JP5661113B2 - ウエハバイアス電位を測定するための方法および装置 - Google Patents
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Description
本発明は、たとえば、以下のような態様で実現することもできる。
[適用例1]
プラズマ形成領域およびホットエッジリングを有するウエハ処理チャンバで用いる装置であって、前記ホットエッジリングは第1の表面および第2の表面を有し、前記第1の表面は前記プラズマ形成領域と接触し、前記第2の表面は前記プラズマ形成領域と接触せず、
前記装置は、前記ホットエッジリングの前記第2の表面と接触するよう動作可能な検出器を備え、
前記検出器は、前記ホットエッジリングのパラメータを検出し、前記検出されたパラメータに基づいて検出信号を供給するよう動作可能である、装置。
[適用例2]
適用例1の装置であって、さらに、
前記ホットエッジリングの前記第2の表面と接触するよう動作可能な結合リングを備え、前記結合リングは内部に空洞を有し、前記空洞は前記ホットエッジリングの前記第2の表面と対向する開口部を有し、
前記検出器は、前記空洞内に配置され、前記ホットエッジリングの前記第2の表面と接触するよう構成される、装置。
[適用例3]
適用例1の装置であって、さらに、
前記検出信号に基づいて出力信号を供給するよう動作可能な出力部と、
前記検出器および前記出力部の間に直列に配置された抵抗器と、
を備える、装置。
[適用例4]
適用例3の装置であって、さらに、前記抵抗器と接触して配置されたヒートシンクを備える、装置。
[適用例5]
適用例4の装置であって、前記ヒートシンクは石英を含む、装置。
[適用例6]
適用例1の装置であって、前記検出器はインジウムを含む、装置。
[適用例7]
適用例1の装置であって、
前記検出器は、付勢部およびコンタクト部を備え、
前記付勢部は、前記コンタクト部と前記ホットエッジリングの前記第2の表面との接触を維持するために、前記コンタクト部に対して付勢力を提供するよう動作可能である、装置。
[適用例8]
適用例7の装置であって、前記付勢部はコイルバネを含む、装置。
[適用例9]
プラズマ形成領域およびホットエッジリングを有するウエハ処理チャンバ内でウエハ電位を測定するための方法であって、前記ホットエッジリングは第1の表面および第2の表面を有し、前記第1の表面は前記プラズマ形成領域と接触し、前記第2の表面は前記プラズマ形成領域と接触せず、
前記方法は、
前記ホットエッジリングの前記第2の表面を検出器と接触させる工程と、
前記検出器で前記ホットエッジリングのパラメータを検出する工程と、
前記検出されたパラメータに基づいて検出信号を供給する工程と、
前記検出信号に基づいてウエハ電位を測定する工程と、を備える、方法。
Claims (8)
- プラズマ形成領域およびホットエッジリングを有するウエハ処理チャンバで用いる装置であって、前記ホットエッジリングは第1の表面および第2の表面を有し、前記第1の表面は前記プラズマ形成領域と接触し、前記第2の表面は前記プラズマ形成領域と接触せず、
前記装置は、前記ホットエッジリングの前記第2の表面と接触するよう動作可能な検出器を備え、
前記検出器は、前記ホットエッジリングのパラメータを検出し、前記検出されたパラメータに基づいて検出信号を供給するよう動作可能である、装置であって、
さらに、
前記ホットエッジリングの前記第2の表面と接触するよう動作可能な結合リングを備え、前記結合リングは内部に空洞を有し、前記空洞は前記ホットエッジリングの前記第2の表面と対向する開口部を有し、
前記検出器は、前記空洞内に配置され、前記ホットエッジリングの前記第2の表面と接触するよう構成される、装置。 - 請求項1に記載の装置であって、さらに、
前記検出信号に基づいて出力信号を供給するよう動作可能な出力部と、
前記検出器および前記出力部の間に直列に配置された抵抗器と、
を備える、装置。 - 請求項2に記載の装置であって、さらに、前記抵抗器と接触して配置されたヒートシンクを備える、装置。
- 請求項3に記載の装置であって、前記ヒートシンクは石英を含む、装置。
- 請求項1から4のいずれか1項に記載の装置であって、前記検出器はインジウムを含む、装置。
- 請求項1から5のいずれか1項に記載の装置であって、
前記検出器は、付勢部およびコンタクト部を備え、
前記付勢部は、前記コンタクト部と前記ホットエッジリングの前記第2の表面との接触を維持するために、前記コンタクト部に対して付勢力を提供するよう動作可能である、装置。 - 請求項6に記載の装置であって、前記付勢部はコイルバネを含む、装置。
- 装置に設けられており、プラズマ形成領域およびホットエッジリングを有するウエハ処理チャンバ内でウエハ電位を測定するための方法であって、前記ホットエッジリングは第1の表 面および第2の表面を有し、前記第1の表面は前記プラズマ形成領域と接触し、前記第2の表面は前記プラズマ形成領域と接触せず、
前記装置は、前記ホットエッジリングの前記第2の表面と接触するよう動作可能な結合リングを備え、前記結合リングは内部に空洞を有し、前記空洞は前記ホットエッジリングの前記第2の表面と対向する開口部を有し、
前記装置は、さらに、前記空洞内に配置され、前記ホットエッジリングの前記第2の表面と接触する検出器、を備え、
前記方法は、
前記ホットエッジリングの前記第2の表面を前記検出器と接触させる工程と、
前記検出器で前記ホットエッジリングのパラメータを検出する工程と、
前記検出されたパラメータに基づいて検出信号を供給する工程と、
前記検出信号に基づいてウエハ電位を測定する工程と、を備える、方法。
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