JP5670060B2 - パターン・メディア用テンプレートおよびその製造方法 - Google Patents
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
- Shaping Of Tube Ends By Bending Or Straightening (AREA)
Description
112 ベース
114 トップ・カバー・プレート
116 ディスク・パック
118 ディスク・クランプ
120 読み書きヘッド
122 たわみ部
124 ヘッド・マウント・アーム
126 アクチュエータ
128 ボイス・コイル・モータ
130 ピボット軸
132 パス
205 テンプレート基板
210a、210n リング
215 断面位置
320 カーボン層
325 構造層
375 カーボン部分
370 Al2O3部分
715 Al2O3の正角層
750 間隙
1101 第1の材料の層
1102 レジスト構造
1103 第2の材料の層
1110 レジスト幅
1115 レジスト構造間の間隔
1120 第2の材料の第1の層の厚さ
1125 レジスト・ピッチ
1130 第2の材料の第2の層の厚さ
1135 最終的なピッチ
1140 構造間の空隙間隔
1145 構造の幅
1304 第2の材料の第2の層
Claims (18)
- パターン化メディアの処理方法であって、
基板によって支えられた第1の材料の第1の層を供給する工程と、
それぞれが上部表面と1又は複数の側壁を有する形状を含むレジスト・パターンを、第1の層の上に堆積させる工程と、
該レジスト・パターン上に第2の材料の等方層の第1の堆積を実行する工程と、
前記第2の材料の等方層の方向性イオン・ミリングを実行して、前記レジスト・パターンの前記側壁の露出を回避しながら、前記レジスト・パターンの前記上部表面を露出させる工程と、
前記レジスト・パターンと前記第2の材料の等方層の部分を支えていない前記第1の層の部分とを除去して、前記第1の材料によって支えられた前記第2の材料を含む第1のテンプレート・パターンを作製する工程と、を含む方法。 - 請求項1に記載の方法であって、前記第1の材料は前記第2の材料よりもイオン・ミリングに対して高い耐性を有し、かつ前記第2の材料よりもプラズマ・エッチングに対して低い耐性を有する前記方法。
- 請求項1または2に記載の方法であって、前記基板は概して円形の平坦な表面を有し、その上に第1の層が配置されており、また前記基板は円形の平坦な表面の中心に接近して回転軸を有しており、また前記レジスト・パターンの形状は、前記回転軸の回りに中心を有する複数の同心リングを含む前記方法。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載の方法であって、基板は円形の平坦な表面を有し、その上に第1の層が配置されており、また基板は前記円形の平坦な表面の中心に接近して回転軸を有しており、また前記レジスト・パターンの形状は、前記回転軸の回りに中心を有する複数の同心リングを含んでおり、各リングの各々の上部表面は放射方向の幅を有し、放射方向で前後のリングから分離されており、放射方向の分離は、前記第2の材料の等方層の前記第1の堆積の厚さの約2倍だけ前記放射方向の幅よりも大きい前記方法。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載の方法であって、更に
前記第2の材料を含む等方層の第2の堆積を実行する工程と、
構造の上部部分から前記第2の材料を除去して、前記第2の材料の前記第1の堆積から残っている前記第2の材料を支えていた残っている前記第1の材料を露出させる工程と、前記残っている第1の材料を除去して、前記第2の材料を含む第2のテンプレート・パターンを作製する工程と、を含む前記方法。 - 請求項5に記載の方法であって、更に方向性イオン・ミリングを実行して、前記第2の堆積の間に前記第1のテンプレート・パターンの構造間に堆積された前記第2の材料を除去する工程を含む前記方法。
- 請求項5に記載の方法であって、基板は円形の平坦な表面を有し、その上に第1の層が配置されており、また基板は前記円形の平坦な表面の中心に接近して回転軸を有しており、また前記レジスト・パターンの形状は、前記回転軸の回りに中心を有する複数の同心リングを含んでおり、各リングの各々の上部表面は放射方向の幅を有し、前後のリングから放射方向に分離されており、放射方向の分離は、等方層の前記第1の堆積の厚さの約2倍だけ前記放射方向の幅よりも大きく、前記第2の材料の前記第2の等方層堆積の厚さは、前記第2の材料の前記第1の等方層堆積の厚さの約半分である前記方法。
- 請求項7に記載の方法であって、前記同心レジスト・リングの上部表面は約20nmの放射方向の幅を有し、また前記同心レジスト・リングは約40nmの間隔だけ離れており、前記第2の材料の前記第1の等方層堆積の厚さは約10nmであり、前記第2の材料の前記第2の等方層堆積の厚さは約5nmである前記方法。
- 請求項5に記載の方法であって、前記第2の材料の前記第2の等方層堆積の厚さ(T2)は前記第2の材料の等方層の前記第1の堆積の厚さ(T1)よりも小さく、前記レジスト・パターンの形状は、ほぼT1+2T2に等しい放射方向の幅(Rw)を有する同心リングを含み、該同心レジスト・リング間の間隔は3T1+2T2にほぼ等しい前記方法。
- 請求項1〜9のいずれか1項に記載の方法であって、前記レジスト・パターンは更にサーボ・パターンのための形状を含む前記方法。
- 請求項5〜9のいずれか1項に記載の方法であって、基板は円形の平面の形状をして円形の平面の中心に近接して回転軸を有しており、また第2のテンプレート・パターンは回転軸の回りに中心を有する複数の同心リングを含む前記方法。
- 請求項5〜9、11のいずれか1項に記載の方法であって、前記第1のテンプレート・パターンは前記レジスト・パターンのリングのピッチのそれより約2倍の密度の最小ピッチを有しており、また第2のテンプレート・パターンは前記レジスト・パターンのリングのピッチの密度の約4倍の密度の最小ピッチを有する前記方法。
- 請求項1〜12のいずれか1項に記載の方法であって、前記第1の材料はアモルファス・カーボンを含み、また前記第2の材料は酸化アルミニウムを含む前記方法。
- 請求項1〜13のいずれか1項に記載の方法であって、前記第1の材料はアモルファス・カーボン、シリコン・カーバイド、ルテニウムおよびクロムを含むグループから選ばれた材料を含む前記方法。
- 請求項1〜14のいずれか1項に記載の方法であって、前記レジスト・パターンと前記第1の材料の前記第1の層の部分とを除去する工程はプラズマによるエッチングを含む前記方法。
- 請求項15に記載の方法であって、前記プラズマは酸素を含むプラズマであり、前記除去する工程のプロセス温度は約−20℃よりも低い前記方法。
- 請求項1〜16のいずれか1項に記載の方法であって、前記第2の材料の前記第1の等方層堆積の厚さは、前記第2の材料の等方層の第2の堆積の厚さの約2倍である前記方法。
- 請求項1〜17のいずれか1項に記載の方法であって、前記第1のテンプレート・パターンは、生産用テンプレートを作製するマスタ・テンプレートとして使用される前記方法。
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