JP5662504B2 - 基板の位置決めオフセットの補正方法 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 381
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 68
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 128
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 81
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 27
- 238000012805 post-processing Methods 0.000 claims description 21
- 238000003672 processing method Methods 0.000 claims description 19
- 238000007781 pre-processing Methods 0.000 claims description 14
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 28
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 25
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 22
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 19
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 15
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 10
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 7
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 6
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 238000012512 characterization method Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 2
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 1
- 238000001493 electron microscopy Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 238000007373 indentation Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS], computer integrated manufacturing [CIM]
- G05B19/41875—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS], computer integrated manufacturing [CIM] characterised by quality surveillance of production
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
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- H—ELECTRICITY
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
- H01L21/306—Chemical or electrical treatment, e.g. electrolytic etching
- H01L21/3065—Plasma etching; Reactive-ion etching
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
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- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/37—Measurements
- G05B2219/37398—Thickness
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/45—Nc applications
- G05B2219/45031—Manufacturing semiconductor wafers
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/50—Machine tool, machine tool null till machine tool work handling
- G05B2219/50057—Compensation error by probing test, machined piece, post or pre process
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
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Description
た単一の基板から切り出されたダイからは、複数の半導体デバイスを生成することができ
る。基板を処理するために、基板は、プラズマ処理チャンバ内の基板チャックの上部に設
置することができる。基板を基板チャックに位置決めすることによって、デバイスを形成
するために基板のどの部分を処理したらよいかを決定することができる。
おいて、基板チャックに対して基板を位置決めするためにセンサを処理モジュール内に設
置することができる。別の例において、基板を基板チャックと同心に位置合わせするため
に、案内ロボットアームなどのアライメント治具を採用することができる。ハードウェア
中心(たとえば、基板チャックの中心)への位置合わせは、ある程度の精度で行なうこと
ができるが、処理中心への位置合わせと必ずしも一致しないかもしれない。
の中心を指す。また、本明細書で論じられるように、処理中心は、プラズマ処理の焦点中
心を指す。理想的に、焦点中心からのいかなる半径方向距離においても、処理の結果(た
とえば、エッチング速度)は変わらない。たとえば、処理中心から100mmの距離にお
いて、この焦点にある処理中心から100mmの半径を有する円の周りをたどるときエッ
チング速度は実質的に一定のままであると予想される。チャンバ構成の特異性によって、
処理中心は、ハードウェア中心と必ずしも同じでないかもしれない。結果的に、ハードウ
ェア中心だけに基づいて位置合わせすると、基板を処理する間に心ずれが生じるおそれが
ある。メーカは、歩留りを向上させるよう絶えず努力しているので、基板の心ずれによっ
て生じるデバイスの欠陥を最小にするために、プラズマ処理中は、基板の中心を処理中心
により正確に置くような努力が常になされる。
る方法に関する。この方法は、基板を処理する前に表面に膜を有する基板の厚さを測定す
ることを含む、前処理測定データ点の組を生成することを含む。測定することは、基板
の幾何学的中心からの方位の組と距離の組とにおいて行なわれる。
また、この方法は、基板を処理した後に基板の厚さを測定することを含む、後処理測定データ点の組を生成することを含む。測定することは、基板の幾何学的中心からの少な
くとも方位の組と距離の組とにおいて行なわれる。
この方法は、さらに、前処理測定データ点の組を後処理測定データ点の組と比較してエッチング深さの組を計算することを含む。
また、この方法は、さらに、方位の組に対するエッチングプロファイルの組を生成することを含む。
この方法は、さらに、エッチングプロファイルの組から半径の組を外挿することを含む。半径の組は第1のエッチング深さに関連する。
この方法は、さらに、半径の組と方位の組との、具体的な方位に対する基板の幾何学的中心からの半径方向距離のグラフ表示である偏心プロットを生成することを含む。
この方法は、さらに、公知の曲線適合式を偏心プロットに適用することによって処理中心を計算することを含む。
有するプログラム記憶媒体を備える製品に関する。コンピュータ可読コードは、処理チャ
ンバ内のチャックに対する処理中心を計算するように構成される。
この製品は、基板を処理する前に表面に膜を有する基板の厚さを測定することを含む、前処理測定データ点の組を生成するコンピュータ可読コードを含む。測定することは、基板の幾何学的中心からの方位の組と距離の組とにおいて行なわれる。
また、この製品は、基板を処理した後で基板の厚さを測定することを含む後処理データ測定点の組を生成するコンピュータ可読コードを含む。測定することは、基板の幾何学
的中心からの少なくとも方位の組と距離の組とにおいて行なわれる。
この製品は、さらに、エッチング深さの組を計算するために、前処理測定データ点の組を後処理測定データ点の組と比較するコンピュータ可読コードを含む。
また、この製品は、さらに、方位の組に対するエッチングプロファイルの組を生成するコンピュータ可読コードを含む。
この製品は、さらに、エッチングファイルの組から半径の組を外挿するコンピュータ可読コードを含む。半径の組は、第1のエッチング深さに関連する。
この製品は、さらに、半径の組と方位の組との、具体的な方位に対する基板の幾何学的中心からの半径方向距離のグラフ表示である偏心プロットを生成するコンピュータ可読コードを含む。
この製品は、さらに、公知の曲線適合式を偏心プロットに適用することによって処理中心を計算するコンピュータ可読コードを含む。
を計算するコンピュータ実行方法に関する。
この方法は、基板を処理する前に表面に膜を有する基板の厚さを測定することを含む、前処理測定データ点の組を生成することを含む。測定することは、基板の幾何学的中心
からの方位の組と距離の組とにおいて行なわれる。
また、この方法は、基板を処理した後に基板の厚さを測定することを含む後処理測定データ点の組を生成することを含む。測定することは、基板の幾何学的中心からの少なくとも方位の組と距離の組とにおいて行なわれる。
この方法は、さらに、エッチング深さの組を計算するために、前処理測定データ点の組を後処理測定データ点の組と比較することを含む。
また、この方法は、さらに、方位の組に対するエッチングプロファイルの組を生成することを含む。
この方法は、さらに、エッチングプロファイルの組から半径の組を外挿することを含む。半径の組は、第1のエッチング深さに関連する。
この方法は、さらに、半径の組と方位の組との、具体的な方位に対する基板の幾何学的中心からの半径方向距離のグラフ表示である偏心プロットを生成することを含む。
この方法は、さらに、公知の曲線適合式を偏心プロットに適用することによって処理中心を計算することを含む。
で、本明細書において特許請求の範囲に記述される本発明の範囲を制限するものではない。
本発明の上述の特徴および他の特徴は、本発明の詳細な説明の中で以下の図と併せて以
下においてさらに詳しく記載する。
では同様の参照番号は同様の要素を示す。
以下の説明では、本発明が十分に理解されるように多くの詳しい情報が記載される。
しかし、これらの詳しい情報の一部または全部がなくても本発明を実施しうることは、
当業者にとって明らかであろう。他の例では、本発明が無用に分かりにくくなることのな
いように、周知の処理ステップおよび/または構造を詳しく記載していない。
本発明は、本発明による実施形態の技法を実施するコンピュータ可読命令が記憶される
コンピュータ可読媒体を含む製品を対象とする場合があることにも留意されたい。コンピ
ュータ可読媒体は、コンピュータ可読コードを記憶する、たとえば、半導体、磁気、光磁
気、光、または他の形態のコンピュータ可読媒体を含んでいてもよい。
さらに、本発明は、本発明の実施形態を実施する装置を対象とすることもある。このよ
うな装置は、本発明の実施形態に関するタスクを実行するために、専用および/またはプ
ログラム可能な回路を含んでいてもよい。このようは装置の例は、適切にプログラムされ
た汎用コンピュータおよび/または専用コンピューティングデバイスを含み、本発明の実
施形態に関する様々なタスクに適合されたコンピュータ/コンピューティングデバイスお
よび専用/プログラム可能な回路の組合せを含んでもよい。
される。ただし、本明細書で開示される心出し方法は他のいかなる種類の処理(たとえば
、蒸着)にも適用しうることに留意されたい。さらに、この方法は、処理が同心(均一お
よび/または不均一)であるいかなる用途にも適用される。
円形一定エッチング速度法(circular constant etch rate
method)が提供される。本発明の実施形態において、基板のオフセット(すなわ
ち、チャックのハードウェア中心からチャックの処理中心までのオフセット)は、処理の
間にチャックの真上に幾何学的中心が置かれていた試験基板で行なわれるエッチング速度
測定から推測されてもよい。計算された基板オフセットでは、チャックの処理中心の真上
での後に続く基板の心出しを容易にして処理の均一性を改善するために、トランスファモ
ジュール内のロボットアームをチャックの処理中心の座標を用いてプログラムしてもよい
。
採用してもよい。しかし、前述のように、ハードウェア中心と処理中心は、所与のツール
の特異性に起因して必ずしも一致するとは限らない。基板の中心を処理中心により正確に
置くことができる場合、処理の均一性が改善され、基板エッジのより近くで満足な処理結
果が得られ、基板のより多くをデバイスのダイの形成に使用することができるようになる
。
先行技術において、ハードウェア中心を用いる位置合わせの方法は、開ループ位置合わ
せであってもよく、開ループ位置合わせでは、通常、オフセット信号をフィードバックす
ることができない。先行技術とは異なり、処理中心を採用する方法では、基板位置の閉ル
ープフィードバックが可能となり、したがって、処理中心を制御することができる。
ある基板からの測定データの組を外挿することによって処理中心を決定する方法を提供する。一実施形態において、基板に対する前処理測定データ点の組を処理に先立って収集してもよい。一実施形態において、同じ基板上の測定位置に対する後処理測定データ点の組を処理の後に収集してもよい。
前処理測定データ点を得ることに代わる手段として、たとえば、未加工基板メーカによ
って提供される仕様書データから前処理測定厚さについて仮定を置くことができる。
えてみよう。各データ点に対するエッチング速度は、一実施形態において、エッチング深
さを基板の処理時間で割ることによって計算することができる。本明細書において、様々
な実施方法がエッチング速度を用いて議論されることがある。しかし、本発明では、エッ
チング速度に限定せずにエッチング深さを採用することができる。
では、データ点の位置と基板の幾何学的中心をつなぐ線に沿って測定される距離として定
義される)を含んでもよい。ある例において、データ点1は、基板の中心から148.2
mmである。エッチング速度は、各データ点に対して計算されているので、各データ点に
対する半径(R)の値は、ここでは、各エッチング速度に関連している可能性がある。
さらに、各データ点に対する方位も決定することができる。本明細書で採用される方位
という用語は、基準半径線からの角度オフセットを指す。
したがって、データ点は、データ点の前処理エッチング深さ、データ点の後処理エッチ
ング深さ、データ点の計算エッチング速度、基板の幾何学的中心からのデータ点の半径方
向距離、およびデータ点の方位の1つまたは複数によって特徴付けられる可能性がある。
ができる。本明細書で論じられるように、方位(θ)は、固定の基準半径方向線からの基
板上の0°〜360°の角度を指す。方位の例は、0°、45°、90°、180°、2
70°などを含むが、これらに限定されない。
対して決定することができる。ある例において、1000Å/minのエッチング速度を
有する複数のデータ点を基板上で決定することができる。
これらのデータ点は、基板の処理中心を中心として実質的な同心円を形成する。基板の
中心がチャックの処理中心の真上にある場合、すなわち、処理の際に基板の幾何学的中心
がチャックの処理中心と一致している場合、様々なエッチング速度に対する同心円の中心
は、基板の幾何学的中心に置かれる傾向があることに留意されたい。
ただし、基板の処理中心は、この時点で未知であり、かつ試験基板の中心は、ロボット
の幾何学的中心の真上にあるので、様々なエッチング速度に対する同心円の中心は、基板
の幾何学的中心から偏位していることになる。本発明の実施形態では、この事実を利用し
てチャックの処理中心とロボットの中心とのオフセットを計算する。
ラフを使って実質的な正弦曲線として表すことができる。言い換えれば、所与のエッチン
グ速度に対して、所与のエッチング速度が見られる半径線上の位置と基板の幾何学的中心
との距離は、基板の幾何学的中心を中心として360°回転すると、正弦波状に変化する
。所与のエッチング速度に対応する所与の位置に対する偏心プロット上の各点は、具体的
な方位(θ)に対する基板の幾何学的中心からの半径方向距離(E)を表す。
る。この後、基板オフセットは、少なくとも1つの偏心プロットを知ることによって計算
することができる。偏心プロットから処理中心とハードウェア(すなわち、幾何学的)中
心とのオフセットを数値計算するために、公知の曲線適合式(たとえば、フーリエ変換からのフーリエ級数式、最小二乗適合など)を採用することができる。いったん基板オフセットが決定されると、真空トランスファモジュールのロボットアームを、処理チャンバに対する基板チャックの処理中心の新たな座標を用いてプログラムすることができる。
図1は、一実施形態において、処理中心を決定しうる典型的な基板処理システムの概要
のブロック図を示す。プラズマ処理システム100は、基板が大気トランスファモジュー
ル102から真空トランスファモジュール104に移動し、さらに、1つまたは複数の処
理モジュール(106、108、110、および112)に移動し、最終的にプラズマ処
理システム100から出ていくまでの間に基板を処理できる複数の基板保持位置を含んで
いてもよい。
な位置で基板114の厚さを測定することができる。基板114は、光屈折性のある塗膜層を含んでいてもよく、計測ツール116によって測定することができる。基板114の厚さを測定する際に、様々な測定位置において複数のデータ点を収集することができる。一実施形態において、2つまたはそれ以上のデータ点を収集することができる。別の実施形態において、約100〜200のデータ点を基板114上の種々の位置で選択することができる。
118に設置することができる。大気トランスファモジュール102内のロボットアーム
120は、基板114をアライナ122に移動することができる。
アライナ122において、基板114の中心は、正確にチャックの幾何学的中心の真上
にある可能性がある(処理中心は、まだ確定されていないので、これは試験基板の場合に
言えることである)。いったん中心に置かれると、ロボットアーム120は、基板114
をエアロックモジュール(AL124とAL126)の一方に移動することができる。
エアロックモジュールが大気トランスファモジュール102と真空トランスファモジュ
ール104の間の環境を整合させる能力によって、基板114は、2つの与圧環境の間を
損傷することなく移動することができる。
ール104内のロボットアーム128によって処理モジュール(106、108、110
、および112)のうちの1つの内に移動することができる。いったん基板114が処理
(たとえば、エッチング)されると、ロボットアーム128は、基板114を大気トラン
スファモジュール102経由して真空トランスファモジュール104からFOUP118
に移動することができる。
きる。処理の後で基板114の厚さを測定する際、処理に先立って測定されている同じデ
ータ点位置の一部または全部を処理の後に再び測定することができる。ある例において、
120のデータ点が前処理測定の間に120箇所で測定されている場合、少なくとも同じ
120箇所に対するデータを処理後の測定の際に再び測定することができる。
膜層204を有してもよい。塗膜層204は、たとえば、基板の厚さを計測ツールによっ
て測定しうる光屈折性材料であってもよい。処理に先立って、計測ツールは、基板202の下部から塗膜層204まで(すなわち、距離208)を測定しうる。
定値は、きわめて似た傾向を示す。ある例において、データ点1における基板の厚さは、
データ点2における基板の厚さとほとんど同じである可能性があり、厚さのわずかな違い
は、未加工の基板の製造中に導入されるわずかな変動要因に起因する。処理に先立って、
基板は、実質的に平坦である傾向があり、塗膜層は、基板の表面全域で実質的に一様に分
布している傾向がある。
、前処理測定を省略することができる。塗膜層が加えられる前と後で基板に厚さの差が存
在しうるため、一実施形態において、前処理測定で基板上の種々の位置における基板の厚
さの差を考慮に入れることができる。
は、この場合、エッチングされた塗膜層206として示される。処理の結果、塗膜層の厚
さが、この場合、基板上の位置によって異なる。参照番号210は、たとえば、基板上の
所与の位置における基板202の新たな厚さを表す。基板の処理後に実施できる後処理測
定では、様々な位置において基板の新たな厚さを測定することができる。
図を示す。基板の図250は、種々の方位(たとえば、0°、45°、90°など)にお
ける複数のデータ点を示す。前処理と後処理の両測定において、基板の同じ位置に対する
厚さデータを収集することができる。一実施形態において、データ点の収集は、手動で実
施することができる。別の実施形態において、走査パターンを識別して前処理測定と後処
理測定を実施するために採用することができる。
できる。本明細書で議論されるように、エッチング深さという用語は、エッチングされて
いる、塗膜層が施された基板の部分を指す。言い換えれば、エッチング深さは、所与の基
板位置に対する前処理測定データと後処理測定データの差である。
チング深さをエッチング速度として表すことができる。ある例において、基板の位置は、
約0.5mmの前処理測定値を有していてもよい。
いったん基板が処理されると、同じ位置における基板の厚さが、この場合、0.375
mmである。エッチング深さは、前処理測定と後処理測定との差であるので、所与の位置
(たとえば、0°の方位、115mmの半径)におけるエッチング深さは、0.125m
mである。基板114に対する処理時間が2分であれば、エッチング速度は、その位置に
対して0.0625Å/minである。いったんエッチング速度が決定されると、基板上
のデータ点の各々は、この場合、エッチング速度に関連している可能性がある。
に対して基板の幾何学的中心からの半径方向距離を測定することができる。図2Cは、一
実施形態において、各データ点に対する半径の測定を示す。ある例において、基板の図2
60は、データ点270および272を示す。データ点270に関連しているのは、半径
278であり、データ点272に関連しているのは半径276である。収集の対象となり
うる各データ点に対して、基板の幾何学的中心(これは、チャック基板上で幾何学的中心
をなす試験基板に対するハードウェア中心と一致する)からの半径方向距離を測定するこ
とができる。
することができる。
図3は、一実施形態において、方位に対するエッチングプロファイルを説明する簡単な
グラフを示す。図2Bおよび2Cから分かるように、方位は、基板の幾何学的中心からの
距離によって異なる複数のエッチング速度を有しうる。グラフの図300は、プロットさ
れた複数のエッチング速度(η)と60°の方位(θ)に対する複数の半径(R)とを示
す。各方位(たとえば、0°、45°、90°など)に対して、一実施形態において、エ
ッチングプロファイル(たとえば、エッチング速度プロファイルなど)をプロットしうる
。
的な同心円を各エッチング速度に対して決定することができる。一実施形態において、所
与のエッチング速度を有するデータ点に対して半径を決定するために、線形補間または三
次スプライン補間を行なうことができる。ある例において、60°の方位における100
0Å/minのエッチング速度は、145mmの半径を有しうる(図3から分かるように
)。異なる方位における同じエッチング速度は、図3に見られるように、異なる半径を有
していてもよい。各方位に対して、半径の測定値は、1000Å/minの同じエッチン
グ速度に対して決定されてもよい。
略図を示す。基板の図400は、基板402と同心円404とを示す。各エッチング速度
に対して、複数のエッチングプロファイル(図3に見られるような)から外挿しうる複数
の半径(たとえば、R1 406とR2 408)を、一実施形態において、実質的な同心
円404を生成するように採用することができる。
と方位角方向を示すグラフを示す。グラフの図500は、このようなエッチング速度を有
する基板の位置とプロットされた基板の幾何学的中心との距離と、一定のエッチング速度
(たとえば、1000Å/min)に対する複数の方位(θ)とを表す複数の半径(E)
を示す。基板の幾何学的中心が基板の処理中心と一致している場合、偏心プロット(たと
えば、図5に示される偏心プロット)が実質的に平坦であったことになる。
。偏心プロットは、一実施形態において、実質的に正弦波の形状を有してもよい。一実施
形態において、処理中心は、少なくとも1つの偏心プロットから計算されてもよい。
公知の曲線適合式(たとえば、フーリエ変換からのフーリエ級数式、最小二乗適合など)を採用することができる。
[式1]
パラメータの説明
Eavg 一定エッチング速度に対する基板中心からの平均距離
Δc cos(θ−φ1) 基本波−方位の関数としての偏差
Δc2cos(2θ−φ2) 第2高調波
Δc 2つの中心間の距離測定値
R 半径
θ 方位
φ オフセットを含む角度
明する簡単なフローチャートを示す。
膜層(たとえば、光屈折性のある塗膜層)を有してもよい。
態において、塗膜層を有する基板の厚さは、複数のデータ点で測定することができる。デ
ータ点を手動で測定する代わりに、データ点の収集に走査パターンを採用することができ
る。
、基板の幾何学的中心は、チャックの幾何学的中心の真上に置かれる。一実施形態におい
て、基板は、完全に処理される必要はない。ある例において、基板は、塗膜層の一部を除
去するのに十分な期間処理するだけでよい。
、測定することができる。一実施形態において、場合によっては、前処理測定値の収集に
採用されていていたものと同じ走査パターンを後処理測定値の収集に採用することができ
る。
ムに従って決定することができる。
図7は、一実施形態において、処理中心を決定するアルゴリズムを示す。
できる。エッチング深さを計算するために、データ点に対する測定位置の前処理測定値を
後処理測定値から差し引くことができる。
できる。エッチング速度を計算するために、データ点のエッチング深さを基板の処理時間
で割ることができる。
ロファイルなど)を各方位に対して生成することができる。ある例において、エッチング
プロファイルを生成するために、具体的な方位における各データ点に対してエッチング速
度をプロットすることができる。
て、所与のエッチング速度を有する各方位に対して位置(E)を決定することができる。
ができる。ある例において、具体的な方位におけるエッチング速度に対して半径をエッチ
ングプロファイルから外挿することができる。いったん一定のエッチング速度における半
径が各エッチングプロファイルに対して外挿されると、実質的に正弦波状の偏心プロット
を生成することができる。
公知の曲線適合式(たとえば、フーリエ変換からのフーリエ級数式、最小二乗適合など)を採用することができる。基板の幾何学的中心がチャックの処理中心と一致している場合、偏心プロット(たとえば、図5に示される偏心プロット)は、実質的に平坦であったことになる。数学的手法としての曲線適合およびこれに代わる様々な手法が当業者に知られている。
、トランスファモジュール(たとえば、大気トランスファモジュール、真空トランスファ
モジュールなど)内のロボットアームに教示することができる。その結果、処理の間に基
板の中心がチャックの処理中心の真上にあるように、ロボットアームは、この場合、基板
チャック上で後に続く基板を偏位させる正確な処理システム座標(以下、単に「座標」と称する。)を有しうる。
形一定エッチング速度法に従って様々な同等の方法で実施されてもよいことを理解された
い。1つまたは複数の一定エッチング速度同心円の生成を容易にするために処理結果の測
定値が幾何学的中心に置かれた試験基板から得られる限り、同心円の中心とチャックの幾
何学的中心(これは、処理の際に、チャックの真上に幾何学的中心がある試験基板用の基
板の
幾何学的中心と一致する)のオフセットを決定するために様々な数学的手法を適用す
ることができる。いったんオフセットが決定されると、後に続く基板の中心をチャックの
処理中心(チャックの幾何学的中心とは対照的に)の真上に置くことができるようにオフ
セット情報をツールに提供することができる。
板チャックに対する処理中心を決定するアルゴリズムを提供する。この方法は、基板チャ
ックの処理中心を明らかにすることによって、起こりうる心ずれを実質的に補正し、これ
によって、基板を処理する際に発生しうる不適合の割合を低減する。
さらに、この方法では、前処理測定値と後処理測定値の収集に現行の計測ツールを採用
することによって、計測ツールをほとんどの製造工場で一般的に利用することができるの
で、この方法の実現には、新たに高価な購入品を必要としない。さらに、この方法では、
式から基板の差を排除することによって、エッチングの際にチャンバ性能のより正確な特
性解析が可能になる。
は複数の半導体デバイスを生成することができる。デバイスの品質を保証するために、処
理を通じて基板を周期的に測定してもよい。
異常検出は、基板および/または基板処理における欠陥を識別する処理を指す。異常検出
の例として、心ずれの識別、基板表面の欠陥の識別、基板を処理中の欠陥の識別、および
膜間隔の識別が挙げられるが、これらに限定されない。
の欠陥を識別しうる基板の画像を生成するために、光計測ツールを採用することができる。
図8は、先行技術の光計測ツールによって測定されている基板のブロック図を示す。た
とえば、基板802が処理されている状況を考えてみよう。異常検出を実施するために、
光計測ツール804を採用することができる。画像を取り込む際に、光計測ツール804
は、基板802の満足な画像を取り込むために表面から反射される光に頼ることがある。
計測ツール804は、基板の点806および808における満足な画像を撮影できる可能
性がある。しかし、光は、非平坦な(たとえば、湾曲したり角があったりする)面で多方
向に跳ね返るので、光計測ツール804は、基板エッジ(点810)に沿って基板の画像
を取り込むことが比較的困難であるかもしれない。
子顕微鏡は、基板の画像を取り込む方法として高価であり、これを実現するためには高価
なツールと高いレベルの技術的知見を必要とする。
感度機器となる傾向があるので、基板を真空中で観察する必要がある。さらに、サンプル
サイズに制限があるため、電子顕微鏡では、通常、基板を細かく分割する必要がある。そ
の結果、電子顕微鏡は、通常、基板を処理する際にインライン計測ツールとして使用され
ることはない。電子顕微鏡は、基板全体を受け入れるのに十分な大きさである場合もある
が、所有コストがきわめて高くつく可能性がある。さらに、電子顕微鏡は、一般に、基板
の組成に影響を与える可能性のある特別な準備を必要とする。
がって、光計測ツールで基板エッジに沿って満足な画像を取り込むことができないことが
問題をもたらすことはなかった。しかし、基板エッジに沿った処理を制御できないために
、基板表面の貴重な資産が捨てられてきた。近年、新たなツールは、基板エッジに沿った
処理に重点を置いている。しかし、先行技術の計測ツールと計測方法は、この種のツール
に代わって異常検出を実施しうる画像の種類を提供するには十分でない。
ュール(BIM)が提供される。本発明の実施形態において、BIMは、基板のベベルエ
ッジの満足な画像の取込みにより繋がりやすい環境を生成しうるハードウェアを含んでも
よい。また、本発明の実施形態は、基板エッジを包含する処理領域に対して異常検出を行
なうために画像を操作することを含む。
みよう。基板をそのエッジに沿って処理すると、基板の資産を最大化することができる。
ただし、最大化は、処理が実質的に欠陥のない状態で実現される場合にのみ起こりうる。
先行技術では、異常検出を実施することが困難であったため、基板エッジ付近の領域は、
一般に捨てられていた。
基板のエッジに沿った)を取り込むためにベベル検査モジュール(BIM)を提供する。
本発明の一態様において、このような環境を生成するために、BIMの様々なコンポーネ
ントは、種々の視野と角度における画像を取り込むための柔軟性を有する必要があること
を、本発明者らは、本明細書において認識している。
一実施形態において、カメラ、光学系筐体、カメラマウントなどのハードウェアは、調
整可能な位置決め機能とともに実装されており、したがって、ハードウェアの位置決めの
柔軟性を備えている。別の例において、不十分な照明が鮮明な画像を取り込む能力を妨げ
ていたことを、本発明者らは、本明細書において認識している。一実施形態において、B
IMは、追加照明(たとえば、バックライト)を提供しており、したがって、背景と基板
の間のコントラストを提供する。
ツールである。BIMをプラズマ処理システムに取り付けることによって、基板を処理す
る際にBIMをインライン計測ツールとして採用することができる。
。
図9は、一実施形態において、ベベル検査モジュール(BIM)を有するプラズマ処理
システムの概要のブロック図を示す。本明細書において、プラズマ処理システムを用いて
様々な実装を議論することがある。しかし、本発明は、プラズマ処理システムに限定され
ず、ベベルエッジを観察したい場合の任意の処理システムに採用することができる。
ランスファモジュール904に移動し、さらに、1つまたは複数の処理モジュール(90
6、908、910、および912)に移動して、最終的にプラズマ処理システム900
から出て戻るまでの間は、基板の処理を可能にする複数の基板保持位置を含んでいてもよ
い。
気トランスファモジュール902内のロボットアーム920は、基板914をアライナ9
22に移動させることができる。アライナ922において、基板914を正確に中心に置
くことができる。いったん中心に置かれると、ロボットアーム920は、基板914をB
IM916に移動させることができる。一実施形態において、BIM916はアライナを
含んでいてもよい。アライナがBIMの一部として含まれる場合は、アライナ922を不
要とすることができる。
IMI916が前処理画像の撮影が終了すると、ロボットアーム920は、基板914を
エアロックモジュール(AL924とAL926)の一方に移動することができる。エア
ロックモジュールが大気トランスファモジュール902と真空トランスファモジュール9
04の間の環境を整合させる能力によって、基板914は、2つの与圧環境の間を損傷す
ることなく移動することができる。
、AL924などのエアロックモジュールから処理モジュール(906、908、910
、および912)のうちの1つの中に移動することができる。処理している間に、基板9
14を周期的に解析することができる。
ある例において、処理が処理モジュール906で終了した後、ロボットアーム928は
、基板914を処理モジュール906から真空トランスファモジュール904を通じ、さ
らにAL924を経由してロボットアーム920に移動することができる。
ロボットアーム920は、インライン検査を実施するBIM916に基板914を移動
することができる。いったん検査が終了すると、処理を継続するために基板914を処理
モジュールの1つの中に戻すことができる。BIM916をプラズマ処理システムに接続
できるので、オペレータが基板914を解析しうるようにインライン計測が処理を通じて
周期的に実施されてもよい。
ができる。BIM916は、それでも接続されているのと同じように支援を提供すること
ができるが、追加ステップが実施されなければならない可能性がある。BIM916をプ
ラズマ処理システム100に接続することによって、インライン計測を人手による介入な
しで実施することができる。
っては、BIM1000を大気トランスファモジュールに直接装着しうる筐体1002を
有してもよい。一実施形態において、大気トランスファモジュールに直接結合することに
よって、BIM1000は、基板を処理している間にインライン計測を行なうこともでき
る。
04から基板チャック1006に設置されてもよい。また、BIM1000は、ノッチお
よびウエハエッジセンサ1008を含んでもよく、ノッチおよびウエハエッジセンサ10
08は、基板と基板ノッチを識別することもできる。ノッチおよびウエハエッジセンサ1
008は、図9のアライナ922と同様に動作しうる。ノッチおよびウエハエッジセンサ
1008がBIM1000に含まれる場合は、アライナはオプションモジュールであって
もよい。
しうる真空センサおよびスイッチ1010を含んでもよい。ある例において、真空センサ
およびスイッチ1010が「オン」位置にあるとき、基板は、基板チャック1006にし
っかり取り付けられており、ロボットアームによる基板の取外しが阻止される。真空セン
サおよびスイッチ1010が「オフ」位置にあるとき、ロボットアームは、基板をBIM
1000から取り外すことができる。
でもよい。インタフェースカード1012は、BIM1000に利用可能な電子回路のコ
ントローラの機能を果たすことができる。また、BIM1000は、インタフェースカー
ド1012に接続できるコンピュータ1014を含んでもよい。
含んでもよい。光学系筐体1018は、カメラ1016から延在してもよい。カメラ10
16と光学系筐体1018は、カメラマウント1020に装着される。また、BIM10
00は、背景に照明を提供するバックライト1022を含んでもよい。
縮みさせてもよい。カメラマウント1106を調整することによって、カメラ1104と
光学系筐体1102との位置を、基板のサイズおよび/または解析中の基板領域のサイズ
が明らかになるように補正することができる。ある例において、基板のサイズが200m
mから300mmに変化するとき、カメラマウント1106の調整を必要とする可能性が
ある。
カメラ1104に種々の範囲の画像を取り込むことができる。
別の実施形態において、カメラ1104を矢印1114で示される横方向に移動して、
基板のサイズおよび/または解析中の基板領域のサイズに合わせてカメラ1104をさら
に調整することができる。さらに別の実施形態において、カメラ1104を矢印1110
で示されるように回転して、基板の種々の視野(たとえば上面、下面、および側面)をカ
メラ1104に取り込むことができる。ある例において、基板の上面図を取り込むように
カメラ1104を調整することができる。
別の例において、基板のベベルエッジ(たとえば、側面図)の直接視野を取り込むよう
にカメラ1104を調整することができる。
光学系筐体1102を矢印1108で示されるように回転して、光学系筐体によって種々
の角度で照明を提供することができる。
によって、画像を種々の角度、範囲、および位置で取り込む柔軟性がBMI1100に提
供される。したがって、取り込める画像の種類の制御を改善することができる。前述の通
り、BIMのハードウェアは、調整可能な部品が実装されており、したがって、ハードウ
ェアの位置決めに柔軟性を提供している。
状況を考えてみよう。BIM1200は、基板チャック1204の上部に配置される基板
1202を含んでもよい。基板チャック1204は、基板1202を回転させうる回転モ
ータ1206に結合されてもよい。この回転能力によって、基板チャック1204は、基
板1202をカメラ1208に対する所定位置に移動して、基板1202の画像を取り込
み、基板1202の種々の位置における画像を取り込むことができる。
210に装着されるものとして、カメラ1208と光学系筐体1212が含まれてもよい
。光学系筐体1212は、レンズ1214、レンズ1216、およびビームスプリッタ1
218を含んでもよい。
発光ダイオード(LED)であってもよい。一実施形態において、光1222は、3波長
LEDであってもよい。複数の波長を有することによって、膜厚、プロファイル、および
/またはインデックスの変化に応じて照度を変えることができる。ある例において、より
高いインデックスを有する膜の画像を取り込むために、より短い波長のLEDを利用する
ことができる。光1222は、外部からビームスプリッタ1218を経由して光学系筐体
1212に流れ込むことができ、光1222をレンズ1214に向けて下方に導くことが
できる。
とができる。基板は、場合によっては、丸みを帯びたベベルエッジを有することがあるの
で、光は、基板で反射して、良好な画像の取込みを妨げるおそれがある。先行技術におい
て、バックライトが提供されずに、基板のエッジを明確に規定できない画像が得られるこ
とがある。
一実施形態において、基板1202のエッジを際立たせる助けとなりうるバックライト
1224をBIM1200に含むことができる。バックライト1224の追加によって、
基板エッジと背景のコントラストが提供される。言い換えれば、基板1202のエッジに
光が当てられて、カメラ1208と光学系筐体1212は、基板のエッジを背景からはっ
きりと分離する基板1202のエッジの画像を取り込むことができる。
ンズ1214の視野を変えることができる。さらに、レンズ1214の倍率は、変更する
ことができる。ある例において、比較的短い波長のLEDは、鮮明な画像を生成するため
に比較的高い倍率を必要とする可能性がある。
、BIMの実施形態は、異常検出に採用できる鮮明な画像を提供することに繋がる環境を
提供する。ある例において、BIMは、調整、移動、および/または回転に柔軟性を有す
るコンポーネントを含んでおり、したがって、鮮明な画像が取り込まれるように、カメラ
、光学系筐体、および基板を位置決めすることができる。
さらに、追加照明を提供することができ、したがって、基板のエッジと背景のコントラ
ストを示す画像を撮影することができる。
ことができる。次の数枚の図は、BIMによって取り込まれた画像を異常検出に利用する
方法を示す。
沿った欠陥を検出することができる。
図13は、一実施形態において、基板のエッジに沿って生じるアーク放電を示す、BI
Mによって取り込まれた画像の例を示す。画像1300は、処理の間に生じうるアーク放
電の例であると考えられ窪み点1302、1304、1306、1308、1310、お
よび1312を示す。
先行技術において、基板のエッジから離れたところで生じる可能性のあるアーク放電の
画像を取り込むために、光計測ツールを採用することができる。しかし、先行技術の光計
測ツールは、一般に、基板エッジに沿った鮮明な画像を取り込む能力を有していない。エ
ッジに沿って基板を処理している間に生じうるアーク放電などの欠陥を識別するために、
BIMを採用すると基板エッジの鮮明な画像を取り込むことができる。
画像の例を示す。画像1400は、基板エッジの領域の画像を示す。線1402は、基板
のエッジを表している可能性がある。線1404は、基板が平坦である場合の最後の点を
表している可能性がある。線1406は、塗膜層が完全に除去されている点を表している
可能性がある。曲線1408は、処理の間に生じうる複数の干渉縞(たとえば、1410
、1412)を表している可能性がある。各干渉縞は、エッチング速度が一定でありうる
基板のエッジからの距離を表している可能性がある。
ば、基板は、実質的に処理チャンバの中心に置かれており、心ずれはごくわずかであるか
、または実質的にゼロである。しかし、基板エッジからの距離、すなわち、線1402か
ら線1406までが種々の方位(θ)において同じでなければ、心ずれが存在する可能性
がある。基板のエッジからの複数の距離と方位(θ)とをプロットすることによって、偏
心プロットを生成することができる。さらなる偏心プロットが望まれる場合は、線140
6を干渉縞の1つで置き換えてもよい。ある例において、線1402から干渉縞1412
までの基板のエッジからの複数の距離に対して、偏心プロットを生成することができる。
チング速度の方位)とを説明する簡単なグラフを示す。
方位(θ)とを示す。図から分かるように、図15は、図5に似ている。主な違いは、図
15では、距離が基板の中心からではなく基板のエッジからであることである。各干渉縞
に対して、偏心プロットをプロットしてもよい。偏心プロットは、一実施形態において、
実質的に正弦波の形状を有していてもよい。一実施形態において、処理中心を少なくとも
1つの偏心プロットから計算することができる。
公知の曲線適合式(たとえば、フーリエ変換からのフーリエ級数式、最小二乗適合など)を採用することができる。
パラメータの説明
Eavg 干渉縞に対する基板エッジからの平均距離
Δc cos(θ−φ1) 基本波−方位の関数としての偏差
Δc2cos(2θ−φ2) 第2高調波
Δc 2つの中心間の距離測定値
θ 方位
φ オフセットを含む角度
ックに対する処理中心を計算するステップを説明する簡単なフローチャートを示す。
塗膜層(すなわち、光屈折性のある塗膜層)を有していてもよい。
することができる。ある例において、処理できる領域は、基板のエッジから3mmを超え
る基板部分を含まない。
いて、BIMは、基板の処理された領域の複数の画像を取り込むことができる。
の方位において測定することができる。
数の距離を方位(θ)に対してプロットすることができる。偏心プロットは、各干渉縞に
対してプロットすることができるが、基板オフセットは、1つの偏心プロットによって決
定することができる。
、公知の曲線適合式(たとえば、フーリエ変換からのフーリエ級数式、最小二乗適合など)を採用することができる。当業者は、曲線適合式を熟知している。そのため、これ以上の議論は省略する。いったんパラメータが前述の式2に関して決定されると、最終ステップ1614において、パラメータをトランスファモジュール(たとえば、真空トランスファモジュール、大気トランスファモジュールなど)内のロボットアームに教示することができる。その結果、基板が基板チャックの処理中心に案内されるように、ロボットアームは、ここで基板チャック上の基板を偏位させる正確な座標を有しうる。
を操作する画像処理フローチャートを示す。
実施形態において、画像はカラーであってもよい。
ができ、画像のデジタルファイルを生成することができる。
画像に変換することができる。
ことができる。スムーズフィルタおよびキャニーフィルタは、ノイズを画像から除去して
画像のエッジを際立たせることができるフィルタ技術を指す。
ト画像から1ビット画像に変換することを指す。言い換えれば、画像のエッジのみをここ
では見ることができる。閾値を示す、BIMによって取り込まれた画像の例については、
図18を参照されたい。領域1802は、処理に先立って基板の画像を表すことができる
。領域1804は、閾値が実施された後の基板の画像を表すことができる。画像から分か
るように、干渉縞のエッジ、膜厚、およびベベルエッジ以外のすべてを排除することがで
きる。一実施形態において、ベベルエッジと第1の干渉縞に対する線だけが残るまで存在
しうるほかのノイズを除去するために、さらなるフィルタ処理が実施されてもよい。
してギャップを計算することができる。本明細書で論じられるように、ギャップは、基板
のエッジと第1の干渉縞との距離を指す。ステップ1702から1712までは、種々の
方位における画像に対して繰り返されてもよい。一実施形態において、少なくとも4つの
方位に対してギャップデータを抽出することができる。
位に対してプロットすることができる。偏心プロットは正弦曲線であってもよい。
、公知の曲線適合式(たとえば、フーリエ変換からのフーリエ級数式、最小二乗適合など)を採用することができる。
ァモジュール(たとえば、大気トランスファモジュール、真空トランスファモジュールな
ど)内のロボットアームに教示することができる。
画像の例を示す。線1902は、基板のエッジを表している可能性がある。線1904か
ら線1906までの塗膜層は、処理の際に除去されている可能性がある。曲線1908は
、処理の際に生じうる複数の干渉縞を表している可能性がある。本明細書で論じられるよ
うに、干渉縞は、反射光の振幅の最大値または最小値を指す。下記の式3は、連続する2
つの干渉縞間の厚さを計算するために利用することができる。
パラメータの説明
Δt 連続する2つの干渉縞間の厚さ変化
λ 波長
n 膜のインデックス
変化を計算することができる。波長は、BIM内の画像を取り込むために採用できるLE
Dの波長に関連している。膜のインデックスは、既知であり、基板に適用できる膜の種類
に依存する。ある例において、波長は500nmであり、インデックスは2.5である。
この例では、厚さの変化が100nmである。言い換えれば、干渉縞(1910)間の厚
さは各々100nmである。
、干渉縞1914に対する基板(1912)のエッジからの距離は、約1875mmであ
る。したがって、曲線1908は、具体的な方位における基板の厚さプロファイルを表し
ている可能性がある。
ができる。塗膜層の厚さは、既知であるので、エッチング深さを決定するためには、幅の
変化(Δt)を当初の膜厚から差し引いてもよい。厚さの各変化に対して、エッチング深
さを計算することができる。いったんエッチング深さが識別されると、基板オフセットと
、最終的には、処理チャンバに対する基板チャックの処理中心とを決定するために、前述
の本発明による円形一定エッチング速度法を採用することができる。
ッジの鮮明な画像を取り込むことができるインライン検査ツールを提供する。鮮明な画像
を用いると、異常検出をベベルエッジに沿って実施して、基板の心ずれと欠陥を識別して
分離することができる。さらに、異常検出を実施する能力によって、基板のエッジに沿っ
て行なわれる処理をよりよく制御することができる。さらに、基板を式から排除すること
によって、チャンバ性能のより正確な特性解析を実現することができる。
適用例1:プラズマ処理チャンバ内の複数の基板の処理方法であって、該複数の基板は、該処理中に前記プラズマ処理チャンバのチャックに配置されており、本処理方法は、第1の基板のために前処理測定データ点のセットを生成させるステップであって、前記第1の基板は、前記複数の基板とは異なっており、前記セットの生成ステップは、前記プラズマ処理チャンバ内で前記第1の基板を処理する前に表面に、膜を有する前記第1の基板の厚みを測定し、該測定は、前記第1の基板の方位のセットと、前記第1の基板の幾何学的中心からの距離のセットとにおいて実行されるステップと、前記第1の基板が前記チャックに対して幾何学中心合わせするように前記第1の基板を配置するステップと、前記第1のプラズマ処理チャンバ内で前記第1の基板の前記プラズマ処理を実行するステップと、前記第1の基板のために後処理測定データ点のセットを生成するステップであって、該後処理測定データ点のセットを生成する前記ステップは、少なくとも前記第1の基板の方位のセットと、前記第1の基板の幾何学的中心からの距離のセットとにおいて実行されるステップと、前記後処理測定データ点のセットと前記前処理測定データ点のセットから一定のエッチングレートサークルを確認するステップであって、該一定のエッチングレートサークルは、第1のエッチングレートを有したエッチング位置のサークルを表すステップと、前記一定のエッチングレートサークルの中心を決定するステップであって、該中心は、前記チャックの処理中心を表すステップと、その後、前記プラズマ処理チャンバ内の前記基板の前記処理のために前記チャックに前記複数の基板を配置する際に前記チャックの前記処理中心に関するデータを使用するステップと、を含んでいることを特徴とする処理方法。
適用例2:前記一定のエッチングレートサークルを確認するステップは、立方スプライン技術を利用することを特徴とする請求項1記載の処理方法。
適用例3:前記一定のエッチングレートサークルを確認するステップは、リニアインターポレーション技術を利用することを特徴とする請求項1記載の処理方法。
適用例4:前記一定のエッチングレートの前記中心を決定するステップは、中心外れプロットの生成を含み、該中心外れプロットは、複数の半径E(θ)と、前記一定のエッチングレートサークルのためのその関連方位θとのプロットを表しており、前記複数の半径E(θ)は、所定の方位θのための、前記第1の基板の前記幾何学中心と、前記第1のエッチングレートを有した前記エッチング位置の一つとの間の差異として計算されることを特徴とする請求項1記載の処理方法。
適用例5:前記中心外れプロットにカーブフィッティングを実行し、下記等式のためのパラメータを決定するステップをさらに含んでいることを特徴とする請求項4記載の処理方法。
En(θ)=Eavg+Δc cos(θ−φ1)+Δc2cos(2θ−φ2)[式2]
パラメータの説明
Eavg 干渉縞に対する基板エッジからの平均距離
Δc cos(θ−φ1) 基本波−方位の関数としての偏差
Δc2cos(2θ−φ2) 第2高調波
Δc 2つの中心間の距離測定値
θ 方位
φ 前記チャックの前記処理中心と、前記第1の基板の前記幾何学中心との間のオフセットの角度
適用例6:前記カーブフィッティングは、最小二乗フィット技術の利用を含んでいえることを特徴とする請求項5記載の処理方法。
適用例7:前記カーブフィッティングは、フーリエ変換技術の利用を含んでいることを特徴とする請求項5記載の処理方法。
適用例8:前記プラズマ処理チャンバにおける前記基板の前記処理のために、前記チャックに前記基板を配置する際に前記チャックの前記処理中心に関するデータをその後に使用するステップは、前記チャックに前記基板を配置するために採用されたロボットアームに、前記パラメータの少なくとも一つを提供することを含んでいることを特徴とする請求項5記載の処理方法。
適用例9:前記プラズマ処理チャンバにおける前記基板の前記処理のために、前記チャックに前記基板を配置する際に前記チャックの前記処理中心に関するデータをその後に使用するステップは、前記チャックに前記基板を配置するために採用されたロボットアームに、前記チャックの前記処理中心に関する情報を提供することを含んでいることを特徴とする請求項1記載の処理方法。
適用例10:前記プラズマ処理チャンバにおける前記基板の前記処理のために、前記チャックに前記基板を配置する際に前記チャックの前記処理中心に関するデータをその後に使用するステップは、前記チャックの前記処理中心と、前記基板の幾何学中心との間のオフセットに関する情報を前記チャックに前記基板を配置するために採用されるロボットアームに提供することを含んでいることを特徴とする請求項1記載の処理方法。
Claims (8)
- プラズマ処理チャンバ内の複数の基板の処理方法であって、該複数の基板は、該処理中に前記プラズマ処理チャンバのチャックに配置されており、
本処理方法は、
第1の基板のために前処理測定データ点の組を生成させるステップであって、前記第1の基板は、前記複数の基板とは異なっており、前記前処理測定データ点の組の生成ステップは、前記プラズマ処理チャンバ内で前記第1の基板を処理する前に、表面に膜を有する前記第1の基板の厚みを測定し、該測定は、前記第1の基板の方位の組と、前記第1の基板の幾何学的中心からの距離の組とにおいて実行されるステップと、
前記第1の基板が前記チャックに対して幾何学中心合わせされるように、前記第1の基板を配置するステップと、
前記プラズマ処理チャンバ内で前記第1の基板の前記プラズマ処理を実行するステップと、
前記第1の基板のために後処理測定データ点の組を生成するステップであって、該後処理測定データ点の組を生成する前記ステップは、少なくとも前記第1の基板の方位の組と、前記第1の基板の幾何学的中心からの距離の組とにおいて実行されるステップと、
前記後処理測定データ点の組と、前記前処理測定データ点の組とから一定のエッチング速度円を確認するステップであって、該一定のエッチング速度円は、第1のエッチング速度を有したエッチング位置の円を表すステップと、
前記一定のエッチング速度円の中心を決定するステップであって、該中心は、前記チャックの処理中心を表すステップと、
その後、前記プラズマ処理チャンバ内の前記基板の前記処理のために前記チャックに前記複数の基板を配置する際に、前記チャックの前記処理中心に前記基板を案内するステップと、
を含んでいることを特徴とする処理方法。 - 前記一定のエッチング速度円を確認するステップは、三次スプライン補間技術を利用することを特徴とする請求項1記載の処理方法。
- 前記一定のエッチング速度円を確認するステップは、線形補間技術を利用することを特
徴とする請求項1記載の処理方法。 - 前記一定のエッチング速度円の前記中心を決定するステップは、偏心プロットの生成を含み、該偏心プロットは、複数の半径E(θ)と、前記一定のエッチング速度円のためのその関連方位θとのプロットを表しており、前記複数の半径E(θ)は、所定の方位θのための、前記第1の基板の前記幾何学中心と、前記第1のエッチング速度を有した前記エッチング位置の一つとの間の差異として計算されることを特徴とする請求項1記載の処理方法。
- 前記偏心プロットに曲線適合式を実行し、下記等式のためのパラメータを決定するステップをさらに含んでいることを特徴とする請求項4記載の処理方法。
En(θ)=Eavg+Δccos(θ−φ1)+Δc2cos(2θ−φ2) [式2]
パラメータの説明
Eavg 干渉縞に対する基板エッジからの平均距離
Δc cos(θ−φ1) 基本波−方位の関数としての偏差
Δc2cos(2θ−φ2) 第2高調波
Δc 2つの中心間の距離測定値
θ 方位
φ 前記チャックの前記処理中心と、前記第1の基板の前記幾何学中心との間のオフセットの角度 - 前記プラズマ処理チャンバ内の前記基板の前記処理のために、前記チャックに前記複数の基板を配置する際に前記チャックの前記処理中心に前記基板を案内するステップは、前記チャックに前記基板を配置するために採用されたロボットアームに、前記パラメータの少なくとも一つを提供することを含んでいることを特徴とする請求項5記載の処理方法。
- 前記プラズマ処理チャンバ内の前記基板の前記処理のために、前記チャックに前記複数の基板を配置する際に前記チャックの前記処理中心に前記基板を案内するステップは、前記チャックに前記基板を配置するために採用されたロボットアームに、前記チャックの前記処理中心に関する情報を提供することを含んでいることを特徴とする請求項1記載の処理方法。
- 前記プラズマ処理チャンバ内の前記基板の前記処理のために、前記チャックに前記複数の基板を配置する際に前記チャックの前記処理中心に前記基板を案内するステップは、前記チャックの前記処理中心と、前記基板の幾何学中心との間のオフセットに関する情報を前記チャックに前記基板を配置するために採用されるロボットアームに提供することを含んでいることを特徴とする請求項1記載の処理方法。
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US82767106P | 2006-09-29 | 2006-09-29 | |
US60/827,671 | 2006-09-29 | ||
US11/612,355 | 2006-12-18 | ||
US11/612,355 US7479236B2 (en) | 2006-09-29 | 2006-12-18 | Offset correction techniques for positioning substrates |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009530520A Division JP2010505277A (ja) | 2006-09-29 | 2007-09-14 | 基板の位置決めオフセットの補正方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013141012A JP2013141012A (ja) | 2013-07-18 |
JP5662504B2 true JP5662504B2 (ja) | 2015-01-28 |
Family
ID=39261593
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009530520A Pending JP2010505277A (ja) | 2006-09-29 | 2007-09-14 | 基板の位置決めオフセットの補正方法 |
JP2013048049A Active JP5662504B2 (ja) | 2006-09-29 | 2013-03-11 | 基板の位置決めオフセットの補正方法 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009530520A Pending JP2010505277A (ja) | 2006-09-29 | 2007-09-14 | 基板の位置決めオフセットの補正方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7479236B2 (ja) |
JP (2) | JP2010505277A (ja) |
KR (1) | KR101433980B1 (ja) |
TW (1) | TWI431704B (ja) |
WO (1) | WO2008042580A2 (ja) |
Families Citing this family (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7486878B2 (en) * | 2006-09-29 | 2009-02-03 | Lam Research Corporation | Offset correction methods and arrangement for positioning and inspecting substrates |
WO2008095228A1 (en) * | 2007-02-08 | 2008-08-14 | Silverbrook Research Pty Ltd | Method of sensing motion of a sensing device relative to a surface |
US8225683B2 (en) * | 2007-09-28 | 2012-07-24 | Lam Research Corporation | Wafer bow metrology arrangements and methods thereof |
US8135485B2 (en) * | 2007-09-28 | 2012-03-13 | Lam Research Corporation | Offset correction techniques for positioning substrates within a processing chamber |
US8060330B2 (en) * | 2008-12-12 | 2011-11-15 | Lam Research Corporation | Method and system for centering wafer on chuck |
US7977123B2 (en) * | 2009-05-22 | 2011-07-12 | Lam Research Corporation | Arrangements and methods for improving bevel etch repeatability among substrates |
US9268089B2 (en) * | 2011-04-21 | 2016-02-23 | Octrolix Bv | Layer having a non-linear taper and method of fabrication |
JP2013125796A (ja) * | 2011-12-13 | 2013-06-24 | Hitachi High-Technologies Corp | プラズマ処理方法および装置 |
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US9966292B2 (en) * | 2016-07-12 | 2018-05-08 | Globalfoundries Inc. | Centering fixture for electrostatic chuck system |
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US20220223425A1 (en) * | 2021-01-08 | 2022-07-14 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | By-site-compensated etch back for local planarization/topography adjustment |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2503893B2 (ja) * | 1993-07-12 | 1996-06-05 | 日本電気株式会社 | ドライエッチング装置 |
EP0756318A1 (en) * | 1995-07-24 | 1997-01-29 | International Business Machines Corporation | Method for real-time in-situ monitoring of a trench formation process |
JP3402870B2 (ja) * | 1995-08-24 | 2003-05-06 | キヤノン株式会社 | 多相リニアモータ駆動装置 |
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US20070211241A1 (en) | 2006-02-24 | 2007-09-13 | Noriyuki Aizawa | Optical defect inspection apparatus |
US20070209684A1 (en) | 2006-03-07 | 2007-09-13 | Applied Materials, Inc. | Copper deposition chamber having integrated bevel clean with edge bevel removal detection |
US7486878B2 (en) * | 2006-09-29 | 2009-02-03 | Lam Research Corporation | Offset correction methods and arrangement for positioning and inspecting substrates |
-
2006
- 2006-12-18 US US11/612,355 patent/US7479236B2/en active Active
-
2007
- 2007-09-14 KR KR1020097007282A patent/KR101433980B1/ko active IP Right Grant
- 2007-09-14 JP JP2009530520A patent/JP2010505277A/ja active Pending
- 2007-09-14 WO PCT/US2007/078576 patent/WO2008042580A2/en active Application Filing
- 2007-09-21 TW TW096135520A patent/TWI431704B/zh active
-
2013
- 2013-03-11 JP JP2013048049A patent/JP5662504B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2008042580A3 (en) | 2008-10-09 |
JP2013141012A (ja) | 2013-07-18 |
US20080081383A1 (en) | 2008-04-03 |
JP2010505277A (ja) | 2010-02-18 |
US7479236B2 (en) | 2009-01-20 |
TWI431704B (zh) | 2014-03-21 |
WO2008042580A2 (en) | 2008-04-10 |
KR20090064443A (ko) | 2009-06-18 |
TW200834774A (en) | 2008-08-16 |
KR101433980B1 (ko) | 2014-08-25 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
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|
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|
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|
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|
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|
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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