JP4168772B2 - 圧力センサの構造 - Google Patents

圧力センサの構造 Download PDF

Info

Publication number
JP4168772B2
JP4168772B2 JP2003032672A JP2003032672A JP4168772B2 JP 4168772 B2 JP4168772 B2 JP 4168772B2 JP 2003032672 A JP2003032672 A JP 2003032672A JP 2003032672 A JP2003032672 A JP 2003032672A JP 4168772 B2 JP4168772 B2 JP 4168772B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pressure
pressure sensor
sus
adapter
refrigerant
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2003032672A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2004245599A (ja
Inventor
忠幸 百瀬
久介 榊原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Denso Corp
Original Assignee
Denso Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Denso Corp filed Critical Denso Corp
Priority to JP2003032672A priority Critical patent/JP4168772B2/ja
Publication of JP2004245599A publication Critical patent/JP2004245599A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4168772B2 publication Critical patent/JP4168772B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は高圧配管内の流体圧力を測定する圧力センサの取り付け構造に関し、特に超臨界ヒートポンプサイクルの高圧冷媒圧力の測定に好適である。
【0002】
【従来の技術】
従来より知られている超臨界ヒートポンプサイクルにおいて、より運転効率を高めるためにヒートポンプサイクル中の高圧配管内の冷媒圧力を測定し、その測定値に基づいてヒートポンプサイクルの制御を行うことが検討されている。特許文献1には、10MPa以上の高圧に耐えうる圧力センサが開示されている。以下、図5を用いてこのものの構成について説明する。
【0003】
図5において、雄ネジ部521を有する金属製の本体ハウジング503に摺動自在な薄い金属製のシールダイヤフラム507が雄ネジ部521内側の圧力導入孔503bの一端に金属製の押さえ部材514とともにレーザー溶接で気密接合されている。樹脂からなるコネクタハウジング501には、内部保持するようにインサート成型されて一体に整形されたピン502a、502bが設けられている。この際、感圧素子収納部501dではピン502a、502bの各一端が突出するように配設され、その周辺にはシリコン系の気密部材511を入れる溝が同時に形成される。この溝はテーパ520を有している。また、ピン501a、502bはコネクタハウジング501内の圧力検出室にて後述の回路基板510を介してボンディングワイヤ512により感圧素子505に電気的に接続されている。
【0004】
気密部材511は、半導体の感圧素子505を設ける感圧素子収納部501dにおけるピン502a及びピン502bとコネクタハウジング501との境界と、これらのピン502a、502bが圧力検出室内に配設する周辺個所の凹部の溝とを気密封止している。ここで温度変化に対する信頼性を高めるために、気密部材511よりも熱膨張係数の低い挿入部材519、例えばリング状の金属を入れて、全体として熱膨張計数差を小さくしている。
【0005】
感圧素子収納部501dにおけるピン502a、502bの各一端には回路基板510が導電性接合部材515により電気的かつ機械的に接続されている。回路基板510には感圧素子505に電気的に接続し共働する処理回路が設けられており、はんだ付けや導電性接合部材515等で固定されたチップターミナル506を介して、感圧素子505と処理回路とがボンディングワイヤ512で電気的に接続されている。
【0006】
また台座504はガラス等からなり、シリコンなどの接合部材518によりコネクタハウジング501に気密固定され、感圧素子505は台座504に陽極接合等で気密接合されている。このように、感圧素子収納部501dに設けられた感圧素子505は、前記回路基板510とボンディングワイヤ512により電気的に接続されている。
【0007】
感圧素子505と台座504との間には圧力基準室509が形成され、真空にすることにより絶対圧力の検出を可能としている。一方、台座504とコネクタハウジング501の中心部に、それぞれの図のような破線で示す通気孔504a、501aを設けて測定圧力の基準圧をコネクタ内部に持ってくることにより、容易に相対圧を検出することも可能となる。
【0008】
また、コネクタハウジング501と押さえ部材514との間のシール性保つようにOリング508が図示上下方向から挟み込まれ、本体ハウジング503の上端部503aでコネクタハウジング501を本体ハウジング503に対して全周かしめ固定している。感圧素子収納部501dには感圧素子505および回路基板510が配置され、本体ハウジング503が接続された後、封入孔501bより真空封入等で封入されたフロロシリコンオイル等の封入液513が充填されて圧力検出室が構成される。封入液513充填後の封入孔501bは気密封止されるが、その封止手段として弾性部材516が挿入されている。弾性部材516は板状の小部材517を介して突起部501cを熱かしめにより変形させて固定し、封入孔501bを気密封止している。
【0009】
【特許文献1】
特許第3198773号公報
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
上記の高圧圧力センサは主に自動車の燃料噴射圧力計測用に用いられており、被圧力計測部への取り付け方法は雄ネジ部521によるメタルシール構造(ねじ込み式)となっている。メタルシール構造は自動車の燃料のような液体を密閉するのには十分であるが、ヒートポンプサイクル高圧側の冷媒のような気体を密閉するには気密性が十分とは言えない。また、自動車の燃料噴射圧は常時高圧とならないのに対し、ヒートポンプサイクルの高圧側配管の冷媒圧力は常に高圧となっており、より高い気密性が求められる。したがって、超臨界ヒートポンプサイクルの高圧配管にメタルシール構造によって圧力センサを取り付けた場合、その接続部より配管内部の冷媒が漏れてしまう可能性がある。漏れてしまった冷媒を充填するためには、ヒートポンプサイクルユニットを不足した冷媒を充填することが可能な構造とする必要があり、コスト増加となってしまう。さらに、高圧の冷媒を追加封入するインフラが十分整備されていないため、実現が困難であるのが実状である。
【0011】
本発明は上記のような問題点に鑑みて、超臨界ヒートポンプサイクルの接続部の気密性を保持しつつ、高圧圧力センサを高圧配管等に接続する方法および構造を提供することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】
上記課題を達成するため、請求項1に記載した本発明は、圧力導入孔が貫通する円筒状の圧力導入部(18)を備えたSUS製ハウジングと、樹脂製コネクタハウジングとを備える圧力センサ(11)を、超臨界ヒートポンプサイクルの銅配管に取り付ける方法であって、一端に円環状の面取り部(20a)を備える円筒状のSUSからなるジョイント用コネクタの内周に設けられた挿入部(20b)に、銅チューブ(19)を差込み、挿入部(20b)と銅チューブ(19)の隙間及び、円環状の面取り部(20a)を炉中ロー付けして、一端が銅で他端がSUSのアダプタ(22)を構成し、その後、アダプタ(22)のSUS側を圧力センサ(11)の圧力導入部(18)の端面に合わせ、圧力導入部(18)とアダプタ(22)のSUS側との境界をレーザー溶接し、アダプタ(22)の銅チューブ(19)側を超臨界ヒートポンプサイクルの銅配管にロー付けにより接続することにより、メタルシール構造より気密性の高いロー付けによって、圧力センサと流体配管とを接続するという手段を採用した
【0013】
SUS製ハウジングと、樹脂製のコネクタハウジングとを備える圧力センサを直接銅配管にロー付けすることは通常困難であるが、上記の手段を用いれば、SUS製ハウジングと、樹脂製のコネクタハウジングとを備える高圧圧力センサを配管に接続部の気密性を保持しつつ接続することができる。
【0014】
【発明の実施の形態】
(第一の実施形態)
図1に本発明の圧力センサ取り付け構造が適用されるヒートポンプサイクルの給湯機の模式図を示す。
【0015】
圧縮機1は冷媒を吸入圧縮する圧縮機構(図示せず)及び圧縮機構を駆動する電動モータ(図示せず)が一体となった電動圧縮機である。圧縮機1から吐出した冷媒は、冷媒と給湯水とを熱交換する水熱交換器2に流入する。この水熱交換器2は冷媒の流れと給湯水の流れとが対向するように構成された対向流型の熱交換器である。水熱交換器2から流出する冷媒は膨張弁3により減圧され、室外熱交換器4で大気中の熱を吸収する。室外熱交換器4から流出した冷媒はアキュムレータ5に入り、気相冷媒と液相冷媒とに分離される。アキュムレータ5はヒートポンプサイクル中の余剰冷媒を蓄える機能も持っている。
【0016】
送風機6は室外熱交換器4に風量を調節しながら空気(外気)を送風することができ、圧縮機1、膨張弁3とともに後述する各センサの検出信号に基づいて電子制御装置(以下ECUと略す)7に制御されている。ECU7には水熱交換器2から流出する冷媒の温度を検出する冷媒温度センサ8、水熱交換器2に流入する給湯水の温度を検出する第1温水温度センサ9、水熱交換器2から流出する給湯水の温度を検出する第2温水温度センサ10、水熱交換器4から流出する冷媒の圧力(高圧側の冷媒圧力)を検出する冷媒圧力センサ11等のセンサから検出信号が入力される。ここで高圧側の冷媒圧力とは圧縮機1の吐出側から膨張弁3の流入側に至る冷媒通路に存在する冷媒の圧力を言い、その圧力は圧縮機1の吐出圧および水熱交換器2内の冷媒圧にほぼ等しい。一方、低圧側の冷媒圧力とは、膨張弁3の流出側から圧縮機1の吸入側に至るまでの冷媒通路に存在する冷媒の圧力を言い、その圧力は圧縮機1の吸入圧および室外熱交換器4内の冷媒圧にほぼ等しい。ポンプ12は水熱交換器2に給湯水を循環させると共に、その給湯水量を調節する電動ウォーターポンプである。また、閉止弁13は水道管(図示せず)から給水される水道水が水熱交換器2に流入することを防止する役割を持つ。このポンプ12と閉止弁13もECU7によって制御されている。
【0017】
一つ又は複数個存在する保温タンク14はステンレス等の耐食性に優れた金属製のタンク構造で、温水が貯蔵される。
【0018】
一つ又は複数個の保温タンク14のうち少なくとも一つには保温タンク14内の温水温度を検出する温度センサ17が上下方向に複数個設けられており、これらの温度センサ17の検出温度もECU7に入力されている。
【0019】
次に図2および図3を参照して圧力センサ11について述べる。圧力センサ11は従来の技術の欄にて述べたものと同様の圧力センサ本体18とロー付け用銅チューブ19、ジョイント用SUSコネクタ20から構成されている。配管への取り付け方法は、まずロー付け用銅チューブ19をジョイント用SUSコネクタ20の銅チューブ挿入部20bに差し込み、挿入部20bと銅チューブ19との隙間及び、円環状の面取り部20aをリン青銅ろうで1050℃の炉中ロー付けを行い、一端が銅で他端がSUSのアダプタ22を作成する。
【0020】
次に作成したアダプタ22のSUSコネクタ20を圧力センサ本体18の圧力導入部18bに合わせ、3点以上の仮溶接をした後に圧力センサの面取り部18aとSUSコネクタ20との境界をレーザー溶接する。そしてアダプタ22の銅チューブ19側を、冷媒配管を構成する銅配管にロー付けする。このようにして配管に取り付けられた圧力センサは十分な気密性が確保でき、超臨界ヒートポンプサイクルの配管内の冷媒を漏らすことなく、冷媒圧力を測定することができる。
【0021】
(参考例)
図4を参照して、参考例について述べる。第1の実施形態ではSUSコネクタ20と圧力センサ本体18の面取り部18aとをレーザー溶接で溶接したが、本参考例ではリングプロジェクション溶接で溶接し、溶接部に剥離力がかからないようにナット21で締め付け補強してある。
【図面の簡単な説明】
【図1】 ヒートポンプ型給湯システムの模式図である。
【図2】 第1実施形態の高圧圧力センサの一部断面図である。
【図3】 第1実施形態の高圧圧力センサの斜視図である。
【図4】 参考例の高圧圧力センサの斜視図である。
【図5】 従来の圧力センサの構成を示す図である。
【符号の説明】
1・・・圧縮機、
2・・・水熱交換器、
3・・・膨張弁、
4・・・室外熱交換器、
5・・・アキュムレータ、
6・・・送風機、
7・・・電子制御装置、
8・・・冷媒温度センサ、
9・・・第1温水温度センサ、
10・・・第2温水温度センサ、
11・・・冷媒圧力センサ、
12・・・電動ウォーターポンプ、
13・・・閉止弁、
14・・・タンク、
17・・・温度センサ、
18・・・圧力センサ本体、
18a・・・圧力センサ面取り部、
18b・・・圧力導入孔、
19・・・ロー付け用銅チューブ、
20・・・ジョイント用SUSコネクタ、
20a・・・SUSコネクタ円環状面取り部、
20b・・・SUSコネクタ銅チューブ挿入部、
21・・・真鍮製ナット、
22・・ロー付け用銅チューブとジョイント用SUSコネクタからなるアダプタ
501・・・コネクタハウジング、
501a・・・通気孔、
501b・・・封入孔、
501c・・・突起部、
501d・・・感圧素子収納部、
502a・502b・・・ピン、
503・・・本体ハウジング、
503a・・・本体ハウジング上端部、
503b・・・圧力導入孔、
504・・・台座、
504a・・・通気孔、
505・・・感圧素子、
506・・・チップターミナル、
507・・・シールダイヤフラム、
508・・・Oリング、
509・・・圧力基準室、
510・・・回路基板、
511・・・気密部材、
513・・・封入液、
512・・・ボンディングワイヤ、
514・・・押さえ部材、
515・・・導電性接合部材、
516・・・弾性部材、
517・・・板状小部材、
518・・・接合部材、
519・・・挿入部材、
520・・・テーパ、
521・・・雄ネジ部。

Claims (3)

  1. 圧力導入孔が貫通する円筒状の圧力導入部(18)を備えたSUS製ハウジングと、樹脂製コネクタハウジングとを備える圧力センサ(11)を、超臨界ヒートポンプサイクルの銅配管に取り付ける方法であって、
    一端に円環状の面取り部(20a)を備える円筒状のSUSからなるジョイント用コネクタの内周に設けられた挿入部(20b)に、銅チューブ(19)を差込み、
    前記挿入部(20b)と前記銅チューブ(19)の隙間及び、前記円環状の面取り部(20a)を炉中ロー付けして、一端が銅で他端がSUSのアダプタ(22)を構成し、
    その後、前記アダプタ(22)のSUS側を前記圧力センサ(11)の前記圧力導入部(18)の端面に合わせ、前記圧力導入部(18)と前記アダプタ(22)のSUS側との境界をレーザー溶接し、
    前記アダプタ(22)の前記銅チューブ(19)側を前記超臨界ヒートポンプサイクルの銅配管にロー付けにより接続することを特徴とする圧力センサの取り付け方法。
  2. 前記アダプタ(22)のSUS側を前記圧力センサ(11)の前記圧力導入部(18)の端面に合わせた後、前記アダプタ(22)と前記圧力導入部(18)を3点以上仮溶接し、
    その後、前記レーザー溶接を行うことを特徴とする請求項1に記載の圧力センサの取り付け方法。
  3. 前記圧力導入部(18)の外周に雄ネジ部が形成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の圧力センサの取り付け方法
JP2003032672A 2003-02-10 2003-02-10 圧力センサの構造 Expired - Fee Related JP4168772B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003032672A JP4168772B2 (ja) 2003-02-10 2003-02-10 圧力センサの構造

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003032672A JP4168772B2 (ja) 2003-02-10 2003-02-10 圧力センサの構造

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2004245599A JP2004245599A (ja) 2004-09-02
JP4168772B2 true JP4168772B2 (ja) 2008-10-22

Family

ID=33018954

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003032672A Expired - Fee Related JP4168772B2 (ja) 2003-02-10 2003-02-10 圧力センサの構造

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4168772B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPWO2018021231A1 (ja) * 2016-07-27 2019-05-09 日本電産トーソク株式会社 圧力センサ装置、および電動ポンプ

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4551845B2 (ja) * 2005-08-31 2010-09-29 長野計器株式会社 センサ装置およびロウ付け固定方法
JP4926036B2 (ja) * 2007-12-28 2012-05-09 株式会社シマノ 釣り用品の電子回路装置
JP5718842B2 (ja) * 2012-03-22 2015-05-13 日本特殊陶業株式会社 センサ及びその製造方法
JP5719793B2 (ja) * 2012-03-26 2015-05-20 日本特殊陶業株式会社 センサの製造方法
JP6650367B2 (ja) 2016-07-27 2020-02-19 日本精機株式会社 圧力センサ装置、および電動ポンプ
CN108151952A (zh) * 2018-01-29 2018-06-12 北京布莱迪仪器仪表有限公司 一种双膜片泄露保护隔膜压力表

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPWO2018021231A1 (ja) * 2016-07-27 2019-05-09 日本電産トーソク株式会社 圧力センサ装置、および電動ポンプ

Also Published As

Publication number Publication date
JP2004245599A (ja) 2004-09-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6901803B2 (en) Pressure module
CN100472115C (zh) 具有热绝缘部分的毛细管焊接延伸部分
CN1311228C (zh) 具有流体隔离阻障的传感器
JP4268802B2 (ja) 媒体に隣接する壁部と圧力センサモジュールとを有する装置
US5595939A (en) Liquid-sealed semiconductor pressure sensor and manufacturing method thereof
EP3128305B1 (en) A hermetic pressure sensor
US8499642B2 (en) Hermetically sealed pressure sensing device
JP2002071491A (ja) 圧力センサ
JP4168772B2 (ja) 圧力センサの構造
US10260978B2 (en) Pressure detection unit and pressure sensor using the same
JP2001296198A (ja) 圧力センサ
JP3976015B2 (ja) 圧力センサ
WO2022142994A1 (zh) 传感器装置以及阀组件
US10260979B2 (en) Pressure detection unit, pressure sensor using the same, and method of manufacturing pressure detection unit
CN105277311A (zh) 用于金属过程密封件的过程隔离膜片组件
US9778130B2 (en) Differential pressure transducer with inspectable welds
KR101297141B1 (ko) 압력 센서 및 압력 센서의 부착 구조
CN117007235A (zh) 一种温压一体传感器及其组装方法
US6955089B2 (en) Pressure sensor
CN214066405U (zh) 传感器装置
JP2782572B2 (ja) 圧力センサとその製造方法
JP2003156401A (ja) 差圧測定装置
CN115144124B (zh) 传感器和阀组件
JP4155204B2 (ja) 圧力センサ
CN118687625A (zh) 一种温度压力复合传感器及其制作方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20050406

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20070424

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20070508

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070709

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20071030

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20071225

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20080715

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20080728

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110815

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120815

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130815

Year of fee payment: 5

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees