JP5689051B2 - イオンボンバードメント装置 - Google Patents
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Description
この装置は、チャンバ内に基材と開閉自在のシャッターを備えたアーク蒸発源とこのアーク蒸発源とは独立したアノードとを設けていて、チャンバ内にアルゴンガスなどの不活性ガスを導入し、前面をシャッターで覆ったアーク蒸発源とチャンバとの間で起こるアーク放電を利用してアルゴンイオンを発生させ、アノードと基材との間に電位をかけることでアルゴンイオンを負電位とされた基材表面に照射して基材表面をクリーニングしている。
特許文献1の装置では、アーク蒸発源の前面を覆うシャッターが高温になり、その輻射熱を受けて基材も高温となるため、低温での処理が必要とされる焼入れ材などの基材への適用が難しい。また、シャッターにアーク蒸発源からのドロップレットが付着するため、メンテナンスが頻繁に必要となるほか、シャッターで蒸発源を完全に覆えず、若干のドロップレットが基材に付着するという問題がある。
一方、特許文献2の装置では、真空チャンバ上部に別途設けた陰極室内へガスを注入して、陰極室内圧と真空チャンバ内圧との差(圧力勾配)を生じさせ、この圧力勾配を利用して、陰極室内のガスを小さな開口から真空チャンバ内へ勢いよく噴出させて垂直中央軸に沿ってプラズマを発生させている。
また、基材表面をムラなくクリーニングするために、装置の大型化が避けられず、陽極を複数配置するなどシステムが複雑になり、基材表面とプラズマとの距離(つまり、クリーニング効果)を一定に保つことが難しい。
本発明に係るイオンボンバードメント装置は、真空チャンバ内に配置された基材の表面を、前記真空チャンバ内で発生したガスイオンを照射することによってクリーニングする。このイオンボンバードメント装置において、前記真空チャンバの一の内側面に、フィラメントで構成した加熱式の熱電子放出電極が配置されており、前記真空チャンバの他の内側面に、前記熱電子放出電極からの熱電子を受けるアノードが配置されている。このイオンボンバードメント装置は、前記熱電子放出電極及び前記アノード間に電位差を与えてグロー放電を発生させる放電電源と、前記熱電子放出電極を加熱して熱電子を放出させる加熱電源と、前記基材に前記真空チャンバに対して負の電位を与えるバイアス電源とを有する。前記放電電源が真空チャンバから絶縁されている。前記放電電源、前記加熱電源及び前記バイアス電源により、前記基材の近傍に発生したガスイオンを前記基材の表面に照射可能とされ、前記バイアス電源がパルス電源とされていることを特徴とする。
さらに、前記パルス電源は、前記基材に20kHz以上のパルス電位を与えるように構成することもできる。さらに、前記パルス電源は、前記基材に200kHz以上のパルス電位を与えるように構成することもできる。
さらに、前記熱電子放出電極と前記アノードとの間に基材が配置されるように構成することもできる。
さらに、前記熱電子放出電極の電源をアーク蒸発源の電源で構成することもできる。
さらに、前記放電電源の正極側出力を前記アノードと前記基材とに選択的に接続可能とする切換回路を備えるように構成することもできる。
さらに、本発明に係るイオンボンバードメント装置の最も好ましい形態は、真空チャンバ内に配置された基材の表面を、前記真空チャンバ内で発生したガスイオンを照射することによってクリーニングするイオンボンバードメント装置において、前記真空チャンバの一の内側面に、フィラメントで構成した加熱式の熱電子放出電極が配置されており、前記真空チャンバの他の内側面に、前記熱電子放出電極からの熱電子を受けるアノードが配置されており、前記熱電子放出電極及び前記アノード間に電位差を与えてグロー放電を発生させる放電電源と、前記熱電子放出電極を加熱して熱電子を放出させる加熱電源と、前記基材に前記真空チャンバに対して負の電位を与えるバイアス電源とを有しており、前記放電電源、前記加熱電源及び前記バイアス電源により、前記基材の近傍に発生したガスイオンを前記基材の表面に照射可能とされ、前記バイアス電源が、真空チャンバ内のガス圧が低い状況下においてもプラズマ状態を維持可能とするパルス電位を前記基材に印加可能なパルス電源であり、前記アノードが複数のアーク蒸発源で構成されている。
[第1実施形態]
図1、図2には、本発明の第1実施形態に係るイオンボンバードメント装置1が示されている。
このイオンボンバードメント装置1は、断面八角形の真空チャンバ2内に設置された基材Wの表面に物理的蒸着法(PVD法)により皮膜を被覆する装置であって、真空チャンバ2内の底面の略中央には、処理物である複数の基材Wを載置した回転式の基材保持具(ワークテーブル)11が設けられている。真空チャンバ2は、その内部の一の側面に配置された加熱式の熱電子放出電極3(フィラメント3)と、内部の他の側面に配置されたアノード4とを有している。
加えて、イオンボンバードメント装置1は、フィラメント3とアノード4との間に電位差を与えてプラズマ放電を発生させる放電電源5と、フィラメント3を加熱させる加熱電源6とを有している。さらに、ワークテーブル11に接続されて、基材Wに負の電圧を印加させるバイアス電源12も有している。
熱電子放出電極であるフィラメント3は、加熱することで熱電子を照射する線条材であって、タングステン(W)等の金属によって形成されている。フィラメント3は、基材Wを挟んで前記アノード4のほぼ反対側に位置し(図2参照)、フィラメント3及びアノード4間で起こる放電が基材Wを挟むように配置されている。この実施形態の場合は、八角形の一の側面と、その対面の隣の面に配置されている。
ただし、この加熱電源6とフィラメント3とは、直接接続されているのではなく、入力側(加熱電源6側)の1次コイル14の巻き数と出力側(フィラメント3側)の2次コイル15の巻き数とが1対1である絶縁トランス13を介して、電気的に絶縁された状態で接続されている。
なお、絶縁トランス13の1次コイル14側には、加熱電源6からの交流電流の位相をコントロールする電力調整器等(図示省略)が組み込まれている。
それ故に、このフィラメント3から飛び出る熱電子は、基材Wに対して処理高さ方向にわたってほぼ均一となり、基材W側へ放出される熱電子の量は、フィラメント3におけるその地点の電位によってコントロールできる。
アノード4(陽電極)は、正の電位(フィラメント3より相対的に高い電位)が印加され、基材Wを挟んでフィラメント3と相対する位置の真空チャンバ2の内壁面に配置されている。アノード4も真空チャンバ2に電気的に接続されることなく絶縁体を介して取り付けられている。なお、図1に示すように、アノード4は、複数(ここでは3個)の小型の陽電極を基材W及びフィラメント3の長手方向に沿って配備している。アノード4が複数ある場合、それぞれに流入する電子を制御することで、プラズマの上下方向分布をさらに制御することが可能となる。しかしながら、アノード4は、基材W及びフィラメント3の長手方向に長い1個の陽電極であっても構わない。
具体的には、放電電源5の負極側出力は、2次コイル15の巻芯方向中途部に設けられた中間タップに接続されており、2次コイル15を通じて、フィラメント3へ接続されている(図1参照)。
このような構成により、放電電源5及び加熱電源6は、互いに接続されていない(例えば、同一のGNDに接続されていない等)と同時に、真空チャンバ2にも繋がっておらず、放電電源5と加熱電源6と間の電気的な独立と、放電電源5及び加熱電源6の真空チャンバ2に対する電気的な独立とを保っている。
(1)高周波パルスバイアスの周波数を20kHz以上とすることで、イオンボンバードによる異常放電を防止することができる。パルスバイアスではないいわゆる直流DCバイアスの場合、基材に異物(酸化物などの絶縁物)が堆積している際の絶縁破壊による局所的な放電や、基材からのアウトガスによる部分的な圧力上昇による放電、または突起物などの形状に起因する電解集中による放電といった異常放電が発生し、基材に放電痕(アーク痕)を残してしまう問題がある。一方、パルスバイアスを採用した場合、例えば20kHzの場合は50μsの時間に負の電位差を基材に印加することを意味するが、印加時間が短いため、上記のような異常放電の時間を短時間で収束させることが可能となり、結果的に異常放電を抑制する効果がある。
(2)更に、200KHz以上の高周波パルス電圧をバイアス電圧に用いることにより、上記異常放電防止の効果に加えてプロセスガスのイオンと電子との質量の差異から、電子の移動速度がイオンより遥かに速くなり、結果的に、イオンと電子とが電離したプラズマ状態を維持することができる。
(3)プラズマ状態が確実に維持されるため、プラズマ発生に必要な電子及びイオンの数を少なくすることができる。これはプロセスガスの圧力を低くすることが可能であることを示す。すなわち、通常、このようなイオンと電子との分離には、新たな電子の衝突エネルギーが必要であり、電子はガス分子の電離により発生することから、更なるプロセスガス、即ちプロセスガスの圧力を高める必要がある。しかしながら、電離が維持しているため、プロセスガスを追加する必要がなくなり、結果的にプロセスガスの圧力を低くすることができる。
(4)プロセスガスの圧力が低い場合、基材の周囲に発生する電位差勾配(シース)の距離が短くなり、複雑形状の基材(溝部を有する等)であってもその複雑な形状部分に沿ってシースが発生するので、複雑な形状部分にArイオンなどのガスイオンが到達できる。その結果、複雑形状の基材に対しての均一なクリーニングが可能となる。
(5)プラズマ状態が維持されるため、基材Wに流れるイオン電流(バイアス電流)を高めることができる。その結果、クリーニングの強さを増すことができる。
(6)電離しやすい高周波パルス電圧放電は、外部プラズマ源が存在しない状態(フィラメント3の放電がない状態)であっても放電が可能なため、例えばArイオンの基材への照射を極力抑えながら複雑形状の基材を均一にクリーニングする必要がある場合は、外部プラズマ源を用いずバイアス電圧を放電が維持する範囲で極力低く保つことで繊細なクリーニングを行うことが可能である。
よって、各電源5、6、12が真空チャンバ2や共通グランドを介してループを形成することがなく、各GNDの電位が実際には異なっていたとしても、各電源の電流制御を安定的に行うことができる。
まず、真空チャンバ2内のワークテーブル11に基材Wを固定し、真空引きしたチャンバ2内で加熱処理等を施す。そして、基材Wの温度をクリーニング用の温度(表面をクリーニングするのに適した温度)に制御した後に、真空チャンバ2内へアルゴンガスを、たとえば100ml/minで導入する。アルゴンガスの導入は真空引きと同時でもよい。
この過程を経て、基材W周辺にプラズマを発生させた状態で、バイアス電源12を起動させて基材Wに負のバイアス電圧をかけ、正の電荷をもつアルゴンイオンを基材Wに照射する(ボンバードメント)ことで、基材W表面のクリーニングが行われる。このとき、基材Wには20kHz以上好ましくは200kHz以上のパルス電位が与えられる。
図3(b)に、バイアス電源のパルス周波数とバイアス電流(イオン電流)との関係を示す。この図に示すように、バイアス電源のパルス周波数を高めることにより外部プラズマ源が無い状態でも放電が可能となり、また周波数増加に従いイオン電流が増加する。イオン電流が増加するということは、プラズマ状態が確実に維持されていることを意味する。基材Wの周囲に発生するプラズマが確実に維持されているのであれば、プロセスガスの圧力を低くすることができ、それに伴い基材Wの周囲に発生する電位差勾配(シース)の距離が短くなる。そのため、複雑形状の基材(溝部を有する等)であっても、その複雑な形状部分に沿ってシースが発生するので、複雑な形状部分にガスイオンが到達できる。その結果、複雑形状の基材に対しての均一なクリーニングが可能となる。
このようにバイアス電源12にパルス電源を用いた場合のクリーニング(エッチング)評価方法を以下に示す。
表1の結果から明らかなように、従来の標準条件では密着力の弱い部位D、部位E及び部位F(溝部)に関して、新条件では約30%改善している。
なお、上述したように、イオンボンバード処理について説明したが、真空チャンバ2内に、基材Wに向けて取り付けられたアーク蒸発源も設けておくと(アノード4としてアーク蒸発源を用いることを含む)、同一真空チャンバ2内で物理的蒸着による成膜処理も可能となる。
以上述べたイオンボンバードメント装置1、及びこの装置1を用いた成膜前のクリーニング方法を採用することで、基材Wに対して高さ方向均一に熱電子を照射でき基材Wの均一なクリーニングが可能となる。また、放電電源5と加熱電源6とを真空チャンバ2から独立して配線することで各電源の電流制御を安定化させられるようになる。
[第2実施形態]
図7には、本発明の第2実施形態に係るイオンボンバードメント装置1が示されている。
これによって、汚れが付着することでフィラメント3自体の熱電子の放出効率が下がったり、フィラメント3を加熱した際に、付着した汚れが蒸発して基材Wの表面に付着(汚染)することなどが防止できる。
[第3実施形態]
図8には、本発明の第3実施形態に係るイオンボンバードメント装置1が示されている。
具体的には、フィラメント3に対面する位置であって、ワークテーブル11の周りに2枚のカソードが配備されている。このように配置することで、さらに均一な処理(クリーニング処理、成膜処理)が可能となる。
例えば、イオンボンバードメント装置1は、放電電源5としてクリーニング専用の直流電源を備えていたが、基材Wのクリーニング以外の工程で使用する電源(例えば、アーク蒸発源の背後に配置した電磁コイル用の駆動電源や、電子加熱電源等)を、放電電源5と兼用することとしてもよい。
また、第1実施形態の項で説明した切換回路16を、第2実施形態又は第3実施形態に適用することもできる。
2 真空チャンバ
3 熱電子放出電極(フィラメント)
4 アノード
5 放電電源
6 加熱電源
11 基材保持具(ワークテーブル)
12 バイアス電源
13 絶縁トランス
14 1次コイル
15 2次コイル
16 切換回路
W 基材
Claims (8)
- 真空チャンバ内に配置された基材の表面を、前記真空チャンバ内で発生したガスイオンを照射することによってクリーニングするイオンボンバードメント装置において、
前記真空チャンバの一の内側面に、フィラメントで構成した加熱式の熱電子放出電極が配置されており、前記真空チャンバの他の内側面に、前記熱電子放出電極からの熱電子を受けるアノードが配置されており、
前記熱電子放出電極及び前記アノード間に電位差を与えてグロー放電を発生させる放電電源と、前記熱電子放出電極を加熱して熱電子を放出させる加熱電源と、前記基材に前記真空チャンバに対して負の電位を与えるバイアス電源とを有しており、
前記放電電源が真空チャンバから絶縁されており、
前記放電電源、前記加熱電源及び前記バイアス電源により、前記基材の近傍に発生したガスイオンを前記基材の表面に照射可能とされ、
前記バイアス電源がパルス電源とされており、
前記熱電子放出電極と前記アノードとの間に基材が配置されるように構成され、前記アノードが複数のアーク蒸発源で構成されていることを特徴とするイオンボンバードメント装置。 - 真空チャンバ内に配置された基材の表面を、前記真空チャンバ内で発生したガスイオンを照射することによってクリーニングするイオンボンバードメント装置において、
前記真空チャンバの一の内側面に、フィラメントで構成した加熱式の熱電子放出電極が配置されており、前記真空チャンバの他の内側面に、前記熱電子放出電極からの熱電子を受けるアノードが配置されており、
前記熱電子放出電極及び前記アノード間に電位差を与えてグロー放電を発生させる放電電源と、前記熱電子放出電極を加熱して熱電子を放出させる加熱電源と、前記基材に前記真空チャンバに対して負の電位を与えるバイアス電源とを有しており、
前記放電電源、前記加熱電源及び前記バイアス電源により、前記基材の近傍に発生したガスイオンを前記基材の表面に照射可能とされ、
前記バイアス電源が、真空チャンバ内のガス圧が低い状況下においてもプラズマ状態を維持可能とするパルス電位を前記基材に印加可能なパルス電源であり、
前記熱電子放出電極と前記アノードとの間に基材が配置されるように構成され、前記アノードが複数のアーク蒸発源で構成されていることを特徴とするイオンボンバードメント装置。 - 前記パルス電源は、前記基材に20kHz以上のパルス電位を与えることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のイオンボンバードメント装置。
- 前記パルス電源は、前記基材に200kHz以上のパルス電位を与えることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のイオンボンバードメント装置。
- 前記熱電子放出電極を、複数のフィラメントで構成していることを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれかに記載のイオンボンバードメント装置。
- 前記熱電子放出電極の長さを、基材処理空間と同等又はそれ以上の長さで構成していることを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれかに記載のイオンボンバードメント装置。
- 前記熱電子放出電極の電源をアーク蒸発源の電源で構成していることを特徴とする請求項1〜請求項6のいずれかに記載のイオンボンバードメント装置。
- 前記放電電源の正極側出力を前記アノードと前記基材とに選択的に接続可能とする切換回路を備えていることを特徴とする請求項1〜請求項7のいずれかに記載のイオンボンバードメント装置。
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