JP5718115B2 - シート材の欠陥検査方法、及びそれに用いる検査用治具 - Google Patents
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Description
被検査シート材と同様な地合パターン及び地合パターン中に欠陥を有する焦点調整用シート材を欠陥検査位置に載置し、前記地合パターンに、カメラの焦点を合わせる第1のフォーカス工程、前記地合パターンの画像をぼかし、前記欠陥の画像を検出できるように、前記地合パターンから当該カメラの焦点をずらすように調整する第1のデフォーカス工程、第1のフォーカス工程における焦点位置(A)から第1のデフォーカス工程における焦点位置(B)までの距離(d)を計測及び記録する工程、被検査シート材を第1のフォーカス工程と同一又は異なる欠陥検査位置に載置し、その地合パターンにカメラの焦点を合わせる第2のフォーカス工程、当該カメラの焦点を、第2のフォーカス工程における焦点位置(A’)から、前記距離(d)分ずらした焦点位置(B’)に合わせる第2のデフォーカス工程、及び焦点位置(B’)に焦点を合わせたカメラで被検査シート材の欠陥を検査する工程、を含み、前記距離(d)を計測及び記録する工程が、第1のフォーカス工程後における、前記欠陥検査位置に、カメラの焦点移動方向に移動自在で、カメラの焦点位置に合わせることが可能な位置合わせ部材と、該位置合わせ部材の移動距離を計測する計測手段とを有する検査用治具を載置し、焦点位置(A)に前記位置合わせ部材を合わせる工程、及び第1のデフォーカス工程後における、前記欠陥検査位置に、前記検査用治具を載置し、焦点位置(B)まで前記位置合わせ部材を移動し、焦点位置(A)から焦点位置(B)までの距離(d)を計測する工程を含むことを特徴とする欠陥検査方法によって達成される。これにより、焦点調整用シート材を用いて、一度、第1のデフォーカス工程を行い、焦点位置の移動距離(d)を記録すれば、操作者や検査装置が変わっても同一のデフォーカス条件で、被検査シート材の欠陥検査を迅速に行うことができる。また、距離(d)を記録する工程において、実際の欠陥検査位置における焦点の移動距離を実測することができるので、どのような検査装置であっても、精確に距離(d)を計測することができる。
(1)第2のデフォーカス工程が、第2のフォーカス工程後、前記欠陥検査位置に、前記検査用治具を載置し、焦点位置(A’)に前記位置合わせ部材を合わせる工程、及び前記位置合わせ部材を焦点位置(A’)から前記距離(d)分ずらした焦点位置(B’)に調整し、カメラの焦点を前記位置合わせ部材に合わせる工程を含む。これにより、どのような検査装置であっても、第2のデフォーカス工程において、実測した距離(d)を精確に再現することができるので、異なる検査装置間のデフォーカス条件をより一致させることができる。
(1)前記計測手段が、前記位置合わせ部材と連動してスライドするスケールにより計測する手段である。これにより、どのような検査装置であっても容易に計測することができる。
(2)前記糸状部材及び補助用糸状部材の前記カメラの焦点移動方向の位置の差が、0.2〜10mmである。
(3)前記糸状部材及び補助用糸状部材の前記糸状部材が張られた方向と直交する方向の位置の差が、5〜20mmである。
本発明の欠陥検査用治具は、本発明の欠陥検査方法において、カメラの焦点の移動距離の計測及び記録に使用するものである。従って、カメラの焦点移動方向に移動自在で、カメラの焦点位置に合わせることが可能な位置合わせ部材と、位置合わせ部材の移動距離を計測する計測手段とを有していれば、どのような治具でも良い。
12、22 地合パターン
12’、22’ 地合パターン画像
21 焦点調整用シート材
23 欠陥(モデル)
23’ 欠陥(モデル)画像
31 欠陥検査用治具
32 位置合わせ部材(糸状部材)
33 支持部
34 スケール
41 カメラ
51 欠陥検査台(搬送装置)
61 光源
102 糸状部材
103 支持部材
104 スケール
105 位置合わせ用調節部
106 補助用糸状部材
112 糸状部材支持部
116 補助用糸状部材支持部
Claims (6)
- 地合パターンを有する被検査シート材に光を照射し、カメラにより被検査シート材の光学画像を検出することにより、被検査シート材の欠陥を検査する方法であって、
被検査シート材と同様な地合パターン及び地合パターン中に欠陥を有する焦点調整用シート材を欠陥検査位置に載置し、前記地合パターンに、カメラの焦点を合わせる第1のフォーカス工程、
前記地合パターンの画像をぼかし、前記欠陥の画像を検出できるように、前記地合パターンから当該カメラの焦点をずらすように調整する第1のデフォーカス工程、
第1のフォーカス工程における焦点位置(A)から第1のデフォーカス工程における焦点位置(B)までの距離(d)を計測及び記録する工程、
被検査シート材を第1のフォーカス工程と同一又は異なる欠陥検査位置に載置し、その地合パターンにカメラの焦点を合わせる第2のフォーカス工程、
当該カメラの焦点を、第2のフォーカス工程における焦点位置(A’)から、前記距離(d)分ずらした焦点位置(B’)に合わせる第2のデフォーカス工程、及び
焦点位置(B’)に焦点を合わせたカメラで被検査シート材の欠陥を検査する工程、
を含み、
前記距離(d)を計測及び記録する工程が、第1のフォーカス工程後における、前記欠陥検査位置に、カメラの焦点移動方向に移動自在で、カメラの焦点位置に合わせることが可能な位置合わせ部材と、該位置合わせ部材の移動距離を計測する計測手段とを有する検査用治具を載置し、焦点位置(A)に前記位置合わせ部材を合わせる工程、及び第1のデフォーカス工程後における、前記欠陥検査位置に、前記検査用治具を載置し、焦点位置(B)まで前記位置合わせ部材を移動し、焦点位置(A)から焦点位置(B)までの距離(d)を計測する工程を含むことを特徴とする欠陥検査方法。 - 第2のデフォーカス工程が、第2のフォーカス工程後、前記欠陥検査位置に、前記検査用治具を載置し、焦点位置(A’)に前記位置合わせ部材を合わせる工程、及び
前記位置合わせ部材を焦点位置(A’)から前記距離(d)分ずらした焦点位置(B’)に調整し、カメラの焦点を前記位置合わせ部材に合わせる工程を含む請求項1に記載の欠陥検査方法。 - 請求項1又は2に記載の欠陥検査方法に用いる検査用治具であって、
カメラの焦点移動方向に移動自在で、カメラの焦点位置に合わせることが可能な位置合わせ部材と、該位置合わせ部材の移動距離を計測する計測手段とを有し、
前記位置合わせ部材が、糸状部材であり、
該糸状部材が、カメラの焦点移動方向と直交する方向に配置された一対の支持部の間に張られており、
カメラの焦点を合わせる糸状部材に対して、該糸状部材が張られた方向と直交する方向の前後に、前記カメラに近い位置と、遠い位置の補助用糸状部材が少なくとも1本ずつ張られている検査用治具。 - 前記計測手段が、前記位置合わせ部材と連動してスライドするスケールにより計測する手段である請求項3に記載の検査用治具。
- 前記糸状部材及び補助用糸状部材の前記カメラの焦点移動方向の位置の差が、0.2〜10mmである請求項3又は4に記載の検査用治具。
- 前記糸状部材及び補助用糸状部材の前記糸状部材が張られた方向と直交する方向の位置の差が、5〜20mmである請求項3〜5の何れか1項に記載の検査用治具。
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