されている。このため、ロウ付け前、チューブに環状部材が隙間嵌め状態で外嵌されたとき、前記端面とその内周面(前記チューブの外周面)には、周方向に沿って陥没する凹溝が形成される。この凹溝は、ロウ付け工程において溶融したロウのロウ溜りの作用をなすことができる。したがって、このような凹溝がない場合に比べると、本発明ではこの凹溝がある分、溶融ロウはさらに上記隙間へ流れ込みやすい。このため、該端面においてその外周端縁(前記端面と環状凸部の外周面(外周壁面)とのなす角)を越えて、ロウがその外周面(外周壁面)に濡れ拡がることの抑制ないし防止する効果を一層高めることができる。なお、前記切欠き部は、請求項5に記載の発明も含め、前記端面の半径方向における全体に、また、周方向の一部又は全周にわたって形成されているものとしてもよい。すなわち、前記切欠き部は、前記環状凸部の端面の外周端縁から内周端縁に向けて、直線又は曲線で下傾する傾斜面として形成してもよい。例えば、該端面を、その全体を凹となすテーパ面(先すぼまり状のテーパ環状面)として形成してもよい。
また、請求項5に記載の発明において、一方の前記環状凸部にのみ、前記切欠き部が設けられており、この切欠き部のある前記環状凸部の前記端面にロウ材が配置等される場合には、請求項4に記載の発明と同様の効果が得られる。さらに、請求項5に記載の発明において、両方の前記環状凸部に、前記切欠き部が設けられている場合には、ロウ付けされる隙間のうちの下端においても前記凹溝が形成されることになる。このため、溶融ロウが、下向き面をなす前記受圧面又は前記押付け面まで回りこんで付着するということを、さらに一層、抑制ないし防止することができる。
本発明においてセンサを構成するチューブは、先後にストレート(例えば、先後において径が一定の管(円管))のものでもよいし、小径筒部に続く後方に、大径筒部を有する異径構造のもの(例えば、径違い同心円管)でもよいなど、適宜のものを選択して使用できる。この後者の、請求項6に記載の発明のような異径構造のものを用いて前記環状部材の位置決めをする場合には、その位置決めが容易となる。なお、このような場合には、前記環状部材の上向き面が、その先端向き面がなすものとしてロウ付けすると、次のような効果が得られる。上記のような異径構造のチューブを用い、環状部材の後端向き面を上向き面とし、挿入したチューブの大径筒部の先端をその後端向き面の内周縁に当接させることで、その位置決めをすると、環状部材の内周面は、チューブにおける大径筒部の先端(先端向き面)で塞がれるようになる。このため、溶融ロウの上記隙間への流れ込み性が低下する。これに対して、環状部材の先端向き面を上向き面とする場合には、こうした問題もなく、その当接による位置決めができる。
本発明において製造されるセンサの一例を示す縦断面図、及びその要部拡大図。 図1のセンサを構成する環状部材の説明図であり、Aは後端面側から見た斜視図、Bはその平面図、CはBの中央横断面図。 図1のセンサの製造において、チューブに環状部材をロウ付けする工程の説明図であって、左図はロウ付け前、右図はロウ付け後を示す縦断面図。 図1のセンサを取付け対象部位のねじ穴に取付ける状態の説明用断面図、及びその要部拡大図。 図4の拡大図のさらなる拡大図。 環状部材の別例を示す説明図であり、Aは後端面側から見た図、Bはその外周面側から見た図。 図6の環状部材を用いて、チューブにこの環状部材をロウ付けする工程の説明図であって、左図はロウ付け前、右図はロウ付け後を示す縦断面図。 図6の環状部材を用いて組立てたセンサを取付け対象部位のねじ穴に取付ける状態の説明用断面図、及びその要部拡大図。 環状部材の別例を示す説明図であり、Aは後端面側から見た図、Bはその中央横半断面図。 図9の環状部材を用いて、チューブにこの環状部材をロウ付けする工程の説明図であって、左図はロウ付け前、右図はロウ付け後を示す縦断面図。 図9の環状部材を用いて組立てたセンサを取付け対象部位のねじ穴に取付ける状態の説明用断面図、及びその要部拡大図。 ストレートのチューブを用いて、環状部材をロウ付けする工程の説明図であって、左図はロウ付け前、右図はロウ付け後を示す縦断面図。 従来のセンサであって、チューブに中空ボルト部材を外嵌して取付け対象部位におけるネジ穴にねじ込むことによってチューブにロウ付けされた環状部材を押圧し、これをネジ穴の奥の環状座面に押付けることによって取り付けられるセンサを説明する縦断面図。 図13のセンサの製造過程において、チューブに環状部材を外嵌してロウ付けする工程の説明図であって、左図はロウ付け前、右図はロウ付け後を示す縦断面図。
本発明の実施の形態(第1実施形態例)を図面を参照しながら詳細に説明するが、その前に、本例製法で製造されるセンサの構成について、図1及び図2等に基づいて説明する。図1中、101はセンサであって、先端(図1の下端)12が閉じられた金属製(例えば、SUS製)のチューブ11と、このチューブ11の先端12、又は先端寄り部位の内部に配置されたセンサ素子21等から構成されている。センサ素子21を配置してなるチューブ11は、円環状(円筒状)をなす例えばSUS製の環状部材31に内挿され、その内周面32aにロウ付けされている。なお、本例のチューブ11は、先端12から後方に向けて、複数段で拡径されてなる同心異径のものとされている。チューブ11の詳細は後述する。また、本例ではチューブ11は、その中間より先端寄りに位置する第2直管部15をもって、環状部材31の内側であるチューブ挿通孔32に隙間嵌めで内挿されている。そして、その内周面32aとチューブ11の第2直管部15の外周面15aとの間を例えば銅ロウ230でロウ付けされている。これにより環状部材31は、チューブ11の外周面に固定された円形のフランジをなしている。
本例センサ101の製造に使用される環状部材31は、図2に示したように、短円筒状の環状部材本体34と、図1において該環状部材本体34の上向き面をなす平坦な円環状の後端向き面35において、その内周面32aと同心で後方に突出するリング(円環)状(又はパイプ(円管)状)の環状凸部36とから構成されている。後端向き面35は、軸線(図1のG)に対して直角な平面をなしている。一方、環状凸部36は、この後端向き面35において後方に向けて垂直に所定高さ(H1)突出している(図2参照)。そして、その突出先の端面36aは本例では軸線Gに対して直角な平面をなしており、半径方向の幅は、周方向に沿って一定とされている。環状凸部36の内径は環状部材本体34の内周面32aの内径と同じとされている。なお、環状凸部36の外径D1は、後述する中空ボルト部材301の内径D2より小さく設定されている(図4参照)。これにより、環状凸部36は、後述する中空ボルト部材301により、環状部材31の後端向き面35を押圧する時に、その中空部内に隙間嵌めで入り込むように形成されている。すなわち、中空ボルト部材301のねじ込みによってセンサ101を取付ける際、中空ボルト部材301の先端305は、環状凸部36の外周面36bより外方における後端向き面35を押圧するように形成されている。また、環状部材31の図1の下向き面である先端向き面33は、内周面32a寄りの平坦な円環状部位30を除いて、先細りテーパをなすテーパ面とされている。因みに、この平坦な円環状部位30は、本例のセンサ101の取り付けにおいてシールに寄与しないところである。
次にチューブ11について説明する。本例においてチューブ11は、図1等に示したように、閉じられた先端12から後端(図1上端)19に向けて、順次、大径をなす同心異径の円筒状に形成されている。具体的には、先端12寄り部分は最小外径の円筒をなす素子収容部13をなしており、これに続く後方(図示上方)には、それより大径の第1直管部14をなしている。また、この第1直管部14に続く後方には、それより大径の第2直管部15が設けられている。上記したように本例では、この第2直管部15が、環状部材31のチューブ挿通孔32に内挿され、その内周面32aと第2直管部15の外周面15aとの微小な隙間で、ロウ付けされる小径筒部をなすように構成されている。以下、この第2直管部15を小径筒部15という。
そして、この小径筒部15の後方(チューブ11の後端寄り部位)には、それと同心で、チューブ挿通孔32およびこの小径筒部15より大径をなす円筒状の大径筒部17を備えている。このように、本例では、チューブ11は、先端12から後端19に向けて、素子収容部13、第1直管部14、小径筒部15、そして、大径筒部17と、順次、同心で大径をなす異径円筒管をなしている。なお、小径筒部15とその後方の大径筒部17との境界部である大径筒部17の先端16は、先細り急テーパ(先すぼまり状で、軸線Gに対する角度が45〜60度テーパ)で環状をなす先端向き面(環状面)16をなしている。
このようなチューブ11内には、その先端12の素子収容部13内に、ガラス24で封止されたサーミスタ焼結体からなるセンサ素子(感熱素子)21が配置されており、その後方には、センサ素子21を支持する素子支持体22を介して碍子管41が先後に延びる形で配置されている。碍子管41は、セラミック製で、内部に軸線Gに沿って貫通状に形成された2つの穴を有する横断面が一定の円筒管である。この碍子管41は、素子21から後方に延びる2本の電極線23と、これに接続された芯線25からなる導線を通している。
また、この碍子管41の後端45からは芯線25の後端26を突出させており、この後端26には端子金具28が溶接で固定されている。そして、その端子金具28の圧着端子部29には、樹脂被覆層付きのリード線(電気信号取り出し用の電線)51の先端53が圧着により接続されている。このリード線51は、チューブ11の後端19寄り部位内に設けられたシール部材71の後端72から外部(後方、図1上方)に引き出されている。すなわち、リード線51は、チューブ11の後端寄り部位の大径筒部17内に配置されたゴム製(耐熱ゴム製)で円柱状をなすシール部材71中の貫通孔77内を先後に通されている。
一方、図中、碍子管41の後端45とシール部材71の先端73との間には、各リード線51の先端53に接続された端子金具28の一部と、芯線25の後端26寄り部位とを含む部位を、それぞれ包囲する耐熱性硬質樹脂(例えば、PTFE製)からなるパイプ50が、その先後間において圧縮された状態で配置されている。これにより、この間における各リード線51間の電気的絶縁の確保が図られている。そして、碍子管41を先方に押圧(圧縮)状態に保持している。この先方への押圧は、シール部材71を、チューブ11の後端19側の大径筒部17内の所定位置に装填した後、その後端部17cを縮径状に加締め、圧縮することで、後端部17c内のシールを保持すると同時に行っている。すなわち、この加締めによるシール部材71の径方向の圧縮に基づく先後方向への伸長変形を利用し、その先端73によってパイプ50を介して、先方に位置する碍子管41、素子支持体22、及びガラス24で封止されたセンサ素子21をチューブ11の先端12の内面に向けて押さえつけるようにしている。
しかして、このようなセンサ101は、環状部材31が外嵌されてロウ付けされたチューブ11内に対し、上記した構成となるように各部品を組み込み、チューブ11の後端寄り部位内に配置したシール部材71からリード線51を引き出し、その後端部17cを加締めて完成品となる。
さて次に、このようなセンサ101の製造工程中、ロウ付け前の部品(図2参照)である環状部材31にチューブ11を挿入して、そのロウ付けを行う本発明(製法)の要部であるロウ付け工程を具体化した一例(第1実施形態例)について詳細に説明する。図3の左図に示したように、環状部材31の内周面32aに、その後端向き面35側から、チューブ11を挿入する。そして、その後端向き面35が上向き面となるようにしてチューブ11を立てた状態に保持する。これは、例えば図3の左図に示したように、環状部材31を支持台面201に設置した支持ジグ211にて支持すると共に、チューブ11を挿入してその先端12を下にして鉛直に立てる。このとき、チューブ11の先端12は、図示のように支持台面201に当接させてもよいが、離間させてもよい。なお、チューブ11の大径筒部17の先端向き面16が、環状部材31における環状凸部36の端面36aの内周端縁と当接するようにして位置決めしてもよいし、離間させるようにしてもよい。支持ジグ211の高さは、これらに対応して、環状部材31の下向き面を支持するように設定すればよい。
次に、このように立てられたチューブ11に外嵌されている環状部材31における環状凸部36の端面36a、又はその近傍に、所定量のロウ材220を配置する。本例では、銅ロウであり、線材又はリングをなすもので、チューブ11を包囲するように配置している。なお、Niロウのようにペーストである場合には、所定量を同部位に塗布すればよい。その後、例えば、真空炉中でロウ付け温度に所定時間加熱する。こうすることにより、ロウ材220は環状凸部36の突出先の端面36aにおいて溶融する。と同時に溶融したロウは、環状部材1の内周面32aとチューブ11の小径筒部15の外周面15aとの隙間に毛管現象により引き込まれるように流れ込んで濡れ拡がる。かくして、その冷却固化後には、この内、外周面間が銅ロウ230でロウ付けされる(図3の右図参照)。
前記ロウ付け過程において、環状凸部36の突出先の端面36aの外周端縁には角があることから、溶融ロウは、この角を越えて環状凸部36の外周面36bに濡れ拡がりにくい。また、前記受圧面をなす後端向き面35は、外周面36bの高さH1分、端面36aより低い。すなわち、従来のようにロウの溶融面と受圧面とは同一面にはない。このため、そのロウが環状凸部36の端面36aから、外周面36bに濡れ拡がるとしても、前記受圧面をなす後端向き面35への濡れ拡がりは抑制ないし防止されるから、後端向き面35へのロウの付着は抑制ないし防止される。なお、溶融されたロウが、たとえ、その端面36aの外周端縁(角)を越えて、その外周面(外周壁面)36bに濡れ拡がって、そこに付着したとしても、そのこと自体による問題はない。このロウ付け工程後のチューブ11(環状部材31付きチューブ11)に対し、上記した構成のように各部品を組み込む等してセンサ(完成品)が得られる。得られたセンサは、図4に示したように、別部品である中空ボルト部材301を、センサ101をなすチューブ11に外嵌し、取付け対象部位(図4中、2点鎖線で図示)500におけるネジ穴510に所定のトルクでねじ込まれ、その取付けが行われるが、外周面36bへのロウの付着はその取り付けに影響しないためである。
すなわち、このようなセンサ101の取り付けにおいては、ネジ穴510の奥の先すぼまりテーパをなす環状座面520に、センサ101をなす環状部材31の先端向き面33をあてがうようにして、チューブ11に外嵌した中空ボルト部材301を、そのネジ穴510に臨ませ、所定のトルクでねじ込む。これにより中空ボルト部材301の先端305にて環状部材31の後端向き面35が先方に押される。そして、その先端向き面33がネジ穴510の奥の環状座面520に押付けられてその取付けが行われる。このような取り付けにおいて、本例センサ101の環状凸部36の外周面(外周壁面)36bにロウが付着しているとしても、この外周面36bを含む環状凸部36は、中空ボルト部材301の先端305の中空部310内に隙間嵌めで入り込み可能に、上記した寸法関係(D2−D1)に設定されている。一方、中空ボルト部材301で押される受圧面をなすところの環状部材31の後端向き面35にはロウの付着はない。このため、ネジ穴510へのそのねじ込みによる取り付けにおいては、付着ロウによる押付け力不足や押付け力の不均一の問題も生じない。
上記もしたように中空ボルト部材301は、その中空部(円形孔)310の内径D2が、チューブ11の大径筒部17の外径より大きく、しかも、環状凸部36の外径(外周面36bにおける外径)D1より大きく設定されている。これにより、環状凸部36の外周面(外周壁面)36bに、ロウが着しているとしても、それが中空ボルト部材301に干渉するような厚さのロウでない限り、そのねじ込みに支障を与えないためである。すなわち、この外周面(外周壁面)36bはロウの付着の許容部位(面)をなしている。このため、受圧面をなすところの環状部材31の後端向き面35にロウが付着するのが抑制ないし防止されるわけである。これより理解されるが、(D2−D1)は、付着するロウの膜厚に応じて、隙間嵌めが確保されるように設定すればよい。また、環状凸部36の外周面(外周壁面)36bの高さH1は、なるべく大きく設定するのがよい。上記もしたように、これが高いほど、ロウが、環状凸部36の端面36aより低位の受圧面をなす後端向き面35へ付着する危険性を低下させることができるためである。なお、図4に示されるように、中空ボルト部材301の先端(面)305と中空部310の内周面とのなす角315には、周方向に沿ってアール面取り315が付けられている。また、中空ボルト部材301の後端(図示上端)には、外周面330のネジ333より大径の回螺用の多角形部(工具係合部)334が設けられている。
なお、前記例の環状部材31においては、図5に示したように、環状凸部36における突出先の端面36aと、内周面32aとのなす角に沿って、切欠き部37を形成しておくとよい。このように切欠き部37を形成しておくと、これがロウ付け時において、上向き面をなす端面36aにおいてチューブ11の外周面15a寄り部位に、周方向に沿って陥没する凹溝を形成する。このため、ロウ付け工程において端面36aで溶融したロウは、切欠き部37のなす凹溝に入り込んで、小径筒部15の外周面15aと、環状部材31の内周面32aとの隙間に流れ込むことができる。すなわち、切欠き部37が形成されていることにより、凹溝がロウ溜りをなすことから、その分、これがない場合に比べると、溶融ロウが、端面36aの外周端縁の角を超えて外周面36bに濡れ拡がるのを抑制する作用が得られるためである。なお、切欠き部37は、図5中では面取り状のものを示しているが、破線で示したように、円弧又はL形の凹状のものとしてもよい。さらに、図5の拡大図中に破線で示したように、環状凸部36の端面36aの外周端縁36cから内周端縁に向けて、すなわち、端面36aの半径方向の全域において直線又は曲線で下傾する傾斜面として形成してもよい。
さて次に、本発明の製法の要部をなすロウ付け工程を具体化した別例(第2実施形態例)について図6〜図8に基づいて説明する。ただし、本例では上記例とは、構成部材については環状部材231が異なるのみである。すなわち、本例の環状部材231は、上記例とは逆に、後端向き面35は軸線Gに垂直な単なる平面をなし、その先端向き面33のうちの内周縁寄り部位にに環状凸部38が先端に向けて突出する形で形成されている(図6参照)。このような環状部材231の相違に基づき、本例製法におけるロウ付けは、上記例とは逆に、チューブ11の先端12を上にしてロウ付けする点が、上記例と異なる。このため、その相違点を中心として説明し、同一の技術内容については、同一の符号を付すに止め、適宜、その説明を省略する。以後、同じとする。
すなわち、本例では、図6に示したように、環状部材231は、その先端向き面33に、内周面32aと同心で、先方(図6−B下方)へ所定量H2突出するリング状又はパイプ状の環状凸部38を一体で形成したものである。なお、環状凸部38は、図8に示したように、その外径D3が、センサ101の取り付け対象部位500におけるネジ穴510の奥の環状座面520の内周に連なる空孔530内に隙間嵌めで入り込み可能に、その空孔530の内径D4より小さく設定されている。
このような本例では、図7に示したように、チューブ11をその先端12が上に位置するようにして、支持台面201に設置したガイドジグ221にて鉛直に立てる(図7の左図参照)。次に、環状部材231の先端向き面33が上向き面となるようにして、これをチューブ11の小径筒部15に、その先端12側から外嵌する。これにより、環状部材231は、後端向き面35が下向き面となり、その後端向き面35における内周縁寄り部位がチューブ11の大径筒部17の先端16にて支持される。なお、環状部材231は、要すれば、別途の支持ジグ231にて、別に支持し、チューブ11に対する傾斜が防止されるようにしてもよい。
次に、このようにして立てられたチューブ11に外嵌されている環状部材231において図7に示したように上向きに突出する環状凸部38又はその近傍に、所定量のロウ材220を配置し又は塗布する。そして、上記例と同様に、ロウ付け温度に所定時間加熱することによりロウ材220を溶融する。これにより溶融したロウは、チューブ11の小径筒部15の外周面15aと、環状部材231の内周面32aとの隙間に流れ込み、濡れ拡がる。かくして、その冷却固化後には、この内、外周面間がロウ230でロウ付けされる(図7の右図参照)。
しかして本例でも、上記例と実質的に同様の効果が得られる。すなわち、本例において環状凸部38は、ロウ付け前において、その先端向き面33のうち、前記環状座面520に押付けられない内周縁寄り部位に形成されている。そして、この環状凸部38の突出先の端面38aは、ロウ付け時においては、環状座面520に押付けられることになる先端向き面33(押付け面)より、その突出量H2分、高位にある。このため、このような環状凸部38の端面38aにおいて溶融したロウは、環状部材231の内周面32aとチューブ11の小径筒部15の外周面15aとの隙間に流れる一方、環状凸部38の突出先の端面38aの外周端縁(角)を越えて、その外周面(外周壁面)38bには濡れ拡がりにくい。また、たとえ、端面38aの外周端縁(角)を越えて濡れ拡がるとしても、それにより、先端向き面33(押付け面)への濡れ広がりを抑制ないし防止できる。そして、ロウが環状凸部38の外周面38bに濡れ拡がって付着したとしても、その外周面38bは、ネジ穴510の奥の環状座面520の内周に連なる空孔530内に隙間嵌めで入り込むところである(図8参照)。このため、かかる付着ロウは、中空ボルト部材301によるねじ込みに影響を与えない。
なお、本例のようにチューブ11をその先端12が上に位置するようにしてロウ付けする場合においても、図7の拡大図中に破線で示したように、内周面32aと、環状凸部38の端面38aとがなす角に、内周に沿って切欠き部39を形成しておくとよい。このようにしておけば、上記したように、後端向き面35に形成した環状凸部36の端面36aに切欠き部を設けたのと同様の効果が得られるためである。
さて次に、図9に示した環状部材331を用いてロウ付けするようにした製法について説明する。ただし、この環状部材331は、後端向き面35のうちの内周縁寄り部位と、先端向き面のうちの内周縁寄り部位に、それぞれ、第1実施形態例、第2実施形態例に用いた環状部材31、231におけるのと同様の環状凸部36,38を一体で形成したものである。なお、図9に示した環状部材331においては、上下いずれの環状凸部36,38においても、その端面36a,38aと内周面32aとのなす角に、切欠き部37,39を形成したものとしている。
しかして、このような環状部材331を用いる場合においては、チューブ11は、その先端12、又は後端のいずれを下にしてロウ付けするとしても、上記各例と同様の効果が得られることは明らかである。このため、ロウ付け工程の自由度に優れるという効果がある。例えば、図10に示したように、チューブ11の先端12を下にしてロウ付けする場合(環状部材331の後端向き面35が上向き面をなす場合)には、第1実施形態例と同様の効果が得られる。しかも、このように、環状凸部36,38が上下双方に形成されていることから、次のような効果も得られる。というのは、ロウ材220の量が多く、ロウ付けされる隙間の下端において溢出したとしても、下向き面においても環状凸部38があるためである。すなわち、図10から明らかなように、このような環状凸部38があることにより、溶融ロウが、下向き面をなす先端向き面33まで回りこんで付着するということを有効に防止することができる。とくに、本例では、上下いずれの環状凸部36,38においても、その端面36a,38aと内周面32aとのなす角に、切欠き部37,39を設けていることから、チューブ11のいずれの端を上にしてロウ付けするとしても、ロウが、両環状凸部36,38の外周面36b,38bに濡れ拡がり難いものとなっている。ただし、本発明では、このような切欠き部は必須のものではない。一方、上に位置することになる環状凸部(図10では環状凸部36)には切欠き部を設けるのが、溶融されたロウの溜まりを確保できるので好ましいといえる。
図11は、このような環状部材331を用いてなるセンサ101、及びこれを用い、上記各例におけるのと同様にして中空ボルト部材301をチューブ11に外嵌めして、取付け対象部位500のねじ穴に510にねじ込んで取り付けている状態を示している。本例では、環状凸部36,38を上下に設けたことから、環状座面520に押付けられるその先端向き面(テーパ面)33、及び中空ボルト部材301の先端305にて締付け力を受圧する後端向き面35の双方へのロウの付着を抑制ないし防止できる。これにより、付着ロウに基づく、センサ101の取り付けにおけるシール性上の問題をより確実に解消できる。
なお、図9に示した環状部材331を用いてロウ付けする場合においても、チューブ11の先端12を上にしてロウ付けすることができることは明らかであり、その場合にも、実質的に前記例におけるのと同じ効果が得られる。なお、この場合においては、後端向き面35に突出形成された環状凸部36の端面36aが、チューブ11の大径筒部17の先端面16に当接して支持されるものとするのが好ましい。
また上記例では、チューブ11が、先端側の小径筒部15に続く後方に、大径筒部17を有する異径構造のものであるセンサの製法において具体化したが、本発明の製法において製造されるセンサをなすチューブはこれに限定されるものではない。例えば、図12に示したような、先後に同径のチューブ11を用いる場合において、これに環状部材331をロウ付けする工程においても同様に適用できる。図12では、チューブ11の先端12を下にして、前例において用いた環状部材331を用いてロウ付けする場合を例示しているが、先後のいずれを上にする場合でも同様に適用できる。また、このようなチューブを用いる場合でも、環状部材331の切欠き部はなくてもよいし、上に位置する環状凸部にのみ設けることとしてもよい。
本発明は、上記した各例のものに限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜に変更して具体化できる。例えば、使用する環状部材は、その先端向き面がテーパを有しない平面のものである場合でも、適用でき同様の効果が得られる。また、本発明のセンサは、排気ガスの温度測定用のものに限定されるものでもなく、他の用途に使用されるセンサにおいても広く適用できる。
11 チューブ
12 チューブの先端
15a チューブ(の小径筒部)の外周面
15 チューブの小径筒部
16 大径筒部の先端(先端向き面)
17 チューブの大径筒部
19 チューブの後端
21 センサ素子
31、231、331 環状部材
32a 環状部材(チューブ挿通孔)の内周面
33 環状部材の先端向き面
35 環状部材の後端向き面
36,38 環状凸部
36a,38a 環状凸部の突出先の端面
37、39 切欠き部
101 センサ
220 ロウ材
301 中空ボルト部材
305 中空ボルト部材の先端
310 中空ボルト部材の中空部
500 センサの取り付け対象部位
510 ネジ穴
520 ネジ穴の奥の環状座面
530 環状座面の内周をなす空孔

Claims (6)

  1. チューブに環状部材が外嵌され、該チューブの外周面と該環状部材の内周面とがロウ付けされてなると共に、該チューブの先端側内部にセンサ素子を備えてなる構成を有するセンサであって、
    前記チューブに後端側から中空ボルト部材が外嵌され、該中空ボルト部材をセンサの取り付け対象部位におけるネジ穴にねじ込むことによって、該中空ボルト部材の先端にて前記環状部材の後端向き面を先方に押圧して、該環状部材の先端向き面をそのネジ穴の奥の環状座面に押付けることによってシールを保持して取り付けられる構成のセンサの製造方法において、
    前記中空ボルト部材には、その先端と、その中空部の内周面とのなす角に周方向に沿ってアール面取りが付けられているものを用いることとする一方、
    前記ロウ付け前の前記環状部材には、その後端向き面のうちの内周縁寄り部位に、前記中空ボルト部材の先端の中空部内に隙間嵌めで入り込み可能に、しかも、該環状部材の内周面と同心で、後方へ突出するリング状又はパイプ状の環状凸部を一体で形成しておき、
    前記チューブの外周面と前記環状部材の内周面とをロウ付けするにあたり、
    該環状部材を外嵌した該チューブを先端を下にして立てた状態とし、前記後端向き面における前記環状凸部における突出先の端面又は該端面の近傍にロウ材を配置し又は塗布しておき、その後、該ロウ材を溶融することでロウ付けする工程を含むことを特徴とする、センサの製造方法。
  2. チューブに環状部材が外嵌され、該チューブの外周面と該環状部材の内周面とがロウ付けされてなると共に、該チューブの先端側内部にセンサ素子を備えてなる構成を有するセンサであって、
    前記チューブに後端側から中空ボルト部材が外嵌され、該中空ボルト部材をセンサの取り付け対象部位におけるネジ穴にねじ込むことによって、該中空ボルト部材の先端にて前記環状部材の後端向き面を先方に押圧して、該環状部材の先端向き面をそのネジ穴の奥の環状座面に押付けることによってシールを保持して取り付けられる構成のセンサの製造方法において、
    前記中空ボルト部材には、その先端と、その中空部の内周面とのなす角に周方向に沿ってアール面取りが付けられているものを用いることとする一方、
    前記ロウ付け前の前記環状部材には、その先端向き面のうちの内周縁寄り部位に、前記環状座面の内周をなす空孔内に隙間嵌めで入り込み可能に、しかも、該環状部材の内周面と同心で、先方へ突出するリング状又はパイプ状の環状凸部を一体で形成しておき、
    前記チューブの外周面と前記環状部材の内周面とをロウ付けするにあたり、
    該環状部材を外嵌した該チューブを先端を上にして立てた状態とし、前記先端向き面における前記環状凸部における突出先の端面又は該端面の近傍にロウ材を配置し又は塗布しておき、その後、該ロウ材を溶融することでロウ付けする工程を含むことを特徴とする、センサの製造方法。
  3. チューブに環状部材が外嵌され、該チューブの外周面と該環状部材の内周面とがロウ付けされてなると共に、該チューブの先端側内部にセンサ素子を備えてなる構成を有するセンサであって、
    前記チューブに後端側から中空ボルト部材が外嵌され、該中空ボルト部材をセンサの取り付け対象部位におけるネジ穴にねじ込むことによって、該中空ボルト部材の先端にて前記環状部材の後端向き面を先方に押圧して、該環状部材の先端向き面をそのネジ穴の奥の環状座面に押付けることによってシールを保持して取り付けられる構成のセンサの製造方法において、
    前記中空ボルト部材には、その先端と、その中空部の内周面とのなす角に周方向に沿ってアール面取りが付けられているものを用いることとする一方、
    前記ロウ付け前の前記環状部材には、その後端向き面のうちの内周縁寄り部位に、前記中空ボルト部材の先端の中空部内に隙間嵌めで入り込み可能に、しかも、該環状部材の内周面と同心で、後方へ突出するリング状又はパイプ状の環状凸部を一体で形成しておくと共に、その先端向き面のうちの内周縁寄り部位に、前記環状座面の内周をなす空孔内に隙間嵌めで入り込み可能に、しかも、該環状部材の内周面と同心で、先方へ突出するリング状又はパイプ状の環状凸部を一体で形成しておき、
    前記チューブの外周面と前記環状部材の内周面とをロウ付けするにあたり、
    該環状部材を外嵌した該チューブを立てた状態とし、その状態における上向き面をなす前記後端向き面又は前記先端向き面における前記環状凸部における突出先の端面又は該端面の近傍にロウ材を配置し又は塗布しておき、その後、該ロウ材を溶融することでロウ付けする工程を含むことを特徴とする、センサの製造方法。
  4. 前記環状凸部における突出先の端面と、内周面とのなす角に沿って、面取り状又は凹状の切欠き部が形成されていることを特徴とする、請求項1又は2のいずれか1項に記載のセンサの製造方法。
  5. 前記後端向き面及び前記先端向き面に形成された前記環状凸部における突出先の端面のうちの少なくとも一方の端面と、内周面とのなす角に沿って、面取り状又は凹状の切欠き部が形成されていることを特徴とする、請求項3に記載のセンサの製造方法。
  6. 前記チューブが、小径筒部に続く後方に、大径筒部を有する異径構造のものであり、前記環状部材が、該小径筒部に隙間嵌めとされ、異径の境界部である前記大径筒部の先端に当接状態として位置決めされ、
    前記小径筒部の外周面と前記環状部材の内周面とがロウ付けされる構成のものであることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか1項に記載のセンサの製造方法。
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