JP5676521B2 - 不活性ガス循環精製装置付グローブボックス - Google Patents

Description

本発明は、グローブボックス内の酸素や水分などを除去する不活性ガス循環精製装置付グローブボックスに関する。即ち、酸素はニッケル等の触媒に酸化反応させて除去し、水分は乾燥剤のモレキュラーシーブに吸着させて除去するものであり、該触媒と乾燥剤を夫々充填した吸着塔でグローブボックス内のガスを循環ポンプで吸い出し、吸着塔内を通過中に酸素と水分を除去して再びグローブボックスに戻すというガス循環を行う装置である。

グローブボックスは、外気と遮断された環境下での作業が可能になるよう内部に手だけ入れられるようボックスにゴム製のグローブ(手袋)を直結させた密閉容器で、アルゴンや窒素などの不活性ガスの雰囲気下において、外気を遮断した作業を可能にするものであるが、該ボックス内の雰囲気を一定に保つためには不活性ガスをポンプで循環してガス中に混入した酸素や水分を除去するため不活性ガス循環精製装置を組み合わせてある。

不活性ガス循環精製装置の運転中に、室温など外部要因によりグロ−ブボックス内の圧力が上昇すると、グロ−ブ（手袋）が内部圧力により膨張して最終的には該ボックスから外れる可能性がある。該グローブが外れると大気が該ボックス内に進入して該ボックス内の不活性ガスの雰囲気は一瞬に破壊される。さらに大気中の酸素は触媒と反応して高温となり、触媒を劣化させるという問題点を有していた。

さらに、循環ガスを不活性ガス循環精製装置に給気するブロワーなどの送風機は回転軸部の気密性に難があり、またガスの吐出圧が低いため太い配管を使用する必要があり、酸素を除去する金属触媒を収容する塔や、水分を除去する乾燥剤を収容する塔は２塔式のものが多かった。このように前記塔を別個に設ける場合、両塔を接続する配管が必要となり、その上、広い設置スペースを必要とし、装置が大型化するという問題点及びコストアップとなるという欠点があった。

図７に示した従来の不活性ガス循環精製装置５０について説明すると、該精製装置５０のケース本体５１に設けたガス入口５２とガス出口５３は、隣接する密閉ボックス（図示せず）と接続する。該入口５２から給気された酸素や水分の混入した循環ガスは精製塔５４に入り、該精製塔の内部に収容した水分吸着剤５５で水分が吸収され、ついで酸素吸収剤５６で酸素が酸化除去され、該精製塔に接続した配管６３に設けた取入口５７から送風機構５８に給気される。該送風機構は冷却用ファン５９ａを具えた電動送風機５９で回転する回転軸６０を介して駆動され、該送風機構の吐出口６１から配管内に給気する。送風機構５８によって該ガスは循環しながら繰り返し加圧、撹拌されるとガス温度は上昇し、送風機構の吐出口６１からの吐出圧が、高い場合には５０℃以上になることもあるため、ガスの通る配管６３の外側に冷却水を循環させて冷却する冷却塔６２を設置していた。そして、入口５２から配管６３内に入った不活性ガスは、精製塔５４によって不純物である酸素と水分が除去され、送風機構５８の吐出口６１から圧送された循環ガスは、冷却塔６２により冷却されガス出口５３から排出して密閉ボックス（図示せず）に戻るものである（特許文献１）。

この不活性ガス循環精製装置に用いられる循環ガスの冷却方式は、チラーユニットなど外付けの冷却装置により熱交換器６２で冷やす型式のものが主流であるが、この種の型式では、該装置のコスト及び設置スペースさらには冷却水の交換などのメンテナンス費用がかかり、費用が高価になるという問題点を有していた。

さらに従来のグローブボックスに設けたベント排気機能は、フットスイッチなど手動による排気方式や自動排気弁を用いたベント排気方式である（特許文献２）。そのため、該ボックスに設けてあるグローブ（作業手袋）による操作が行われていない無負荷状態であれば該ボックス内の雰囲気を維持することができるが、グローブ操作による急激な圧力変動などの外乱が生じた場合は該ボックス内の雰囲気が保障されないケースが多かった。

特開２００８−１２８２２４号 特開平１０−１４６７９１号、図３

本発明が解決しようとする課題は、ブロワーを用いて不活性ガスを繰り返し循環させると、その吐出圧のためガスの温度が上昇する。このブロワーの吐出圧による循環ガスの温度の上昇、また、触媒の酸化反応による温度上昇などによりグローブボックス内の温度が常温よりはるかに高温になって、該ボックス内での作業に支障をきたすのを防止するため、さらには、循環ガスの温度が高いと乾燥剤であるモレキュラーシーブの水分吸着能力が低下すること、該ボックス内の温度が高ければ気温と飽和水蒸気量の物理的関係から該ボックス内の水蒸気量が上昇するなどいずれの場合も、不活性ガス循環精製装置としての機能を低下させるという欠点があった。

このようにブロワーを用いると吐出圧があまり高くないため、太い配管を使用する必要があること、不活性ガス精製性能を上げるため水分吸着剤および酸素吸収剤が多くなりそれを収容する吸着塔も大型化して２個設けたものが多く、吸着塔の設置スペースも大きくなり、且つ、循環ガス冷却用のチラーユニットの冷却水の交換などのメンテナンスコストが割高になるという問題点を有していた。その上、従来のグローブボックスの排気機構は手動弁や自動弁を用いているが、グロ−ブの急な出し入れにより該ボックス内に急激な圧力変動などの外乱が生じると大気がボックス内に流入し、酸素や水分などを除去した雰囲気を保護することができないという問題点を有していた。

上記課題を解決するため、本発明は透明窓２を前面に有し内部が気密なボックスの前面下部に柔軟部材からなるグローブ５を設けると共に、ガスを取り入れるガス入口６とガス出口７を有したボックス３と、該ボックス内のガス圧を感知して信号を発信する内圧計１１と、先端が大気に開口したパイプ１０に接続し、前記信号によりスイッチ９ａを作動して前記ボックス３内のガス圧が作業環境に基づく設定圧の上限以上に上昇すると開弁し設定圧以下に降下すると閉弁する圧力調整弁９と、該圧力調整弁と前記ボックス３との間に逆止機構８を設けたグローブボックス１と、ハウジング１６にガス取入口１７とガス流出口を設け、該ガス流入口１７の下流側に接続した循環ポンプ２０と、該循環ポンプの下流側に接続した空冷式の１次冷却部２４と電子式の２次冷却部２５とからなる冷却装置２１と、該冷却装置の下流側に接続してガス中の酸素を除去する金属触媒充填部３１と水分を除去する乾燥剤充填部３２とを一体に形成した吸着塔２７と、該吸着塔の下流側に接続してガス中のゴミ、塵埃を除去するＨＥＰＡフィルタ３６と配管内のガス流量を監視するガス流量計３８をガス流出口１８に接続してなる不活性ガス循環精製装置１５とからなり、ガス流出口１８とガス入口６およびガス出口７とガス流入口１７をそれぞれ接続してなる不活性ガス精製装置１５とからなることを特徴とする。また、前記圧力調整弁９と前記ボックス３との間に設けた逆止機構８は、テーパー状の弁口８ａに合成樹脂製の軽量なボール弁８ｂを収容してなり、該ボックス内の圧力が設定圧の上限以上の圧力を感知した内圧計１１からの信号により作動して圧力調整弁９を開弁して前記ボックス内のガス排出中に、該ボックス内の圧力変動によりガス圧が降下すると、パイプ１０の先端から流入した大気は、該圧力調整弁を通過して前記逆止機構８内に逆流してボール弁８ｂを押し下げて弁口８ａを閉弁することを特徴とする。さらに、前記冷却装置２１は、表面に多数の空冷フィン２２ａを有したステンレス製のバッファ管２２と該空冷フィンを強制的に空冷する軸流ファン２３とからなる空冷式の１次冷却部２４と、ペルチェ素子の電子冷却器からなる電子式の２次冷却部２５とを直列に２段式に組み合わせてなることを特徴とする。また、前記吸着塔２７は、ステンレス製の筒体２８の下部に循環ガスを取り入れる給気口２９ａを有して空洞状に形成した給気室２９の上方を仕切る第１の仕切板３０ａの上方に、ガス中の酸素を吸着除去するニッケル触媒等の金属触媒を充填した金属触媒充填部３１を設け、その上方に第１充填口３１ｂを有して空洞状の第１充填室３１ａを設け、該第１充填室の上方を仕切る第２の仕切板３０ｂの上方にガス中水分を吸収除去するモレキュラーシーブの乾燥剤を充填した乾燥剤充填部３２の上方に第２充填口３２ｂを有した空洞状の第２充填室３２ａを形成し、該第２充填室の上方を仕切る第３の仕切板３０ｃの上方に設けた空洞状の排気室３３に設けた排気口３３ａから酸素及び水分を除去した循環ガスを供給することを特徴とする。さらに、前記吸着塔２７内を仕切る第１，２，３の仕切板３０ａ，３０ｂ、３０ｃは、全体に多数の小孔４１，４１を有したステンレス製で全体に多数の小孔４１を有したパンチング板４２とステンレス製で全体が１００メッシュ網のような細目網材４０とを組み合わせてなることを特徴とする。さらにまた、前記循環ポンプ２０は、気密性が良好で吐出圧の高いダイアフラム式の循環ポンプであることを特徴とするものである。

以上の如く本発明は、吐出圧が高く気密性の良好なダイアフラム式の循環ポンプを使用し、該循環ポンプの後段、即ち、該ポンプの下流側に吸着塔を設置することにより該ポンプの高い吐出ガス圧を利用し、方式の異なる冷却器を２段式に組み合わせて冷却された循環ガスは室温と同等又は数度低くすることができる。さらに、ガス中に混入した酸素を除去する金属触媒と水分を除去する乾燥剤を仕切板で仕切った吸着塔内に一体に収容したことにより設置スペースを最小にすると共に装置を小型化することができる。また、ガスの供給を受けるグローブボックスと大気に連通する自動圧力調整弁との間に逆止機構を設けたことにより、たとえボックス内のガス圧が上昇して大気中に放出中でも、該ボックス内に圧力変動などの外乱が生じて該ボックス内の圧力が大気圧より降下した場合でも該ボックス内に大気が流入するのを防止し、該ボックス内の雰囲気を維持することができる効果を有するものである。

図１は本発明の実施の形態を示すもので、不活性ガス循環精製装置を組み合わせたグローブボックスの模式図である。 図２はグローブボックスの斜視図である。 図３はボックスに設けた逆止機構の拡大断面図である。 図４は不活性ガス循環精製装置における吸着塔の平面図である。 図５は図４のＡ−Ａ線断面図である。 仕切板の一部拡大断面図である。 従来のガス循環精製装置を示す説明図である。

本発明の実施の形態を図面により説明すると、図１は不活性ガス循環精製装置を組み合わせたグローブボックスの模式図、図２はグローブボックスの斜視図、図３はグロ−ブボックスに設けた逆止機構の拡大断面図、図４は吸着塔の平面図、図５は図４のＡ−Ａ線断面図、図６は仕切板の一部拡大断面図である。１はグローブボックスで、気密にした透明窓２を前面に有して内部が気密可能なボックス３と、該ボックスの前面下部に設けた孔部４を塞いで該ボックスの内部に突入させるゴム等の柔軟部材からなるグロ−ブ５を強固に設け、さらに、該ボックス内に循環ガスを連続して供給するため、該ボックスにはガス入口６とガス出口７を設けてある。図２に示したグローブ（気密な手袋）５は、裏返してボックス３の外部に突出した状態を示すもので、使用時には作業者がグローブ５内に手を入れて気密なボックス３内で各種作業を行うものであり、該グローブのボックス内への出し入れによって該ボックス内の容積が変動する。

ボックス３に直接又は間接に設けた逆止機構８の内部に設けたテーパー状の弁口８ａに、合成樹脂製等の軽量なボール弁８ｂを開閉可能に係合し、該逆止機能８を介してボックスに取り付けた圧力調整弁９に連結したパイプ１０は、その先端からボックス３内のガスを大気中に自然放出するようにしてある。１１はボックス３の内部圧測定用に該ボックスに取り付けたセンサー即ち内圧計で、該内圧計により感知した圧力信号は通信手段１２を介して送ってスイッチ９ａを具えた圧力調整弁９で自動的に開閉する。通信手段１２に設けた分岐部１３とフットスイッチ１４は第２の通信手段１２ａで連結してあり、例えばボックス内の圧力を作業者が意識的に下げる場合、足で操作して信号をスイッチ９ａに送って圧力調整弁９を開弁してボックス３内から大気中にガスを排出することができる。

ボックス３内の圧力は、作業環境を維持するため大気圧よりやや高い圧力の上限及び下限が設定してあり、ボックス内の圧力が上限の設定圧より上昇すると内圧計１１がそれを感知し、その圧力信号は通信手段１２を介してスイッチ９ａに伝え圧力調整弁９を自動的に開弁する。先端が大気に連通したパイプ１０内は大気に連通してボックス３内より圧力が低いため、逆止機構８内のボール弁８ａが上昇して弁口８ｂを開弁し、圧力調整弁９を通って該ボックス内のガスは大気中に排出する。該ボックス３内の圧力が下がって下限の設定圧以下になると、内圧計１１はその圧力を感知して信号をスイッチ９ａに伝え圧力調整弁９を自動的に閉弁すると、逆止機構８も閉弁してボックス３内からのガスの放出は停止する。

グローブボックス１内のグローブ５に手を入れて各種作業中に、温度上昇などが原因で該ボックス内の圧力が上限の設定圧以上に上昇すると、その圧力を内圧計１１が感知して信号をスイッチ９ａに送って圧力調整弁９を開弁する。該ボックス内の圧力の高いガスは逆止機構８内に進入し、弁口８ａに嵌合しているボール弁８ｂをガス圧により押し上げて開弁し、開弁している圧力調整弁９を通ってパイプ１０先端から大気中に放出する。この場合、作業員は内圧計の作動前にフットスイッチ１４を操作して圧力調整弁９を開弁してガスを大気中に放出することもできる。

圧力調整弁９が開弁状態でボックス３内の圧力の高いガスを大気中に放出中に、例えば、グローブ５の操作による出し入れにより該ボックス内の圧力変動で突然に圧力が大気圧より低下すると、パイプ１０の先端から大気が圧力調整弁を通って逆止機構８に流入する。この場合、該圧力調整弁９とボックス３との間に設けた逆止機構８は、該圧力調整弁９が開弁すると同時にボール弁８ｂはテーパー状の弁口８ａの上方に持ち上げられて開弁する。しかし、大気がパイプ１０の先端から流入して圧力調整弁９を通って逆止機構８内に進入すると、ボックス側からのガス圧で上方に持ち上げられているボール弁８ｂは瞬時に押し下げられて弁口８ｂを閉じて逆止機構８を遮断し、大気がボックス３内へ流入するのを遮断する。

パイプ１０の先端から流入し、圧力調整弁を通過して逆流した大気は、逆止機構８により遮断して大気がボックス内に進入するのを防止できるため、ボックス内の雰囲気を元の状態に戻すための復旧に多大の時間のかかる該ボックス３内の環境破壊を防止することができる。従来のグローブボックスはこの種の逆止機構を有していないため、大気がボックス３内に流入してしまう事が多かった。

不活性ガス循環精製装置１５は、ハウジング１６に設けたガス流入口１７とガス流出口１８を連結した配管１９をハウジング内に設置し、ガス流入口１７と循環ポンプ２０と冷却装置２１と、乾燥剤及び金属触媒をそれぞれ収容して一体に形成した吸着塔２７とフイルタ３６と、循環ガスの流量を測定するガス流量計３８とガス取出口１８を接続してある。

不活性ガス循環精製装置について説明すると、ガス流入口１７から循環ガスが供給されると、循環ポンプ２０はダイアフラム式のため気密性が高く、吐出圧も高いので配管を細くでき、且つ循環経路内に圧力損失の大きい冷却器等を使用できる利点がある。この循環ポンプの下流側に設けた圧力及び脈動を緩衝するバッファ管２２の表面に多数の空冷フィン２２ａを有したステンレス製のバッファ管２２と、該空冷フィンを空冷する軸流ファン２３とで空冷式の１次冷却部２４を形成してある。この１次冷却部２４の下流側に半導体素子であるペルチェ素子を用いた電子冷却器からなる電子式の２次冷却部２５を設け、冷却の方式が異なる１次冷却部２４と２次冷却部２５とからなる２段式の冷却装置２１を形成し、該冷却装置の下流側に吸着塔２７を接続してある。

ここで、前記グローブボックスと不活性ガス循環精製装置とを繰り返し循環する循環ガスが、例えば、循環ポンプ２０の吐出口を通過する温度が約５０℃またはそれ以上に上昇した場合でも、空冷式の１次冷却部２４で約４０℃以下に冷却され、ついで、電子方式の２次冷却部２５で冷却されて室温（約２０℃）と同等またはそれより数度低く（約１７℃）冷却することができる。なお、本実施形態の冷却装置２１は冷却水を使用しないため、大量の冷却水を循環させる循環装置を不要にし、設置スペースとコストのかかる冷却水のメンテナンスを不要にできる利点がある。

吸着塔２７はステンレス製で上下を密封した筒体２８の下部に、循環ガスが狭い給気口２９ａを通って広い空洞状のガス給気室２９内に供給され、ガスの圧力変化により均一化する。該給気室２９の上部は多数の小孔４１を有したステンレス製のパンチング板４２と例えば１００メッシュ網などからなる細目網材４０とで対をなして形成した第１の仕切部板３０ａで仕切ってあり、該仕切板３０ａの上方にニッケル触媒など公知の触媒を充填した金属触媒充填部３１を形成し、この金属触媒充填部３１の上方に、外部から金属触媒を充填する第１充填口３１ｂを有した第１充填室３１ａを設けてある。

該充填室３１ａの上方を前記パンチング板４２と前記細目網材４０とからなる第２の仕切板３０ｂで仕切り、該第２の仕切板３０ｂの上方に、モレキュラーシーブ等の水分を吸収する乾燥剤を充填する乾燥剤充填部３２を設け、該乾燥剤充填部の上方には、外部から乾燥剤を充填する第１充填口３２ｂを有した空室状の第１充填室３２ａを形成してある。

この第２充填室３２ａの上部を多数の小孔４１を有したステンレス製のパンチング板４２と細目網材４０とからなる第３の仕切板３０ｃで仕切り、該第３の仕切板３０ｃの上方に広い空洞状の排気室３３を設け、該排気室に有した排気口３３ａから吸着塔２７の下流側にガスを供給する。

金属触媒や乾燥剤が経時的に劣化した場合には、夫々充填口３１ｂ、３２ｂから金属触媒と乾燥剤を交換するもので、充填後は第１充填口３１ｂにはメクラ栓３４ａ、第２充填口３２ｂにはメクラ栓３４ｂを着脱可能に密封嵌合してある。この吸着塔２７は、給気口２９ｂと排気口３３ａ以外は気密に形成してある。

吸着塔２７下部の給気口２９ａから供給される不活性ガスの循環ガスは、狭い給気口から広い空洞状の給気室２９内全体に供給され容積の膨張により流動してガスは均一になる。ついで、給気室２９の上方に位置する第１の仕切板３０ａの全面を通って金属触媒充填部３１の下部全面から該充填部内の充填剤の粒子に均一に当たるようにガスは進入し、ガス中の酸素は酸化除去されて金属触媒充填部３１の上方に位置した空室状の第１充填室３１ａ内に進入し、該第１充填室３１ａの上部を仕切った第２の仕切板３０ｂの全面から進入したガス中に含まれる水分はモレキュラーシーブなどが収容された乾燥剤充填部３２の下面全体から該乾燥剤の粒子に均一に当たるように進入して吸着除去さて循環ガスは均一化するものである。
以上

さらに第２充填室３２ａの上方を仕切る第３の仕切板３０ｃを通過して広い空洞状の排気室３３内全体に拡散させて酸素と水分を除去したガスを均一化し、排気口３３ａの下流側に位置するＨＥＰＡフィルタ３６によりガス中に含まれる塵芥は除去され、さらにガス流量を監視するガス流量計３８を通過してガス流出口１８からグローブボックスに供給して循環させるものである。

１ グロ−ブボックス
２ 透明窓
３ ボックス
４ 孔部
５ グローブ
８ 逆止機構
８ａ 弁口
８ｂ ボール弁
９ 自動圧力調整弁
９ａ スイッチ
１０ パイプ
１１ 内圧計
１５ 不活性ガス循環精製装置
１６ ハウジング
１７ ガス流入口
１８ ガス流出口
１９ 配管
２０ 循環ポンプ
２１ 冷却装置
２２ バッファ管
２２ａ 空冷フィン
２３ 軸流ファン
２４ １次冷却部
２５ ２次冷却部
２７ 吸着塔
２８ 筒体
２９ 給気室
２９ａ ガス給気口
３０ａ 第１の仕切板
３０ｂ 第２の仕切板
３０ｃ 第３の仕切板
３１ 金属触媒充填部
３１ａ 第１充填室
３１ｂ 第１充填口
３２ 乾燥剤充填部
３２ａ 第２充填室
３２ｂ 第２充填口
３３ 排気室
３３ａ 排気口
３６ HEPAフィルタ
３８ ガス流量計
４０ 網板
４１ パンチング板
４２ 小孔

Claims (6)

1. 透明窓（２）を前面に有し内部が気密なボックスの前面下部に柔軟部材からなるグローブ（５）を設けると共に、ガスを取り入れるガス入口（６）とガス出口（７）を有したボックス（３）と、該ボックス内のガス圧を感知して信号を発信する内圧計（１１）と、先端が大気に開口したパイプ（１０）に接続し、前記信号によりスイッチ（９ａ）を作動して前記ボックス（３）内のガス圧が作業環境に基づく設定圧の上限以上に上昇すると開弁し設定圧以下に降下すると閉弁する圧力調整弁（９）と、該圧力調整弁と前記ボックス（３）との間に逆止機構（８）を設けたグローブボックス（１）と、
   ハウジング（１６）にガス流入口（１７）とガス流出口（１８）を設け、該ガス流入口（１７）の下流側に接続した循環ポンプ（２０）と、該循環ポンプの下流側に接続した空冷式の１次冷却部（２４）と電子式の２次冷却部（２５）とからなる冷却装置（２１）と、該冷却装置の下流側に接続してガス中の酸素を除去する金属触媒充填部（３１）と水分を除去する乾燥剤充填部（３２）とを一体に形成した吸着塔（２７）と、該吸着塔の下流側に接続してガス中のゴミ、塵埃を除去するＨＥＰＡフィルタ（３６）と配管内のガス流量を監視するガス流量計（３８）をガス流出口（１８）に接続してなる不活性ガス循環精製装置（１５）とからなり、ガス流出口（１８）とガス入口（６）およびガス出口（７）とガス流入口（１７）をそれぞれ接続してなることを特徴とする不活性ガス循環精製装置付グローブボックス。
2. 前記圧力調整弁（９）と前記ボックス（３）との間に設けた逆止機構（８）は、テーパー状の弁口（８ａ）に合成樹脂製の軽量なボール弁（８ｂ）を収容してなり、該ボックス内の圧力が設定圧の上限以上の圧力を感知した内圧計（１１）からの信号により作動して圧力調整弁（９）を開弁して前記ボックス内のガスを大気中に排出中に、該ボックス内の圧力変動によりガス圧が降下してパイプ（１０）の先端から流入する大気は、該圧力調整弁を介して前記逆止機構（８）内に流入しボール弁（８ｂ）を押し下げて弁口（８ａ）を閉弁させることを特徴とする請求項１記載の不活性ガス循環精製装置付グローブボックス。
3. 前記冷却装置（２１）は、表面に多数の空冷フィン（２２ａ）を有したステンレス製のバッファ管（２２）と該空冷フィンを強制的に空冷する軸流ファン（２３）とからなる空冷式の１次冷却部（２４）と、ペルチェ素子の電子冷却器からなる電子式の２次冷却部（２５）とを直列に２段式に組み合わせてなることを特徴とする請求項１記載の不活性ガス循環精製装置付グローブボックス。
4. 前記吸着塔（２７）は、効率良く酸素と水分を除去するため循環ガスが充填材に均一に当たるように、ステンレス製の筒体（２８）の下部に循環ガスを取り入れる給気口（２９ａ）を有して空洞状に形成した給気室（２９）の上方を仕切る第１の仕切板（３０ａ）の上方に、ガス中の酸素を吸着除去するニッケル触媒等の金属触媒を充填した金属触媒充填部（３１）を設け、その上方に第１充填口（３１ｂ）を有して空洞状の第１充填室（３１ａ）を設け、該第１充填室の上方を仕切る第２の仕切板（３０ｂ）の上方にガス中水分を吸収除去するモレキュラーシーブの乾燥剤を充填した乾燥剤充填部（３２）の上方に第２充填口（３２ｂ）を有した空洞状の第２充填室（３２ａ）を形成し、該第２充填室の上方を仕切る第３の仕切板（３０ｃ）の上方に設けた空洞状の排気室（３３）に設けた排気口（３３ａ）から酸素及び水分を除去した循環ガスを供給することを特徴とする請求項１記載の不活性ガス循環精製装置付グローブボックス。
5. 前記吸着塔（２７）内を仕切る第１，２，３の仕切板（３０ａ，３０ｂ、３０ｃ）は、全体に多数の小孔（４１，４１）を有したステンレス製のパンチング板（４２）とステンレス製の細目網材（４０）とを組み合わせてなることを特徴とする請求項１又は４記載の不活性ガス循環精製装置付グローブボックス。
6. 前記循環ポンプ（２０）は、気密性が良好で吐出圧の高いダイアフラム式のポンプであることを特徴とする請求項１記載の不活性ガス循環精製装置付グローブボックス。
   

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