JP5709524B2 - プローブ及び測定対象を光学的に検査する装置 - Google Patents
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Description
本発明による光学的プローブ及びこのプローブを備えた本発明による装置は、プローブを非常に柔軟に使用することができるという利点を有している。有利には、本発明によるプローブは異なる大きさの内径を複数測定する場合でも交換する必要がない。
図1には、まず先行技術から公知の光学的プローブ2が示されている。プローブ2は固定プローブ部材とこのプローブ部材に機械的及び光学的に結合された回転可能プローブ部材4を有している。見易さのため、図1では、回転可能プローブ部材4しか記入されていない。図示されていない固定プローブ部材から回転可能プローブ部材4へと光線9がガイドされる。この光線はさらに光学素子30を介して出力領域11の光学出力側10へと導かれる。
Claims (10)
- 測定対象を光学的に検査する光学的プローブ(1)であって、
該光学的プローブ(1)は、固定プローブ部材と、該固定プローブ部材に機械的及び光学的に結合された、回転軸(3)を中心として回転可能なプローブ部材(5)とを有し、 前記回転可能プローブ部材(5)は測定光線を出力させる少なくとも2つの光出力側(10a;10b;10c)を有しており、測定光線は互いに異なる焦点距離d(15)を以て前記光出力側から前記回転軸(3)に対して垂直に出射し、
測定対象を垂直に照明するために、前記少なくとも2つの光出力側(10a;10b;10c)の各光出力側(10a;10b;10c)に対して、測定光線を偏向させる固有の偏向光学系が前記回転可能プローブ部材(5)内に配置されており、前記偏向光学系は前記回転軸(3)に沿って並べて配置されている、光学的プローブ(1)において、
前記偏向光学系は測定光線に対して部分的に透過性かつ部分的に偏向性であり、前記偏向光学系に入射する光線は、一部はそれぞれ前記少なくとも2つの光出力側(10a;10b;10c)へと偏向され、一部は真っ直ぐ次の偏向光学系へと導かれる、
ことを特徴とする光学的プローブ(1)。 - 前記光出力側(10a;10b;10c)は前記回転軸(3)に沿って前記異なる焦点距離d(15)に従って順に位置決めされている、請求項1記載のプローブ(1)。
- 前記回転可能プローブ部材(5)は結合部位(18)を介して前記固定プローブ部材と接続されている、請求項1又は2記載のプローブ(1)。
- 前記結合部位(18)はフェルール(20)によって前記回転可能プローブ部材(5)に形成されている、請求項3記載のプローブ(1)。
- 前記結合部位(18)はLWL(ライトガイド)回転接合によって形成されている、請求項3記載のプローブ(1)。
- 前記回転可能プローブ部材(5)は前記フェルール(20)と光学素子(30)とをまとめる又は安定化させるスリーブ(25)を有している、請求項4又は5記載のプローブ(1)。
- 前記各偏向光学系はそれぞれ正確に1つのプリズムを含んでいる、請求項1から6のいずれか1項記載のプローブ(1)。
- 前記偏向光学系は前記回転軸(3)に沿って並べて配置されている、請求項7記載のプローブ(1)。
- 前記光出力側(10a;10b;10c)のそれぞれを独立してスイッチオン又はオフする切換装置が設けられている、請求項1から8のいずれか1項記載のプローブ(1)。
- 測定対象を干渉法により測定するための装置であって、干渉計が請求項1から9のいずれか1項記載のプローブ(1)と接続されていることを特徴とする装置。
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