JP5686415B2 - 共鳴トンネルダイオードおよびテラヘルツ発振器 - Google Patents
共鳴トンネルダイオードおよびテラヘルツ発振器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5686415B2 JP5686415B2 JP2012034749A JP2012034749A JP5686415B2 JP 5686415 B2 JP5686415 B2 JP 5686415B2 JP 2012034749 A JP2012034749 A JP 2012034749A JP 2012034749 A JP2012034749 A JP 2012034749A JP 5686415 B2 JP5686415 B2 JP 5686415B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- electron transit
- emitter
- emitter layer
- barrier
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Bipolar Transistors (AREA)
Description
発明者らは、これまでにInP基板上に積層したInGaAs層、AlAs層からなるRTD、特に1×106A/cm2を上回る高いピーク電流密度JPを有するRTDを用いた発振器によって、831GHzの室温基本波発振を実現した(非特許文献1参照)。
このように1THzを超える高い周波数における室温発振が従来のRTDによって実現されているが、テラヘルツ周波数帯の光源として用いるために、さらなる発振周波数の向上が望まれている。
また、本発明の共鳴トンネルダイオードの1構成例は、さらに、前記第1の電子走行層と前記第2の電子走行層との間に、前記第1の電子走行層のΓバンドと前記第2の電子走行層のΓバンドとの間のエネルギーのΓバンドを持ち、かつ、前記第1の電子走行層の伝導帯と前記第2の電子走行層の伝導帯との間のエネルギーの伝導帯を持つ第3の電子走行層を備え、この第3の電子走行層は、電気的に中性なInAlGaAsまたはInGaAsPからなることを特徴とするものである。
また、本発明の共鳴トンネルダイオードの1構成例は、前記第3の電子走行層としてInAlGaAsを用いる場合、前記コレクタ層に近づくに従ってAl組成が高くなり、Ga組成が低くなり、前記第3の電子走行層としてInGaAsPを用いる場合、前記コレクタ層に近づくに従ってIn組成が高くなり、Ga組成が低くなり、As組成が低くなり、P組成が高くなることを特徴とするものである。
また、本発明の共鳴トンネルダイオードの1構成例は、前記エミッタ層に正の電圧が印加され、前記コレクタ層に負の電圧が印加される場合において、基板上に前記コレクタ層、前記電子走行層、前記第2の障壁層、前記井戸層、前記第1の障壁層、前記グレーデッドエミッタ層、前記エミッタ層の順に積層されることを特徴とするものである。
また、本発明の共鳴トンネルダイオードの1構成例は、さらに、前記エミッタ層の外側に前記エミッタ層と接するように積層され、前記エミッタ層および前記コレクタ層と同じ導電型を示す不純物で、かつ前記エミッタ層よりも高い濃度の不純物がドープされた半導体からなるサブエミッタ層を備えることを特徴とするものである。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図1は本発明の第1の実施の形態に係るRTDの構造を示す断面図である。本実施の形態のRTD20は、電気的に中性な半導体からなるバッファ層22と、不純物がドープされた半導体からなるサブエミッタ層23と、不純物がドープされた半導体からなるエミッタ層24と、不純物がドープされ、後述する障壁層に近づくに従ってバンドギャップが段階的に大きくなるような階段状バンド構造をもつ半導体からなるグレーデッドエミッタ層25と、電気的に中性な半導体からなるスペーサ層26と、サブエミッタ層23、エミッタ層24、グレーデッドエミッタ層25およびスペーサ層26の各層の電子に対して障壁となる障壁層27と、電気的に中性な半導体からなる井戸層28と、サブエミッタ層23、エミッタ層24、グレーデッドエミッタ層25およびスペーサ層26の各層の電子に対して障壁となる障壁層29と、電気的に中性な半導体からなり、サブエミッタ層23からエミッタ層24とグレーデッドエミッタ層25とスペーサ層26と障壁層27と井戸層28と障壁層29とを経て電子が流れ込む電子走行層30と、不純物がドープされた半導体からなるコレクタ層31とが、基板21上に順次積層された構造からなる。
次に、本発明の第2の実施の形態について説明する。本実施の形態は、第1の実施の形態で説明したRTDの具体例を示すものである。図2は本実施の形態に係るRTDの構造を示す断面図である。本実施の形態のRTD9は、アンドープインジウムガリウムヒ素(un−In0.53Ga0.47As)からなるバッファ層90と、n型インジウムガリウムヒ素(n−In0.53Ga0.47As)からなるサブエミッタ層91と、n型インジウムガリウムヒ素(n−In0.53Ga0.47As)からなるエミッタ層92と、n型インジウムガリウムヒ素(n−In0.51Ga0.49Asおよびn−In0.49Ga0.51As)からなるグレーデッドエミッタ層93と、アンドープインジウムガリウムヒ素(un−In0.47Ga0.53As)からなるスペーサ層94と、アルミニウムヒ素(AlAs)からなる障壁層95と、アンドープインジウムガリウムヒ素(un−In0.8Ga0.2As)からなる井戸層96と、アルミニウムヒ素(AlAs)からなる障壁層97と、アンドープインジウムガリウムヒ素(un−In0.53Ga0.47As)からなる電子走行層98と、アンドープインジウムアルミニウムガリウムヒ素(un−In0.53Al0.05Ga0.42As)からなる電子走行層99と、アンドープインジウムアルミニウムガリウムヒ素(un−In0.53Al0.1Ga0.37As)からなる電子走行層100と、アンドープインジウムアルミニウムガリウムヒ素(un−In0.53Al0.15Ga0.32As)からなる電子走行層101と、アンドープインジウム燐(un−InP)からなる電子走行層102と、n型インジウムガリウムヒ素(n−In0.7Ga0.3Asおよびn−In0.53Ga0.47As)からなるコレクタ層103とが、基板1上に順次積層された構造からなる。
図5は本実施の形態のテラヘルツ発振器の等価回路図である。図5において、GRTDはRTD9の抵抗成分、GANTはスロットアンテナの抵抗成分、CRTDはRTD9のキャパシタンス成分、CANTはスロットアンテナのキャパシタンス成分、Lはスロットアンテナのインダクタンス成分である。
Claims (8)
- 不純物がドープされた半導体からなるエミッタ層と、
不純物がドープされた半導体からなるグレーデッドエミッタ層と、
前記エミッタ層および前記グレーデッドエミッタ層の各層の電子に対して障壁となる第1の障壁層と、
電気的に中性な半導体からなる井戸層と、
前記エミッタ層および前記グレーデッドエミッタ層の各層の電子に対して障壁となる第2の障壁層と、
電気的に中性な半導体からなり、前記エミッタ層から前記グレーデッドエミッタ層と前記第1の障壁層と前記井戸層と前記第2の障壁層とを経て電子が流れ込む電子走行層と、
不純物がドープされた半導体からなるコレクタ層とが順次積層され、
前記グレーデッドエミッタ層は、前記第1の障壁層に近づくに従ってバンドギャップが段階的に大きくなるような半導体からなり、
前記電子走行層は、前記第2の障壁層に近い方から順に、第1の電子走行層と第2の電子走行層の少なくとも2層からなり、
前記第2の電子走行層は、前記第1の電子走行層よりもΓ−Lバレー間エネルギー分離が大きい半導体からなることを特徴とする共鳴トンネルダイオード。 - 請求項1記載の共鳴トンネルダイオードにおいて、
前記第1の電子走行層は、電気的に中性なInGaAsからなり、
前記第2の電子走行層は、電気的に中性なInPからなることを特徴とする共鳴トンネルダイオード。 - 請求項2記載の共鳴トンネルダイオードにおいて、
さらに、前記第1の電子走行層と前記第2の電子走行層との間に、前記第1の電子走行層のΓバンドと前記第2の電子走行層のΓバンドとの間のエネルギーのΓバンドを持ち、かつ、前記第1の電子走行層の伝導帯と前記第2の電子走行層の伝導帯との間のエネルギーの伝導帯を持つ第3の電子走行層を備え、
この第3の電子走行層は、電気的に中性なInAlGaAsまたはInGaAsPからなることを特徴とする共鳴トンネルダイオード。 - 請求項3記載の共鳴トンネルダイオードにおいて、
前記第3の電子走行層としてInAlGaAsを用いる場合、前記コレクタ層に近づくに従ってAl組成が高くなり、Ga組成が低くなり、
前記第3の電子走行層としてInGaAsPを用いる場合、前記コレクタ層に近づくに従ってIn組成が高くなり、Ga組成が低くなり、As組成が低くなり、P組成が高くなることを特徴とする共鳴トンネルダイオード。 - 請求項1乃至4のいずれか1項に記載の共鳴トンネルダイオードにおいて、
前記エミッタ層に負の電圧が印加され、前記コレクタ層に正の電圧が印加される場合において、基板上に前記エミッタ層、前記グレーデッドエミッタ層、前記第1の障壁層、前記井戸層、前記第2の障壁層、前記電子走行層、前記コレクタ層の順に積層されることを特徴とする共鳴トンネルダイオード。 - 請求項1乃至4のいずれか1項に記載の共鳴トンネルダイオードにおいて、
前記エミッタ層に正の電圧が印加され、前記コレクタ層に負の電圧が印加される場合において、基板上に前記コレクタ層、前記電子走行層、前記第2の障壁層、前記井戸層、前記第1の障壁層、前記グレーデッドエミッタ層、前記エミッタ層の順に積層されることを特徴とする共鳴トンネルダイオード。 - 請求項1乃至6のいずれか1項に記載の共鳴トンネルダイオードにおいて、
さらに、前記エミッタ層の外側に前記エミッタ層と接するように積層され、前記エミッタ層および前記コレクタ層と同じ導電型を示す不純物で、かつ前記エミッタ層よりも高い濃度の不純物がドープされた半導体からなるサブエミッタ層を備えることを特徴とする共鳴トンネルダイオード。 - 請求項1乃至7のいずれか1項に記載の共鳴トンネルダイオードと、
この共鳴トンネルダイオードに接続された共振器であるスロットアンテナと、
前記共鳴トンネルダイオードのエミッタ層とコレクタ層との間にバイアス電圧を印加する電源とからなることを特徴とするテラヘルツ発振器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012034749A JP5686415B2 (ja) | 2012-02-21 | 2012-02-21 | 共鳴トンネルダイオードおよびテラヘルツ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012034749A JP5686415B2 (ja) | 2012-02-21 | 2012-02-21 | 共鳴トンネルダイオードおよびテラヘルツ発振器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013171966A JP2013171966A (ja) | 2013-09-02 |
JP5686415B2 true JP5686415B2 (ja) | 2015-03-18 |
Family
ID=49265740
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012034749A Expired - Fee Related JP5686415B2 (ja) | 2012-02-21 | 2012-02-21 | 共鳴トンネルダイオードおよびテラヘルツ発振器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5686415B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106057915A (zh) * | 2016-08-08 | 2016-10-26 | 西安电子科技大学 | 铟镓氮发射极欧姆接触层的rtd二极管及制作方法 |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6562645B2 (ja) * | 2014-02-28 | 2019-08-21 | キヤノン株式会社 | 発振素子、及びこれを用いた発振器 |
JP6570187B2 (ja) | 2014-05-08 | 2019-09-04 | 国立大学法人東京工業大学 | 周波数可変テラヘルツ発振器及びその製造方法 |
CN105845741A (zh) * | 2015-01-12 | 2016-08-10 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 基于InGaAs/AlAs材料的共振隧穿二极管 |
CN104733545A (zh) * | 2015-02-17 | 2015-06-24 | 天津大学 | 发射区In含量渐变集电区高In过渡层的RTD器件 |
JP6618273B2 (ja) * | 2015-05-12 | 2019-12-11 | ローム株式会社 | テラヘルツ素子モジュール |
CN105870171A (zh) * | 2016-03-09 | 2016-08-17 | 四川大学 | 加阶梯式异质结隔离区的共振隧穿二极管 |
CN105870163A (zh) * | 2016-03-09 | 2016-08-17 | 四川大学 | 加阶梯型隔离层和子阱层的共振隧穿二极管 |
CN106298978B (zh) * | 2016-10-08 | 2023-10-03 | 天津大学 | 失调馈送缝隙天线rto太赫兹波源及制作工艺 |
CN108550620A (zh) * | 2018-04-10 | 2018-09-18 | 雄安华讯方舟科技有限公司 | 高峰谷电流比的共振隧穿二极管晶圆结构及其制备方法 |
JP7088549B2 (ja) | 2018-11-19 | 2022-06-21 | 国立大学法人東京工業大学 | 高出力テラヘルツ発振器 |
JP2021101167A (ja) | 2019-12-24 | 2021-07-08 | 国立大学法人東京工業大学 | サブキャリア変調方式テラヘルツレーダー |
WO2021171787A1 (ja) | 2020-02-26 | 2021-09-02 | 国立大学法人東京工業大学 | テラヘルツ発振器及びその製造方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08274376A (ja) * | 1995-03-15 | 1996-10-18 | Texas Instr Inc <Ti> | シリコンに格子整合したiii−v化合物半導体エミッター |
JP3645233B2 (ja) * | 2001-06-07 | 2005-05-11 | 日本電信電話株式会社 | 半導体素子 |
JP5445936B2 (ja) * | 2009-11-26 | 2014-03-19 | 日本電信電話株式会社 | 共鳴トンネルダイオードおよびテラヘルツ発振器 |
-
2012
- 2012-02-21 JP JP2012034749A patent/JP5686415B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106057915A (zh) * | 2016-08-08 | 2016-10-26 | 西安电子科技大学 | 铟镓氮发射极欧姆接触层的rtd二极管及制作方法 |
CN106057915B (zh) * | 2016-08-08 | 2019-04-19 | 西安电子科技大学 | 铟镓氮发射极欧姆接触层的rtd二极管及制作方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013171966A (ja) | 2013-09-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5686415B2 (ja) | 共鳴トンネルダイオードおよびテラヘルツ発振器 | |
JP6510802B2 (ja) | テラヘルツ素子およびその製造方法 | |
Feiginov | Frequency limitations of resonant-tunnelling diodes in sub-THz and THz oscillators and detectors | |
JP6282041B2 (ja) | 発振器 | |
JP5808560B2 (ja) | テラヘルツ発振検出素子 | |
JP6682185B2 (ja) | 素子 | |
JP2014014072A (ja) | 発振器 | |
US20160094183A1 (en) | Electromagnetic wave generation device and detection device | |
JP6904760B2 (ja) | 素子 | |
US11309834B2 (en) | High-power terahertz oscillator | |
CN101431106B (zh) | 基于负微分迁移率的平面纳米电磁辐射器结构 | |
Teranishi et al. | Fundamental oscillation up to 1.08 THz in resonant tunneling diodes with high indium composition transit layers | |
JP5648915B2 (ja) | 共鳴トンネルダイオードおよびテラヘルツ発振器 | |
Kanaya et al. | Terahertz oscillation of resonant tunneling diodes with deep and thin quantum wells | |
JP5445936B2 (ja) | 共鳴トンネルダイオードおよびテラヘルツ発振器 | |
Suzuki et al. | RTD oscillators at 430–460 GHz with high output power (~ 200 µW) using integrated offset slot antennas | |
Alqurashi et al. | Physical modeling of asymmetric spacers resonant tunneling diodes (RTDs) | |
Kanaya et al. | Fundamental oscillation up to 1.31 THz in thin-well resonant tunneling diodes | |
Shiraishi et al. | Fundamental oscillation of up to 915 GHz in small-area InGaAs/AlAs resonant tunneling diodes with planar slot antennas | |
Asada et al. | Resonant-tunneling-diode terahertz oscillators and applications | |
Asada et al. | Room-temperature resonant-tunneling-diode terahertz oscillators | |
WO2017188363A1 (ja) | 素子 | |
Feiginov et al. | Resonant-tunnelling diodes for THz applications | |
US11156550B2 (en) | Terahertz-wave detector and terahertz unit | |
Balocco et al. | Novel terahertz nanodevices and circuits |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140108 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20140108 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20141203 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150113 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150115 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5686415 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |