JP5674167B2 - 差圧センサ - Google Patents
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Description
そこで、本発明は、簡素な構成で圧力変動を測定することができる差圧センサを提供することを目的とする。
次に、検知部5の製造方法について、図3を参照して説明する。
実際に、長さ200μm、幅160mm、厚さ0.3μmのカンチレバー部8を製造し、評価を行った。なお、ヒンジ部11は、長さ40μm、幅25μmとした。このカンチレバー部8の共振周波数は、3.75kHzであった。このカンチレバー部8を図7に示す実験装置30に設置した。
厚さ0.3μmのカンチレバー部を有する差圧センサを作製し、圧力差ΔPと、カンチレバー部の外縁と連通路内腔との間に形成された隙間毎の抵抗変化率を調べた(図12)。差圧センサは、隙間がそれぞれ異なる、167.3μm、85.1μm、24.6μm、13.2μm、4.5μmの4種を用意した。この結果から、隙間が大きくなるにつれ、抵抗変化率が小さくなることが分かった。
本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨の範囲内で適宜変更することが可能である。
2 空気室
3 開口
4 本体
5 検知部
8 カンチレバー部
12 外縁
13 隙間
23 ピエゾ抵抗層
Claims (5)
- 空気室と、当該空気室の内外を連通する開口とが形成された本体と、
前記開口に設けられた検知部と
を備え、
前記検知部は、前記開口を塞ぐように傾動可能に設けられたカンチレバー部を有し、
前記カンチレバー部はピエゾ抵抗層が形成され、
前記カンチレバー部の外縁と、前記開口の間に形成された隙間から、前記空気室の内外へ気体が流通するように構成されており、
前記隙間は当該隙間を通って外部から前記空気室内に流入する気体の分子の平均自由行程の100倍以下であり、
前記ピエゾ抵抗層の抵抗変化から、前記空気室の内外の差圧を検出する
ことを特徴とする差圧センサ。 - 前記隙間は7μm以下であることを特徴とする請求項1記載の差圧センサ。
- 前記カンチレバー部の厚さが、0.03μm〜3μmであることを特徴とする請求項1又は2記載の差圧センサ。
- 前記本体が形成された第1層と、前記検知部が形成された第2層とを積層して構成されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項記載の差圧センサ。
- 請求項1〜4のいずれか1項記載の差圧センサを備えたことを特徴とするマイク。
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