JP5657675B2 - 顕微鏡 - Google Patents
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Description
図2は、照明装置19を示し、それを用いて、試料領域Pを照明する光のシートが生成され、その光のシートは、照明ビーム経路の照明軸Xの方向、および照明軸Xに直角な横軸Yの方向において、略平面状の形態である。明確にするために、図1に実施例として図示されている検出装置1は、ここでは省略されているが、図1および図2に示す座標系に従って、相互の位置合わせがなされている状態で、どちらも容易に互いに組み合わせることができる。
重要なことは、そのアレイ検出器の積分時間と比較して短い切替え間隔であり、それは、他の振動が悪影響を及ぼす可能性があるため、一般に、20msよりも長くなく、その切替え間隔は、その試料領域が、その積分時間内に少なくとも一度は各方向から照明されるような長さにしなければならない。その切替え間隔が十分に小さい、例えば、5ms未満の場合には、各方向からの複数回の走査も実行可能である。
2 検出対物レンズ
3 チューブレンズユニット
4、4’ アレイ検出器
5、5’ 結像素子
6 検出ズーム素子
7 透過格子パターン
8 チューブレンズ
9、10 偏向ミラー
11 ビーム結合器
12 近無限遠空間
13 ビームスプリッタ
14、15 分岐ビーム経路
16、17 ウォッブルプレート
18 放射フィルタ
19 照明装置
20 照明対物レンズ
21 照明ズーム素子
22 望遠鏡チェンジャー
23 走査ミラー
24 走査対物レンズ
25 チューブレンズ素子
26 ミラー
27 円柱光学素子
28 角度走査ミラー
29、30 ビーム経路
31、32 ビームセグメント
33 円柱光学素子
34 切替えミラー
35 照明ビーム経路
36 他方の照明ビーム経路
37 偏向ミラー
38、39 試料
40 ビームスプリッタ
41 くさびアセンブリ
42 ガラスプレート
Claims (5)
- 顕微鏡であって、
照明装置(19)であって、該照明装置を用いて、試料領域(P)を照明するための光のシートが生成され、該光のシートが、照明ビーム経路の照明軸(X)の方向、および前記照明軸(X)に交差して位置する横軸(Y)の方向において、略平面状に延在している、前記照明装置(19)と、
検出ビーム経路の検出軸(Z)に沿って、前記試料領域(P)から放射される光を検出するために用いられる検出装置(1)であって、照明軸(X)と検出軸(Z)との間の角度、および横軸(Y)と検出軸(Z)との間の角度がゼロではない、前記検出装置(1)とを備え、
前記照明装置(19)が、走査された光のシートの生成のための第1の手段であって、回転対称光ビームを生成するための手段と、所定の時間間隔で、前記横軸(Y)に沿った前記試料領域(P)の光シート状走査のための走査手段とを含む、前記第1の手段を含む、顕微鏡において、
前記照明装置(19)が、前記光のシートの生成のための第2の手段であって、静的に安定した光のシートを生成するための少なくとも1つの非点収差レンズを有する第1の非点収差的に作用する光学素子(27)を含む、前記第2の手段を含み、
選択手段であって、該選択手段を用いて、前記光のシートの生成のために、走査された光のシートの生成のための第1の手段または静的に安定した光のシートの生成のための第2の手段のいずれかを選択すること、または両方を一緒に選択することができる、前記選択手段が設けられていることを特徴とする顕微鏡。 - 前記非点収差レンズは、円柱レンズまたはパウエルレンズであることを特徴とする、請求項1に記載の顕微鏡。
- 前記照明装置(19)は、角度走査手段を含み、該角度走査手段は、光のシートの生成のための第2の手段が選択されている場合に、照明焦点面と共役な平面内に配置され、前記角度走査手段を用いて、前記光のシートと前記照明軸(X)との間の角度を変えることができることを特徴とする、請求項1または請求項2に記載の顕微鏡。
- 前記走査手段が、切替え可能な走査ミラー(23)と走査対物レンズ(24)とを含み、前記角度走査手段が、切替え可能な走査ミラー(28)を含むことを特徴とする、請求項3に記載の顕微鏡。
- 瞳面への前記走査ミラー(23)の正確な結像のための第2の非点収差的に作用する光学素子(33)が、前記照明ビーム経路内に配置されていることを特徴とする、請求項4に記載の顕微鏡。
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