JP5698652B2 - 同軸マイクロ波支援堆積及びエッチングシステム - Google Patents
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Description
マイクロ波プラズマは、13.56MHzでの典型的な高周波(RF)結合プラズマ源と比較して、2.45GHzでの向上した電力結合及び電力吸収の結果として、より高いプラズマ密度(例えば、1012イオン/cm3)と、より高い堆積速度とを実現するために開発されている。RFプラズマの1つの欠点は、入力電力の大半がプラズマシース(暗部)を通して失われることである。マイクロ波プラズマを使用することにより、薄いプラズマシースが形成され、より多くの電力がプラズマで吸収されてラジカル種及びイオン種を生成することができ、これにより、プラズマ密度を増加させるとともに、イオンエネルギー分布の衝突広がりを減少させて幅の狭いエネルギー分布を実現する。
図1A及び図1Bを参照すると、スパッタリングシステム100A内及びマグネトロンスパッタリングシステム100B内のターゲット116は、金属、誘電体、又は半導体で作られていてもよい。アルミニウム、銅、チタニウム、又はタンタルなどの金属ターゲットでは、ターゲットを陰極にして基板を陽極にするようにターゲットにDC電圧を印加してもよい。DC電圧は自由電子の加速を促進するであろう。自由電子は、アルゴンガスからのアルゴン(Ar)原子などのスパッタリング物質と衝突し、アルゴン原子を励起してイオン化する。Arの励起はガスグローを生じる。Arのイオン化は、Ar+と二次電子とを生成する。二次電子は励起過程とイオン化過程とを繰り返してプラズマ放電を持続させる。
L*P>0.5(cm‐torr)
ここで、Lは電極間隔、Pはチャンバ圧力である。例えば、ターゲットと基板の間の間隔が10cmであるときには、Pは50mtorrよりも高くなければならない。
λ(cm)〜5xl0−3/P(torr)
Pが50mtorrであるときには、λは約0.1cmである。このことは、スパッタ原子又はイオンは基板に到達するまでに、通常、何百回もの衝突を行っていることを意味する。これは堆積速度を著しく低下させる。実際、スパッタ率Rはチャンバ圧力と、ターゲットと基板の間の間隔と、に反比例する。従って、放電を持続させるのに必要なチャンバ圧力を低下させると、堆積速度が向上する。
図1Bは、同軸マイクロ波アンテナ110で支援された物理的気相成長(PVD)マグネトロンスパッタリングシステム100Bの簡略化した模式的断面図を示している。このシステムを使用して本発明の実施形態を実行してもよい。システム100Bは、真空チャンバ148と、ターゲット116と、マグネトロン114と、ターゲット116の下方に配置された同軸マイクロ波アンテナ110と、基板支持部材124と、真空ポンプシステム126と、コントローラ128と、ガス供給系140、144と、スパッタリング蒸着からチャンバ側壁と基板支持部材の側部とを保護する遮へい体154と、を含んでいる。アプライドマテリアルズ社などにより使用される例示的PVDマグネトロンスパッタリングシステムに対する以下の参考文献、すなわち、米国特許第6,620,296B2号、米国特許出願公開第2007/0045103A1号、及び米国特許出願公開第2003/0209422A1号をここに引用し、引用することによりすべての目的に対して本明細書の一部となっている。
5〜10μmなどの厚膜を堆積する場合、RF支援PECVD法は非常に低い堆積速度をもたらす。従って、プラズマ密度を増加させて、その結果、堆積速度を向上させるためには補助的なマイクロ波源が必要である。図2は、簡略化したマイクロ波及び平面プラズマ支援PECVDシステム200である。システム200は、プラズマ源がスパッタリングターゲットではなく、その代わりに容量生成プラズマ源であるということを除いて、図1A及び図1Bに示したシステム100A及び100Bに非常によく似ている。システム200は、処理チャンバ248と、平面プラズマ源216と、チャンバ内部の平面プラズマ源216と基板220の間にあるアンテナ210と、基板支持部材224上の基板220と、弁246及び242を備えたガス配送系244及び240と、真空ポンプシステム226と、遮へい体254と、コントローラ228と、を含んでいる。電源262を用いて制御される加熱器264により基板を加熱してもよい。また、冷却装置260を用いて基板を冷却してもよい。基板支持部材224は電気伝導性であり、RF電力230を用いて基板支持部材224にバイアスをかけてもよい。平面プラズマ源216はRF電力270を受ける。プラズマ250はチャンバ248内部の遮へい体254の中で形成される。この場合も先と同様に、アンテナ210の位置はコントローラ228を用いて調節してもよい。アンテナ210は同軸マイクロ波プラズマ源であり、アンテナ210はパルス状電力232又は連続電力(図示せず)を受ける。ガス配送系244及び240は、基板220上に膜218を形成するために不可欠な物質源を提供する。
図3は、簡略化したマイクロ波及びICP支援堆積及びエッチングシステム300を示している。この場合も先と同様に、システム300は、プラズマ源がスパッタリングターゲットではなく、誘導結合プラズマ(ICP)コイル316であるということを除いて、図1A及び図1Bに示したシステム100A及び100Bに非常によく似ている。システム300は、処理チャンバ348と、誘導結合プラズマ源316と、チャンバ内部の誘導結合プラズマ源316と基板320の間にあるアンテナ310と、基板支持部材324上の基板320と、弁346及び342を備えたガス配送系344及び340と、真空ポンプシステム326と、遮へい体354と、コントローラ328と、を含んでいる。電源362を用いて制御される加熱器364により基板を加熱してもよい。また、冷却装置360を用いて基板を冷却してもよい。基板支持部材324は電気伝導性であり、RF電力330を用いて基板支持部材324にバイアスをかけてもよい。誘導結合プラズマ源316はRF電力370を受ける。プラズマ350はチャンバ内部の遮へい体354の中で形成される。この場合も先と同様に、アンテナ310の位置はコントローラ328を用いて調節してもよい。アンテナ310は同軸マイクロ波プラズマ源であり、アンテナ310はパルス状電力332又は連続電力(図示せず)を受ける。ガス配送系344及び340は、基板320上に膜318を形成するために不可欠な物質源を提供する。
図4は、簡略化したマイクロ波支援CVD堆積及びエッチングシステム400である。このシステムは、システム100A、100B、200、及び300とは異なり、マイクロ波源だけが存在しており、スパッタリングターゲット、平面プラズマ源、又は誘導結合プラズマ源などの他のプラズマ源がない。システム400は、処理チャンバ448と、チャンバ内部の基板420の上方にあるアンテナ410と、基板支持部材424上の基板420と、弁446及び442を備えたガス配送系444及び440と、真空ポンプシステム426と、遮へい体454と、コントローラ428と、を含んでいる。電源462を用いて制御される加熱器464により基板を加熱してもよい。また、冷却装置460を用いて基板を冷却してもよい。基板支持部材424は電気伝導性であり、RF電力430を用いて基板支持部材424にバイアスをかけてもよい。プラズマ450はチャンバ内部の遮へい体454の中で形成される。この場合も先と同様に、アンテナ410の位置はコントローラ428を用いて調節してもよい。アンテナ410は同軸マイクロ波プラズマ源であり、アンテナ410はパルス状電力432又は連続電力(図示せず)を受ける。ガス配送系444及び440は、基板420上に膜418を形成するために不可欠な物質源を提供する。
説明のために、図5は、基板上に膜を形成するために使用してもよいプロセスのフローチャートを提供している。プロセスは、ブロック502で、スパッタリングターゲット、容量生成プラズマ源、誘導結合プラズマ源、又はマイクロ波プラズマ源のみ、などのプラズマ源を導入することによりシステムを選択するステップから始まる。次に、ブロック504に示すように処理チャンバの中に基板を取り付ける。ブロック506で、マイクロ波アンテナを所望の位置に移動させ、具体的な要求事項に応じて、例えば、ターゲット又は基板の近くに移動させる。ブロック508で、例えば、電源によりパルス状電力又は連続電力を用いて、マイクロ波電力を調節する。ブロック510で、スパッタリング物質などのガス又は反応性前駆体を流すことにより、膜堆積を開始する。
パルス周波数は、プラズマの中に入るマイクロ波パルス状電力に影響を与える可能性がある。図6は、マイクロ波パルス状電力604がプラズマの光信号602に及ぼす周波数効果を示している。プラズマの光信号602は平均ラジカル濃度を反映している。図6に示すように、10Hzのような低パルス周波数では、すべてのラジカルが消費された場合、プラズマからの光信号602は次の電力パルスが来るまでに縮小して消滅する。パルス周波数が10,000Hzのような高周波まで高くなると、平均ラジカル濃度は基準線606よりも高くなり、より安定する。
Claims (16)
- 処理チャンバと、
基板を保持するために前記処理チャンバの中に配設された基板支持部材と、
前記処理チャンバの中にガスを流し込むガス供給系と、
マイクロ波を放射するための線状同軸マイクロ波アンテナを含み、前記線状同軸マイクロ波アンテナは誘電体材料によって包囲される線状導体を含み、前記マイクロ波アンテナは、複数の平行な同軸マイクロ波線状源を有する平面源を含み、電源が前記マイクロ波アンテナに1000Hz〜10000Hzの周波数でパルス状電力を提供するようになされており、前記線状同軸マイクロ波アンテナは、前記チャンバ内部に配設され、前記基板の長手に沿って延在し、前記マイクロ波アンテナは前記処理チャンバ内部の前記基板に対して移動できるマイクロ波堆積及びエッチングシステム。 - 前記マイクロ波アンテナの位置が前記基板に隣接している請求項1記載のマイクロ波堆積及びエッチングシステム。
- 前記マイクロ波堆積及びエッチングシステムにプラズマ源を用いることができる請求項1記載のマイクロ波堆積及びエッチングシステム。
- 前記マイクロ波アンテナの位置が、前記チャンバのほぼ中央の、前記プラズマ源と前記基板の間にある請求項3記載のマイクロ波堆積及びエッチングシステム。
- 前記マイクロ波アンテナの位置が前記プラズマ源に隣接している請求項3記載のマイクロ波堆積及びエッチングシステム。
- 前記プラズマ源がスパッタリングターゲットを含む請求項3記載のマイクロ波堆積及びエッチングシステム。
- 前記スパッタリングターゲットが、金属、誘電体、又は半導体を含む請求項6記載のマイクロ波堆積及びエッチングシステム。
- マグネトロンが、プラズマ密度を向上させるために前記ターゲットに隣接している請求項6記載のマイクロ波堆積及びエッチングシステム。
- 前記プラズマ源が容量生成プラズマ源を含む請求項3記載のマイクロ波堆積及びエッチングシステム。
- 前記プラズマ源が、プラズマを持続させるための電場を提供するRF電圧を受ける誘導コイルを有する誘導結合源を含む請求項3記載のマイクロ波堆積及びエッチングシステム。
- 基板支持部材全体を覆って基板を配設することにより処理チャンバの中に前記基板を取り付けるステップと、
前記基板に対して前記基板の長手に沿って延在する線状同軸マイクロ波アンテナの位置を調節するステップであって、前記線状同軸マイクロ波アンテナは誘電体材料によって包囲される線状導体を含み、前記同軸マイクロ波アンテナは、複数の平行な同軸マイクロ波線状源を有する平面源を含むステップと、
前記マイクロ波アンテナを用いてマイクロ波を生成するステップと、
1000Hz〜10000Hzで電力をパルス化することによって前記生成されたマイクロ波の電力を調節するステップと、
前記処理チャンバの中にガスを流し込むステップと、
前記生成されたマイクロ波を用いて前記流動ガスから前記処理チャンバの内部にプラズマを生成するステップと、
前記プラズマを用いて前記基板上に層を形成するステップとを含む基板上に膜を堆積する方法。 - 前記処理チャンバにプラズマ源を導入するステップを更に含む請求項11記載の基板上に膜を堆積する方法。
- 前記マイクロ波アンテナが、前記処理チャンバの内部の前記基板と前記プラズマ源の間で移動できるように構成されている請求項12記載の基板上に膜を堆積する方法。
- 前記プラズマ源が、スパッタリングターゲット、容量生成プラズマ源、又は誘導結合プラズマ源を含む請求項12記載の基板上に膜を堆積する方法。
- RF電力を用いて前記基板支持部材にバイアスをかけている請求項11記載の基板上に膜を堆積する方法。
- 前記同軸マイクロ波アンテナは水平位置にある請求項11記載の基板上に膜を堆積する方法。
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