JP2017069209A - プラズマ処理装置の制御方法、プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 - Google Patents
プラズマ処理装置の制御方法、プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 Download PDFInfo
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一方、CCPエッチング装置においては、均一性向上のために、バイアス周波数を印加する対向の電極側に電気特性(インピーダンス)を調整して、対向電極側に流れ込む電流が最大にならないように調整する回路を備えるプラズマ処理装置が開示されている。(特許文献2)その中で、バイアス電流が最大電流の1/2以上とするような制御方法が開示されている。
前記制御機構が有する可変素子のリアクタンスを初期値に設定する第一の工程と、前記高周波電流または前記高周波電圧を検知する第二の工程と、
前記高周波電流が極大値または前記高周波電圧が極大値となるようなリアクタンスの値に前記可変素子のリアクタンスを設定し、前記可変素子のリアクタンスを前記設定されたリアクタンスの値に固定する第三の工程とを有することを特徴とするプラズマ処理装置の制御方法とする。
前記第二の電極に流れる高周波電流と前記第一の電極に流れる高周波電流との位相差または、前記第二の電極に印加される高周波電圧と前記第一の電極に印加される高周波電圧との位相差を検出する第一の工程と、
前記検出された位相差が前記第一の電極に流れる高周波電流の極大値または前記第一の電極に印加される高周波電圧の極大値に対応する位相差の値となるように前記制御機構が有する可変素子のリアクタンスを制御する第二の工程とを有することを特徴とするプラズマ処理装置の制御方法とする。
本発明に係る第1の実施例について図1〜図4を用いて説明する。まず、本実施例に係るプラズマ処理装置の制御方法におけるバイアス電流制御方法を具現化する対向バイアス制御機構を搭載したプラズマ処理装置について説明する。図1は、平行平板型の有磁場VHFドライエッチング装置の縦断面図である。
本発明の第2の実施例について図5〜図7を用いて説明する。なお、実施例1に記載され本実施例に未記載の事項は特段の事情が無い限り本実施例にも適用することができる。
本発明に係る第3の実施例について図8〜図15を用いて説明する。なお、実施例1又は2に記載され本実施例に未記載の事項は特段の事情が無い限り本実施例にも適用することができる。まず、本実施例に係るプラズマ処理方法におけるクリーニング方法を具現化する対向バイアス制御機構を搭載したプラズマ処理装置について説明する。図8は、平行平板型の有磁場VHFドライエッチング装置の縦断面図である。
前記制御機構が有する可変素子のリアクタンスを初期値に設定する第一の工程と、前記高周波電流または前記高周波電圧を検知する第二の工程と、
前記高周波電流が極大値または前記高周波電圧が極大値となるようなリアクタンスの値に前記可変素子のリアクタンスを設定し、前記可変素子のリアクタンスを前記設定されたリアクタンスの値に固定する第三の工程と、前記被処理物をプラズマ処理する第四の工程とを有することを特徴とするプラズマ処理方法。(2)被処理物をプラズマ処理するプラズマ処理室と、前記プラズマ処理室内に高周波を放射する平板状の第一の電極と、前記第一の電極に高周波電力を供給する第一の高周波電源と、前記第一の電極と対向し前記被処理物を載置する第二の電極と、前記第二の電極に高周波電力を供給する第二の高周波電源と、前記第一の電極に流れる高周波電流または前記第一の電極に印加される高周波電圧を制御する制御機構とを備えるプラズマ処理装置を用いたプラズマ処理方法において、
前記第二の電極に流れる高周波電流と前記第一の電極に流れる高周波電流との位相差または、前記第二の電極に印加される高周波電圧と前記第一の電極に印加される高周波電圧との位相差を検出する第一の工程と、
前記検出された位相差が前記第一の電極に流れる高周波電流の極大値または前記第一の電極に印加される高周波電圧の極大値に対応する位相差の値となるように前記制御機構が有する可変素子のリアクタンスを制御する第二の工程と、前記被処理物をプラズマ処理する第三の工程とを有することを特徴とするプラズマ処理方法。(3)被処理物をプラズマ処理するプラズマ処理室と、前記プラズマ処理室内に高周波を放射する平板状の第一の電極と、前記第一の電極に高周波電力を供給する第一の高周波電源と、前記第一の電極と対向し前記被処理物を載置する第二の電極と、前記第二の電極に高周波電力を供給する第二の高周波電源と、前記第一の電極に流れる高周波電流または前記第一の電極に印加される高周波電圧を制御する制御機構とを備えるプラズマ処理装置を用いたプラズマ処理方法おいて、
前記制御機構が有する可変素子のリアクタンスを初期値に設定する第一の工程と、
前記高周波電流または前記高周波電圧を検知する第二の工程と、
前記高周波電流が極大値または前記高周波電圧が極大値となるようなリアクタンスの値に前記可変素子のリアクタンスを制御する第三の工程と、
前記第三の工程後、前記プラズマ処理室内をプラズマクリーニングする第四の工程とを有することを特徴とするプラズマ処理方法。(4)被処理物をプラズマ処理するプラズマ処理室と、前記プラズマ処理室内に高周波を放射する平板状の第一の電極と、前記第一の電極に高周波電力を供給する第一の高周波電源と、前記第一の電極と対向し前記被処理物を載置する第二の電極と、前記第二の電極に高周波電力を供給する第二の高周波電源と、前記第一の電極に流れる高周波電流または前記第一の電極に印加される高周波電圧を制御する制御機構とを備えるプラズマ処理装置を用いたプラズマ処理方法において、
前記第二の電極に流れる高周波電流と前記第一の電極に流れる高周波電流との位相差または、前記第二の電極に印加される高周波電圧と前記第一の電極に印加される高周波電圧との位相差を検出する第一の工程と、
前記検出された位相差が前記第一の電極に流れる高周波電流の極大値または前記第一の電極に印加される高周波電圧の極大値に対応する位相差の値となるように前記制御機構が有する可変素子のリアクタンスを制御する第二の工程と、
前記第二の工程後、前記プラズマ処理室内をプラズマクリーニングする第三の工程とを有することを特徴とするプラズマ処理方法。
Claims (12)
- 被処理物がプラズマ処理されるプラズマ処理室と、前記プラズマ処理室の内部に高周波を放射する平板状の第一の電極と、前記第一の電極に高周波電力を供給する第一の高周波電源と、前記第一の電極と対向し前記被処理物が載置される第二の電極と、前記第二の電極に高周波電力を供給する第二の高周波電源とを備えるプラズマ処理装置の制御方法において、
前記第二の高周波電源から前記第二の電極に向かって流れる第一の高周波電流の位相と前記第二の電極から前記第一の電極に向かって流れる第二の高周波電流の位相との差である第一の位相差または、前記第二の電極に印加される第一の高周波電圧の位相と前記第二の高周波電流が流れる経路上の第二の高周波電圧の位相との差である第二の位相差を検出し、
前記検出された第一の位相差または前記検出された第二の位相差が前記第二の高周波電流の極大値または前記第二の高周波電圧の極大値に対応する位相差の値となるように前記第二の高周波電流または前記第二の高周波電圧を制御するためのリアクタンスを制御することを特徴とするプラズマ処理装置の制御方法。 - 請求項1に記載のプラズマ処理装置の制御方法において、
前記第一の位相差の値は、−90°より大きい予め設定された設定値の許容範囲内にあることを特徴とするプラズマ処理装置の制御方法。 - 請求項1に記載のプラズマ処理装置の制御方法において、
前記リアクタンスは、可変コンデンサであることを特徴とするプラズマ処理装置の制御方法。 - 被処理物がプラズマ処理されるプラズマ処理室と、前記プラズマ処理室の内部に高周波を放射する平板状の第一の電極と、前記第一の電極に高周波電力を供給する第一の高周波電源と、前記第一の電極と対向し前記被処理物が載置される第二の電極と、前記第二の電極に高周波電力を供給する第二の高周波電源とを備えるプラズマ処理装置を用いたプラズマ処理方法において、
前記第二の高周波電源から前記第二の電極に向かって流れる第一の高周波電流の位相と前記第二の電極から前記第一の電極に向かって流れる第二の高周波電流の位相との差である第一の位相差または、前記第二の電極に印加される第一の高周波電圧の位相と前記第二の高周波電流が流れる経路上の第二の高周波電圧の位相との差である第二の位相差を検出し、
前記検出された第一の位相差または前記第二の位相差が前記第二の高周波電流の極大値または前記第二の高周波電圧の極大値に対応する位相差の値となるように前記第二の高周波電流または前記第二の高周波電圧を制御するためのリアクタンスを制御し、
前記被処理物をプラズマ処理することを特徴とするプラズマ処理方法。 - 被処理物がプラズマ処理されるプラズマ処理室と、前記プラズマ処理室の内部に高周波を放射する平板状の第一の電極と、前記第一の電極に高周波電力を供給する第一の高周波電源と、前記第一の電極と対向し前記被処理物が載置される第二の電極と、前記第二の電極に高周波電力を供給する第二の高周波電源とを備えるプラズマ処理装置を用いたプラズマ処理方法において、
前記第二の高周波電源から前記第二の電極に向かって流れる第一の高周波電流の位相と前記第二の電極から前記第一の電極に向かって流れる第二の高周波電流の位相との差である第一の位相差または、前記第二の電極に印加される第一の高周波電圧の位相と前記第二の高周波電流が流れる経路上の第二の高周波電圧の位相との差である第二の位相差を検出し、
前記検出された第一の位相差または前記第二の位相差が前記第二の高周波電流の極大値または前記第二の高周波電圧の極大値に対応する位相差の値となるように前記第二の高周波電流または前記第二の高周波電圧を制御するためのリアクタンスを制御し、
前記プラズマ処理室の内部をプラズマクリーニングすることを特徴とするプラズマ処理方法。 - 請求項5に記載のプラズマ処理方法において、
前記プラズマクリーニングの終点を検出後、前記リアクタンスを前記第一の電極表面の削れが許容できる量となるリアクタンスの値にしてさらに前記プラズマ処理室の内部をプラズマクリーニングすることを特徴とするプラズマ処理方法。 - 請求項5に記載のプラズマ処理方法において、
前記プラズマクリーニングの終点を検出後、前記第二の電極に供給された高周波電力を前記第一の電極表面の削れが許容できる量となる高周波電力の値にしてさらに前記プラズマ処理室の内部をプラズマクリーニングすることを特徴とするプラズマ処理方法。 - 請求項6に記載のプラズマ処理方法において、
前記プラズマクリーニングの終点は、前記第一の電極に印加される高周波電圧のVppの変化に基づいて検知されることを特徴とするプラズマ処理方法。 - 請求項7に記載のプラズマ処理方法において、
前記プラズマクリーニングの終点は、前記第一の電極に印加される高周波電圧のVppの変化に基づいて検知されることを特徴とするプラズマ処理方法。 - 被処理物がプラズマ処理されるプラズマ処理室と、前記プラズマ処理室の内部に高周波を放射する平板状の第一の電極と、前記第一の電極に高周波電力を供給する第一の高周波電源と、前記第一の電極と対向し前記被処理物が載置される第二の電極と、前記第二の電極に高周波電力を供給する第二の高周波電源とを備えるプラズマ処理装置において、
前記第二の高周波電源から前記第二の電極に向かって流れる第一の高周波電流と前記第二の電極から前記第一の電極に向かって流れる第二の高周波電流との第一の位相差または、前記第二の電極に印加される第一の高周波電圧と前記第二の高周波電流が流れる経路上の第二の高周波電圧との第二の位相差を検知する検知部を具備し、前記検出された第一の位相差または前記検出された第二の位相差が前記第二の高周波電流の極大値または前記第二の高周波電圧の極大値に対応する位相差の値となるように前記第二の高周波電流または前記第二の高周波電圧を制御するためのリアクタンスを制御する制御部をさらに備えることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項10に記載のプラズマ処理装置において、
前記第一の位相差の値は、−90°より大きい予め設定された設定値の許容範囲内にあることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項10に記載のプラズマ処理装置において、
前記リアクタンスは、可変コンデンサであることを特徴とするプラズマ処理装置。
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