JP5714588B2 - 結晶系太陽電池、前記タイプの太陽電池の製造方法および太陽電池モジュールの製造方法 - Google Patents
結晶系太陽電池、前記タイプの太陽電池の製造方法および太陽電池モジュールの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5714588B2 JP5714588B2 JP2012529287A JP2012529287A JP5714588B2 JP 5714588 B2 JP5714588 B2 JP 5714588B2 JP 2012529287 A JP2012529287 A JP 2012529287A JP 2012529287 A JP2012529287 A JP 2012529287A JP 5714588 B2 JP5714588 B2 JP 5714588B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- solar cell
- layer
- sin
- doped region
- sio
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 60
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 23
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 41
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 claims description 23
- 239000004033 plastic Substances 0.000 claims description 22
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 21
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 21
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 21
- 239000002800 charge carrier Substances 0.000 claims description 18
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 17
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 17
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 11
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 10
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 9
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 9
- 229910052716 thallium Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 claims description 9
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 claims description 8
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 7
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 6
- 239000011888 foil Substances 0.000 claims description 5
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 claims description 5
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 claims description 5
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 claims description 4
- UMVBXBACMIOFDO-UHFFFAOYSA-N [N].[Si] Chemical compound [N].[Si] UMVBXBACMIOFDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 3
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 claims description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 169
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 30
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 30
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Chemical compound [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 29
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 19
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 19
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 10
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 description 8
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 description 8
- 239000005038 ethylene vinyl acetate Substances 0.000 description 5
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 5
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 5
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 5
- DQXBYHZEEUGOBF-UHFFFAOYSA-N but-3-enoic acid;ethene Chemical compound C=C.OC(=O)CC=C DQXBYHZEEUGOBF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910021419 crystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 229920001200 poly(ethylene-vinyl acetate) Polymers 0.000 description 4
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 3
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 3
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 3
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 3
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 2
- 229920002620 polyvinyl fluoride Polymers 0.000 description 2
- 230000001603 reducing effect Effects 0.000 description 2
- 230000003667 anti-reflective effect Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004587 chromatography analysis Methods 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 238000009281 ultraviolet germicidal irradiation Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/04—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/02016—Circuit arrangements of general character for the devices
- H01L31/02019—Circuit arrangements of general character for the devices for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
- H01L31/02021—Circuit arrangements of general character for the devices for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for solar cells
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0216—Coatings
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0216—Coatings
- H01L31/02161—Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
- H01L31/02167—Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for solar cells
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0216—Coatings
- H01L31/02161—Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
- H01L31/02167—Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for solar cells
- H01L31/02168—Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for solar cells the coatings being antireflective or having enhancing optical properties for the solar cells
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0224—Electrodes
- H01L31/022466—Electrodes made of transparent conductive layers, e.g. TCO, ITO layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/04—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices
- H01L31/042—PV modules or arrays of single PV cells
- H01L31/048—Encapsulation of modules
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/04—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices
- H01L31/06—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by potential barriers
- H01L31/068—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by potential barriers the potential barriers being only of the PN homojunction type, e.g. bulk silicon PN homojunction solar cells or thin film polycrystalline silicon PN homojunction solar cells
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/547—Monocrystalline silicon PV cells
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Sustainable Development (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Sustainable Energy (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Photovoltaic Devices (AREA)
Description
以下に、本願の出願当初の特許請求の範囲に記載された発明を付記する。
[1]前面nドープ領域と、裏面pドープ領域と、前面コンタクトと、裏面コンタクトと、反射防止層としての、SiNからなるまたはSiNを含む少なくとも1つの前面の第1の層とを有する結晶系太陽電池であって、
前記第1の層と前記nドープ領域との間に、SiN,SiO x ,Al 2 O x ,SiO x N y :Hz,a−Si:H,TiO x の群からの少なくとも1つの材料からなるまたは当該材料を含む第2の層を設けて欠陥の形成のためにドープしたことを特徴とする結晶系太陽電池。
[2]前記SiNからなるまたはSiNを含む第2の層は、屈折率nが、n≧2、特に2.1≦n≦3.0であることを特徴とする[1]に記載の太陽電池。
[3]さらに、前記SiNからなるまたはSiNを含む第2の層は、シリコン−窒素比が1ないし2.2であり、H原子濃度が10%より高いことを特徴とする[1]または[2]に記載の太陽電池。
[4]さらに、前記第1の層の製造後に、前記第1の層に正および/または負の電荷キャリアを導入したことを特徴とする[1]ないし[3]のいずれか1項に記載の太陽電池。
[5]さらに、前記電荷キャリアの電荷密度/単位面積が、>1・10 12 /cm 2 であることを特徴とする[1]ないし[4]のいずれか1項に記載の太陽電池。
[6]さらに、前記太陽電池の製造後に、これに負の電圧U n を所定の時間にわたって印加したことを特徴とする[1]ないし[5]のいずれか1項に記載の太陽電池。
[7]前記太陽電池の製造後に、その上に正電荷を堆積させたことを特徴とする[1]ないし[6]のいずれか1項に記載の太陽電池。
[8]さらに、前記第1の層上またはその上に広がっている絶縁層上に、導電性で少なくとも部分的に光学的に透明な第3の層を設け、前記第3の層を、前記第1の層の配置の場合には前面コンタクトに、前記絶縁層上の配置の場合には前面コンタクトまたは裏面コンタクトに電気的に導通するように接続したことを特徴とする[1]に記載の太陽電池。
[9]さらに、前記第2の層は、厚みD 2 が、1nm≦D 2 ≦50nmであることを特徴とする[1]ないし[8]のいずれか1項に記載の太陽電池。
[10]さらに、前記第2の層は、nドープ領域から形成されたSiO x 層であることを特徴とする[1]ないし[9]のいずれか1項に記載の太陽電池。
[11]さらに、前記第2の層は、P,N,Sb,Bi,C,O,B,Al,Ga,In,Tl,Cu,V,W,Fe,Crの群からの少なくとも1つの元素でドープされていることを特徴とする[1]ないし[10]のいずれか1項に記載の太陽電池。
[12]さらに、前記第3の層は、インジウム錫酸化物もしくは酸化亜鉛からなるまたは含むことを特徴とする[1]ないし[11]のいずれか1項に記載の太陽電池。
[13]さらに、SiN以外の物質から前記第2の層を形成する場合、前記第1の層は屈折率がn≧2.0であることを特徴とする[1]ないし[12]のいずれか1項に記載の太陽電池。
[14]さらに、SiNから前記第2の層を形成する場合、またはそれがSiNを含む場合、前記第1の層の屈折率は前記第2の層のそれよりも小さいことを特徴とする[1]ないし[13]のいずれか1項に記載の太陽電池。
[15]さらに、前記太陽電池は、負の系統電圧を有することを特徴とする[1]ないし[14]のいずれか1項に記載の太陽電池。
[16]さらに、前記太陽電池は、p型ベーシックドーピングされたシリコン太陽電池であることを特徴とする[1]ないし[15]のいずれか1項に記載の太陽電池。
[17]前面nドープ領域と、裏面pドープ領域と、前面コンタクトと、裏面コンタクトと、反射防止層としての、SiNからなるまたはSiNを含む少なくとも1つの前面の第1の層とを有する結晶系太陽電池を製造する方法であって、
前記第1の層と前記nドープ領域との間に、SiO x ,Al 2 O x ,SiO x N y :Hz,a−Si:H,TiO x の群からの少なくとも1つの材料からなるまたは当該材料を含む第2の層を設けて欠陥の形成のためにドープし、前記太陽電池の製造後に、前記太陽電池に負の電圧U n を印加するか、または前記第1の層に正および/または負の電荷キャリアを導入することを特徴とする方法。
[18]さらに、前記第2の層を、P,N,Sb,Bi,C,O,B,Al,Ga,In,Tl,Cu,V,W,Fe,Crの群からの少なくとも1つの元素でドープすることを特徴とする[17]に記載の方法。
[19]さらに、前記太陽電池の前面に正電荷を堆積させることによって、前記第1の層に前記電荷キャリアを導入することを特徴とする[17]に記載の方法。
[20]さらに、コロナ放電によって前記太陽電池の前面に前記正電荷を堆積させることを特徴とする[17]または[19]に記載の方法。
[21]50℃ないし200℃、好ましくは80℃の温度で、前記太陽電池に負の電圧を印加する、および/または前記第1の層に正および/または負の電荷を導入することを特徴とする[17]、[19]または[20]に記載の方法。
[22]さらに、酸素含有雰囲気中において、150℃≦T≦1000℃の温度Tで、前記nドープ領域からSiO x 層を前記第2の層として形成することを特徴とする[17]に記載の方法。
[23]さらに、オゾン含有雰囲気中においてまたはオゾン含有液体の使用によって、前記nドープ領域から前記第2の層をSiO x 層の形態で形成することを特徴とする[17]に記載の方法。
[24]さらに、10 −5 ないし0.5barの圧力で前記SiO x 層を形成することを特徴とする[17]に記載の方法。
[25]さらに、前記第2の層、特に前記SiO x 層を、1nm≦D 2 ≦50nmの厚みD 2 で形成することを特徴とする[17]に記載の方法。
[26]さらに、酸素含有雰囲気中においてλ<400nmの波長λをもつUV光によって、前記nドープ領域から前記第2の層をSiO x 層の形態で形成することを特徴とする[17]に記載の方法。
[27]さらに、10℃≦T 2 ≦600℃の温度T 2 で前記正電荷を堆積することを特徴とする[19]または[20]に記載の方法。
[28]太陽電池モジュールの製造方法であって、太陽電池モジュールは、相互接続された太陽電池を有し、これらの各々は、前面nドープ領域、裏面pドープ領域、前面コンタクト、裏面コンタクト、SiNからなるまたはSiNを含む少なくとも1つの前面層、およびSiNからなるまたはSiNを含む少なくとも1つの前面層と前記nドープ領域との間にSiN,SiO x ,Al 2 O x ,SiO x N y :Hz,a−Si:H,TiO x の群からの少なくとも1つの材料からなる層を有し、特に[1ないし16のいずれか1項に記載の太陽電池を有し、前記太陽電池は前面でプラスチックからなる光学的に透明な埋込み材料によって覆われ、前記埋込み材料上にガラスまたはプラスチックからなる電気絶縁性で光学的に透明なカバーが設けられ、前記太陽電池は裏面でプラスチックの埋込み材料によって覆われ、こうして形成されたユニットが好ましくはこれを囲む金属フレームを有する方法において、
前記太陽電池モジュールの少なくとも1つの接合に対して、前記フレームに、高い正の電圧を所定の時間にわたって印加することを特徴とする方法。
[29]さらに、前記少なくとも1つの電気コンタクトに対して、前記フレームに100Vないし20000Vの正の電圧を印加することを特徴とする[28]に記載の方法。
[30]さらに、0.5秒≦t 1 ≦1200分の時間t 1 にわたって前記正の電圧を印加することを特徴とする[28]または[29]に記載の方法。
[31]太陽電池モジュールの製造方法であって、太陽電池モジュールは、相互接続された太陽電池を有し、これらの各々は、前面nドープ領域、裏面pドープ領域、前面コンタクト、裏面コンタクト、SiNからなるまたはSiNを含む少なくとも1つの前面層、およびSiNからなるまたはSiNを含む少なくとも1つの前面層と前記nドープ領域との間にSiN,SiO x ,Al 2 O x ,SiO x N y :Hz,a−Si:H,TiO x の群からの少なくとも1つの材料からなる層を有し、特に[1ないし16のいずれか1項に記載の太陽電池を有し、前記太陽電池は前面でプラスチックからなる光学的に透明な埋込み材料によって覆われ、前記埋込み材料の上にガラスまたはプラスチックからなる電気絶縁性で光学的に透明なカバーが設けられ、前記太陽電池は裏面でプラスチックの埋込み材料によって覆われている方法において、
前記太陽電池モジュール上に時間t 2 にわたって液体、プラスチックフィルム、金属箔の群からの導電性媒体を堆積させ、前記太陽電池モジュールの電気コンタクトの少なくとも1個に対して、前記導電性媒体に所定の時間t 3 にわたって高い正の電圧を印加することを特徴とする方法。
[32]さらに、前記少なくとも1つの電気コンタクトに対して、前記導電性媒体に100Vないし20000Vの正の電圧を印加することを特徴とする[31]に記載の方法。
[33]さらに、0.5秒≦t 3 ≦1200分の時間t 3 にわたって前記正の電圧を印加することを特徴とする[31]または[32]に記載の方法。
[34]さらに、前記太陽電池モジュール上に、0.5秒≦t 2 ≦1200分の時間t 2 にわたって前記導電性媒体を設けることを特徴とする[31]に記載の方法。
[35]さらに、10℃ないし220℃の範囲の温度で、前記高い正の電圧を印加することを特徴とする[31]ないし[34]のいずれか1項に記載の方法。
[36]相互接続された結晶系のp型またはn型太陽電池を有する太陽電池モジュールであって、太陽電池の各々は、前面nまたはpドープ領域、裏面pまたはnドープ領域、前面コンタクト、裏面コンタクト、SiNからなるまたはSiNを含む少なくとも1つの前面層を有し、前記太陽電池は前面でプラスチックの光学的に透明な埋込み材料によって覆われ、前記埋込み材料上にガラスまたはプラスチックからなる電気絶縁性で光学的に透明なカバーが設けられ、前記太陽電池は裏面でプラスチックの埋込み材料によって覆われている太陽電池モジュールにおいて、
前記前面プラスチック埋込み材料と前記カバーとの間に、導電性で少なくとも部分的に光学的に透明な層が設けられ、前記太陽電池モジュールの前記電気コンタクトの1つに導電的に接続されていることを特徴とする太陽電池モジュール。
Claims (34)
- 前面nドープ領域と、裏面pドープ領域と、前面コンタクトと、裏面コンタクトと、反射防止層としての、SiNからなるまたはSiNを含む少なくとも1つの前面の第1の層とを有する結晶系太陽電池であって、
前記第1の層と前記nドープ領域との間に、SiN,SiOx,Al2Ox,SiOxNy:Hz,a−Si:H,TiOxの群からの少なくとも1つの材料からなるまたは当該材料を含む第2の層を設けて欠陥の形成のためにドープし、
前記第1の層の製造後に、前記第1の層に正および/または負の電荷キャリアを導入したことを特徴とする結晶系太陽電池。 - 前面nドープ領域と、裏面pドープ領域と、前面コンタクトと、裏面コンタクトと、反射防止層としての、SiNからなるまたはSiNを含む少なくとも1つの前面の第1の層とを有する結晶系太陽電池であって、
前記第1の層と前記nドープ領域との間に、SiN,SiO x ,Al 2 O x ,SiO x N y :Hz,a−Si:H,TiO x の群からの少なくとも1つの材料からなるまたは当該材料を含む第2の層を設けて欠陥の形成のためにドープし、
前記太陽電池の製造後に、これに負の電圧U n を所定の時間にわたって印加したことを特徴とする結晶系太陽電池。 - 前記SiNからなるまたはSiNを含む第2の層は、屈折率nが、n≧2であることを特徴とする請求項1または2に記載の太陽電池。
- さらに、前記SiNからなるまたはSiNを含む第2の層は、シリコン−窒素比が1ないし2.2であり、H原子濃度が10%より高いことを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の太陽電池。
- さらに、前記電荷キャリアの電荷密度/単位面積が、>1×10 12 /cm 2 であることを特徴とする請求項1、3または4に記載の太陽電池。
- 前記太陽電池の製造後に、その上に正電荷を堆積させたことを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1項に記載の太陽電池。
- さらに、前記第1の層上またはその上に広がっている絶縁層上に、導電性で少なくとも部分的に光学的に透明な第3の層を設け、前記第3の層を、前記第1の層の配置の場合には前面コンタクトに、前記絶縁層上の配置の場合には前面コンタクトまたは裏面コンタクトに電気的に導通するように接続したことを特徴とする請求項1または2に記載の太陽電池。
- さらに、前記第2の層は、厚みD2が、1nm≦D2≦50nmであることを特徴とする請求項1ないし7のいずれか1項に記載の太陽電池。
- さらに、前記第2の層は、nドープ領域から形成されたSiOx層であることを特徴とする請求項1ないし8のいずれか1項に記載の太陽電池。
- さらに、前記第2の層は、P,N,Sb,Bi,C,O,B,Al,Ga,In,Tl,Cu,V,W,Fe,Crの群からの少なくとも1つの元素でドープされていることを特徴とする請求項1ないし9のいずれか1項に記載の太陽電池。
- さらに、前記第3の層は、インジウム錫酸化物もしくは酸化亜鉛からなるまたは含むことを特徴とする請求項7ないし10のいずれか1項に記載の太陽電池。
- さらに、SiN以外の物質から前記第2の層を形成する場合、前記第1の層は屈折率がn≧2.0であることを特徴とする請求項1ないし11のいずれか1項に記載の太陽電池。
- さらに、SiNから前記第2の層を形成する場合、またはそれがSiNを含む場合、前記第1の層の屈折率は前記第2の層のそれよりも小さいことを特徴とする請求項1ないし12のいずれか1項に記載の太陽電池。
- さらに、前記太陽電池は、負の系統電圧を有することを特徴とする請求項1ないし13のいずれか1項に記載の太陽電池。
- さらに、前記太陽電池は、p型ベーシックドーピングされたシリコン太陽電池であることを特徴とする請求項1ないし14のいずれか1項に記載の太陽電池。
- 前面nドープ領域と、裏面pドープ領域と、前面コンタクトと、裏面コンタクトと、反射防止層としての、SiNからなるまたはSiNを含む少なくとも1つの前面の第1の層とを有する結晶系太陽電池を製造する方法であって、
前記第1の層と前記nドープ領域との間に、SiOx,Al2Ox,SiOxNy:Hz,a−Si:H,TiOxの群からの少なくとも1つの材料からなるまたは当該材料を含む第2の層を設けて欠陥の形成のためにドープし、前記太陽電池の製造後に、前記太陽電池に負の電圧Unを印加するか、または前記第1の層に正および/または負の電荷キャリアを導入することを特徴とする方法。 - さらに、前記第2の層を、P,N,Sb,Bi,C,O,B,Al,Ga,In,Tl,Cu,V,W,Fe,Crの群からの少なくとも1つの元素でドープすることを特徴とする請求項16に記載の方法。
- さらに、前記太陽電池の前面に正電荷を堆積させることによって、前記第1の層に前記電荷キャリアを導入することを特徴とする請求項16に記載の方法。
- さらに、コロナ放電によって前記太陽電池の前面に前記正電荷を堆積させることを特徴とする請求項16または18に記載の方法。
- 50℃ないし200℃の温度で、前記太陽電池に負の電圧を印加する、および/または前記第1の層に正および/または負の電荷を導入することを特徴とする請求項16、18または19に記載の方法。
- さらに、酸素含有雰囲気中において、150℃≦T≦1000℃の温度Tで、前記nドープ領域からSiOx層を前記第2の層として形成することを特徴とする請求項16に記載の方法。
- さらに、オゾン含有雰囲気中においてまたはオゾン含有液体の使用によって、前記nドープ領域から前記第2の層をSiOx層の形態で形成することを特徴とする請求項16に記載の方法。
- さらに、10−5ないし0.5barの圧力で前記SiOx層を形成することを特徴とする請求項16に記載の方法。
- さらに、前記第2の層を、1nm≦D2≦50nmの厚みD2で形成することを特徴とする請求項16に記載の方法。
- さらに、酸素含有雰囲気中においてλ<400nmの波長λをもつUV光によって、前記nドープ領域から前記第2の層をSiOx層の形態で形成することを特徴とする請求項16に記載の方法。
- さらに、10℃≦T2≦600℃の温度T2で前記正電荷を堆積することを特徴とする請求項18または19に記載の方法。
- 太陽電池モジュールの製造方法であって、太陽電池モジュールは、相互接続された太陽電池を有し、これらの各々は、前面nドープ領域、裏面pドープ領域、前面コンタクト、裏面コンタクト、SiNからなるまたはSiNを含む少なくとも1つの前面層、およびSiNからなるまたはSiNを含む少なくとも1つの前面層と前記nドープ領域との間にSiN,SiOx,Al2Ox,SiOxNy:Hz,a−Si:H,TiOxの群からの少なくとも1つの材料からなる層を有する、請求項1ないし16のいずれか1項に記載の太陽電池を有し、前記太陽電池は前面でプラスチックからなる光学的に透明な埋込み材料によって覆われ、前記埋込み材料上にガラスまたはプラスチックからなる電気絶縁性で光学的に透明なカバーが設けられ、前記太陽電池は裏面でプラスチックの埋込み材料によって覆われ、こうして形成されたユニットがこれを囲む金属フレームを有する方法において、
前記太陽電池モジュールの少なくとも1つの接合に対して、前記フレームに、高い正の電圧を所定の時間にわたって印加することを特徴とする方法。 - さらに、前記少なくとも1つの電気コンタクトに対して、前記フレームに100Vないし20000Vの正の電圧を印加することを特徴とする請求項27に記載の方法。
- さらに、0.5秒≦t1≦1200分の時間t1にわたって前記正の電圧を印加することを特徴とする請求項27または28に記載の方法。
- 太陽電池モジュールの製造方法であって、太陽電池モジュールは、相互接続された太陽電池を有し、これらの各々は、前面nドープ領域、裏面pドープ領域、前面コンタクト、裏面コンタクト、SiNからなるまたはSiNを含む少なくとも1つの前面層、およびSiNからなるまたはSiNを含む少なくとも1つの前面層と前記nドープ領域との間にSiN,SiOx,Al2Ox,SiOxNy:Hz,a−Si:H,TiOxの群からの少なくとも1つの材料からなる層を有する、請求項1ないし16のいずれか1項に記載の太陽電池を有し、前記太陽電池は前面でプラスチックからなる光学的に透明な埋込み材料によって覆われ、前記埋込み材料の上にガラスまたはプラスチックからなる電気絶縁性で光学的に透明なカバーが設けられ、前記太陽電池は裏面でプラスチックの埋込み材料によって覆われている方法において、
前記太陽電池モジュール上に時間t2にわたって液体、プラスチックフィルム、金属箔の群からの導電性媒体を堆積させ、前記太陽電池モジュールの電気コンタクトの少なくとも1個に対して、前記導電性媒体に所定の時間t3にわたって高い正の電圧を印加することを特徴とする方法。 - さらに、前記少なくとも1つの電気コンタクトに対して、前記導電性媒体に100Vないし20000Vの正の電圧を印加することを特徴とする請求項30に記載の方法。
- さらに、0.5秒≦t3≦1200分の時間t3にわたって前記正の電圧を印加することを特徴とする請求項30または31に記載の方法。
- さらに、前記太陽電池モジュール上に、0.5秒≦t2≦1200分の時間t2にわたって前記導電性媒体を設けることを特徴とする請求項30に記載の方法。
- さらに、10℃ないし220℃の範囲の温度で、前記高い正の電圧を印加することを特徴とする請求項30ないし33のいずれか1項に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102009044052A DE102009044052A1 (de) | 2009-09-18 | 2009-09-18 | Kristalline Solarzelle, Verfahren zur Herstellung einer solchen sowie Verfahren zur Herstellung eines Solarzellenmoduls |
DE102009044052.6 | 2009-09-18 | ||
PCT/EP2010/063710 WO2011033070A2 (de) | 2009-09-18 | 2010-09-17 | Kristalline solarzelle, verfahren zur herstellung einer solchen sowie verfahren zur herstellung eines solarzellenmoduls |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013505566A JP2013505566A (ja) | 2013-02-14 |
JP5714588B2 true JP5714588B2 (ja) | 2015-05-07 |
Family
ID=43479668
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012529287A Active JP5714588B2 (ja) | 2009-09-18 | 2010-09-17 | 結晶系太陽電池、前記タイプの太陽電池の製造方法および太陽電池モジュールの製造方法 |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9496424B2 (ja) |
EP (1) | EP2478564B1 (ja) |
JP (1) | JP5714588B2 (ja) |
KR (1) | KR20120067359A (ja) |
CN (1) | CN102498573B (ja) |
DE (1) | DE102009044052A1 (ja) |
HR (1) | HRP20180062T1 (ja) |
TW (1) | TWI517427B (ja) |
WO (1) | WO2011033070A2 (ja) |
Families Citing this family (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103022166A (zh) * | 2011-09-28 | 2013-04-03 | 杭州赛昂电力有限公司 | 以覆铜铝线为背极的太阳能电池及其生产工艺 |
US20130146136A1 (en) * | 2011-12-13 | 2013-06-13 | Kyoung-Jin Seo | Photovoltaic device and method of manufacturing the same |
DE102012101456A1 (de) * | 2012-02-23 | 2013-08-29 | Schott Solar Ag | Verfahren zum Herstellen einer Solarzelle |
DE102012216416A1 (de) * | 2012-03-05 | 2013-09-05 | Roth & Rau Ag | Verfahren zur Herstellung optimierter Solarzellen |
CN102623565B (zh) * | 2012-03-31 | 2014-10-01 | 光为绿色新能源股份有限公司 | 一种新型电池的制备方法 |
TWI565091B (zh) * | 2012-07-13 | 2017-01-01 | 晶元光電股份有限公司 | 光電元件 |
TWI483409B (zh) * | 2012-09-12 | 2015-05-01 | Ever Energy Co Ltd | 太陽能電池及其製作方法 |
US9219174B2 (en) | 2013-01-11 | 2015-12-22 | Solarcity Corporation | Module fabrication of solar cells with low resistivity electrodes |
CN104425633B (zh) * | 2013-08-30 | 2016-11-16 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 一种介质钝化膜和太阳能电池及其制备方法 |
GB2521457A (en) * | 2013-12-20 | 2015-06-24 | Isis Innovation | Charge stabilized dielectric film for electronic devices |
US9337369B2 (en) * | 2014-03-28 | 2016-05-10 | Sunpower Corporation | Solar cells with tunnel dielectrics |
BE1021976B1 (nl) * | 2014-05-02 | 2016-02-01 | Futech | Zonnepaneelinstallatie en werkwijze voor het versneld regenereren en/of voorkomen van defecten in zonnepanelen |
CN104103715B (zh) * | 2014-06-30 | 2016-08-24 | 浙江晶科能源有限公司 | 一种双层结构ito电极晶体硅太阳能电池的制备方法 |
ES2759328T3 (es) * | 2014-07-01 | 2020-05-08 | Meyer Burger Germany Ag | Célula solar |
US10309012B2 (en) | 2014-07-03 | 2019-06-04 | Tesla, Inc. | Wafer carrier for reducing contamination from carbon particles and outgassing |
US9761744B2 (en) | 2015-10-22 | 2017-09-12 | Tesla, Inc. | System and method for manufacturing photovoltaic structures with a metal seed layer |
PT3321973T (pt) * | 2016-11-09 | 2021-03-16 | Meyer Burger Germany Ag | Célula solar cristalina com uma camada transparente e condutora entre os contactos de lado dianteiro e procedimento para fabrico de uma tal célula solar |
US10672919B2 (en) * | 2017-09-19 | 2020-06-02 | Tesla, Inc. | Moisture-resistant solar cells for solar roof tiles |
JP2019079916A (ja) * | 2017-10-24 | 2019-05-23 | 株式会社カネカ | バックコンタクト型太陽電池モジュール |
US11190128B2 (en) | 2018-02-27 | 2021-11-30 | Tesla, Inc. | Parallel-connected solar roof tile modules |
DE102018108158B4 (de) * | 2018-04-06 | 2023-06-07 | Hanwha Q Cells Gmbh | Bifazial-Solarzelle, Solarmodul und Herstellungsverfahren für eine Bifazial-Solarzelle |
CN111463319B (zh) * | 2020-04-09 | 2021-12-17 | 无锡优顺能源开发科技有限公司 | 一种硅太阳能电池片及其制作方法 |
CN113782638A (zh) * | 2021-09-09 | 2021-12-10 | 海宁正泰新能源科技有限公司 | 一种电池背钝化结构及其制作方法、太阳能电池 |
Family Cites Families (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4144094A (en) * | 1975-01-06 | 1979-03-13 | Motorola, Inc. | Radiation responsive current generating cell and method of forming same |
US4343962A (en) * | 1979-07-16 | 1982-08-10 | Arnost Neugroschel | Oxide charge induced high low junction emitter solar cell |
DE3712503A1 (de) * | 1987-04-13 | 1988-11-03 | Nukem Gmbh | Solarzelle |
JP2808004B2 (ja) * | 1989-01-30 | 1998-10-08 | 京セラ株式会社 | 太陽電池 |
DK170189B1 (da) * | 1990-05-30 | 1995-06-06 | Yakov Safir | Fremgangsmåde til fremstilling af halvlederkomponenter, samt solcelle fremstillet deraf |
JP2989923B2 (ja) * | 1991-03-25 | 1999-12-13 | 京セラ株式会社 | 太陽電池素子 |
US6518494B1 (en) * | 1995-08-22 | 2003-02-11 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Silicon structure, method for producing the same, and solar battery using the silicon structure |
US6150603A (en) * | 1999-04-23 | 2000-11-21 | Hughes Electronics Corporation | Bilayer passivation structure for photovoltaic cells |
DE10152707B4 (de) * | 2001-10-19 | 2004-08-26 | Rwe Schott Solar Gmbh | Verfahren zur Herstellung einer Solarzelle |
JP4081761B2 (ja) | 2003-07-03 | 2008-04-30 | 富士電機ホールディングス株式会社 | 有機el発光素子 |
JP2005150614A (ja) * | 2003-11-19 | 2005-06-09 | Sharp Corp | 太陽電池及びその製造方法 |
JP4540447B2 (ja) * | 2004-10-27 | 2010-09-08 | シャープ株式会社 | 太陽電池および太陽電池の製造方法 |
US7554031B2 (en) | 2005-03-03 | 2009-06-30 | Sunpower Corporation | Preventing harmful polarization of solar cells |
US7556748B2 (en) * | 2005-04-14 | 2009-07-07 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Method of manufacture of semiconductor device and conductive compositions used therein |
DE102005019225B4 (de) * | 2005-04-20 | 2009-12-31 | Helmholtz-Zentrum Berlin Für Materialien Und Energie Gmbh | Heterokontaktsolarzelle mit invertierter Schichtstrukturgeometrie |
NL1029647C2 (nl) | 2005-07-29 | 2007-01-30 | Otb Group Bv | Werkwijze voor het passiveren van ten minste een deel van een substraatoppervlak. |
WO2007022955A1 (de) | 2005-08-22 | 2007-03-01 | Conergy Ag | Solarzelle |
CN101305472B (zh) * | 2005-11-08 | 2011-07-13 | Lg电子株式会社 | 高效太阳能电池及其制备方法 |
KR100974220B1 (ko) * | 2006-12-13 | 2010-08-06 | 엘지전자 주식회사 | 태양전지 |
US20100059117A1 (en) * | 2007-02-08 | 2010-03-11 | Wuxi Suntech-Power Co., Ltd. | Hybrid silicon solar cells and method of fabricating same |
KR20100015622A (ko) * | 2007-03-16 | 2010-02-12 | 비피 코포레이션 노쓰 아메리카 인코포레이티드 | 태양 전지 |
US20100275982A1 (en) * | 2007-09-04 | 2010-11-04 | Malcolm Abbott | Group iv nanoparticle junctions and devices therefrom |
US7888594B2 (en) * | 2007-11-20 | 2011-02-15 | Guardian Industries Corp. | Photovoltaic device including front electrode having titanium oxide inclusive layer with high refractive index |
KR101000064B1 (ko) * | 2007-12-18 | 2010-12-10 | 엘지전자 주식회사 | 이종접합 태양전지 및 그 제조방법 |
KR20100119871A (ko) * | 2008-02-18 | 2010-11-11 | 쌩-고벵 글래스 프랑스 | 광전지 및 광전지 기재 |
TW201005963A (en) * | 2008-07-17 | 2010-02-01 | Big Sun Energy Technology Inc | Solar cell with high photon utilization and method of manufacturing the same |
JPWO2010092693A1 (ja) * | 2009-02-16 | 2012-08-16 | 三菱電機株式会社 | 太陽電池モジュール |
DE102009024807B3 (de) * | 2009-06-02 | 2010-10-07 | Helmholtz-Zentrum Berlin Für Materialien Und Energie Gmbh | Solarzelle mit benachbarten elektrisch isolierenden Passivierbereichen mit hoher Oberflächenladung gegensätzlicher Polarität und Herstellungsverfahren |
US9550940B2 (en) * | 2012-10-16 | 2017-01-24 | Hitachi Chemical Company, Ltd. | Etching material |
-
2009
- 2009-09-18 DE DE102009044052A patent/DE102009044052A1/de not_active Ceased
-
2010
- 2010-09-17 EP EP10754749.9A patent/EP2478564B1/de active Active
- 2010-09-17 WO PCT/EP2010/063710 patent/WO2011033070A2/de active Application Filing
- 2010-09-17 US US13/496,954 patent/US9496424B2/en active Active
- 2010-09-17 JP JP2012529287A patent/JP5714588B2/ja active Active
- 2010-09-17 CN CN201080041646.4A patent/CN102498573B/zh active Active
- 2010-09-17 TW TW099131805A patent/TWI517427B/zh active
- 2010-09-17 KR KR1020127009822A patent/KR20120067359A/ko not_active Application Discontinuation
-
2018
- 2018-01-15 HR HRP20180062TT patent/HRP20180062T1/hr unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2478564B1 (de) | 2017-11-08 |
WO2011033070A2 (de) | 2011-03-24 |
TW201130150A (en) | 2011-09-01 |
KR20120067359A (ko) | 2012-06-25 |
US9496424B2 (en) | 2016-11-15 |
CN102498573A (zh) | 2012-06-13 |
CN102498573B (zh) | 2015-12-16 |
EP2478564A2 (de) | 2012-07-25 |
DE102009044052A1 (de) | 2011-03-24 |
HRP20180062T1 (hr) | 2018-02-23 |
TWI517427B (zh) | 2016-01-11 |
US20120180851A1 (en) | 2012-07-19 |
WO2011033070A3 (de) | 2011-06-30 |
JP2013505566A (ja) | 2013-02-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5714588B2 (ja) | 結晶系太陽電池、前記タイプの太陽電池の製造方法および太陽電池モジュールの製造方法 | |
KR101622090B1 (ko) | 태양 전지 | |
KR100850641B1 (ko) | 고효율 결정질 실리콘 태양전지 및 그 제조방법 | |
US8822815B2 (en) | Photovoltaic silicon solar cells | |
CN114038921B (zh) | 太阳能电池及光伏组件 | |
KR101886818B1 (ko) | 이종 접합 실리콘 태양 전지의 제조 방법 | |
EP3939091A1 (en) | Integration of bypass diodes within thin film photovoltaic module interconnects | |
TWI524544B (zh) | 太陽能電池及其太陽能電池模組 | |
CN111816773A (zh) | 钙钛矿太阳能电池、叠层电池太阳能电池及加工方法、电池组件 | |
US11967656B2 (en) | Photovoltaic cell, method for preparing same, and photovoltaic module | |
US20150311356A1 (en) | Crystalline solar cell and method for producing the latter | |
EP3555921B1 (fr) | Dispositif photovoltaïque tandem comprenant une sous-cellule à base de perovskite et une sous-cellule a base de silicium | |
CN113383430A (zh) | 太阳能电池单体及其制造方法以及太阳能电池组件 | |
US20110215434A1 (en) | Thin-film photoelectric conversion device and method of manufacturing thin-film photoelectric conversion device | |
KR100581840B1 (ko) | 광감응형 및 p-n접합 복합구조를 갖는 태양전지 및 그제조방법 | |
US20120180855A1 (en) | Photovoltaic devices and methods of forming the same | |
US20120211064A1 (en) | Semiconductor Layer Material and Heterojunction Solar Cell | |
WO2021075956A1 (en) | Transparent passivated contacts for si solar cells | |
CN115020519B (zh) | 一种太阳能叠层电池、电池组件和光伏系统 | |
KR101465317B1 (ko) | 유무기 하이브리드 적층형 태양전지 및 이의 제조방법 | |
TWI464889B (zh) | 具異質介面之太陽能電池及其製造方法 | |
Saif et al. | Numerical Simulation and Design of All-Thin-Film Homojunction Perovskite/c-Si Tandem Solar Cells | |
KR101420077B1 (ko) | 유무기 하이브리드 적층형 태양전지의 제조방법 | |
EP4195297A1 (fr) | Module photovoltaïque à diode de dérivation imprimée intégrée | |
CN114883425A (zh) | 一种晶硅异质结太阳电池的迎光面结构 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130724 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140129 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140212 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20140508 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20140515 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20140612 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20140619 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140714 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20141014 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20150114 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150128 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150210 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150311 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5714588 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |