JP5692636B2 - 表面被覆切削工具 - Google Patents
表面被覆切削工具 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5692636B2 JP5692636B2 JP2010255658A JP2010255658A JP5692636B2 JP 5692636 B2 JP5692636 B2 JP 5692636B2 JP 2010255658 A JP2010255658 A JP 2010255658A JP 2010255658 A JP2010255658 A JP 2010255658A JP 5692636 B2 JP5692636 B2 JP 5692636B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- cutting
- hard coating
- coated
- tool
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 title claims description 155
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 246
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 93
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 65
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 claims description 57
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 claims description 54
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims description 49
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 21
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims description 21
- 239000011195 cermet Substances 0.000 claims description 10
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 9
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 8
- UONOETXJSWQNOL-UHFFFAOYSA-N tungsten carbide Chemical compound [W+]#[C-] UONOETXJSWQNOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 238000003475 lamination Methods 0.000 claims description 5
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims description 5
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 63
- 239000000463 material Substances 0.000 description 44
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 38
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 38
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 28
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 26
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 24
- 229910000599 Cr alloy Inorganic materials 0.000 description 17
- 229910001069 Ti alloy Inorganic materials 0.000 description 15
- QQHSIRTYSFLSRM-UHFFFAOYSA-N alumanylidynechromium Chemical compound [Al].[Cr] QQHSIRTYSFLSRM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 15
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 15
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 15
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 15
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 14
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 12
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 11
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 11
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 10
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 9
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 8
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 8
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910000883 Ti6Al4V Inorganic materials 0.000 description 6
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910000946 Y alloy Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 6
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 6
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 5
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 5
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 5
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 5
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 4
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 4
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 3
- -1 (C) Next Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910001315 Tool steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 239000010730 cutting oil Substances 0.000 description 2
- 238000002149 energy-dispersive X-ray emission spectroscopy Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 2
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 description 2
- 229910001018 Cast iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 102000005717 Myeloma Proteins Human genes 0.000 description 1
- 108010045503 Myeloma Proteins Proteins 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Drilling Tools (AREA)
- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
本発明は、表面被覆切削工具（以下、被覆工具という）に関し、さらに詳しくは、例えば、Ｔｉ合金、高硬度ステンレス鋼、Ｎｉ基耐熱合金などの高硬度難削材を、高熱発生を伴うとともに切刃部に対して大きな機械的負荷がかかる高速条件で切削加工した場合に、硬質被覆層がすぐれた耐熱性と耐溶着性を発揮する被覆工具に関するものである。
一般に、被覆工具には、各種の鋼や鋳鉄などの被削材の旋削加工や平削り加工にバイトの先端部に着脱自在に取り付けて用いられるスローアウエイチップ、被削材の穴あけ切削加工などに用いられるドリルやミニチュアドリル、さらに被削材の面削加工や溝加工、肩加工などに用いられるソリッドタイプのエンドミルなどがあり、またスローアウエイチップを着脱自在に取り付けてソリッドタイプのエンドミルと同様に切削加工を行うスローアウエイエンドミル工具などが知られている。
また、被覆工具としては、例えば、工具基体表面に、ＡｌとＣｒの複合窒化物（（Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ）層、あるいは、これにさらに、Ｓｉ、Ｂ、Ｙ、Ｚｒ、Ｖ等（Ｍ成分で示す）を微量添加含有させたＡｌとＣｒを主成分とする複合窒化物（以下、これらを総称して、（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎで示す）層を設けた被覆工具も知られており、特に、構成成分であるＴｉによって高温硬さと耐熱性、同Ａｌによって高温強度を具備することから、前記（Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ層あるいは（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層がすぐれた高温強度、耐欠損性、耐摩耗性を示すことも知られている。
さらに、前記従来被覆工具が、例えば、図２に概略説明図で示される物理蒸着装置の１種であるアークイオンプレーティング装置に工具基体を装入し、装置内を、例えば、５００℃の温度に加熱した状態で、硬質被覆層の組成に対応した合金がセットされたカソード電極、例えば、Ａｌ−Ｃｒ−Ｍ合金と、アノード電極との間に、例えば、電流：９０Ａの条件でアーク放電を発生させ、同時に装置内に反応ガスとして窒素ガスを導入して、例えば、２Ｐａの反応雰囲気とし、一方、前記工具基体には、例えば、−１００Ｖのバイアス電圧を印加した条件で、工具基体表面に、（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層からなる硬質被覆層を蒸着することにより製造されることも知られている。
ところが、近年の切削加工装置のＦＡ化はめざましく、一方で切削加工に対する省力化および省エネ化、さらに低コスト化の要求は強く、これに伴い、切削工具には被削材の材種にできるだけ影響を受けない汎用性、すなわち、できるだけ多くの材種の切削加工が可能な切削工具が求められる傾向にあるが、前記従来被覆工具においては、これを、Ｔｉ合金、高硬度ステンレス鋼、Ｎｉ基耐熱合金などの高硬度難削材の通常切削速度での切削加工に用いた場合には問題ないが、これらの被削材を、高い発熱をともなうとともに、切刃部に局部的に高負荷がかかる高速条件で切削した場合には、切削時の発熱によって被削材および切粉は高温に加熱されて粘性が増大し、これに伴って硬質被覆層表面に対する溶着性が一段と増すようになり、この結果切刃部におけるチッピング（微少欠け）の発生が急激に増加し、これが原因で比較的短時間で使用寿命に至るのが現状である。
そこで、本発明が解決しようとする技術的課題、すなわち、本発明の目的は、高熱発生を伴う高速条件で切削した場合においてもすぐれた耐熱性および耐溶着性を発揮する被覆工具を提供することである。
そこで、本発明者らは、前述のような観点から、特にＴｉ合金、高硬度ステンレス鋼、Ｎｉ基耐熱合金などの高硬度難削材の切削加工を、高速切削条件で切削加工した場合に、硬質被覆層がすぐれた耐熱性とすぐれた耐溶着性を併せ持つ被覆工具を開発すべく、前記従来被覆工具に着目し、鋭意研究を行った結果、従来被覆超硬工具の硬質被覆層である（Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ層あるいは（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層を下部層として０．５〜５μｍの平均層厚で形成し、これの上に上部層として、Ｚｒとの合量に占めるＹの含有割合が１〜１５原子％となるようにＹ成分を含有させたＺｒとＹの複合窒化物層（以下、（Ｚｒ，Ｙ）Ｎ層で示す）を形成すると、下部層である（Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ層あるいは（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層は、すぐれた高温硬さ、高温強度、耐熱性を示し、また、上部層である（Ｚｒ，Ｙ）Ｎ層はすぐれた耐溶着性を示が、特に、上部層の（Ｚｒ，Ｙ）Ｎ層中に含有されるＹ成分によって、（Ｚｒ，Ｙ）Ｎ層の高温硬さが向上することから、高熱発生を伴う切削加工においても、（Ｚｒ，Ｙ）Ｎ層のすぐれた耐溶着性は維持され、したがって、高硬度難削材の高速切削加工において、切刃部が高温になったとしても被削材との耐溶着性にすぐれ、その結果、切刃部におけるチッピング（微少欠け）の発生が抑制され、長期に亘ってすぐれた耐摩耗性が発揮されるという新規な知見を得て、係る知見に基づき、本発明を完成するに至ったものである。
さらに、工具基体の表面に、一層平均層厚０．０１〜０．１μｍの（Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ薄層あるいは（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ薄層を蒸着形成し、この上に、Ｚｒとの合量に占めるＹの含有割合が１〜１５原子％となるようにＹ成分を含有させたＺｒとＹの複合窒化物層（以下、（Ｚｒ，Ｙ）Ｎ層で示す）からなる一層平均層厚０．０１〜０．１μｍの（Ｚｒ，Ｙ）Ｎ薄層を蒸着形成し、さらに、前記（Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ薄層あるいは（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ薄層と前記（Ｚｒ，Ｙ）Ｎ薄層とを交互に形成し、交互積層構造からなる硬質被覆層を構成すると、前記（Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ薄層あるいは（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ薄層はすぐれた高温硬さ、高温強度、耐熱性を示し、また、これと交互に積層形成される（Ｚｒ，Ｙ）Ｎ薄層はすぐれた耐溶着性を示し、特に、（Ｚｒ，Ｙ）Ｎ薄層中に含有されるＹ成分によって、（Ｚｒ，Ｙ）Ｎ薄層の耐熱性が向上することから、高熱発生を伴う切削加工においても、（Ｚｒ，Ｙ）Ｎ薄層のすぐれた耐溶着性は維持されることを見出した。
したがって、ステンレス鋼、耐熱鋼等の難削材の高速高送り切削加工において、切刃部が高温になったとしても、（Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ薄層あるいは（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ薄層に不足する耐溶着性を、これと交互に積層される（Ｚｒ，Ｙ）Ｎ薄層が補完し、硬質被覆層全体としての被削材との耐溶着性が改善され、その結果、切刃部におけるチッピング（微少欠け）の発生が防止され、長期に亘ってすぐれた耐摩耗性が発揮されることを見出し、本発明に至ったものである。
本発明は、前記研究結果に基づいてなされたものであって、
「（１） 炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットで構成された工具基体の表面に硬質被覆層を形成してなる表面被覆切削工具において、
前記硬質被覆層が、
（ａ）０．５〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、
組成式：（Ａｌ１−αＣｒα）Ｎ（但し、αはＣｒの含有割合を示し、原子比で、０．４５≦α≦０．７５である）を満足するＡｌとＣｒの複合窒化物層からなる下部層と、
（ｂ）０．５〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、
組成式：（Ｚｒ１−γＹγ）Ｎ（但し、γはＹの含有割合を示し、原子比で、０．０１≦γ≦０．１５である）を満足するＺｒとＹの複合窒化物層からなる上部層とから構成されていることを特徴とする表面被覆切削工具。
（２） 炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットで構成された工具基体の表面に硬質被覆層を形成してなる表面被覆切削工具において、
前記硬質被覆層が、
（ａ）０．０１〜０．１μｍの一層平均層厚を有し、かつ、
組成式：（Ａｌ１−αＣｒα）Ｎ（但し、αはＣｒの含有割合を示し、原子比で、０．４５≦α≦０．７５である）を満足するＡｌとＣｒの複合窒化物層からなる（Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ薄層、
（ｂ）０．０１〜０．１μｍの一層平均層厚を有し、かつ、
組成式：（Ｚｒ１−γＹγ）Ｎ（但し、γはＹの含有割合を示し、原子比で、０．０１≦γ≦０．１５である）を満足するＺｒとＹの複合窒化物層からなる（Ｚｒ，Ｙ）Ｎ薄層、
上記（ａ）、（ｂ）の交互積層からなり、１〜５μｍの合計平均層厚を有することを特徴とする表面被覆切削工具。
（３） 炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットで構成された工具基体の表面に硬質被覆層を形成してなる表面被覆切削工具において、
前記硬質被覆層が、
（ａ）０．５〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、
組成式：（Ａｌ１−α−βＣｒαＭβ）Ｎ（ここで、Ｍは、Ａｌを除く周期律表４ａ，５ａ，６ａ族の元素、Ｓｉ、Ｂ、Ｙのうちから選ばれた１種又は２種以上の添加成分を示し、また、αはＣｒの含有割合、βはＭの含有割合をそれぞれ示し、原子比で、０．４５≦α≦０．７５、０．０１≦β≦０．２５である）を満足するＡｌとＣｒとＭの複合窒化物層からなる下部層と、
（ｂ）０．５〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、
組成式：（Ｚｒ１−γＹγ）Ｎ（但し、γはＹの含有割合を示し、原子比で、０．０１≦γ≦０．１５である）を満足するＺｒとＹの複合窒化物層からなる上部層とから構成されていることを特徴とする表面被覆切削工具。
（４） 炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットで構成された工具基体の表面に硬質被覆層を形成してなる表面被覆切削工具において、
前記硬質被覆層が、
（ａ）０．０１〜０．１μｍの一層平均層厚を有し、かつ、
組成式：（Ａｌ１−α−βＣｒαＭβ）Ｎ（ここで、Ｍは、Ａｌを除く周期律表４ａ，５ａ，６ａ族の元素、Ｓｉ、Ｂ、Ｙのうちから選ばれた１種又は２種以上の添加成分を示し、また、αはＣｒの含有割合、βはＭの含有割合をそれぞれ示し、原子比で、０．４５≦α≦０．７５、０．０１≦β≦０．２５である）を満足するＡｌとＣｒとＭの複合窒化物層からなる（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ薄層、
（ｂ）０．０１〜０．１μｍの一層平均層厚を有し、かつ、
組成式：（Ｚｒ１−γＹγ）Ｎ（但し、γはＹの含有割合を示し、原子比で、０．０１≦γ≦０．１５である）を満足するＺｒとＹの複合窒化物層からなる（Ｚｒ，Ｙ）Ｎ薄層、
上記（ａ）、（ｂ）の交互積層からなり、１〜５μｍの合計平均層厚を有することを特徴とする表面被覆切削工具。」
を特徴とするものである。
本発明は、前記研究結果に基づいてなされたものであって、
「（１） 炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットで構成された工具基体の表面に硬質被覆層を形成してなる表面被覆切削工具において、
前記硬質被覆層が、
（ａ）０．５〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、
組成式：（Ａｌ１−αＣｒα）Ｎ（但し、αはＣｒの含有割合を示し、原子比で、０．４５≦α≦０．７５である）を満足するＡｌとＣｒの複合窒化物層からなる下部層と、
（ｂ）０．５〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、
組成式：（Ｚｒ１−γＹγ）Ｎ（但し、γはＹの含有割合を示し、原子比で、０．０１≦γ≦０．１５である）を満足するＺｒとＹの複合窒化物層からなる上部層とから構成されていることを特徴とする表面被覆切削工具。
（２） 炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットで構成された工具基体の表面に硬質被覆層を形成してなる表面被覆切削工具において、
前記硬質被覆層が、
（ａ）０．０１〜０．１μｍの一層平均層厚を有し、かつ、
組成式：（Ａｌ１−αＣｒα）Ｎ（但し、αはＣｒの含有割合を示し、原子比で、０．４５≦α≦０．７５である）を満足するＡｌとＣｒの複合窒化物層からなる（Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ薄層、
（ｂ）０．０１〜０．１μｍの一層平均層厚を有し、かつ、
組成式：（Ｚｒ１−γＹγ）Ｎ（但し、γはＹの含有割合を示し、原子比で、０．０１≦γ≦０．１５である）を満足するＺｒとＹの複合窒化物層からなる（Ｚｒ，Ｙ）Ｎ薄層、
上記（ａ）、（ｂ）の交互積層からなり、１〜５μｍの合計平均層厚を有することを特徴とする表面被覆切削工具。
（３） 炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットで構成された工具基体の表面に硬質被覆層を形成してなる表面被覆切削工具において、
前記硬質被覆層が、
（ａ）０．５〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、
組成式：（Ａｌ１−α−βＣｒαＭβ）Ｎ（ここで、Ｍは、Ａｌを除く周期律表４ａ，５ａ，６ａ族の元素、Ｓｉ、Ｂ、Ｙのうちから選ばれた１種又は２種以上の添加成分を示し、また、αはＣｒの含有割合、βはＭの含有割合をそれぞれ示し、原子比で、０．４５≦α≦０．７５、０．０１≦β≦０．２５である）を満足するＡｌとＣｒとＭの複合窒化物層からなる下部層と、
（ｂ）０．５〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、
組成式：（Ｚｒ１−γＹγ）Ｎ（但し、γはＹの含有割合を示し、原子比で、０．０１≦γ≦０．１５である）を満足するＺｒとＹの複合窒化物層からなる上部層とから構成されていることを特徴とする表面被覆切削工具。
（４） 炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットで構成された工具基体の表面に硬質被覆層を形成してなる表面被覆切削工具において、
前記硬質被覆層が、
（ａ）０．０１〜０．１μｍの一層平均層厚を有し、かつ、
組成式：（Ａｌ１−α−βＣｒαＭβ）Ｎ（ここで、Ｍは、Ａｌを除く周期律表４ａ，５ａ，６ａ族の元素、Ｓｉ、Ｂ、Ｙのうちから選ばれた１種又は２種以上の添加成分を示し、また、αはＣｒの含有割合、βはＭの含有割合をそれぞれ示し、原子比で、０．４５≦α≦０．７５、０．０１≦β≦０．２５である）を満足するＡｌとＣｒとＭの複合窒化物層からなる（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ薄層、
（ｂ）０．０１〜０．１μｍの一層平均層厚を有し、かつ、
組成式：（Ｚｒ１−γＹγ）Ｎ（但し、γはＹの含有割合を示し、原子比で、０．０１≦γ≦０．１５である）を満足するＺｒとＹの複合窒化物層からなる（Ｚｒ，Ｙ）Ｎ薄層、
上記（ａ）、（ｂ）の交互積層からなり、１〜５μｍの合計平均層厚を有することを特徴とする表面被覆切削工具。」
を特徴とするものである。
つぎに、本発明の被覆工具の硬質被覆層の構成層に関し、前記の通りに数値限定した理由を説明する。
（ａ）下部層または交互積層の一方の層を構成する（Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ層あるいは（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層の組成および平均層厚または一層平均膜厚：
下部層または交互積層の一方の層を構成する（Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ層あるいは（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層の構成成分であるＣｒ成分には硬質被覆層における高温硬さを向上させ、同Ａｌ成分には高温強度を向上させる作用があり、さらに、Ｍ成分のうちの、Ａｌを除く周期律表４ａ，５ａ，６ａ族の元素、Ｓｉ、Ｂ、には硬質被覆層の耐摩耗性を向上させる作用があり、また、Ｙには硬質被覆層の高温耐酸化性を向上させる作用があるが、Ｃｒの割合を示すα値がＡｌとの合量あるいはＡｌとＭの合量に占める割合（原子比、以下同じ）で０．４５未満になると、所定の高温硬さを確保することができず、これが耐摩耗性低下の原因となり、一方、Ｃｒの割合を示すα値が同０．７５を越えると、相対的にＡｌの含有割合が減少し、高速切削加工で必要とされる高温強度を確保することができず、チッピングの発生を防止することが困難になり、さらに、Ｍ成分の含有割合を示すβ値がＡｌとＣｒの合量に占める割合（原子比、以下同じ）で０．０１未満では、Ｍ成分を含有させたことによる耐摩耗性、高温耐酸化性等の特性向上が期待できず、一方同β値が０．２５を超えると、高温強度に低下傾向が現れるようになることから、α値を０．４５〜０．７５、β値を０．０１〜０．２５と定めた。
下部層または交互積層の一方の層を構成する（Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ層あるいは（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層の構成成分であるＣｒ成分には硬質被覆層における高温硬さを向上させ、同Ａｌ成分には高温強度を向上させる作用があり、さらに、Ｍ成分のうちの、Ａｌを除く周期律表４ａ，５ａ，６ａ族の元素、Ｓｉ、Ｂ、には硬質被覆層の耐摩耗性を向上させる作用があり、また、Ｙには硬質被覆層の高温耐酸化性を向上させる作用があるが、Ｃｒの割合を示すα値がＡｌとの合量あるいはＡｌとＭの合量に占める割合（原子比、以下同じ）で０．４５未満になると、所定の高温硬さを確保することができず、これが耐摩耗性低下の原因となり、一方、Ｃｒの割合を示すα値が同０．７５を越えると、相対的にＡｌの含有割合が減少し、高速切削加工で必要とされる高温強度を確保することができず、チッピングの発生を防止することが困難になり、さらに、Ｍ成分の含有割合を示すβ値がＡｌとＣｒの合量に占める割合（原子比、以下同じ）で０．０１未満では、Ｍ成分を含有させたことによる耐摩耗性、高温耐酸化性等の特性向上が期待できず、一方同β値が０．２５を超えると、高温強度に低下傾向が現れるようになることから、α値を０．４５〜０．７５、β値を０．０１〜０．２５と定めた。
また、下部層を構成する（Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ層あるいは（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層の平均層厚が０．５μｍ未満では、自身のもつすぐれた耐摩耗性を長期に亘って発揮するには不十分であり、一方、その平均層厚が５μｍを越えると、前記高速切削では切刃部にチッピングが発生し易くなることから、その平均層厚を０．５〜５μｍと定めた。
また、交互積層の一方の層を構成する（Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ層あるいは（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層の一層平均層厚が０．０１μｍ未満では、自身のもつすぐれた耐摩耗性を長期に亘って発揮するには不十分であり、一方、その一層平均層厚が０．１μｍを越えると、前記高速切削では、耐溶着性の不足が顕在化し、切刃部にチッピングが発生し易くなることから、その一層平均層厚を０．０１〜０．１μｍと定めた。
（ｂ）上部層または交互積層の一方の層を構成する（Ｚｒ，Ｙ）Ｎ層の組成および平均層厚または一層平均層厚
（Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ層または（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層の上部層あるいは交互積層の一方の層を構成するＺｒとＹの複合窒化物（以下、（Ｚｒ，Ｙ）Ｎと略記する）層は、所定の耐熱性、高温強度、耐溶着性を有するとともに、その構成成分であるＹ成分によって、すぐれた高温硬さを備えるようになり、そのため、高温切削条件下でも低摩擦係数が維持され、すぐれた耐溶着性を発揮するようになるが、Ｙの含有割合を示すγ値がＺｒとの合量に占める割合（原子比、以下同じ）で０．０１未満になると、耐熱性を確保することができないために耐溶着効果を期待することはできず、一方、Ｙの割合を示すγ値が同０．１５を越えると、相対的にＺｒの含有割合が減少し、高硬度難削材の高速切削加工で必要とされる高温強度を確保することができないばかりか、耐溶着性も低下し、チッピング発生を防止することが困難になることから、γ値を０．０１〜０．１５（原子比、以下同じ）と定めた。
（Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ層または（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層の上部層あるいは交互積層の一方の層を構成するＺｒとＹの複合窒化物（以下、（Ｚｒ，Ｙ）Ｎと略記する）層は、所定の耐熱性、高温強度、耐溶着性を有するとともに、その構成成分であるＹ成分によって、すぐれた高温硬さを備えるようになり、そのため、高温切削条件下でも低摩擦係数が維持され、すぐれた耐溶着性を発揮するようになるが、Ｙの含有割合を示すγ値がＺｒとの合量に占める割合（原子比、以下同じ）で０．０１未満になると、耐熱性を確保することができないために耐溶着効果を期待することはできず、一方、Ｙの割合を示すγ値が同０．１５を越えると、相対的にＺｒの含有割合が減少し、高硬度難削材の高速切削加工で必要とされる高温強度を確保することができないばかりか、耐溶着性も低下し、チッピング発生を防止することが困難になることから、γ値を０．０１〜０．１５（原子比、以下同じ）と定めた。
また、上部層を構成する（Ｚｒ，Ｙ）Ｎ層の平均層厚が０．５μｍ未満では、自身のもつすぐれた耐熱性、耐溶着性を長期に亘って発揮するには不十分であり、一方その平均層厚が５μｍを越えると、Ｔｉ合金、Ｎｉ基耐熱合金、高硬度ステンレス鋼などの高硬度難削材の高速切削加工では切刃部にチッピングが発生し易くなることから、その平均層厚を０．５〜５μｍと定めた。
また、交互積層の一方の層を構成する（Ｚｒ，Ｙ）Ｎ層の一層平均層厚が０．０１μｍ未満では、自身の持つすぐれた耐摩耗性を長期に亘って発揮するには不十分であり、一方、その一層平均膜厚が０．１μｍを越えると、前記高速高送り切削では、耐摩耗性の不足が顕在化し、切刃部にチッピングが発生しやすくなることから、その一層平均層厚を０．０１〜０．１μｍと定めた。
また、交互積層の一方の層を構成する（Ｚｒ，Ｙ）Ｎ層の一層平均層厚が０．０１μｍ未満では、自身の持つすぐれた耐摩耗性を長期に亘って発揮するには不十分であり、一方、その一層平均膜厚が０．１μｍを越えると、前記高速高送り切削では、耐摩耗性の不足が顕在化し、切刃部にチッピングが発生しやすくなることから、その一層平均層厚を０．０１〜０．１μｍと定めた。
そして、前記（Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ層あるいは（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層、（Ｚｒ，Ｙ）Ｎ層は、例えば、図１に概略説明図で示される物理蒸着装置の１種であるアークイオンプレーティング装置に基体を装入し、ヒーターで装置内を、例えば、５００℃の温度に加熱した状態で、装置内に所定組成のＡｌ−Ｃｒ合金あるいはＡｌ−Ｃｒ−Ｍ合金からなるカソード電極（蒸発源）と、所定組成のＺｒ−Ｙ合金からなるカソード電極（蒸発源）とを配置し、アノード電極とＡｌ−Ｃｒ合金あるいはＡｌ−Ｃｒ−Ｍ合金からなるカソード電極（蒸発源）との間に、例えば、電流：９０Ａの条件でアーク放電を発生させ、同時に装置内に反応ガスとして窒素ガスを導入して、例えば、２Ｐａの反応雰囲気とし、一方、前記基体には、例えば、−１００Ｖのバイアス電圧を印加した条件で蒸着することにより、（Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ層あるいは（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）層をまず下部層として蒸着形成し、その後、Ｚｒ−Ｙ合金カソード電極とアノード電極の間に、前記同様アーク放電を発生させることにより、（Ｚｒ，Ｙ）Ｎ層からなる上部層を蒸着形成することができる。もしくは、（Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ層または（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）層と（Ｚｒ，Ｙ）Ｎ層との交互積層を蒸着することにより本発明の硬質被覆層を蒸着形成することができる。
本発明の被覆工具の一態様によれば、硬質被覆層を構成する下部層の（Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ層あるいは（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層が、すぐれた高温硬さ、耐熱性、高温強度を有し、あるいは、さらにすぐれた耐摩耗性、高温耐酸化性を有し、また、上部層の（Ｚｒ，Ｙ）Ｎ層が、すぐれた耐熱性と耐溶着性を兼ね備えていることから、硬質被覆層は全体として、すぐれた高温硬さ、耐熱性、高温強度等に加え、すぐれた耐溶着性を備えたものとなり、その結果、特にＴｉ合金、高硬度ステンレス鋼、Ｎｉ基耐熱合金などの高硬度難削材の、大きな発熱を伴い、かつ、高負荷のかかる高速切削加工であっても、すぐれた耐溶着性を示し、長期に亘ってすぐれた耐摩耗性を発揮するものである。
本発明の被覆工具の別の態様によれば、交互積層構造からなる硬質被覆層を（Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ薄層あるいは（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ薄層が、すぐれた高温硬さ、耐熱性、高温強度を有し、あるいは、さらにすぐれた耐摩耗性、高温耐酸化性を有し、また、（Ｚｒ，Ｙ）Ｎ層が、すぐれた耐熱性と耐溶着性を兼ね備えていることから、硬質被覆層は全体として、すぐれた高温硬さ、耐熱性、高温強度等に加え、すぐれた耐溶着性を備えたものとなり、その結果、特にＴｉ合金、高硬度ステンレス鋼、Ｎｉ基耐熱合金などの高硬度難削材の、大きな発熱を伴い、かつ、高負荷のかかる高速切削加工であっても、すぐれた耐溶着性を示し、長期に亘ってすぐれた耐摩耗性を発揮するものである。
本発明の被覆工具の別の態様によれば、交互積層構造からなる硬質被覆層を（Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ薄層あるいは（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ薄層が、すぐれた高温硬さ、耐熱性、高温強度を有し、あるいは、さらにすぐれた耐摩耗性、高温耐酸化性を有し、また、（Ｚｒ，Ｙ）Ｎ層が、すぐれた耐熱性と耐溶着性を兼ね備えていることから、硬質被覆層は全体として、すぐれた高温硬さ、耐熱性、高温強度等に加え、すぐれた耐溶着性を備えたものとなり、その結果、特にＴｉ合金、高硬度ステンレス鋼、Ｎｉ基耐熱合金などの高硬度難削材の、大きな発熱を伴い、かつ、高負荷のかかる高速切削加工であっても、すぐれた耐溶着性を示し、長期に亘ってすぐれた耐摩耗性を発揮するものである。
つぎに、本発明の被覆工具を実施例により具体的に説明する。
原料粉末として、いずれも１〜３μｍの平均粒径を有するＷＣ粉末、ＴｉＣ粉末、ＺｒＣ粉末、ＶＣ粉末、ＴａＣ粉末、ＮｂＣ粉末、Ｃｒ３Ｃ２粉末、ＴｉＮ粉末、ＴａＮ粉末、およびＣｏ粉末を用意し、これら原料粉末を、表１に示される配合組成に配合し、ボールミルで７２時間湿式混合し、乾燥した後、１００ＭＰａ の圧力で圧粉体にプレス成形し、この圧粉体を６Ｐａの真空中、温度：１４００℃に１時間保持の条件で焼結し、焼結後、ＩＳＯ規格・ＣＮＭＧ１２０４０８のチップ形状をもったＷＣ基超硬合金製の工具基体Ａ−１〜Ａ−１０を形成した。
また、原料粉末として、いずれも０．５〜２μｍの平均粒径を有するＴｉＣＮ（質量比で、ＴｉＣ／ＴｉＮ＝５０／５０）粉末、Ｍｏ２Ｃ粉末、ＺｒＣ粉末、ＮｂＣ粉末、ＴａＣ粉末、ＷＣ粉末、Ｃｏ粉末、およびＮｉ粉末を用意し、これら原料粉末を、表２に示される配合組成に配合し、ボールミルで２４時間湿式混合し、乾燥した後、１００ＭＰａの圧力で圧粉体にプレス成形し、この圧粉体を２ｋＰａの窒素雰囲気中、温度：１５００℃に１時間保持の条件で焼結し、焼結後、ＩＳＯ規格・ＣＮＭＧ１２０４０８のチップ形状をもったＴｉＣＮ基サーメット製の工具基体Ｂ−１〜Ｂ−６を形成した。
（ａ）ついで、前記工具基体Ａ−１〜Ａ−１０およびＢ−１〜Ｂ−６のそれぞれを、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、図１に示されるアークイオンプレーティング装置内の回転テーブル上の中心軸から半径方向に所定距離離れた位置に外周部にそって装着し、前記回転テーブルを挟んで相対向する両側にカソード電極（蒸発源）を配置し、その一方にはカソード電極（蒸発源）として所定組成の下部層形成用のＡｌ−Ｃｒ合金あるいはＡｌ−Ｃｒ−Ｍ合金を配置し、また、その他方にはカソード電極（蒸発源）として所定組成の上部層形成用のＺｒ−Ｙ合金を配置し、
（ｂ）まず、装置内を排気して０．１Ｐａ以下の真空に保持しながら、ヒーターで装置内を５００℃に加熱した後、前記回転テーブル上で自転しながら回転する工具基体に−１０００Ｖの直流バイアス電圧を印加し、かつ、カソード電極の前記下部層形成用Ａｌ−Ｃｒ−Ｍ合金とアノード電極との間に１００Ａの電流を流してアーク放電を発生させることにより、工具基体表面を前記Ａｌ−Ｃｒ合金あるいはＡｌ−Ｃｒ−Ｍ合金によってボンバード洗浄し、
（ｃ）次に、装置内に反応ガスとして窒素ガスを導入して４Ｐａの反応雰囲気とすると共に、前記回転テーブル上で自転しながら回転する工具基体に−１００Ｖの直流バイアス電圧を印加し、かつ、カソード電極の前記Ａｌ−Ｃｒ合金あるいはＡｌ−Ｃｒ−Ｍ合金とアノード電極との間に１２０Ａの電流を流してアーク放電を発生させ、前記工具基体の表面に、表３、表４に示される目標組成、目標層厚の下部層としての（Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ層あるいは（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層を０．５〜５μｍの平均層厚で蒸着形成した後、前記Ａｌ−Ｃｒ合金あるいはＡｌ−Ｃｒ−Ｍ合金のカソード電極（蒸発源）とアノード電極との間のアーク放電を停止し、
（ｄ）引き続いて装置内雰囲気を２Ｐａの窒素雰囲気に保持したままで、カソード電極（蒸発源）であるＺｒ−Ｙ合金電極とアノード電極との間に１２０Ａの電流を流してアーク放電を発生させて、表３、表４に示される目標組成および目標層厚の（Ｚｒ，Ｙ）Ｎ層を蒸着形成し、
前記（ａ）〜（ｄ）により硬質被覆層を蒸着形成し、本発明被覆工具としての表面被覆スローアウエイチップ（以下、本発明被覆チップと云う）１〜２４をそれぞれ製造した。
（ｂ）まず、装置内を排気して０．１Ｐａ以下の真空に保持しながら、ヒーターで装置内を５００℃に加熱した後、前記回転テーブル上で自転しながら回転する工具基体に−１０００Ｖの直流バイアス電圧を印加し、かつ、カソード電極の前記下部層形成用Ａｌ−Ｃｒ−Ｍ合金とアノード電極との間に１００Ａの電流を流してアーク放電を発生させることにより、工具基体表面を前記Ａｌ−Ｃｒ合金あるいはＡｌ−Ｃｒ−Ｍ合金によってボンバード洗浄し、
（ｃ）次に、装置内に反応ガスとして窒素ガスを導入して４Ｐａの反応雰囲気とすると共に、前記回転テーブル上で自転しながら回転する工具基体に−１００Ｖの直流バイアス電圧を印加し、かつ、カソード電極の前記Ａｌ−Ｃｒ合金あるいはＡｌ−Ｃｒ−Ｍ合金とアノード電極との間に１２０Ａの電流を流してアーク放電を発生させ、前記工具基体の表面に、表３、表４に示される目標組成、目標層厚の下部層としての（Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ層あるいは（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層を０．５〜５μｍの平均層厚で蒸着形成した後、前記Ａｌ−Ｃｒ合金あるいはＡｌ−Ｃｒ−Ｍ合金のカソード電極（蒸発源）とアノード電極との間のアーク放電を停止し、
（ｄ）引き続いて装置内雰囲気を２Ｐａの窒素雰囲気に保持したままで、カソード電極（蒸発源）であるＺｒ−Ｙ合金電極とアノード電極との間に１２０Ａの電流を流してアーク放電を発生させて、表３、表４に示される目標組成および目標層厚の（Ｚｒ，Ｙ）Ｎ層を蒸着形成し、
前記（ａ）〜（ｄ）により硬質被覆層を蒸着形成し、本発明被覆工具としての表面被覆スローアウエイチップ（以下、本発明被覆チップと云う）１〜２４をそれぞれ製造した。
また、比較の目的で、これら工具基体Ａ−１〜Ａ−１０およびＢ−１〜Ｂ−６を、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、それぞれ図２に示されるアークイオンプレーティング装置に装入し、カソード電極（蒸発源）として所定組成のＡｌ−Ｃｒ合金あるいはＡｌ−Ｃｒ−Ｍ合金を装着し、まず、装置内を排気して０．１Ｐａ以下の真空に保持しながら、ヒーターで装置内を５００℃に加熱した後、前記工具基体に−１０００Ｖの直流バイアス電圧を印加し、かつ、カソード電極のＡｌ−Ｃｒ合金あるいはＡｌ−Ｃｒ−Ｍ合金とアノード電極との間に１００Ａの電流を流してアーク放電を発生させることによって、工具基体表面を前記Ａｌ−Ｃｒ合金あるいはＡｌ−Ｃｒ−Ｍ合金でボンバード洗浄し、ついで装置内に反応ガスとして窒素ガスを導入して３Ｐａの反応雰囲気とすると共に、前記工具基体に印加するバイアス電圧を−１００Ｖに下げて、前記所定組成の各カソード電極とアノード電極との間にアーク放電を発生させることによって、前記工具基体Ａ−１〜Ａ−１０およびＢ−１〜Ｂ−６のそれぞれの表面に、表５、表６に示される目標組成および目標層厚の（Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ層あるいは（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層で構成された硬質被覆層を蒸着形成することにより、比較被覆工具としての表面被覆スローアウエイチップ（以下、比較被覆チップと云う）１〜１４をそれぞれ製造した。
つぎに、前記各種の被覆チップを、いずれも工具鋼製バイトの先端部に固定治具にてネジ止めした状態で、本発明被覆チップ１〜２４および比較被覆チップ１〜１４について、
被削材：Ｔｉ−６Ａｌ−４Ｖ合金（ＨＢ４００）の丸棒、
切削速度： ４０ｍ／ｍｉｎ．、
切り込み： ２ｍｍ、
送り： ０．２ｍｍ／ｒｅｖ．、
切削時間： ５分、
の条件（切削条件Ａ）でのＴｉ合金の湿式連続高速切削加工試験（通常の切削速度および送りは、それぞれ、３０ｍ／ｍｉｎ．、０．１５ｍｍ／ｒｅｖ．）、
被削材：ＪＩＳ・ＳＵＳ６３０（ＨＢ３７０）の丸棒、
切削速度： １１０ｍ／ｍｉｎ．、
切り込み： ３ｍｍ、
送り： ０．２ｍｍ／ｒｅｖ．、
切削時間： ５分、
の条件（切削条件Ｂ）での高硬度ステンレス鋼の湿式連続高速切削加工試験（通常の切削速度および送りは、それぞれ、９０ｍ／ｍｉｎ．、０．２ｍｍ／ｒｅｖ．）、
被削材：Ｎｉ−１８Ｃｒ−３Ｍｏ−１８．５Ｆｅ−０．９Ｔｉ−１．０（Ｎｂ＋Ｔａ）−０．５Ａｌ（ＨＢ４５０）の丸棒、
切削速度： ４５ｍ／ｍｉｎ．、
切り込み： ３ｍｍ、
送り： ０．１５ｍｍ／ｒｅｖ．、
切削時間： ５分、
の条件（切削条件Ｃ）でのＮｉ基耐熱合金の湿式連続高速切削加工試験（通常の切削速度および送りは、それぞれ、３０ｍ／ｍｉｎ．、０．１５ｍｍ／ｒｅｖ．）、
を行い、いずれの高速切削加工試験でも切刃の逃げ面摩耗幅を測定した。この測定結果を表７、表８に示した。
被削材：Ｔｉ−６Ａｌ−４Ｖ合金（ＨＢ４００）の丸棒、
切削速度： ４０ｍ／ｍｉｎ．、
切り込み： ２ｍｍ、
送り： ０．２ｍｍ／ｒｅｖ．、
切削時間： ５分、
の条件（切削条件Ａ）でのＴｉ合金の湿式連続高速切削加工試験（通常の切削速度および送りは、それぞれ、３０ｍ／ｍｉｎ．、０．１５ｍｍ／ｒｅｖ．）、
被削材：ＪＩＳ・ＳＵＳ６３０（ＨＢ３７０）の丸棒、
切削速度： １１０ｍ／ｍｉｎ．、
切り込み： ３ｍｍ、
送り： ０．２ｍｍ／ｒｅｖ．、
切削時間： ５分、
の条件（切削条件Ｂ）での高硬度ステンレス鋼の湿式連続高速切削加工試験（通常の切削速度および送りは、それぞれ、９０ｍ／ｍｉｎ．、０．２ｍｍ／ｒｅｖ．）、
被削材：Ｎｉ−１８Ｃｒ−３Ｍｏ−１８．５Ｆｅ−０．９Ｔｉ−１．０（Ｎｂ＋Ｔａ）−０．５Ａｌ（ＨＢ４５０）の丸棒、
切削速度： ４５ｍ／ｍｉｎ．、
切り込み： ３ｍｍ、
送り： ０．１５ｍｍ／ｒｅｖ．、
切削時間： ５分、
の条件（切削条件Ｃ）でのＮｉ基耐熱合金の湿式連続高速切削加工試験（通常の切削速度および送りは、それぞれ、３０ｍ／ｍｉｎ．、０．１５ｍｍ／ｒｅｖ．）、
を行い、いずれの高速切削加工試験でも切刃の逃げ面摩耗幅を測定した。この測定結果を表７、表８に示した。
実施例１と同様、いずれも１〜３μｍの平均粒径を有するＷＣ粉末、ＴｉＣ粉末、ＺｒＣ粉末、ＶＣ粉末、ＴａＣ粉末、ＮｂＣ粉末、Ｃｒ３Ｃ２粉末、ＴｉＮ粉末、ＴａＮ粉末、およびＣｏ粉末からなる原料粉末を、表１に示される配合組成に配合し、ボールミルで７２時間湿式混合し、乾燥した後、１００ＭＰａの圧力で圧粉体にプレス成形し、この圧粉体を６Ｐａの真空中、温度：１４００℃に１時間保持の条件で焼結し、直径が１３ｍｍの工具基体形成用丸棒焼結体を形成し、さらに前記丸棒焼結体から、研削加工にて、切刃部の直径×長さが１０ｍｍ×２２ｍｍの寸法、並びにねじれ角３０度の４枚刃スクエア形状をもったＷＣ基超硬合金製の工具基体（エンドミル）Ａ−１〜Ａ−１０をそれぞれ製造した。
ついで、これらの工具基体（エンドミル）Ａ−１〜Ａ−１０の表面をアセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、同じく図１に示されるアークイオンプレーティング装置に装入し、前記実施例１と同一の条件で、表９に示される目標組成および目標層厚の（Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ層あるいは（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層、および、同じく表９に示される目標組成および目標層厚の（Ｚｒ，Ｙ）Ｎ層からなる硬質被覆層を蒸着形成することにより、本発明被覆工具としての本発明表面被覆超硬製エンドミル（以下、本発明被覆エンドミルと云う）１〜１５をそれぞれ製造した。
また、比較の目的で、前記工具基体（エンドミル）Ａ−１〜Ａ−１０の表面をアセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、同じく図２に示されるアークイオンプレーティング装置に装入し、前記実施例１と同一の条件で、表１０に示される目標組成および目標層厚の（Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ層あるいは（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層からなる硬質被覆層を蒸着することにより、比較被覆工具としての表面被覆超硬製エンドミル（以下、比較被覆エンドミルと云う）１〜８をそれぞれ製造した。
つぎに、本発明被覆エンドミル１〜１５および比較被覆エンドミル１〜８について、
被削材−平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５０ｍｍのＴｉ−６Ａｌ−４Ｖ合金（ＨＢ４００）の板材、
切削速度： ４５ｍ／ｍｉｎ．、
溝深さ（切り込み）：１５ｍｍ、
テーブル送り： ９０ｍｍ／分、
の条件（切削条件Ｄ）でのＴｉ合金の湿式高速溝切削加工試験（通常の切削速度およびテーブル送りは、それぞれ、３０ｍ／ｍｉｎ．、８０ｍｍ／分）、
被削材−平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５０ｍｍのＪＩＳ・ＳＵＳ６３０（ＨＢ３７０）の板材、
切削速度： １２０ｍ／ｍｉｎ．、
溝深さ（切り込み）：１５ｍｍ、
テーブル送り： ２００ｍｍ／分、
の条件（切削条件Ｄ）での高硬度ステンレス鋼の湿式高速溝切削加工試験（通常の切削速度およびテーブル送りは、それぞれ、９０ｍ／ｍｉｎ．、２００ｍｍ／分）、
被削材−平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５０ｍｍのＮｉ−１８Ｃｒ−３Ｍｏ−１８．５Ｆｅ−０．９Ｔｉ−１．０（Ｎｂ＋Ｔａ）−０．５Ａｌ（ＨＢ４５０）の板材、
切削速度： ４５ｍ／ｍｉｎ．、
溝深さ（切り込み）：１５ｍｍ、
テーブル送り： ９０ｍｍ／分、
の条件（切削条件Ｄ）でのＮｉ基耐熱合金の湿式高速溝切削加工試験（通常の切削速度およびテーブル送りは、それぞれ、３０ｍ／ｍｉｎ．、８０ｍｍ／分）、
をそれぞれ行い、いずれの高速溝切削加工試験でも切刃部の外周刃の逃げ面摩耗幅が使用寿命の目安とされる０．１ｍｍに至るまでの切削溝長を測定した。この測定結果を表９、表１０にそれぞれ示した。
被削材−平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５０ｍｍのＴｉ−６Ａｌ−４Ｖ合金（ＨＢ４００）の板材、
切削速度： ４５ｍ／ｍｉｎ．、
溝深さ（切り込み）：１５ｍｍ、
テーブル送り： ９０ｍｍ／分、
の条件（切削条件Ｄ）でのＴｉ合金の湿式高速溝切削加工試験（通常の切削速度およびテーブル送りは、それぞれ、３０ｍ／ｍｉｎ．、８０ｍｍ／分）、
被削材−平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５０ｍｍのＪＩＳ・ＳＵＳ６３０（ＨＢ３７０）の板材、
切削速度： １２０ｍ／ｍｉｎ．、
溝深さ（切り込み）：１５ｍｍ、
テーブル送り： ２００ｍｍ／分、
の条件（切削条件Ｄ）での高硬度ステンレス鋼の湿式高速溝切削加工試験（通常の切削速度およびテーブル送りは、それぞれ、９０ｍ／ｍｉｎ．、２００ｍｍ／分）、
被削材−平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５０ｍｍのＮｉ−１８Ｃｒ−３Ｍｏ−１８．５Ｆｅ−０．９Ｔｉ−１．０（Ｎｂ＋Ｔａ）−０．５Ａｌ（ＨＢ４５０）の板材、
切削速度： ４５ｍ／ｍｉｎ．、
溝深さ（切り込み）：１５ｍｍ、
テーブル送り： ９０ｍｍ／分、
の条件（切削条件Ｄ）でのＮｉ基耐熱合金の湿式高速溝切削加工試験（通常の切削速度およびテーブル送りは、それぞれ、３０ｍ／ｍｉｎ．、８０ｍｍ／分）、
をそれぞれ行い、いずれの高速溝切削加工試験でも切刃部の外周刃の逃げ面摩耗幅が使用寿命の目安とされる０．１ｍｍに至るまでの切削溝長を測定した。この測定結果を表９、表１０にそれぞれ示した。
実施例２で製造した直径が１３ｍｍの丸棒焼結体を用い、この丸棒焼結体から、研削加工にて、溝形成部の直径×長さがそれぞれ８ｍｍ×２２ｍｍの寸法、並びにねじれ角３０度の２枚刃形状をもったＷＣ基超硬合金製の工具基体（ドリル）Ａ−１〜Ａ−１０をそれぞれ製造した。
ついで、これらの工具基体（ドリル）Ａ−１〜Ａ−１０の切刃に、ホーニングを施し、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、同じく図１に示されるアークイオンプレーティング装置に装入し、前記実施例１と同一の条件で、表１１に示される目標組成および目標層厚の（Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ層あるいは（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層、および同じく表１１に示される目標組成および目標層厚の（Ｚｒ，Ｙ）Ｎ層からなる硬質被覆層を蒸着形成することにより、本発明被覆工具としての本発明表面被覆超硬製ドリル（以下、本発明被覆ドリルと云う）１〜１５をそれぞれ製造した。
また、比較の目的で、前記工具基体（ドリル）Ａ−１〜Ａ−１０の表面に、ホーニングを施し、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、同じく図２に示されるアークイオンプレーティング装置に装入し、実施例１と同一の条件で、表１２に示される目標組成および目標層厚を有する（Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ層あるいは（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層からなる硬質被覆層を蒸着形成することにより、比較被覆工具としての表面被覆超硬製ドリル（以下、比較被覆ドリルと云う）１〜８をそれぞれ製造した。
つぎに、本発明被覆ドリル１〜１５および比較被覆ドリル１〜８について、
被削材−平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５０ｍｍのＴｉ−６Ａｌ−４Ｖ合金（ＨＢ４００）の板材、
切削速度： ４５ｍ／ｍｉｎ．、
送り： ０．１ｍｍ／ｒｅｖ、
穴深さ： ５ｍｍ、
の条件（切削条件Ｇ）でのＴｉ合金の湿式高速穴あけ切削加工試験（通常の切削速度および送りは、それぞれ、３０ｍ／ｍｉｎ．、０．１ｍｍ／ｒｅｖ．）、
被削材−平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５０ｍｍのＪＩＳ・ＳＵＳ６３０（ＨＢ３７０）の板材、
切削速度： ８０ｍ／ｍｉｎ．、
送り： ０．２ｍｍ／ｒｅｖ、
穴深さ： ５ｍｍ、
の条件（切削条件Ｈ）での高硬度ステンレス鋼の湿式高速穴あけ切削加工試験（通常の切削速度および送りは、それぞれ、６０ｍ／ｍｉｎ．、０．１５ｍｍ／ｒｅｖ．）、
被削材−平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５０ｍｍのＮｉ−１８Ｃｒ−３Ｍｏ−１８．５Ｆｅ−０．９Ｔｉ−１．０（Ｎｂ＋Ｔａ）−０．５Ａｌ（ＨＢ４５０）の板材、
切削速度： ４５ｍ／ｍｉｎ．、
送り： ０．１ｍｍ／ｒｅｖ、
穴深さ： ５ｍｍ、
の条件（切削条件Ｉ）でのＮｉ基耐熱合金の湿式高速穴あけ切削加工試験（通常の切削速度および送りは、それぞれ、３０ｍ／ｍｉｎ．、０．１ｍｍ／ｒｅｖ．）、
をそれぞれ行い、いずれの湿式高速穴あけ切削加工試験（水溶性切削油使用）でも先端切刃面の逃げ面摩耗幅が０．３ｍｍに至るまでの穴あけ加工数を測定した。この測定結果を表１１、表１２にそれぞれ示した。
被削材−平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５０ｍｍのＴｉ−６Ａｌ−４Ｖ合金（ＨＢ４００）の板材、
切削速度： ４５ｍ／ｍｉｎ．、
送り： ０．１ｍｍ／ｒｅｖ、
穴深さ： ５ｍｍ、
の条件（切削条件Ｇ）でのＴｉ合金の湿式高速穴あけ切削加工試験（通常の切削速度および送りは、それぞれ、３０ｍ／ｍｉｎ．、０．１ｍｍ／ｒｅｖ．）、
被削材−平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５０ｍｍのＪＩＳ・ＳＵＳ６３０（ＨＢ３７０）の板材、
切削速度： ８０ｍ／ｍｉｎ．、
送り： ０．２ｍｍ／ｒｅｖ、
穴深さ： ５ｍｍ、
の条件（切削条件Ｈ）での高硬度ステンレス鋼の湿式高速穴あけ切削加工試験（通常の切削速度および送りは、それぞれ、６０ｍ／ｍｉｎ．、０．１５ｍｍ／ｒｅｖ．）、
被削材−平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５０ｍｍのＮｉ−１８Ｃｒ−３Ｍｏ−１８．５Ｆｅ−０．９Ｔｉ−１．０（Ｎｂ＋Ｔａ）−０．５Ａｌ（ＨＢ４５０）の板材、
切削速度： ４５ｍ／ｍｉｎ．、
送り： ０．１ｍｍ／ｒｅｖ、
穴深さ： ５ｍｍ、
の条件（切削条件Ｉ）でのＮｉ基耐熱合金の湿式高速穴あけ切削加工試験（通常の切削速度および送りは、それぞれ、３０ｍ／ｍｉｎ．、０．１ｍｍ／ｒｅｖ．）、
をそれぞれ行い、いずれの湿式高速穴あけ切削加工試験（水溶性切削油使用）でも先端切刃面の逃げ面摩耗幅が０．３ｍｍに至るまでの穴あけ加工数を測定した。この測定結果を表１１、表１２にそれぞれ示した。
この結果得られた本発明被覆工具としての本発明被覆チップ１〜２４、本発明被覆エンドミル１〜１５、および本発明被覆ドリル１〜１５の硬質被覆層を構成する（Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ層あるいは（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層（下部層）および（Ｚｒ，Ｙ）Ｎ層（上部層）の組成、並びに、比較被覆工具としての比較被覆チップ１〜１４、比較被覆エンドミル１〜８、および比較被覆ドリル１〜８の（Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ層あるいは（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層からなる硬質被覆層の組成を、透過型電子顕微鏡を用いてのエネルギー分散Ｘ線分析法により測定したところ、それぞれ目標組成と実質的に同じ組成を示した。
また、前記硬質被覆層を構成する各層の平均層厚を走査型電子顕微鏡を用いて断面測定したところ、いずれも目標層厚と実質的に同じ平均値（５ヶ所の平均値）を示した。
表７〜１２に示される結果から、本発明被覆工具は、いずれも特にＴｉ合金、高硬度ステンレス鋼、Ｎｉ基耐熱合金などの高硬度難削材の高速切削加工でも、硬質被覆層の下部層である（Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ層あるいは（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層が工具基体表面に強固に密着接合した状態で、すぐれた高温硬さ、耐熱性、高温強度、あるいは、これに加えてさらにすぐれた耐摩耗性、高温耐酸化性を有し、かつ、耐熱性にすぐれた（Ｚｒ，Ｙ）Ｎ層からなる上部層によって、前記被削材および切粉との間のすぐれた耐溶着性が確保されていることによって、チッピングの発生なく、長期に亘ってすぐれた耐摩耗性を発揮するのに対して、硬質被覆層が（Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ層あるいは（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層で構成され、（Ｎｂ，Ｙ）Ｎ層を備えない比較被覆工具においては、いずれも前記被削材の高速切削加工では被削材（難削材）および切粉と前記硬質被覆層との粘着性および反応性が一段と高くなるために、切刃部にチッピングが発生するようになり、比較的短時間で使用寿命に至ることが明らかである。
原料粉末として、いずれも１〜３μｍの平均粒径を有するＷＣ粉末、ＴｉＣ粉末、ＺｒＣ粉末、ＶＣ粉末、ＴａＣ粉末、ＮｂＣ粉末、Ｃｒ３Ｃ２粉末、ＴｉＮ粉末、ＴａＮ粉末、およびＣｏ粉末を用意し、これら原料粉末を、表１に示される配合組成に配合し、ボールミルで７２時間湿式混合し、乾燥した後、１００ＭＰａ の圧力で圧粉体にプレス成形し、この圧粉体を６Ｐａの真空中、温度：１４００℃に１時間保持の条件で焼結し、焼結後、ＩＳＯ規格・ＣＮＭＧ１２０４０８のチップ形状をもったＷＣ基超硬合金製の工具基体Ａ−１〜Ａ−１０を形成した。
また、原料粉末として、いずれも０．５〜２μｍの平均粒径を有するＴｉＣＮ（質量比で、ＴｉＣ／ＴｉＮ＝５０／５０）粉末、Ｍｏ２Ｃ粉末、ＺｒＣ粉末、ＮｂＣ粉末、ＴａＣ粉末、ＷＣ粉末、Ｃｏ粉末、およびＮｉ粉末を用意し、これら原料粉末を、表２に示される配合組成に配合し、ボールミルで２４時間湿式混合し、乾燥した後、１００ＭＰａの圧力で圧粉体にプレス成形し、この圧粉体を２ｋＰａの窒素雰囲気中、温度：１５００℃に１時間保持の条件で焼結し、焼結後、ＩＳＯ規格・ＣＮＭＧ１２０４０８のチップ形状をもったＴｉＣＮ基サーメット製の工具基体Ｂ−１〜Ｂ−６を形成した。
（ａ）ついで、前記工具基体Ａ−１〜Ａ−１０およびＢ−１〜Ｂ−６のそれぞれを、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、図１に示されるアークイオンプレーティング装置内の回転テーブル上の中心軸から半径方向に所定距離離れた位置に外周部にそって装着し、前記回転テーブルを挟んで相対向する両側にカソード電極（蒸発源）を配置し、その一方にはカソード電極（蒸発源）として所定組成のＡｌ−Ｃｒ合金あるいはＡｌ−Ｃｒ−Ｍ合金を配置し、また、その他方にはカソード電極（蒸発源）として所定組成のＺｒ−Ｙ合金を配置し、
（ｂ）まず、装置内を排気して０．１Ｐａ以下の真空に保持しながら、ヒーターで装置内を５００℃に加熱した後、前記回転テーブル上で自転しながら回転する工具基体に−１０００Ｖの直流バイアス電圧を印加し、かつカソード電極の前記Ａｌ−Ｃｒ合金あるいはＡｌ−Ｃｒ−Ｍ合金とアノード電極との間に１００Ａの電流を流してアーク放電を発生させることによって、前記工具基体表面をＡｌ−Ｃｒ合金あるいはＡｌ−Ｃｒ−Ｍ合金によってボンバード洗浄し、
（ｃ）次に、装置内に反応ガスとして窒素ガスを導入して４Ｐａの反応雰囲気とすると共に、前記回転テーブル上で自転しながら回転する工具基体に−１００Ｖの直流バイアス電圧を印加し、かつカソード電極の前記Ａｌ−Ｃｒ合金あるいはＡｌ−Ｃｒ−Ｍ合金とアノード電極との間に１２０Ａの電流を流してアーク放電を発生させ、前記工具基体の表面に、表１３、表１４に示される目標組成、一層目標層厚の（Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ薄層あるいは（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ薄層を蒸着形成した後、前記Ａｌ−Ｃｒ合金あるいはＡｌ−Ｃｒ−Ｍ合金のカソード電極（蒸発源）とアノード電極との間のアーク放電を停止し、
（ｄ）引き続いて装置内雰囲気を２Ｐａの窒素雰囲気に保持したままで、カソード電極（蒸発源）であるＺｒ−Ｙ合金電極とアノード電極との間に１２０Ａの電流を流してアーク放電を発生させて、表１３、表１４に示される目標組成、一層目標層厚の（Ｚｒ，Ｙ）Ｎ薄層を蒸着形成し、
前記（ｃ）、（ｄ）の操作を、所定の合計平均層厚になるまで繰り返し行って硬質被覆層を蒸着形成し、本発明被覆工具としての本発明表面被覆スローアウエイチップ（以下、本発明被覆チップと云う）２５〜４８をそれぞれ製造した。
（ｂ）まず、装置内を排気して０．１Ｐａ以下の真空に保持しながら、ヒーターで装置内を５００℃に加熱した後、前記回転テーブル上で自転しながら回転する工具基体に−１０００Ｖの直流バイアス電圧を印加し、かつカソード電極の前記Ａｌ−Ｃｒ合金あるいはＡｌ−Ｃｒ−Ｍ合金とアノード電極との間に１００Ａの電流を流してアーク放電を発生させることによって、前記工具基体表面をＡｌ−Ｃｒ合金あるいはＡｌ−Ｃｒ−Ｍ合金によってボンバード洗浄し、
（ｃ）次に、装置内に反応ガスとして窒素ガスを導入して４Ｐａの反応雰囲気とすると共に、前記回転テーブル上で自転しながら回転する工具基体に−１００Ｖの直流バイアス電圧を印加し、かつカソード電極の前記Ａｌ−Ｃｒ合金あるいはＡｌ−Ｃｒ−Ｍ合金とアノード電極との間に１２０Ａの電流を流してアーク放電を発生させ、前記工具基体の表面に、表１３、表１４に示される目標組成、一層目標層厚の（Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ薄層あるいは（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ薄層を蒸着形成した後、前記Ａｌ−Ｃｒ合金あるいはＡｌ−Ｃｒ−Ｍ合金のカソード電極（蒸発源）とアノード電極との間のアーク放電を停止し、
（ｄ）引き続いて装置内雰囲気を２Ｐａの窒素雰囲気に保持したままで、カソード電極（蒸発源）であるＺｒ−Ｙ合金電極とアノード電極との間に１２０Ａの電流を流してアーク放電を発生させて、表１３、表１４に示される目標組成、一層目標層厚の（Ｚｒ，Ｙ）Ｎ薄層を蒸着形成し、
前記（ｃ）、（ｄ）の操作を、所定の合計平均層厚になるまで繰り返し行って硬質被覆層を蒸着形成し、本発明被覆工具としての本発明表面被覆スローアウエイチップ（以下、本発明被覆チップと云う）２５〜４８をそれぞれ製造した。
また、比較の目的で、これら工具基体Ａ−１〜Ａ−１０およびＢ−１〜Ｂ−６を、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、それぞれ図２に示されるアークイオンプレーティング装置に装入し、カソード電極（蒸発源）として所定組成のＡｌ−Ｃｒ合金あるいはＡｌ−Ｃｒ−Ｍ合金を装着し、まず、装置内を排気して０．１Ｐａ以下の真空に保持しながら、ヒーターで装置内を５００℃に加熱した後、前記工具基体に−１０００Ｖの直流バイアス電圧を印加し、かつカソード電極のＡｌ−Ｃｒ合金あるいはＡｌ−Ｃｒ−Ｍ合金とアノード電極との間に１００Ａの電流を流してアーク放電を発生させることによって、前記工具基体表面をＡｌ−Ｃｒ合金あるいはＡｌ−Ｃｒ−Ｍ合金でボンバード洗浄し、ついで装置内に反応ガスとして窒素ガスを導入して３Ｐａの反応雰囲気とすると共に、前記工具基体に印加するバイアス電圧を−１００Ｖに下げて、前記所定組成の各カソード電極とアノード電極との間にアーク放電を発生させ、前記工具基体Ａ−１〜Ａ−１０およびＢ−１〜Ｂ−６のそれぞれの表面に、表１５、表１６に示される目標組成および目標層厚の（Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ層あるいは（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層で構成された硬質被覆層を蒸着形成することにより、比較被覆工具としての表面被覆スローアウエイチップ（以下、比較被覆チップと云う）１５〜３０をそれぞれ製造した。
つぎに、前記各種の被覆チップを、いずれも工具鋼製バイトの先端部に固定治具にてネジ止めした状態で、本発明被覆チップ２５〜４８および比較被覆チップ１５〜３０について、
被削材：Ｔｉ−６Ａｌ−４Ｖ（ＨＢ３５０）の丸棒、
切削速度： ６０ｍ／ｍｉｎ．、
切り込み： ２．０ｍｍ、
送り： ０．２ｍｍ／ｒｅｖ．、
切削時間： ５分、
の条件（切削条件ａ）でのＴｉ合金の湿式連続高速高送り切削加工試験（通常の切削速度および送りは、それぞれ、３５ｍ／ｍｉｎ．、０．１５ｍｍ／ｒｅｖ．）、
被削材：ＪＩＳ・ＳＵＳ６３０（ＨＢ４００）の丸棒、
切削速度： １２０ｍ／ｍｉｎ．、
切り込み： ２．０ｍｍ、
送り： ０．２５ｍｍ／ｒｅｖ．、
切削時間： ５分、
の条件（切削条件ｂ）でのステンレス鋼の湿式連続高速高送り切削加工試験（通常の切削速度および送りは、それぞれ、８５ｍ／ｍｉｎ．、０．２ｍｍ／ｒｅｖ．）、
被削材：Ｎｉ−１８Ｃｒ−３Ｍｏ−１８．５Ｆｅ−０．９Ｔｉ−１．０（Ｎｂ＋Ｔａ）−０．５Ａｌ（ＨＢ４００）の丸棒、
切削速度： ６０ｍ／ｍｉｎ．、
切り込み： ２０ｍｍ、
送り： ０．２０ｍｍ／ｒｅｖ．、
切削時間： ５分、
の条件（切削条件ｃ）でのＮｉ基耐熱合金の湿式連続高速高送り切削加工試験（通常の切削速度および送りは、それぞれ、３５ｍ／ｍｉｎ．、０．１５ｍｍ／ｒｅｖ．）、
を行い、いずれの高速高送り切削加工試験でも切刃の逃げ面摩耗幅を測定した。この測定結果を表１７、表１８に示した。
被削材：Ｔｉ−６Ａｌ−４Ｖ（ＨＢ３５０）の丸棒、
切削速度： ６０ｍ／ｍｉｎ．、
切り込み： ２．０ｍｍ、
送り： ０．２ｍｍ／ｒｅｖ．、
切削時間： ５分、
の条件（切削条件ａ）でのＴｉ合金の湿式連続高速高送り切削加工試験（通常の切削速度および送りは、それぞれ、３５ｍ／ｍｉｎ．、０．１５ｍｍ／ｒｅｖ．）、
被削材：ＪＩＳ・ＳＵＳ６３０（ＨＢ４００）の丸棒、
切削速度： １２０ｍ／ｍｉｎ．、
切り込み： ２．０ｍｍ、
送り： ０．２５ｍｍ／ｒｅｖ．、
切削時間： ５分、
の条件（切削条件ｂ）でのステンレス鋼の湿式連続高速高送り切削加工試験（通常の切削速度および送りは、それぞれ、８５ｍ／ｍｉｎ．、０．２ｍｍ／ｒｅｖ．）、
被削材：Ｎｉ−１８Ｃｒ−３Ｍｏ−１８．５Ｆｅ−０．９Ｔｉ−１．０（Ｎｂ＋Ｔａ）−０．５Ａｌ（ＨＢ４００）の丸棒、
切削速度： ６０ｍ／ｍｉｎ．、
切り込み： ２０ｍｍ、
送り： ０．２０ｍｍ／ｒｅｖ．、
切削時間： ５分、
の条件（切削条件ｃ）でのＮｉ基耐熱合金の湿式連続高速高送り切削加工試験（通常の切削速度および送りは、それぞれ、３５ｍ／ｍｉｎ．、０．１５ｍｍ／ｒｅｖ．）、
を行い、いずれの高速高送り切削加工試験でも切刃の逃げ面摩耗幅を測定した。この測定結果を表１７、表１８に示した。
実施例４と同様、いずれも１〜３μｍの平均粒径を有するＷＣ粉末、ＴｉＣ粉末、ＺｒＣ粉末、ＶＣ粉末、ＴａＣ粉末、ＮｂＣ粉末、Ｃｒ３Ｃ２粉末、ＴｉＮ粉末、ＴａＮ粉末、およびＣｏ粉末からなる原料粉末を、表１に示される配合組成に配合し、ボールミルで７２時間湿式混合し、乾燥した後、１００ＭＰａ の圧力で圧粉体にプレス成形し、この圧粉体を６Ｐａの真空中、温度：１４００℃に１時間保持の条件で焼結し、直径が１３ｍｍの工具基体形成用丸棒焼結体を形成し、さらに前記の丸棒焼結体から、研削加工にて、切刃部の直径×長さが１０ｍｍ×２２ｍｍの寸法、並びにねじれ角３０度の４枚刃スクエア形状をもったＷＣ基超硬合金製の工具基体（エンドミル）Ａ−１〜Ａ−１０をそれぞれ製造した。
ついで、これらの工具基体（エンドミル）Ａ−１〜Ａ−１０の表面をアセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、同じく図１に示されるアークイオンプレーティング装置に装入し、前記実施例４と同一の条件で、表１９に示される目標組成および一層目標層厚の（Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ薄層あるいは（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ薄層、および、同じく表１９に示される目標組成および一層目標層厚の（Ｚｒ，Ｙ）Ｎ薄層の交互積層構造からなる硬質被覆層を蒸着形成することにより、本発明被覆工具としての本発明表面被覆超硬製エンドミル（以下、本発明被覆エンドミルと云う）１６〜３０をそれぞれ製造した。
また、比較の目的で、前記工具基体（エンドミル）Ａ−１〜Ａ−１０の表面をアセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、同じく図２に示されるアークイオンプレーティング装置に装入し、前記実施例４と同一の条件で、表２０に示される目標組成および目標層厚の（Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ薄層あるいは（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ層からなる硬質被覆層を蒸着することにより、比較被覆工具としての表面被覆超硬製エンドミル（以下、比較被覆エンドミルと云う）９〜１６をそれぞれ製造した。
つぎに、前記本発明被覆エンドミル１６〜３０および比較被覆エンドミル９〜１６について、
被削材−平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５０ｍｍのＴｉ−６Ａｌ−４Ｖ（ＨＢ３５０）の板材、
切削速度： ６５ｍ／ｍｉｎ．、
溝深さ（切り込み）： １５ｍｍ、
テーブル送り： １１０ｍｍ／分、
の条件（切削条件ｄ）でのＴｉ合金の湿式高速高送り溝切削加工試験（通常の切削速度およびテーブル送りは、それぞれ、３５ｍ／ｍｉｎ．、８０ｍｍ／分）、
被削材−平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５０ｍｍのＪＩＳ・ＳＵＳ６３０（ＨＢ４００）の板材、
切削速度： １２０ｍ／ｍｉｎ．、
溝深さ（切り込み）： １５ｍｍ、
テーブル送り： ２４０ｍｍ／分、
の条件（切削条件ｅ）でのステンレス鋼の湿式高速高送り溝切削加工試験（通常の切削速度およびテーブル送りは、それぞれ、８５ｍ／ｍｉｎ．、２００ｍｍ／分）、
被削材−平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５０ｍｍのＮｉ−１８Ｃｒ−３Ｍｏ−１８．５Ｆｅ−０．９Ｔｉ−１．０（Ｎｂ＋Ｔａ）−０．５Ａｌ（ＨＢ４００）の板材、
切削速度： ６０ｍ／ｍｉｎ．、
溝深さ（切り込み）： １５ｍｍ、
テーブル送り： １１０ｍｍ／分、
の条件（切削条件ｆ）でのＮｉ基耐熱合金の湿式高速高送り溝切削加工試験（通常の切削速度およびテーブル送りは、それぞれ、３５ｍ／ｍｉｎ．、８０ｍｍ／分）、
をそれぞれ行い、いずれの高速高送り溝切削加工試験でも切刃部の外周刃の逃げ面摩耗幅が使用寿命の目安とされる０．１ｍｍに至るまでの切削溝長を測定した。この測定結果を表１９、表２０にそれぞれ示した。
被削材−平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５０ｍｍのＴｉ−６Ａｌ−４Ｖ（ＨＢ３５０）の板材、
切削速度： ６５ｍ／ｍｉｎ．、
溝深さ（切り込み）： １５ｍｍ、
テーブル送り： １１０ｍｍ／分、
の条件（切削条件ｄ）でのＴｉ合金の湿式高速高送り溝切削加工試験（通常の切削速度およびテーブル送りは、それぞれ、３５ｍ／ｍｉｎ．、８０ｍｍ／分）、
被削材−平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５０ｍｍのＪＩＳ・ＳＵＳ６３０（ＨＢ４００）の板材、
切削速度： １２０ｍ／ｍｉｎ．、
溝深さ（切り込み）： １５ｍｍ、
テーブル送り： ２４０ｍｍ／分、
の条件（切削条件ｅ）でのステンレス鋼の湿式高速高送り溝切削加工試験（通常の切削速度およびテーブル送りは、それぞれ、８５ｍ／ｍｉｎ．、２００ｍｍ／分）、
被削材−平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５０ｍｍのＮｉ−１８Ｃｒ−３Ｍｏ−１８．５Ｆｅ−０．９Ｔｉ−１．０（Ｎｂ＋Ｔａ）−０．５Ａｌ（ＨＢ４００）の板材、
切削速度： ６０ｍ／ｍｉｎ．、
溝深さ（切り込み）： １５ｍｍ、
テーブル送り： １１０ｍｍ／分、
の条件（切削条件ｆ）でのＮｉ基耐熱合金の湿式高速高送り溝切削加工試験（通常の切削速度およびテーブル送りは、それぞれ、３５ｍ／ｍｉｎ．、８０ｍｍ／分）、
をそれぞれ行い、いずれの高速高送り溝切削加工試験でも切刃部の外周刃の逃げ面摩耗幅が使用寿命の目安とされる０．１ｍｍに至るまでの切削溝長を測定した。この測定結果を表１９、表２０にそれぞれ示した。
前記の実施例４で製造した直径が１３ｍｍの丸棒焼結体を用い、この丸棒焼結体から、研削加工にて、溝形成部の直径×長さがそれぞれ８ｍｍ×２２ｍｍの寸法、並びにねじれ角３０度の２枚刃形状をもったＷＣ基超硬合金製の工具基体（ドリル）Ａ−１〜Ａ−１０をそれぞれ製造した。
ついで、これらの工具基体（ドリル）Ａ−１〜Ａ−１０の切刃に、ホーニングを施し、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、同じく図１に示されるアークイオンプレーティング装置に装入し、前記実施例１と同一の条件で、表２１に示される目標組成および一層目標層厚の（Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ薄層あるいは（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ薄層、および、同じく表２１に示される目標組成および一層目標層厚の（Ｚｒ，Ｙ）Ｎ薄層の交互積層構造からなる硬質被覆層を蒸着形成することにより、本発明被覆工具としての本発明表面被覆超硬製ドリル（以下、本発明被覆ドリルと云う）１６〜３０をそれぞれ製造した。
また、比較の目的で、前記工具基体（ドリル）Ａ−１〜Ａ−１０の表面に、ホーニングを施し、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、同じく図２に示されるアークイオンプレーティング装置に装入し、前記実施例１と同一の条件で、表２２に示される目標組成および目標層厚を有する（Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ薄層あるいは（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ薄層からなる硬質被覆層を蒸着形成することにより、比較被覆工具としての表面被覆超硬製ドリル（以下、比較被覆ドリルと云う）９〜１６をそれぞれ製造した。
つぎに、前記本発明被覆ドリル１６〜３０および比較被覆ドリル９〜１６について、
被削材−平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５０ｍｍのＴｉ−６Ａｌ−４Ｖ（ＨＢ３５０）の板材、
切削速度： ５０ｍ／ｍｉｎ．、
送り： ０．２０ｍｍ／ｒｅｖ、
穴深さ： ５ｍｍ、
の条件（切削条件ｇ）でのＴｉ合金の湿式高速高送り穴あけ切削加工試験（通常の切削速度および送りは、それぞれ、３５ｍ／ｍｉｎ．、０．１ｍｍ／ｒｅｖ．）、
被削材−平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５０ｍｍのＪＩＳ・ＳＵＳ６３０（ＨＢ４００）の板材、
切削速度： ８０ｍ／ｍｉｎ．、
送り： ０．２５ｍｍ／ｒｅｖ、
穴深さ： ５ｍｍ、
の条件（切削条件ｈ）でのステンレス鋼の湿式高速高送り穴あけ切削加工試験（（通常の切削速度および送りは、それぞれ、５５ｍ／ｍｉｎ．、０．１５ｍｍ／ｒｅｖ．）、
被削材−平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５０ｍｍのＮｉ−１８Ｃｒ−３Ｍｏ−１８．５Ｆｅ−０．９Ｔｉ−１．０（Ｎｂ＋Ｔａ）−０．５Ａｌ（ＨＢ４００）の板材、
切削速度： ５０ｍ／ｍｉｎ．、
送り： ０．２ｍｍ／ｒｅｖ、
穴深さ： ５ｍｍ、
の条件（切削条件ｉ）でのＮｉ基耐熱合金の湿式高速高送り穴あけ切削加工試験（通常の切削速度および送りは、それぞれ、３５ｍ／ｍｉｎ．、０．１ｍｍ／ｒｅｖ．）、
をそれぞれ行い、いずれの湿式高速高送り穴あけ切削加工試験（水溶性切削油使用）でも先端切刃面の逃げ面摩耗幅が０．３ｍｍに至るまでの穴あけ加工数を測定した。この測定結果を表２１、表２２にそれぞれ示した。
被削材−平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５０ｍｍのＴｉ−６Ａｌ−４Ｖ（ＨＢ３５０）の板材、
切削速度： ５０ｍ／ｍｉｎ．、
送り： ０．２０ｍｍ／ｒｅｖ、
穴深さ： ５ｍｍ、
の条件（切削条件ｇ）でのＴｉ合金の湿式高速高送り穴あけ切削加工試験（通常の切削速度および送りは、それぞれ、３５ｍ／ｍｉｎ．、０．１ｍｍ／ｒｅｖ．）、
被削材−平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５０ｍｍのＪＩＳ・ＳＵＳ６３０（ＨＢ４００）の板材、
切削速度： ８０ｍ／ｍｉｎ．、
送り： ０．２５ｍｍ／ｒｅｖ、
穴深さ： ５ｍｍ、
の条件（切削条件ｈ）でのステンレス鋼の湿式高速高送り穴あけ切削加工試験（（通常の切削速度および送りは、それぞれ、５５ｍ／ｍｉｎ．、０．１５ｍｍ／ｒｅｖ．）、
被削材−平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５０ｍｍのＮｉ−１８Ｃｒ−３Ｍｏ−１８．５Ｆｅ−０．９Ｔｉ−１．０（Ｎｂ＋Ｔａ）−０．５Ａｌ（ＨＢ４００）の板材、
切削速度： ５０ｍ／ｍｉｎ．、
送り： ０．２ｍｍ／ｒｅｖ、
穴深さ： ５ｍｍ、
の条件（切削条件ｉ）でのＮｉ基耐熱合金の湿式高速高送り穴あけ切削加工試験（通常の切削速度および送りは、それぞれ、３５ｍ／ｍｉｎ．、０．１ｍｍ／ｒｅｖ．）、
をそれぞれ行い、いずれの湿式高速高送り穴あけ切削加工試験（水溶性切削油使用）でも先端切刃面の逃げ面摩耗幅が０．３ｍｍに至るまでの穴あけ加工数を測定した。この測定結果を表２１、表２２にそれぞれ示した。
この結果得られた本発明被覆工具としての本発明被覆チップ２５〜４８、本発明被覆エンドミル１６〜３０、および本発明被覆ドリル１６〜３０の硬質被覆層を構成する（Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ薄層あるいは（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ薄層および（Ｚｒ，Ｙ）Ｎ薄層の組成、並びに、比較被覆工具としての比較被覆チップ１５〜３０、比較被覆エンドミル９〜１６、および比較被覆ドリル９〜１６の（Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ薄層あるいは（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ薄層からなる硬質被覆層の組成を、透過型電子顕微鏡を用いてのエネルギー分散Ｘ線分析法により測定したところ、それぞれ目標組成と実質的に同じ組成を示した。
また、前記硬質被覆層を構成する各層の平均層厚を走査型電子顕微鏡を用いて断面測定したところ、いずれも目標層厚と実質的に同じ平均値（５ヶ所の平均値）を示した。
表１７〜２２に示される結果から、本発明被覆工具は、いずれも特にＴｉ合金、高硬度ステンレス鋼、Ｎｉ基耐熱合金等の高硬度難削材の、大きな発熱をともない、かつ、高負荷のかかる高速高送り切削加工でも、硬質被覆層の交互積層構造を構成する（Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ薄層あるいは（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ薄層が、すぐれた高温硬さ、耐熱性、高温強度、あるいは、これに加えてさらにすぐれた耐摩耗性、高温耐酸化性を有し、同じく交互積層構造を構成する（Ｚｒ，Ｙ）Ｎ薄層が耐熱性にすぐれ、高温条件下でも前記被削材および切粉との間のすぐれた耐溶着性を保持し、その結果、（Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ薄層あるいは（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ薄層に不足する耐溶着性が、これに交互に積層される（Ｚｒ，Ｙ）Ｎ薄層により補完されることによって、硬質被覆層全体として、チッピングの発生なく、長期に亘ってすぐれた耐摩耗性を発揮するのに対して、硬質被覆層が（Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ薄層あるいは（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ薄層で構成され、（Ｚｒ，Ｙ）Ｎ層を備えない比較被覆工具においては、いずれも前記被削材の高速高送り切削加工では被削材（難削材）および切粉と前記硬質被覆層との粘着性および反応性が一段と高くなるために、切刃部にチッピングが発生するようになり、比較的短時間で使用寿命に至ることが明らかである。
前述のように、本発明の被覆工具は、一般的な被削材の切削加工は勿論のこと、特にＴｉ合金、高硬度ステンレス鋼、Ｎｉ基耐熱合金などの高硬度難削材の高速切削加工でもすぐれた耐摩耗性と耐溶着性を発揮し、長期に亘ってすぐれた切削性能を示すものであるから、切削加工装置のＦＡ化、並びに切削加工の省力化および省エネ化、さらに低コスト化に十分満足に対応できるものである。
Claims (4)
- 炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットで構成された工具基体の表面に硬質被覆層を形成してなる表面被覆切削工具において、
前記硬質被覆層が、
（ａ）０．５〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、
組成式：（Ａｌ１−αＣｒα）Ｎ（但し、αはＣｒの含有割合を示し、原子比で、０．４５≦α≦０．７５である）を満足するＡｌとＣｒの複合窒化物層からなる下部層と、
（ｂ）０．５〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、
組成式：（Ｚｒ１−γＹγ）Ｎ（但し、γはＹの含有割合を示し、原子比で、０．０１≦γ≦０．１５である）を満足するＺｒとＹの複合窒化物層からなる上部層とから構成されていることを特徴とする表面被覆切削工具。 - 炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットで構成された工具基体の表面に硬質被覆層を形成してなる表面被覆切削工具において、
前記硬質被覆層が、
（ａ）０．０１〜０．１μｍの一層平均層厚を有し、かつ、
組成式：（Ａｌ１−αＣｒα）Ｎ（但し、αはＣｒの含有割合を示し、原子比で、０．４５≦α≦０．７５である）を満足するＡｌとＣｒの複合窒化物層からなる（Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ薄層、
（ｂ）０．０１〜０．１μｍの一層平均層厚を有し、かつ、
組成式：（Ｚｒ１−γＹγ）Ｎ（但し、γはＹの含有割合を示し、原子比で、０．０１≦γ≦０．１５である）を満足するＺｒとＹの複合窒化物層からなる（Ｚｒ，Ｙ）Ｎ薄層、
上記（ａ）、（ｂ）の交互積層からなり、１〜５μｍの合計平均層厚を有することを特徴とする表面被覆切削工具。 - 炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットで構成された工具基体の表面に硬質被覆層を形成してなる表面被覆切削工具において、
前記硬質被覆層が、
（ａ）０．５〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、
組成式：（Ａｌ１−α−βＣｒαＭβ）Ｎ（ここで、Ｍは、Ａｌを除く周期律表４ａ，５ａ，６ａ族の元素、Ｓｉ、Ｂ、Ｙのうちから選ばれた１種又は２種以上の添加成分を示し、また、αはＣｒの含有割合、βはＭの含有割合をそれぞれ示し、原子比で、０．４５≦α≦０．７５、０．０１≦β≦０．２５である）を満足するＡｌとＣｒとＭの複合窒化物層からなる下部層と、
（ｂ）０．５〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、
組成式：（Ｚｒ１−γＹγ）Ｎ（但し、γはＹの含有割合を示し、原子比で、０．０１≦γ≦０．１５である）を満足するＺｒとＹの複合窒化物層からなる上部層とから構成されていることを特徴とする表面被覆切削工具。 - 炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットで構成された工具基体の表面に硬質被覆層を形成してなる表面被覆切削工具において、
前記硬質被覆層が、
（ａ）０．０１〜０．１μｍの一層平均層厚を有し、かつ、
組成式：（Ａｌ１−α−βＣｒαＭβ）Ｎ（ここで、Ｍは、Ａｌを除く周期律表４ａ，５ａ，６ａ族の元素、Ｓｉ、Ｂ、Ｙのうちから選ばれた１種又は２種以上の添加成分を示し、また、αはＣｒの含有割合、βはＭの含有割合をそれぞれ示し、原子比で、０．４５≦α≦０．７５、０．０１≦β≦０．２５である）を満足するＡｌとＣｒとＭの複合窒化物層からなる（Ａｌ，Ｃｒ，Ｍ）Ｎ薄層、
（ｂ）０．０１〜０．１μｍの一層平均層厚を有し、かつ、
組成式：（Ｚｒ１−γＹγ）Ｎ（但し、γはＹの含有割合を示し、原子比で、０．０１≦γ≦０．１５である）を満足するＺｒとＹの複合窒化物層からなる（Ｚｒ，Ｙ）Ｎ薄層、
上記（ａ）、（ｂ）の交互積層からなり、１〜５μｍの合計平均層厚を有することを特徴とする表面被覆切削工具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010255658A JP5692636B2 (ja) | 2010-11-16 | 2010-11-16 | 表面被覆切削工具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010255658A JP5692636B2 (ja) | 2010-11-16 | 2010-11-16 | 表面被覆切削工具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2012106299A JP2012106299A (ja) | 2012-06-07 |
| JP5692636B2 true JP5692636B2 (ja) | 2015-04-01 |
Family
ID=46492507
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2010255658A Expired - Fee Related JP5692636B2 (ja) | 2010-11-16 | 2010-11-16 | 表面被覆切削工具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP5692636B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109682293B (zh) * | 2018-12-05 | 2020-05-19 | 东南大学 | 带肋筋材增强水泥基复合材料结构保护层厚度的确定方法 |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3712241B2 (ja) * | 1995-01-20 | 2005-11-02 | 日立ツール株式会社 | 被覆切削工具・被覆耐摩耗工具 |
| JP4375527B2 (ja) * | 2003-05-19 | 2009-12-02 | 三菱マテリアル株式会社 | 高速重切削条件で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具 |
| DE102004010285A1 (de) * | 2004-03-03 | 2005-09-29 | Walter Ag | Beschichtung für ein Schneidwerkzeug sowie Herstellungsverfahren |
| JP4645821B2 (ja) * | 2005-04-08 | 2011-03-09 | 三菱マテリアル株式会社 | 耐熱合金の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具 |
| JP5138892B2 (ja) * | 2006-01-20 | 2013-02-06 | 株式会社神戸製鋼所 | 硬質皮膜 |
| JP2008240079A (ja) * | 2007-03-28 | 2008-10-09 | Tungaloy Corp | 被覆部材 |
| JP5180221B2 (ja) * | 2007-09-20 | 2013-04-10 | オーエスジー株式会社 | 硬質積層被膜、硬質積層被膜被覆工具、および被膜形成方法 |
| JP2009119551A (ja) * | 2007-11-14 | 2009-06-04 | Mitsubishi Materials Corp | 高速高送り切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 |
| JP2009119550A (ja) * | 2007-11-14 | 2009-06-04 | Mitsubishi Materials Corp | 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 |
| JP2009255233A (ja) * | 2008-04-17 | 2009-11-05 | Mitsubishi Materials Corp | 表面被覆切削工具 |
| JP5234499B2 (ja) * | 2008-05-28 | 2013-07-10 | 三菱マテリアル株式会社 | 高速高送り切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 |
-
2010
- 2010-11-16 JP JP2010255658A patent/JP5692636B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2012106299A (ja) | 2012-06-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2009101491A (ja) | 高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた潤滑性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具 | |
| JP5488824B2 (ja) | 硬質難削材の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐剥離性とすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具 | |
| JP2014079834A (ja) | 表面被覆切削工具 | |
| JP5783462B2 (ja) | 表面被覆切削工具 | |
| JP2009119551A (ja) | 高速高送り切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 | |
| JP5196122B2 (ja) | 表面被覆切削工具 | |
| JP5234499B2 (ja) | 高速高送り切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 | |
| JP2011240438A (ja) | 耐熱性および耐溶着性にすぐれた表面被覆切削工具 | |
| JP5975214B2 (ja) | 表面被覆切削工具 | |
| JP5692636B2 (ja) | 表面被覆切削工具 | |
| JP4697662B2 (ja) | 高硬度鋼の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具 | |
| JP5234332B2 (ja) | 高速高送り切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 | |
| JP2011240436A (ja) | 耐熱性および耐溶着性にすぐれた表面被覆切削工具 | |
| JP5975338B2 (ja) | 表面被覆切削工具 | |
| JP6102653B2 (ja) | 表面被覆切削工具 | |
| JP5686254B2 (ja) | 表面被覆切削工具 | |
| JP5796354B2 (ja) | 耐熱性および耐溶着性に優れた表面被覆切削工具 | |
| JP2011177800A (ja) | 耐熱性および耐溶着性にすぐれた表面被覆切削工具 | |
| JP2011240437A (ja) | 耐熱性および耐溶着性にすぐれた表面被覆切削工具 | |
| JP2007313582A (ja) | 難削材の重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 | |
| JP2012143851A (ja) | 表面被覆切削工具 | |
| JP5692635B2 (ja) | 表面被覆切削工具 | |
| JP2011173176A (ja) | 耐熱性および耐溶着性にすぐれた表面被覆切削工具 | |
| JP5688685B2 (ja) | 表面被覆切削工具 | |
| JP5688686B2 (ja) | 表面被覆切削工具 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130927 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140528 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140530 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150109 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150122 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5692636 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |