JP5655437B2 - 分光特性取得装置 - Google Patents
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Description
h>m×p×tanθ+p ・・・・・(1)
前記結像光学系は、前記被測定物の表面上からの拡散反射光のうち、複数の開口部を有する遮光部材の前記各開口部を通過した光束のそれぞれを、前記受光部の前記受光面の前記受光領域において対応された前記区画上に結像し、前記各区画では、m個の前記画素からなる受光領域部分に加えて、隣接する前記区画における前記受光領域部分と自らの前記受光領域部分との間のn個の前記画素からなり測定データの取得に利用しない無効領域部分を有し、下記の条件式(2)を満足するとともに、前記遮光部材における前記各開口部の設定位置が前記受光面上で見て(m+n)×pとなるように、前記被測定物と前記遮光部材と前記結像光学系と前記受光部との配置関係が設定されていることを特徴とする。
n≧1/tanθ ・・・・・(2)
請求項6に係る発明は、請求項5に記載の分光特性取得装置であって、前記非点収差付加手段がシリンドリカルレンズであることを特徴とする。
請求項7に係る発明は、請求項6に記載の分光特性取得装置であって、前記非点収差付加手段がアクロマティックレンズであることを特徴とする。
光照射手段により照射された被測定物からの拡散反射光を、該被測定物における複数の取得領域毎に、回折手段により回折された回折光としつつ結像光学系により各次数の回折像として受光部の受光面に結像させることで、前記取得領域毎の分光特性を測定する分光特性取得装置であって、前記受光部は、前記受光面において、正方形状の複数の画素が直線状に連続されて形成された受光領域を有し、該受光領域が前記各取得領域に対応すべく複数の前記画素からなる複数の区画に区分され、前記結像光学系による前記取得領域毎の等しい次数の前記各回折像が前記受光領域の延在方向に整列する位置関係とされ、前記回折手段は、前記受光面において、前記取得領域毎の所定の次数の前記回折像を対応する前記区画上に形成すべく、前記受光領域の延在方向とは所定の角度を為す回折方向に設定され、前記受光面上において、前記受光領域の延在方向と直交する方向で見た前記回折像の長さ寸法をh、前記各区画における測定データの取得に利用する前記画素の個数をm、前記受光面上における前記画素の一辺の長さ寸法をp、前記受光面上における前記受光領域の延在方向と前記回折方向とが為す所定の角度をθとするとき、条件式(h>m×p×tanθ+p)を満足することとすると、各取得領域からの光束のうち、回折手段による所定の次数の各回折像で、対応する各区画のうち測定データの取得に利用する全画素の全領域を照射することができることから、簡易な構成であって、高精度での被測定物の測色を行うことができる。
なお、実施例1では、上述したように、各画素19が一辺の長さ寸法がpの正方形状とされていることから、px=py=pとなる。
このため、各受光領域部分21として利用する画素19の数mを設定し、それに適合するように回折方向Gにおけるx´方向からの傾斜角度θを設定すると、各無効領域部分22を構成する画素19の数nが式(2)により決定されるので、分光センサ部20(区画)がスリットアレイ15における各開口部15aからの光束に個別に対応するために必要な画素19の数(m+n)が決定される。
上記した式(3)を満たすものとされていることから、回折手段173による回折光で見ると、透過光(0次光)の屈折方向と、1次回折光の回折方向と、が同一となり、中心波長λ0での回折効率を極めて高いもの(略100%)とすることができ、その周辺の波長範囲でも高い回折効率とすることができる。実施例3では、回折手段173は、500nmを中心波長として、上記した式(3)を満たすものとして設計されたブレーズ型回折格子を用いており、波長範囲400nm〜700nmにおいて高い回折効率を得ることが可能となっている。この回折手段173では、−1次回折光や2次回折光の光量が減少するので、これらの成分がノイズとなって測定精度を低下させることも抑制することができる。
11 被測定物
13 光照射機構
15 (遮光部材としての)スリットアレイ
15a 開口部
16 結像光学系
17、173 回折手段
18 受光部
18a 受光面
18b 受光領域
19 画素
20 (複数に区分された区画としての)分光センサ部
21 受光領域部分
22 無効領域部分
31 波長制限手段
32 非点収差付加手段
D k次回折像
G 回折方向
h 高さ寸法
θ 角度(傾斜角度)
Claims (7)
- 光照射手段により照射された被測定物からの拡散反射光を、該被測定物における複数の取得領域毎に、回折手段により回折された回折光としつつ結像光学系により各次数の回折像としてラインセンサにより構成された受光部の受光面に結像させることで、前記取得領域毎の分光特性を測定する分光特性取得装置であって、
前記受光部は、前記受光面において、正方形状の複数の画素が直線状に連続されて形成された受光領域を有し、該受光領域が前記各取得領域に対応すべく複数の前記画素からなる複数の区画に区分され、前記結像光学系による前記取得領域毎の等しい次数の前記各回折像が前記受光領域の延在方向に整列する位置関係とされ、
前記回折手段は、前記受光面において、前記取得領域毎の所定の次数の前記回折像を対応する前記区画上に形成すべく、前記受光領域の延在方向とは所定の角度を為す回折方向に設定され、
前記受光面上において、前記受光領域の延在方向と直交する方向で見た前記回折像の長さ寸法をhとし、
前記各区画における測定データの取得に利用する前記画素の個数をmとし、
前記受光面上における前記画素の一辺の長さ寸法をpとし、
前記受光面上における前記受光領域の延在方向と前記回折方向とが為す所定の角度をθとして、下記の条件式(1)を満足し、
h>m×p×tanθ+p ・・・・・(1)
前記結像光学系は、前記被測定物の表面上からの拡散反射光のうち、複数の開口部を有する遮光部材の前記各開口部を通過した光束のそれぞれを、前記受光部の前記受光面の前記受光領域において対応された前記区画上に結像し、
前記各区画では、m個の前記画素からなる受光領域部分に加えて、隣接する前記区画における前記受光領域部分と自らの前記受光領域部分との間のn個の前記画素からなり測定データの取得に利用しない無効領域部分を有し、
下記の条件式(2)を満足するとともに、前記遮光部材における前記各開口部の設定位置が前記受光面上で見て(m+n)×pとなるように、前記被測定物と前記遮光部材と前記結像光学系と前記受光部との配置関係が設定されていることを特徴とする分光特性取得装置。
n≧1/tanθ ・・・・・(2) - 前記光照射手段から前記受光部に至る光路には、前記受光部の前記受光面に結像される前記各回折像における波長範囲を400nmから700nmに制限する波長制限手段が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の分光特性取得装置。
- 前記回折手段は、可視光範囲での所定の波長において、特定の次数に対する回折効率を高めることが可能な特性を有し、
前記各区画上には、前記回折手段により回折効率が高められた次数の前記回折像が形成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の分光特性取得装置。 - 前記回折手段がブレーズ型回折格子であることを特徴とする請求項3に記載の分光特性取得装置。
- 前記光照射手段から前記受光部に至る光路には、前記結像光学系とは独立して、前記受光部の前記受光面上における前記各回折像の長さ寸法hを調整するための非点収差付加手段が設けられていることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の分光特性取得装置。
- 前記非点収差付加手段がシリンドリカルレンズであることを特徴とする請求項5に記載の分光特性取得装置。
- 前記非点収差付加手段がアクロマティックレンズであることを特徴とする請求項6に記載の分光特性取得装置。
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