JP5691987B2 - 光硬化性樹脂組成物、そのドライフィルム、パターン形成方法及び電気・電子部品保護用皮膜 - Google Patents
光硬化性樹脂組成物、そのドライフィルム、パターン形成方法及び電気・電子部品保護用皮膜 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5691987B2 JP5691987B2 JP2011223048A JP2011223048A JP5691987B2 JP 5691987 B2 JP5691987 B2 JP 5691987B2 JP 2011223048 A JP2011223048 A JP 2011223048A JP 2011223048 A JP2011223048 A JP 2011223048A JP 5691987 B2 JP5691987 B2 JP 5691987B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photocurable resin
- resin composition
- film
- substrate
- photocurable
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08L—COMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
- C08L83/00—Compositions of macromolecular compounds obtained by reactions forming in the main chain of the macromolecule a linkage containing silicon with or without sulfur, nitrogen, oxygen or carbon only; Compositions of derivatives of such polymers
- C08L83/04—Polysiloxanes
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/0045—Photosensitive materials with organic non-macromolecular light-sensitive compounds not otherwise provided for, e.g. dissolution inhibitors
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08J—WORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
- C08J5/00—Manufacture of articles or shaped materials containing macromolecular substances
- C08J5/18—Manufacture of films or sheets
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
- C08K5/00—Use of organic ingredients
- C08K5/36—Sulfur-, selenium-, or tellurium-containing compounds
- C08K5/43—Compounds containing sulfur bound to nitrogen
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/0046—Photosensitive materials with perfluoro compounds, e.g. for dry lithography
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/038—Macromolecular compounds which are rendered insoluble or differentially wettable
- G03F7/0382—Macromolecular compounds which are rendered insoluble or differentially wettable the macromolecular compound being present in a chemically amplified negative photoresist composition
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/075—Silicon-containing compounds
- G03F7/0757—Macromolecular compounds containing Si-O, Si-C or Si-N bonds
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/26—Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
- G03F7/38—Treatment before imagewise removal, e.g. prebaking
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/26—Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
- G03F7/40—Treatment after imagewise removal, e.g. baking
Description
請求項1:
(A)下記一般式(1)で示される繰り返し単位を有し、重量平均分子量が3,000〜500,000のエポキシ基含有高分子化合物 100質量部、
[式中、R1〜R4は同一でも異なっていてもよい炭素数1〜8の1価炭化水素基を示す。mは1〜100の整数であり、a、b、c及びdは全繰り返し単位数に占める各繰り返し単位の割合を示し、0又は正数であり、但し、c及びdが同時に0になることはなく、かつ0<(c+d)/(a+b+c+d)≦1.0である。X及びYはそれぞれ下記一般式(2)又は(3)で示される2価の有機基であるが、エポキシ基含有高分子化合物は式(3)で示される2価の有機基を少なくとも1個有する。
(式中、Zは、
(式中、Vは、
のいずれかより選ばれる2価の有機基であり、pは0又は1である。R7及びR8は、それぞれ炭素数1〜4のアルキル基又はアルコキシ基であり、相互に異なっていても同一でもよい。hは0、1及び2のいずれかである。)]
(B)下記式(8)で示される光酸発生剤 0.05〜20質量部、
を含有することを特徴とする光硬化性樹脂組成物。
請求項2:
(A)成分の式(1)において、Xが一般式(2)で示される2価の有機基であり、Yが一般式(3)で示される2価の有機基である請求項1記載の光硬化性樹脂組成物。
請求項3:
上記一般式(1)において、0.05≦c/(a+b+c+d)≦0.5であることを特徴とする請求項1又は2記載の光硬化性樹脂組成物。
請求項4:
上記一般式(1)において、0.05≦d/(a+b+c+d)≦0.5であることを特徴とする請求項1又は2記載の光硬化性樹脂組成物。
請求項5:
更に、(D)架橋剤を含有することを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項記載の光硬化性樹脂組成物。
請求項6:
(D)架橋剤が、1分子中に平均して2個以上のエポキシ基を有するエポキシ化合物の1種又は2種以上であることを特徴とする請求項5記載の光硬化性樹脂組成物。
請求項7:
更に、(E)塩基性化合物を含有することを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項記載の光硬化性樹脂組成物。
請求項8:
請求項1〜7のいずれか1項記載の光硬化性樹脂組成物を支持フィルムに塗布・乾燥して得られる光硬化性ドライフィルム。
請求項9:
開口幅が10〜100μmであり、かつ深さが10〜120μmである溝及び/又は孔を有する基板に請求項1〜7のいずれか1項記載の光硬化性樹脂組成物又は請求項8記載の光硬化性ドライフィルムの硬化物層が積層されてなる積層体。
請求項10:
(i)請求項1〜7のいずれか1項記載の光硬化性樹脂組成物を基板上に塗布後、必要により加熱することにより、又は請求項8記載の光硬化性ドライフィルムを基板に密着させた後、必要により加熱することにより、上記基板上に光硬化性樹脂層を形成する工程、
(ii)フォトマスクを介して露光する工程、
(iii)露光後の加熱処理を行った後、現像液にて現像して非露光部を溶解除去する工程
を含むことを特徴とするパターン形成方法。
請求項11:
更に、(iv)現像によりパターン形成された皮膜を100〜250℃の温度で後硬化する工程を含むことを特徴とする請求項10記載のパターン形成方法。
請求項12:
基板が、開口幅が10〜100μmであり、かつ深さが10〜120μmである溝及び/又は孔を有するものである請求項10又は11記載のパターン形成方法。
請求項13:
請求項10又は11記載のパターン形成方法により得られた硬化皮膜からなる電気・電子部品保護用皮膜。
請求項14:
請求項10又は11記載のパターン形成方法により得られた硬化皮膜からなる基板接合用皮膜。
本発明の光硬化性樹脂組成物は、光架橋反応及び熱架橋反応において副反応ガスの発生がないため、基板貼り合わせ用途においては貼り合わせ欠陥を誘起しない。また、本発明の光硬化性樹脂組成物は、露光波長領域において高い透明性を有するため、基板上の光硬化性樹脂層が厚くなった場合においても、樹脂層自身の光吸収が少なく、高感度でのパターン形成が可能である。
本発明の光硬化性樹脂組成物又は光硬化性ドライフィルムは、光によるパターン形成後に250℃以下の低温の加熱処理を行うことにより、電子部品や半導体素子、回路基板に使用される基板に対する密着性、機械的特性及び電気絶縁性に優れ、その絶縁保護膜としての信頼性が高く、さらに保護膜のクラック発生を防止可能であるため、回路基板、半導体素子、表示素子等の各種電気・電子部品保護用皮膜の形成に好適に用いられる。また、基板接合材料としても優れた皮膜を容易に形成できる。特に、この皮膜は、その耐熱性、絶縁性及び可とう性から、再配線用を含む半導体素子用絶縁膜、多層プリント基板用絶縁膜、シリコン基板貫通配線(TSV)の貫通電極用絶縁膜、カバーレイフィルムとして使用することができ、かつ接着性を有することから基板貼り合わせ用途等に使用することができるものである。
[(A)エポキシ基含有高分子化合物]
(A)成分は、下記一般式(1)で示される繰り返し単位を有し、重量平均分子量が3,000〜500,000のエポキシ基含有高分子化合物である。
(式中、Zは、
のいずれかより選ばれる2価の有機基であり、nは0又は1である。また、R5及びR6は、それぞれ炭素数1〜4のアルキル基又はアルコキシ基であり、相互に異なっていても同一でもよい。kは各々独立に0、1及び2のいずれかである。)
(式中、Vは、
のいずれかより選ばれる2価の有機基であり、pは0又は1である。また、R7及びR8は、それぞれ炭素数1〜4のアルキル基又はアルコキシ基であり、相互に異なっていても同一でもよい。hは各々独立に0、1及び2のいずれかである。)
R7及びR8の具体例としては、R5及びR6と同様なものが挙げられる。
及び/又は下記一般式(5)のジヒドロオルガノシロキサン
と、下記一般式(6)で示されるジアリル基を有する特定のエポキシ基含有化合物、
(式中、V、R7、R8、p、hは、上記と同一である。)
更に、下記一般式(7)で示されるジアリル基を有する特定のフェノール化合物
(式中、Z、R5、R6、n、kは、上記と同一である。)
とを、触媒の存在下に所謂「ハイドロシリレーション」重合反応を行うことにより、製造することができる。
上記重合条件として、触媒が失活せず、かつ短時間で重合の完結が可能という観点から、重合温度は、例えば40〜150℃、特に60〜120℃が好ましい。
重合時間は、重合物の種類及び量にもよるが、重合系中に湿気の介入を防ぐため、およそ0.5〜100時間、特に0.5〜30時間で終了するのが好ましい。このようにして重合反応を終了後、溶剤を使用した場合はこれを留去することにより、本発明の式(1)で示されるエポキシ基含有高分子化合物を得ることができる。
本発明の光硬化性樹脂組成物は、(B)光酸発生剤を含有する。光酸発生剤は、下記式(8)で示される化合物であり、特に190〜500nmの波長の光によって分解して酸を発生し、硬化触媒となるものである。
本発明の光硬化性樹脂組成物は、(C)溶剤を含有する。上述したエポキシ基含有高分子化合物、光酸発生剤、及び後述する架橋剤、塩基性化合物、その他各種添加剤が溶解可能な溶剤を選択し、配合するが、有機溶剤がこれら成分の溶解性に優れている。
更に、本発明の光硬化性樹脂組成物は、(D)架橋剤を含有することが好ましい。(D)架橋剤としては特に限定されないが、1分子中に平均して2個以上のエポキシ基を有するエポキシ化合物を含有することができる。上記架橋剤は、(A)成分の式(2)におけるフェノール基、あるいはR5及び/又はR6のアルコキシ基と縮合反応を起こし、パターンの形成を容易になし得るための成分であると共に、硬化物の強度を更に上げる成分として有効である。上記架橋剤の重量平均分子量は、光硬化性と耐熱性の観点から、150〜10,000が好ましく、200〜3,000が特に好ましい。
更に、本発明の光硬化性樹脂組成物は、(E)塩基性化合物を含有することができる。塩基性化合物としては、光酸発生剤より発生した酸が光硬化性樹脂層内を拡散する際の拡散速度を抑制することができる化合物が適している。そして、上記塩基性化合物の配合により、解像度が向上し、露光後の感度変化を抑制し、基板依存性又は環境依存性を少なくし、露光余裕度やパターン形状を向上させることができる。
N(α)q(β)3-q (9)
上記一般式(9)中、qは1、2又は3である。側鎖αは同一でも異なっていてもよく、下記一般式(10)〜(12)で表されるいずれかの置換基である。側鎖βは同一又は異種の、水素原子又は直鎖状、分岐状若しくは環状の炭素数1〜20のアルキル基を示し、エーテル結合又はヒドロキシル基を含んでもよい。また、α同士が結合して環を形成してもよい。
トリス[2−(メトキシメトキシ)エチル]アミン、トリス[2−(2−メトキシエトキシ)エチル]アミン、トリス[2−(2−メトキシエトキシメトキシ)エチル]アミン、トリス[2−(1−メトキシエトキシ)エチル]アミン、トリス[2−(1−エトキシエトキシ)エチル]アミン、トリス[2−(1−エトキシプロポキシ)エチル]アミン、トリス[2−{2−(2−ヒドロキシエトキシ)エトキシ}エチル]アミン、4,7,13,16,21,24−ヘキサオキサ−1,10−ジアザビシクロ[8.8.8]ヘキサコサン、4,7,13,18−テトラオキサ−1,10−ジアザビシクロ[8.5.5]エイコサン、1,4,10,13−テトラオキサ−7,16−ジアザビシクロオクタデカン、1−アザ−12−クラウン−4、1−アザ−15−クラウン−5、1−アザ−18−クラウン−6、トリス(2−ホルミルオキシエチル)アミン、トリス(2−アセトキシエチル)アミン、トリス(2−プロピオニルオキシエチル)アミン、トリス(2−ブチリルオキシエチル)アミン、トリス(2−イソブチリルオキシエチル)アミン、トリス(2−バレリルオキシエチル)アミン、トリス(2−ピバロイルオキシエチル)アミン、N,N−ビス(2−アセトキシエチル)2−(アセトキシアセトキシ)エチルアミン、トリス(2−メトキシカルボニルオキシエチル)アミン、トリス(2−tert−ブトキシカルボニルオキシエチル)アミン、トリス[2−(2−オキソプロポキシ)エチル]アミン、トリス[2−(メトキシカルボニルメチル)オキシエチル]アミン、トリス[2−(tert−ブトキシカルボニルメチルオキシ)エチル]アミン、トリス[2−(シクロヘキシルオキシカルボニルメチルオキシ)エチル]アミン、トリス(2−メトキシカルボニルエチル)アミン、トリス(2−エトキシカルボニルエチル)アミン、N,N−ビス(2−ヒドロキシエチル)2−(メトキシカルボニル)エチルアミン、N,N−ビス(2−アセトキシエチル)2−(メトキシカルボニル)エチルアミン、N,N−ビス(2−ヒドロキシエチル)2−(エトキシカルボニル)エチルアミン、N,N−ビス(2−アセトキシエチル)2−(エトキシカルボニル)エチルアミン、N,N−ビス(2−ヒドロキシエチル)2−(2−メトキシエトキシカルボニル)エチルアミン、N,N−ビス(2−アセトキシエチル)2−(2−メトキシエトキシカルボニル)エチルアミン、N,N−ビス(2−ヒドロキシエチル)2−(2−ヒドロキシエトキシカルボニル)エチルアミン、N,N−ビス(2−アセトキシエチル)2−(2−アセトキシエトキシカルボニル)エチルアミン、N,N−ビス(2−ヒドロキシエチル)2−[(メトキシカルボニル)メトキシカルボニル]エチルアミン、N,N−ビス(2−アセトキシエチル)2−[(メトキシカルボニル)メトキシカルボニル]エチルアミン、N,N−ビス(2−ヒドロキシエチル)2−(2−オキソプロポキシカルボニル)エチルアミン、N,N−ビス(2−アセトキシエチル)2−(2−オキソプロポキシカルボニル)エチルアミン、N,N−ビス(2−ヒドロキシエチル)2−(テトラヒドロフルフリルオキシカルボニル)エチルアミン、N,N−ビス(2−アセトキシエチル)2−(テトラヒドロフルフリルオキシカルボニル)エチルアミン、N,N−ビス(2−ヒドロキシエチル)2−[(2−オキソテトラヒドロフラン−3−イル)オキシカルボニル]エチルアミン、N,N−ビス(2−アセトキシエチル)2−[(2−オキソテトラヒドロフラン−3−イル)オキシカルボニル]エチルアミン、N,N−ビス(2−ヒドロキシエチル)2−(4−ヒドロキシブトキシカルボニル)エチルアミン、N,N−ビス(2−ホルミルオキシエチル)2−(4−ホルミルオキシブトキシカルボニル)エチルアミン、N,N−ビス(2−ホルミルオキシエチル)2−(2−ホルミルオキシエトキシカルボニル)エチルアミン、N,N−ビス(2−メトキシエチル)2−(メトキシカルボニル)エチルアミン、N−(2−ヒドロキシエチル)ビス[2−(メトキシカルボニル)エチル]アミン、N−(2−アセトキシエチル)ビス[2−(メトキシカルボニル)エチル]アミン、N−(2−ヒドロキシエチル)ビス[2−(エトキシカルボニル)エチル]アミン、N−(2−アセトキシエチル)ビス[2−(エトキシカルボニル)エチル]アミン、N−(3−ヒドロキシ−1−プロピル)ビス[2−(メトキシカルボニル)エチル]アミン、N−(3−アセトキシ−1−プロピル)ビス[2−(メトキシカルボニル)エチル]アミン、N−(2−メトキシエチル)ビス[2−(メトキシカルボニル)エチル]アミン、N−ブチルビス[2−(メトキシカルボニル)エチル]アミン、N−ブチルビス[2−(2−メトキシエトキシカルボニル)エチル]アミン、N−メチルビス(2−アセトキシエチル)アミン、N−エチルビス(2−アセトキシエチル)アミン、N−メチルビス(2−ピバロイルオキシエチル)アミン、N−エチルビス[2−(メトキシカルボニルオキシ)エチル]アミン、N−エチルビス[2−(tert−ブトキシカルボニルオキシ)エチル]アミン、トリス(メトキシカルボニルメチル)アミン、トリス(エトキシカルボニルメチル)アミン、N−ブチルビス(メトキシカルボニルメチル)アミン、N−ヘキシルビス(メトキシカルボニルメチル)アミン、β−(ジエチルアミノ)−δ−バレロラクトンを例示できるが、これらに制限されない。
なお、上記塩基性化合物は、1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができ、その配合量は、感度の観点から、(A)成分のエポキシ基含有高分子化合物100質量部に対して0〜3質量部が好ましく、0.01〜1質量部が特に好ましい。
本発明の光硬化性樹脂組成物には、上述した各成分以外に、更に添加剤を配合してもよい。添加剤としては、例えば、塗布性を向上させるために慣用されている界面活性剤を添加することができる。
これらは、市販されているものを用いることができ、例えば、フロラード「FC−430」(住友スリーエム(株)製)、サーフロン「S−141」及び「S−145」(いずれも旭硝子(株)製)、ユニダイン「DS−401」、「DS−4031」及び「DS−451」(いずれもダイキン工業(株)製)、メガファック「F−8151」(大日本インキ工業(株)製)、「X−70−093」(信越化学工業(株)製)等が挙げられる。これらの中でも好ましくは、フロラード「FC−430」(住友スリーエム(株)製)及び「X−70−093」(信越化学工業(株)製)である。
次に、上記光硬化性樹脂組成物を用いた本発明のパターン形成方法について説明する。
本発明のパターン形成方法は、下記の工程を含むパターン形成方法である。
(i)光硬化性樹脂組成物を基板上に塗布後、必要により加熱することにより、光硬化性樹脂層を形成する工程、
(ii)フォトマスクを介して露光する工程、
(iii)露光後の加熱処理を行った後、現像液にて現像して非露光部を溶解除去する工程、
更に、
(iv)現像によりパターン形成された皮膜を加熱処理により後硬化する工程。
これらの工程を経て、最終目的の電気・電子部品保護用皮膜を得ることができる。
本発明の光硬化性樹脂組成物によって得られる皮膜の膜厚は、通常1〜200μm、好ましくは5〜50μmである。
本発明の光硬化性ドライフィルムは、上記方法により調製した光硬化性樹脂組成物を支持フィルムに塗布・乾燥して得られる光硬化性樹脂層が、上記支持フィルム及び保護フィルムで挟まれた構造を有する。
上記光硬化性ドライフィルムの製造装置は、一般的に粘着剤製品を製造するためのフィルムコーターが使用できる。上記フィルムコーターとしては、例えば、コンマコーター、コンマリバースコーター、マルチコーター、ダイコーター、リップコーター、リップリバースコーター、ダイレクトグラビアコーター、オフセットグラビアコーター、3本ボトムリバースコーター、4本ボトムリバースコーター等が挙げられる。
光硬化性ドライフィルムによるパターン形成においては、まず、光硬化性ドライフィルムから保護フィルムを剥がした後、フィルム貼り付け装置を用いて基板に密着させる。上記基板としては、例えばシリコンウェハ、貫通電極用シリコンウェハ、裏面研磨により薄膜化したシリコンウェハ、プラスチックやセラミック基板、イオンスパッタリング法やめっき法などにより基板全面又は基板の一部にNi、Auなどの金属を有する基板等が挙げられる。開口幅が10〜100μmかつ深さが10〜120μmである溝や孔を有する基板が使用されることもある。上記フィルム貼り付け装置としては、真空ラミネーターが好ましい。上記光硬化性ドライフィルムの保護フィルムを剥離し、露出した上記光硬化性樹脂層を所定真空度の真空チャンバー内において、所定の圧力の貼り付けロールを用いて、所定の温度のテーブル上で上記基板に密着させる。なお、上記温度としては60〜120℃が好ましく、上記圧力としては0〜5.0MPaが好ましく、上記真空度としては50〜500Paが好ましい。
撹拌機、温度計、窒素置換装置及び還流冷却器を具備した5Lフラスコ内に化合物(M−1)396.9g、化合物(M−2)45.0gをトルエン1,875gに溶解後、化合物(M−3)949.6g、化合物(M−4)6.1gを加え、60℃に加温した。その後、カーボン担持白金触媒(5質量%)2.2gを投入し、内部反応温度が65〜67℃に昇温するのを確認後、更に、3時間、90℃まで加温し、再び60℃まで冷却して、カーボン担持白金触媒(5質量%)2.2gを投入し、化合物(M−5)107.3gを1時間かけてフラスコ内に滴下した。このときフラスコ内温度は、78℃まで上昇した。滴下終了後、更に、90℃で3時間熟成した後、室温まで冷却し、メチルイソブチルケトン1,700gを加え、本反応溶液をフィルターにて加圧濾過することで白金触媒を取り除いた。更に、得られた高分子化合物溶液に純水760gを加えて撹拌、静置分液を行い、下層の水層を除去した。この分液水洗操作を6回繰り返し、高分子化合物溶液中の微量酸成分を取り除いた。この高分子化合物溶液中の溶剤を減圧留去すると共に、シクロペンタノンを950g添加して、固形分濃度60質量%のシクロペンタノンを主溶剤とする高分子化合物溶液(A−1)を得た。
この高分子化合物溶液中の高分子化合物の分子量をGPCにより測定すると、ポリスチレン換算で重量平均分子量62,000であり、式(1)におけるa、b、c、dは原料(M−1)乃至(M−5)の使用量からモル計算して求めた(以下、同じ)。具体的には、aは0.594、bは0.351、cは0.061、dは0.039であった。また、X,Yは下記の通りであり、m=1〜40であった。
撹拌機、温度計、窒素置換装置及び還流冷却器を具備した5Lフラスコ内に化合物(M−1)352.8g、化合物(M−2)90.0gをトルエン1,875gに溶解後、化合物(M−3)949.6g、化合物(M−4)6.1gを加え、60℃に加温した。その後、カーボン担持白金触媒(5質量%)2.2gを投入し、内部反応温度が65〜67℃に昇温するのを確認後、更に、3時間,90℃まで加温し、再び60℃まで冷却して、カーボン担持白金触媒(5質量%)2.2gを投入し、化合物(M−5)107.3gを1時間かけてフラスコ内に滴下した。このときフラスコ内温度は、79℃まで上昇した。滴下終了後、更に、90℃で3時間熟成した後、室温まで冷却し、メチルイソブチルケトン1,700gを加え、本反応溶液をフィルターにて加圧濾過することで白金触媒を取り除いた。更に、得られた高分子化合物溶液に純水760gを加えて撹拌、静置分液を行い、下層の水層を除去した。この分液水洗操作を6回繰り返し、高分子化合物溶液中の微量酸成分を取り除いた。この高分子化合物溶液中の溶剤を減圧留去すると共に、シクロペンタノンを980g添加して、固形分濃度60質量%のシクロペンタノンを主溶剤とする高分子化合物溶液(A−2)を得た。
この高分子化合物溶液中の高分子化合物の分子量をGPCにより測定すると、ポリスチレン換算で重量平均分子量64,000であり、式(1)におけるaは0.480、bは0.320、cは0.120、dは0.080であった。また、X,Y,mは合成例1と同様であった。
撹拌機、温度計、窒素置換装置及び還流冷却器を具備した5Lフラスコ内に化合物(M−1)308.7g、化合物(M−2)135.0gをトルエン1,875gに溶解後、化合物(M−3)949.6g、化合物(M−4)6.1gを加え、60℃に加温した。その後、カーボン担持白金触媒(5質量%)2.2gを投入し、内部反応温度が65〜67℃に昇温するのを確認後、更に、3時間,90℃まで加温し、再び60℃まで冷却して、カーボン担持白金触媒(5質量%)2.2gを投入し、化合物(M−5)107.3gを1時間かけてフラスコ内に滴下した。このときフラスコ内温度は、80℃まで上昇した。滴下終了後、更に、90℃で3時間熟成した後、室温まで冷却し、メチルイソブチルケトン1,700gを加え、本反応溶液をフィルターにて加圧濾過することで白金触媒を取り除いた。更に、得られた高分子化合物溶液に純水760gを加えて撹拌、静置分液を行い、下層の水層を除去した。この分液水洗操作を6回繰り返し、高分子化合物溶液中の微量酸成分を取り除いた。この高分子化合物溶液中の溶剤を減圧留去すると共に、シクロペンタノンを900g添加して、固形分濃度60質量%のシクロペンタノンを主溶剤とする高分子化合物溶液(A−3)を得た。
この高分子化合物溶液中の高分子化合物の分子量をGPCにより測定すると、ポリスチレン換算で重量平均分子量68,000であり、式(1)におけるaは0.420、bは0.280、cは0.180、dは0.120であった。また、X,Y,mは合成例1と同様であった。
撹拌機、温度計、窒素置換装置及び還流冷却器を具備した5Lフラスコ内に化合物(M−1)220.5g、化合物(M−2)225.0gをトルエン1,875gに溶解後、化合物(M−3)949.6g、化合物(M−4)6.1gを加え、60℃に加温した。その後、カーボン担持白金触媒(5質量%)2.2gを投入し、内部反応温度が65〜67℃に昇温するのを確認後、更に、3時間,90℃まで加温し、再び60℃まで冷却して、カーボン担持白金触媒(5質量%)2.2gを投入し、化合物(M−5)107.3gを1時間かけてフラスコ内に滴下した。このときフラスコ内温度は、80℃まで上昇した。滴下終了後、更に、90℃で3時間熟成した後、室温まで冷却し、メチルイソブチルケトン1,700gを加え、本反応溶液をフィルターにて加圧濾過することで白金触媒を取り除いた。更に、得られた高分子化合物溶液に純水760gを加えて撹拌、静置分液を行い、下層の水層を除去した。この分液水洗操作を6回繰り返し、高分子化合物溶液中の微量酸成分を取り除いた。この高分子化合物溶液中の溶剤を減圧留去すると共に、シクロペンタノンを950g添加して、固形分濃度60質量%のシクロペンタノンを主溶剤とする高分子化合物溶液(A−4)を得た。
この高分子化合物溶液中の高分子化合物の分子量をGPCにより測定すると、ポリスチレン換算で重量平均分子量75,000であり、式(1)におけるaは0.294、bは0.206、cは0.306、dは0.194であった。また、X,Y,mは合成例1と同様であった。
撹拌機、温度計、窒素置換装置及び還流冷却器を具備した5Lフラスコ内に化合物(M−1)441.0gをトルエン1,875gに溶解後、化合物(M−3)949.6g、化合物(M−4)6.1gを加え、60℃に加温した。その後、カーボン担持白金触媒(5質量%)2.2gを投入し、内部反応温度が65〜67℃に昇温するのを確認後、更に、3時間,90℃まで加温し、再び60℃まで冷却して、カーボン担持白金触媒(5質量%)2.2gを投入し、化合物(M−5)107.3gを1時間かけてフラスコ内に滴下した。このときフラスコ内温度は、78℃まで上昇した。滴下終了後、更に、90℃で5時間熟成した後、室温まで冷却し、メチルイソブチルケトン1,700gを加え、本反応溶液をフィルターにて加圧濾過することで白金触媒を取り除いた。更に、得られた高分子化合物溶液に純水760gを加えて撹拌、静置分液を行い、下層の水層を除去した。この分液水洗操作を6回繰り返し、高分子化合物溶液中の微量酸成分を取り除いた。この高分子化合物溶液中の溶剤を減圧留去すると共に、シクロペンタノンを950g添加して、固形分濃度60質量%のシクロペンタノンを主溶剤とする高分子化合物溶液(B−1)を得た。
この高分子化合物溶液中の高分子化合物の分子量をGPCにより測定すると、ポリスチレン換算で重量平均分子量51,000であり、式(1)におけるaは0.590、bは0.410、cは0、dは0であった。
光硬化性樹脂組成物の調製
表1記載の配合量に従って、エポキシ基含有高分子化合物、光酸発生剤、架橋剤及び溶剤を配合し、その後常温にて撹拌、混合、溶解した後、テフロン(登録商標)製1.0μmフィルターで精密濾過を行い、実施例1〜8及び比較例1〜5の光硬化性樹脂組成物を得た。
H−1:アルキル化メラミン樹脂((株)三和ケミカル製)
を使用した。
光硬化性ドライフィルムの作製
フィルムコーターとしてダイコーター、支持フィルムとしてポリエチレンテレフタレートフィルム(厚さ38μm)を用いて、実施例1〜8及び比較例1〜5の光硬化性樹脂組成物をそれぞれ上記支持フィルム上に塗布した。次いで、100℃に設定された熱風循環オーブン(長さ4m)を5分間で通過させることにより、支持フィルム上に光硬化性樹脂層を形成した。光硬化性樹脂層の膜厚は100μmとした。上記光硬化性樹脂層の上から、保護フィルムとしてポリエチレンフィルム(厚さ50μm)を用いて、上記保護フィルムとラミネートロールを圧力1MPaにて貼り合わせ、光硬化性ドライフィルムを作製した。
次いで、上記光硬化性樹脂組成物及び光硬化性ドライフィルムの各特性について、下記方法に従って評価を実施し、その結果について表2,3に記載した。
無処理の6インチシリコンウェハに、スピンコーターを使用して、表2記載の膜厚で実施例1〜8及び比較例1〜5の光硬化性樹脂組成物を塗布した。面内膜厚均一性向上のため、ウェハ上にシクロペンタノンを滴下し、ウェハ全面に広げてから各組成物(レジスト)を滴下した(プリウェット法)。溶剤を除去するため、ホットプレートにより130℃で3分間プリベークを行い、光硬化性樹脂層を形成した。
次いで、等間隔のラインとスペースを有する線幅10〜200μmの石英製マスクを介して、表2記載の露光量(波長365nmにおける値)で光を照射した。なお、露光機はコンタクトアライナ型露光装置MA−8(ズース・マイクロテック社製)を使用した。光照射後、ホットプレートにより130℃で5分間PEBを行った後に冷却した。その後、上記塗布基板をプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)を用いて10回50秒パドル、更にイソプロピルアルコール(IPA)を用いて1分間のスプレー現像を行った。
実施例9〜16及び比較例6〜10の光硬化性ドライフィルムについて、保護フィルムを剥離し、真空ラミネーターTEAM−100RF(タカトリ社製)を用いて、真空チャンバー内の真空度80Paに設定し、支持フィルム上の光硬化性樹脂層を開口幅10〜100μmかつ深さが10〜120μmである孔を有する基板(ウェハ)に密着させた。温度条件は110℃とした。常圧に戻した後、上記基板を真空ラミネーターから取り出し、支持フィルムを剥離した。基板上に得られた光硬化樹脂層に対して光照射し、続けてホットプレートによる130℃で5分間のPEBを行った後、冷却した。更にオーブンを用いて180℃で2時間、窒素パージしながら後硬化した。なお、光照射から後硬化までの工程はウェハ断面形状観察を容易にするためである。
その後、光学顕微鏡又は走査型電子顕微鏡(SEM)観察により孔への光硬化性ドライフィルムの埋め込み欠陥を確認した。
光硬化性樹脂組成物又は光硬化性ドライフィルムからなる硬化皮膜の絶縁破壊強さを評価するため、実施例1〜8及び比較例1〜5の各光硬化性樹脂組成物を13cm×15cm、厚さ0.7mmの鉄板上にバーコーターにて塗布し、180℃のオーブンで2時間加熱して、硬化皮膜を得た。光硬化性樹脂組成物は、硬化後の膜厚が0.2μmとなるよう塗布した。
実施例9〜16及び比較例6〜10の光硬化性ドライフィルムは、常圧にて複数回上記鉄板に貼り付けし、180℃のオーブンで2時間加熱して、膜厚0.2μmの硬化皮膜を得た。この硬化皮膜を利用して、絶縁破壊試験機TM−5031AM(多摩電測(株)製)により、それぞれの光硬化性樹脂組成物の硬化皮膜の絶縁破壊強さを測定した。
光硬化性樹脂組成物及び光硬化性ドライフィルムからなる硬化皮膜について、基板間接着結合性能を評価するため、実施例1〜8及び比較例1〜5の光硬化性樹脂組成物と実施例9〜16及び比較例6〜10の光硬化性ドライフィルムを、それぞれ無処理の8インチシリコンウェハにスピンコーターによる塗布又は真空ラミネーターによる貼り付けを行った。膜厚は表2記載の膜厚である。プリベークを行い、光硬化性樹脂層を形成した。
次いで、石英マスクを介さずに、コンタクトアライナ型露光装置MA−8(ズース・マイクロテック社製)にて露光を行った。光照射後、ホットプレートにより130℃,5分間のPEBを行ったシリコンウェハを、無処理の8インチ石英ガラス又はテンパックスガラスと貼り合わせ、ホットプレートにて160℃,5分間の仮接合加熱を行った。その後オーブンにて180℃,2時間の後硬化を行い、基板間接着層を形成した。
接合後のウェハを再度、窒素パージしながらオーブンにより220℃で3時間加熱し、誘起された貼り合わせ欠陥の有無を確認した。
光硬化性樹脂組成物又は光硬化性ドライフィルムからなる硬化性皮膜の可とう性を評価するため、実施例1〜8及び比較例1〜5の各光硬化性樹脂組成物と実施例9〜16及び比較例6〜10の光硬化性ドライフィルムを、それぞれ無処理の8インチシリコンウェハにスピンコーターによる塗布又は真空ラミネーターによる貼り付けを行った。膜厚は表2記載の膜厚である。プリベークを行い、光硬化性樹脂層を形成した。
次いで、石英マスクを介さずに、コンタクトアライナ型露光装置MA−8(ズース・マイクロテック社製)にて露光を行った。光照射後、ホットプレートにより130℃で5分間PEBを行った。更に上記方法により得られたウェハ上の光硬化性樹脂層を、オーブンを用いて180℃で2時間、窒素パージしながら後硬化した。
光硬化性樹脂層形成前と後硬化後のウェハの反りをFLX−2320−S(東朋テクノロジー社製)にて測定し、反り変化量を算出した。
実施例3の光硬化性樹脂組成物に、更にトリエタノールアミン0.02部を加えて、実施例9の光硬化性樹脂組成物を得た。
この光硬化性樹脂組成物について実施例3と同様に評価したところ、現像後のフィルム膜厚は100μmで、200μmでのパターン解像性露光量は6,000mJ/cm2であった。また、絶縁破壊強さ、接着性欠陥誘起、反り変化量は、実施例3と同様、特に問題はなかった。
Claims (14)
- (A)下記一般式(1)で示される繰り返し単位を有し、重量平均分子量が3,000〜500,000のエポキシ基含有高分子化合物 100質量部、
[式中、R1〜R4は同一でも異なっていてもよい炭素数1〜8の1価炭化水素基を示す。mは1〜100の整数であり、a、b、c及びdは全繰り返し単位数に占める各繰り返し単位の割合を示し、0又は正数であり、但し、c及びdが同時に0になることはなく、かつ0<(c+d)/(a+b+c+d)≦1.0である。X及びYはそれぞれ下記一般式(2)又は(3)で示される2価の有機基であるが、エポキシ基含有高分子化合物は式(3)で示される2価の有機基を少なくとも1個有する。
(式中、Zは、
(式中、Vは、
のいずれかより選ばれる2価の有機基であり、pは0又は1である。R7及びR8は、それぞれ炭素数1〜4のアルキル基又はアルコキシ基であり、相互に異なっていても同一でもよい。hは0、1及び2のいずれかである。)]
(B)下記式(8)で示される光酸発生剤 0.05〜20質量部、
を含有することを特徴とする光硬化性樹脂組成物。 - (A)成分の式(1)において、Xが一般式(2)で示される2価の有機基であり、Yが一般式(3)で示される2価の有機基である請求項1記載の光硬化性樹脂組成物。
- 上記一般式(1)において、0.05≦c/(a+b+c+d)≦0.5であることを特徴とする請求項1又は2記載の光硬化性樹脂組成物。
- 上記一般式(1)において、0.05≦d/(a+b+c+d)≦0.5であることを特徴とする請求項1又は2記載の光硬化性樹脂組成物。
- 更に、(D)架橋剤を含有することを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項記載の光硬化性樹脂組成物。
- (D)架橋剤が、1分子中に平均して2個以上のエポキシ基を有するエポキシ化合物の1種又は2種以上であることを特徴とする請求項5記載の光硬化性樹脂組成物。
- 更に、(E)塩基性化合物を含有することを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項記載の光硬化性樹脂組成物。
- 請求項1〜7のいずれか1項記載の光硬化性樹脂組成物を支持フィルムに塗布・乾燥して得られる光硬化性ドライフィルム。
- 開口幅が10〜100μmであり、かつ深さが10〜120μmである溝及び/又は孔を有する基板に請求項1〜7のいずれか1項記載の光硬化性樹脂組成物又は請求項8記載の光硬化性ドライフィルムの硬化物層が積層されてなる積層体。
- (i)請求項1〜7のいずれか1項記載の光硬化性樹脂組成物を基板上に塗布後、必要により加熱することにより、又は請求項8記載の光硬化性ドライフィルムを基板に密着させた後、必要により加熱することにより、上記基板上に光硬化性樹脂層を形成する工程、
(ii)フォトマスクを介して露光する工程、
(iii)露光後の加熱処理を行った後、現像液にて現像して非露光部を溶解除去する工程
を含むことを特徴とするパターン形成方法。 - 更に、(iv)現像によりパターン形成された皮膜を100〜250℃の温度で後硬化する工程を含むことを特徴とする請求項10記載のパターン形成方法。
- 基板が、開口幅が10〜100μmであり、かつ深さが10〜120μmである溝及び/又は孔を有するものである請求項10又は11記載のパターン形成方法。
- 請求項10又は11記載のパターン形成方法により得られた硬化皮膜からなる電気・電子部品保護用皮膜。
- 請求項10又は11記載のパターン形成方法により得られた硬化皮膜からなる基板接合用皮膜。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011223048A JP5691987B2 (ja) | 2010-10-13 | 2011-10-07 | 光硬化性樹脂組成物、そのドライフィルム、パターン形成方法及び電気・電子部品保護用皮膜 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010230427 | 2010-10-13 | ||
JP2010230427 | 2010-10-13 | ||
JP2011223048A JP5691987B2 (ja) | 2010-10-13 | 2011-10-07 | 光硬化性樹脂組成物、そのドライフィルム、パターン形成方法及び電気・電子部品保護用皮膜 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012103688A JP2012103688A (ja) | 2012-05-31 |
JP5691987B2 true JP5691987B2 (ja) | 2015-04-01 |
Family
ID=45373675
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011223048A Active JP5691987B2 (ja) | 2010-10-13 | 2011-10-07 | 光硬化性樹脂組成物、そのドライフィルム、パターン形成方法及び電気・電子部品保護用皮膜 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8697333B2 (ja) |
EP (1) | EP2442182B1 (ja) |
JP (1) | JP5691987B2 (ja) |
KR (1) | KR101575707B1 (ja) |
TW (1) | TWI503372B (ja) |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5413340B2 (ja) * | 2009-09-30 | 2014-02-12 | 信越化学工業株式会社 | エポキシ基含有高分子化合物、これを用いた光硬化性樹脂組成物、パターン形成方法及び電気・電子部品保護用皮膜 |
JP5373736B2 (ja) * | 2010-10-28 | 2013-12-18 | 信越化学工業株式会社 | 接着剤組成物及び接着剤シート、半導体装置保護用材料、及び半導体装置 |
JP2013155363A (ja) * | 2012-02-01 | 2013-08-15 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | 液状エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
US20130263921A1 (en) * | 2012-04-10 | 2013-10-10 | Lauren Plavisch | Electronic Device and Corrosion Resistant Electrode Stack Therein |
JP5975528B2 (ja) * | 2012-10-11 | 2016-08-23 | 信越化学工業株式会社 | ウエハ加工体、ウエハ加工用部材、ウエハ加工用仮接着材、及び薄型ウエハの製造方法 |
JP5920229B2 (ja) * | 2013-01-23 | 2016-05-18 | 信越化学工業株式会社 | 光硬化性樹脂組成物、光硬化性ドライフィルム、パターン形成方法、及び電気・電子部品保護用皮膜 |
JP5920232B2 (ja) * | 2013-02-01 | 2016-05-18 | 信越化学工業株式会社 | 光硬化性樹脂組成物、光硬化性ドライフィルム、パターン形成方法及び電気・電子部品保護用皮膜の製造方法 |
JP6613901B2 (ja) * | 2016-01-07 | 2019-12-04 | 信越化学工業株式会社 | エポキシ変性シリコーン樹脂及びその製造方法、硬化性組成物及び電子部品 |
JP6534948B2 (ja) * | 2016-02-26 | 2019-06-26 | 信越化学工業株式会社 | 半導体装置の製造方法、フリップチップ型半導体装置の製造方法、半導体装置及びフリップチップ型半導体装置 |
WO2017154921A1 (ja) * | 2016-03-10 | 2017-09-14 | 日産化学工業株式会社 | 炭素原子間の不飽和結合による光架橋基を有する化合物を含む段差基板被覆組成物 |
JP6874584B2 (ja) * | 2017-08-09 | 2021-05-19 | 信越化学工業株式会社 | 感光性樹脂組成物、感光性樹脂皮膜、感光性ドライフィルム、積層体、及びパターン形成方法 |
JP6866802B2 (ja) | 2017-08-09 | 2021-04-28 | 信越化学工業株式会社 | シリコーン骨格含有高分子化合物、感光性樹脂組成物、感光性樹脂皮膜、感光性ドライフィルム、積層体、及びパターン形成方法 |
JP6870657B2 (ja) * | 2018-05-17 | 2021-05-12 | 信越化学工業株式会社 | 感光性樹脂組成物、感光性ドライフィルム、及びパターン形成方法 |
US11548985B2 (en) | 2018-11-28 | 2023-01-10 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Siloxane polymer containing isocyanuric acid and polyether skeletons, photosensitive resin composition, pattern forming process, and fabrication of opto-semiconductor device |
JP7056541B2 (ja) | 2018-12-19 | 2022-04-19 | 信越化学工業株式会社 | 感光性樹脂組成物、感光性ドライフィルム及びパターン形成方法 |
JP7318542B2 (ja) * | 2020-01-20 | 2023-08-01 | 信越化学工業株式会社 | 感光性樹脂組成物、感光性ドライフィルム及びパターン形成方法 |
JP7371565B2 (ja) * | 2020-04-24 | 2023-10-31 | 信越化学工業株式会社 | 感光性樹脂組成物、感光性樹脂皮膜、感光性ドライフィルム及びパターン形成方法 |
JP7371566B2 (ja) * | 2020-04-24 | 2023-10-31 | 信越化学工業株式会社 | 感光性樹脂組成物、感光性樹脂皮膜、感光性ドライフィルム及びパターン形成方法 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3220972A (en) | 1962-07-02 | 1965-11-30 | Gen Electric | Organosilicon process using a chloroplatinic acid reaction product as the catalyst |
US3159601A (en) | 1962-07-02 | 1964-12-01 | Gen Electric | Platinum-olefin complex catalyzed addition of hydrogen- and alkenyl-substituted siloxanes |
US3159662A (en) | 1962-07-02 | 1964-12-01 | Gen Electric | Addition reaction |
US3775452A (en) | 1971-04-28 | 1973-11-27 | Gen Electric | Platinum complexes of unsaturated siloxanes and platinum containing organopolysiloxanes |
US20050260522A1 (en) | 2004-02-13 | 2005-11-24 | William Weber | Permanent resist composition, cured product thereof, and use thereof |
KR101389057B1 (ko) * | 2006-04-13 | 2014-05-13 | 시바 홀딩 인크 | 설포늄 염 개시제 |
JP4336999B2 (ja) * | 2007-01-31 | 2009-09-30 | 信越化学工業株式会社 | シルフェニレン骨格含有高分子化合物及び光硬化性樹脂組成物並びにパターン形成方法及び基板回路保護用皮膜 |
JP2009200315A (ja) | 2008-02-22 | 2009-09-03 | Hitachi Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JPWO2009151050A1 (ja) * | 2008-06-10 | 2011-11-17 | 日本化薬株式会社 | 中空パッケージ用感光性樹脂組成物、その硬化物及び該樹脂組成物を用いた積層体並びにマイクロデバイス |
JP5247396B2 (ja) * | 2008-07-02 | 2013-07-24 | 日本化薬株式会社 | Mems用感光性樹脂組成物及びその硬化物 |
US9005871B2 (en) | 2008-10-20 | 2015-04-14 | Basf Se | Sulfonium derivatives and the use therof as latent acids |
JP5413340B2 (ja) * | 2009-09-30 | 2014-02-12 | 信越化学工業株式会社 | エポキシ基含有高分子化合物、これを用いた光硬化性樹脂組成物、パターン形成方法及び電気・電子部品保護用皮膜 |
JP5459196B2 (ja) * | 2009-12-15 | 2014-04-02 | 信越化学工業株式会社 | 光硬化性ドライフィルム、その製造方法、パターン形成方法及び電気・電子部品保護用皮膜 |
-
2011
- 2011-10-07 JP JP2011223048A patent/JP5691987B2/ja active Active
- 2011-10-12 TW TW100136976A patent/TWI503372B/zh not_active IP Right Cessation
- 2011-10-12 US US13/271,858 patent/US8697333B2/en active Active
- 2011-10-12 KR KR1020110104105A patent/KR101575707B1/ko active IP Right Grant
- 2011-10-12 EP EP11184812.3A patent/EP2442182B1/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101575707B1 (ko) | 2015-12-08 |
US20120094222A1 (en) | 2012-04-19 |
JP2012103688A (ja) | 2012-05-31 |
US8697333B2 (en) | 2014-04-15 |
EP2442182A1 (en) | 2012-04-18 |
TW201241090A (en) | 2012-10-16 |
KR20120038379A (ko) | 2012-04-23 |
EP2442182B1 (en) | 2013-09-11 |
TWI503372B (zh) | 2015-10-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5691987B2 (ja) | 光硬化性樹脂組成物、そのドライフィルム、パターン形成方法及び電気・電子部品保護用皮膜 | |
JP5459196B2 (ja) | 光硬化性ドライフィルム、その製造方法、パターン形成方法及び電気・電子部品保護用皮膜 | |
JP5846110B2 (ja) | 化学増幅ネガ型レジスト組成物、光硬化性ドライフィルム、その製造方法、パターン形成方法、及び電気・電子部品保護用皮膜 | |
KR102262719B1 (ko) | 실리콘 골격 함유 고분자 화합물, 네가티브형 레지스트 재료, 광경화성 드라이 필름, 패턴 형성 방법 및 전기·전자 부품 보호용 피막 | |
JP5942859B2 (ja) | シリコーン骨格含有高分子化合物、樹脂組成物、光硬化性ドライフィルム | |
JP6616743B2 (ja) | シリコーン骨格含有高分子化合物、光硬化性樹脂組成物、光硬化性ドライフィルム、積層体、及びパターン形成方法 | |
KR102290698B1 (ko) | 광경화성 수지 조성물 및 이를 사용한 광경화성 드라이 필름 | |
US9012111B2 (en) | Photo-curable resin composition, photo-curable dry film, patterning process, protective film, and electric/electronic part | |
JP6352853B2 (ja) | シリコーン骨格含有高分子化合物及びその製造方法、化学増幅型ネガ型レジスト材料、光硬化性ドライフィルム及びその製造方法、パターン形成方法、積層体、及び基板 | |
JP6468137B2 (ja) | 化学増幅型ネガ型レジスト材料、光硬化性ドライフィルム及びその製造方法、パターン形成方法並びに電気・電子部品保護用皮膜 | |
KR102127477B1 (ko) | 실리콘 골격 함유 고분자 화합물, 화학증폭형 네가티브형 레지스트재료, 광경화성 드라이필름 및 그 제조방법, 패턴 형성방법, 적층체, 기판, 및 반도체장치 | |
JP2012188650A (ja) | 接着剤組成物及び接着性ドライフィルム | |
JP5754363B2 (ja) | 化学増幅ネガ型レジスト組成物、光硬化性ドライフィルム、その製造方法、パターン形成方法、及び電気・電子部品保護用皮膜 | |
JP2014122276A (ja) | アダマンタン骨格含有化合物、シリコーン骨格含有高分子化合物、ネガ型レジスト材料、光硬化性ドライフィルム、パターン形成方法及び電気・電子部品保護用皮膜 | |
JP5895833B2 (ja) | シリコーン骨格含有高分子化合物、ネガ型レジスト材料、光硬化性ドライフィルム、パターン形成方法及び電気・電子部品保護用皮膜 | |
JP5900318B2 (ja) | ジアリル基含有ヒドロキシフェニル誘導体、シリコーン骨格含有高分子化合物、ネガ型レジスト材料、光硬化性ドライフィルム、パターン形成方法及び電気・電子部品保護用皮膜 | |
JP5942936B2 (ja) | シリコーン骨格含有高分子化合物、化学増幅型ネガ型レジスト材料、光硬化性ドライフィルム及びパターン形成方法 | |
TW202116882A (zh) | 感光性樹脂組成物、感光性乾膜、積層體及圖型形成方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20131125 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140820 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140902 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141029 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150106 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150119 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5691987 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |