JP5673049B2 - 波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置 - Google Patents

波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置 Download PDF

Info

Publication number
JP5673049B2
JP5673049B2 JP2010273264A JP2010273264A JP5673049B2 JP 5673049 B2 JP5673049 B2 JP 5673049B2 JP 2010273264 A JP2010273264 A JP 2010273264A JP 2010273264 A JP2010273264 A JP 2010273264A JP 5673049 B2 JP5673049 B2 JP 5673049B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
electrode line
electrode
line
counter electrode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2010273264A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2012123145A (ja
JP2012123145A5 (enExample
Inventor
友紀 松下
友紀 松下
松野　靖史
靖史 松野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP2010273264A priority Critical patent/JP5673049B2/ja
Priority to US13/313,661 priority patent/US8797650B2/en
Priority to CN201110406763.2A priority patent/CN102540311B/zh
Publication of JP2012123145A publication Critical patent/JP2012123145A/ja
Publication of JP2012123145A5 publication Critical patent/JP2012123145A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5673049B2 publication Critical patent/JP5673049B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
    • G02B5/20—Filters
    • G02B5/28—Interference filters
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02—Details
    • G01J3/027—Control of working procedures of a spectrometer; Failure detection; Bandwidth calculation
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02—Details
    • G01J3/10—Arrangements of light sources specially adapted for spectrometry or colorimetry
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
    • G01J3/26—Generating the spectrum; Monochromators using multiple reflection, e.g. Fabry-Perot interferometer, variable interference filters
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/46—Measurement of colour; Colour measuring devices, e.g. colorimeters
    • G01J3/50—Measurement of colour; Colour measuring devices, e.g. colorimeters using electric radiation detectors
    • G01J3/51—Measurement of colour; Colour measuring devices, e.g. colorimeters using electric radiation detectors using colour filters
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/002—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements the movement or the deformation controlling the frequency of light, e.g. by Doppler effect

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
  • Optical Filters (AREA)
  • Light Receiving Elements (AREA)
JP2010273264A 2010-12-08 2010-12-08 波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置 Expired - Fee Related JP5673049B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010273264A JP5673049B2 (ja) 2010-12-08 2010-12-08 波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置
US13/313,661 US8797650B2 (en) 2010-12-08 2011-12-07 Variable wavelength interference filter, optical module, and optical analysis device
CN201110406763.2A CN102540311B (zh) 2010-12-08 2011-12-08 可变波长干涉滤波器、光模块以及光分析装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010273264A JP5673049B2 (ja) 2010-12-08 2010-12-08 波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2012123145A JP2012123145A (ja) 2012-06-28
JP2012123145A5 JP2012123145A5 (enExample) 2013-12-26
JP5673049B2 true JP5673049B2 (ja) 2015-02-18

Family

ID=46199088

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010273264A Expired - Fee Related JP5673049B2 (ja) 2010-12-08 2010-12-08 波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置

Country Status (3)

Country Link
US (1) US8797650B2 (enExample)
JP (1) JP5673049B2 (enExample)
CN (1) CN102540311B (enExample)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5370246B2 (ja) * 2009-05-27 2013-12-18 セイコーエプソン株式会社 光フィルター、光フィルター装置、分析機器、および光フィルターの製造方法
JP5589459B2 (ja) 2010-03-15 2014-09-17 セイコーエプソン株式会社 光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器
JP5348032B2 (ja) * 2010-03-16 2013-11-20 セイコーエプソン株式会社 光フィルター並びにそれを用いた分析機器及び光機器
JP2014059497A (ja) * 2012-09-19 2014-04-03 Seiko Epson Corp 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、電子機器、及びｍｅｍｓデバイス
JP6089674B2 (ja) * 2012-12-19 2017-03-08 セイコーエプソン株式会社 波長可変干渉フィルター、波長可変干渉フィルターの製造方法、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器
JP6136356B2 (ja) * 2013-02-25 2017-05-31 セイコーエプソン株式会社 測定装置
US11035777B2 (en) * 2017-01-02 2021-06-15 Lg Innotek Co., Ltd. Light sensing device and particle sensing device
JP7006172B2 (ja) * 2017-11-21 2022-01-24 セイコーエプソン株式会社 波長可変干渉フィルター、光学デバイス、光学モジュール、及び電子機器

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5142414A (en) * 1991-04-22 1992-08-25 Koehler Dale R Electrically actuatable temporal tristimulus-color device
JP2003106899A (ja) * 2001-09-28 2003-04-09 Ando Electric Co Ltd 光学式分光器
JP2003315690A (ja) * 2002-04-26 2003-11-06 Seiko Instruments Inc 波長選択フィルタおよびそれを有する波長選択装置と波長選択方法
JP3812550B2 (ja) * 2003-07-07 2006-08-23 セイコーエプソン株式会社 波長可変光フィルタ
JP2005165067A (ja) * 2003-12-03 2005-06-23 Seiko Epson Corp 波長可変フィルタおよび波長可変フィルタの製造方法
JP4210245B2 (ja) * 2004-07-09 2009-01-14 セイコーエプソン株式会社 波長可変フィルタ及び検出装置
JP4466634B2 (ja) * 2006-01-19 2010-05-26 セイコーエプソン株式会社 光学デバイス、波長可変フィルタ、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザ
JP4561728B2 (ja) * 2006-11-02 2010-10-13 セイコーエプソン株式会社 光学デバイス、光学デバイスの製造方法、波長可変フィルタ、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザ
JP5564759B2 (ja) * 2008-04-02 2014-08-06 セイコーエプソン株式会社 光学フィルタ装置
JP5798709B2 (ja) * 2009-03-04 2015-10-21 セイコーエプソン株式会社 光フィルター及びそれを備えた光モジュール
JP5471369B2 (ja) * 2009-11-30 2014-04-16 セイコーエプソン株式会社 干渉フィルター、測色センサー、測色モジュール、及び干渉フィルターの製造方法
JP5428805B2 (ja) * 2009-11-30 2014-02-26 セイコーエプソン株式会社 干渉フィルター、光センサー、および光モジュール

Also Published As

Publication number Publication date
US20120147380A1 (en) 2012-06-14
CN102540311B (zh) 2015-11-18
JP2012123145A (ja) 2012-06-28
US8797650B2 (en) 2014-08-05
CN102540311A (zh) 2012-07-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5641220B2 (ja) 波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置
JP5724557B2 (ja) 波長可変干渉フィルター、光モジュール、および光分析装置
JP5716412B2 (ja) 波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置
JP5909850B2 (ja) 波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置
CN102540311B (zh) 可变波长干涉滤波器、光模块以及光分析装置
JP5779852B2 (ja) 波長可変干渉フィルター、光モジュール、および光分析装置
JP2011053510A (ja) 波長可変干渉フィルター、測色センサー、測色モジュール、および波長可変干渉フィルターの制御方法
JP5707780B2 (ja) 波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置
CN102608753B (zh) 波长可变干涉滤波器、光模块、光分析装置以及分析装置
JP5445303B2 (ja) 光フィルター素子、光フィルターモジュール、および分析機器
JP5673075B2 (ja) 波長可変干渉フィルター、光モジュール、および光分析装置
JP2012128136A (ja) 光センサー
JP5617621B2 (ja) 波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置
JP2012141347A (ja) 波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置
JP5999213B2 (ja) 波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置
JP2015043103A (ja) 波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置
JP2012150193A (ja) 波長可変干渉フィルター、光モジュール、および光分析装置
JP2016090251A (ja) 分光測定装置、及び分光測定方法
JP5673117B2 (ja) 光モジュール、および光分析装置
JP2015146020A (ja) 波長可変干渉フィルター、測色センサー、および測色モジュール
JP5765465B2 (ja) 光フィルターの製造方法
JP2016095526A (ja) 波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置
JP5884393B2 (ja) 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20131107

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20131107

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20140902

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20141030

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20141202

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20141215

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5673049

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees