JP5652504B2 - 表示装置およびその製造方法 - Google Patents

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Description

本発明は発光素子を画素に用いたアクティブマトリクス型の表示装置に関する。より詳しくは、表示装置に集積形成される配線の短絡欠陥の修復技術に関する。
発光素子として有機ELデバイスを用いた平面自発光型の表示装置の開発が近年盛んになっている。有機ELデバイスは有機薄膜に電界をかけると発光する現象を利用したデバイスである。有機ELデバイスは印加電圧が10V以下で駆動するため低消費電力である。また有機ELデバイスは自ら光を発する自発光素子であるため、照明部材を必要とせず軽量化及び薄型化が容易である。さらに有機ELデバイスの応答速度は数μs程度と非常に高速であるので、動画表示時の残像が発生しない。
有機ELデバイスを画素に用いた平面自発光型の表示装置の中でも、とりわけ駆動素子として薄膜トランジスタを各画素に集積形成したアクティブマトリクス型の表示装置の開発が盛んである。アクティブマトリクス型平面自発光表示装置は、例えば以下の特許文献1乃至5に記載されている。
特開2003−255856号公報 特開2003−271095号公報 特開2004−133240号公報 特開2004−029791号公報 特開2004−093682号公報
アクティブマトリクス型の表示装置は、基本的に行状の配線と、列状の配線と、両配線が格子状に交わる各交差部に対応して配された画素とからなる。各画素は、少なくともサンプリングトランジスタと、ドライブトランジスタと、保持容量と、発光素子とを含む。サンプリングトランジスタは、配線から供給される制御信号に応じてオンし他の配線から供給される映像信号をサンプリングして保持容量に書き込む。ドライブトランジスタは、保持容量に書き込まれた映像信号に応じた駆動電流を発光素子に供給する。
かかる構成において、行状の配線と列状の配線とは同じ導体層で形成する場合がある。表示装置の高精細化及び高機能化が進むと、配線を低抵抗化する必要がある。このため行状の配線と列状の配線を共にアルミニウム等の低抵抗材料からなる同一レイヤーの導体層で形成する。この場合両配線が交わる交差部で一方の配線が切り欠かれており、他方の配線は一方の配線が切り欠かれた欠損部位を通って一方の配線を横切るように形成する。そして欠損部位を間にして互いに対向する一方の配線の一対の端部を、別の配線で相互に接続し、橋渡しをしている。本明細書ではこの橋渡しの役目をする別の配線を、ブリッジ配線と呼ぶ場合がある。
ブリッジ配線は行状及び列状の配線とは層間絶縁膜で隔てられた別レイヤーの導体層で形成されている。このブリッジ配線は、一方の配線の一対の端部を最短距離で接続するため、丁度欠損部位と平面的に見て重なるように配されている。
行状の配線と列状の配線は、上述したように同一レイヤーの導体層で形成されており、共通のエッチングプロセスによりパターニングされる。エッチング処理はいわゆるエッチング残りや異物(ダスト)の付着などにより、配線間に短絡欠陥が生じる場合がある。特に行状の配線と列状の配線が交わる交差部はパターンが複雑であり、且つ両配線の間隙が狭いため、確率的に見て短絡欠陥が他の部位よりも多発する。
表示装置の歩留を改善するため、短絡欠陥をレーザ光照射で焼き切り、修復する技術が行われている。しかしながら従来の表示装置は、短絡欠陥が多発する交差部に丁度ブリッジ配線も形成されているため、レーザ光照射による修復処理が難しい場合がある。例えば、ブリッジ配線が下側の導体層からなり、行状及び列状の配線が上側導体層からなる場合、上側導体層にレーザ光を照射して修復しようとすると、下側の導体層にも必然的にレーザ光が照射し、下側の導体層を損傷し別の欠陥を誘発する恐れがある。
上述した従来の技術の課題に鑑み、本発明は行状の配線と列状の配線が交わる交差部でも、容易に短絡欠陥の修復が可能な配線レイアウトを有する表示装置を提供することを目的とする。
本開示の一側面の表示装置は、少なくともサンプリングトランジスタと、ドライブトランジスタと、保持容量と、発光素子と含む画素を複数備え、前記サンプリングトランジスタは、そのゲート電極に供給される制御信号に応じてオンし、映像信号をサンプリングして前記保持容量に書き込み、前記ドライブトランジスタは、前記保持容量に書き込まれた映像信号に応じた駆動電流を前記発光素子に供給する表示装置であって、前記各画素内には、第1の方向に延在する第1の配線と、第2の方向に延在する第2の配線とが同じ導体層で形成され、前記第1の配線は、第1配線部と第2配線部とに間隔を空けて分割されてなり、前記第1配線部と前記第2配線部とは、前記導体層と異なる層に設けられた別の配線を介して相互に接続されており、前記第2の配線は、前記間隔を通って、前記第1の配線を横切るように形成されており、前記別の配線は、前記第2の配線を横切り、かつ前記間隔を避けるように配され、前記第1の配線および前記第2の配線の一方は、各画素に対して電源電圧を供給する配線を含み、前記第1の配線および前記第2の配線の他方は、各画素に対して映像信号を供給する配線を含む
前記第1の配線および前記第2の配線の一方は、各画素に対して制御信号を供給する配線と各画素に電源電圧を供給する配線を含み少なくとも、電源電圧を供給する配線と映像信号を供給する配線が同じ導体層で形成されている。
各画素は、前記ドライブトランジスタの閾電圧の影響をキャンセルする閾電圧補正機能を有することができる。
各画素は、前記ドライブトランジスタの移動度の影響をキャンセルする移動度補正機能を有することができる。
前記発光素子は有機EL発光素子である。
前記同じ導体層は、Al配線層である。
前記異なる層は、Mo配線層である。
前記第1の配線は、各画素に対して映像信号を供給する配線を含み、
前記第2の配線は、各画素に対して制御信号を供給する配線と各画素に電源電圧を供給する配線とを含むことができる。
前記別の配線は、前記第2の配線に含まれる、前記各画素に対して制御信号を供給する配線と、前記各画素に電源電圧を供給する配線との両方を横切ることができる。
本開示の一側面の表示装置の製造方法は、少なくともサンプリングトランジスタと、ドライブトランジスタと、保持容量と、発光素子と含む画素を複数備え、前記各画素内には、第1の方向に延在する第1の配線と、第2の方向に延在する第2の配線とが同じ導体層で形成され、前記第1の配線は、第1配線部と第2配線部とに間隔を空けて分割されるように形成され、前記第1配線部と前記第2配線部とは、前記導体層と異なる層に設けられた別の配線を介して相互に接続されており、前記第2の配線は、前記間隔を通って、前記第1の配線を横切るように形成されており、前記別の配線は、前記第2の配線を横切り、かつ前記間隔を避けるように配され、前記第1の配線および前記第2の配線の一方は、各画素に対して電源電圧を供給する配線を含み、前記第1の配線および前記第2の配線の他方は、各画素に対して映像信号を供給する配線を含む画素アレイ部を製造するアレイ部製造工程と、前記各画素内のいずれかの画素の前記間隔において、前記第1の配線と前記第2の配線との間に短絡部が生じている場合に、前記短絡部を切断する修復工程とを含む。
前記修復工程においては、前記短絡部にレーザを照射することで前記短絡部を切断することができる。
前記修復工程においては、前記別の配線を切断しないように前記短絡部を切断することができる。
前記修復工程においては、前記別の配線を切断しないように前記別の配線を避けて前記レーザを照射することができる。
本開示の一側面においては、少なくともサンプリングトランジスタと、ドライブトランジスタと、保持容量と、発光素子と含む各画素内には、第1の方向に延在する第1の配線と、第2の方向に延在する第2の配線とが同じ導体層で形成される。そして、前記第1の配線が、第1配線部と第2配線部とに間隔を空けて分割され、前記第1配線部と前記第2配線部とが、前記導体層と異なる層に設けられた別の配線を介して相互に接続され、前記第2の配線が、前記間隔を通って、前記第1の配線を横切るように形成され、前記別の配線が、前記第2の配線を横切り、かつ前記間隔を避けるように配される。そして、前記第1の配線および前記第2の配線の一方には、各画素に対して電源電圧を供給する配線が含まれ、前記第1の配線および前記第2の配線の他方には、各画素に対して映像信号を供給する配線が含まれる
本開示によれば、ブリッジ配線が、一方の配線の欠損部位を避けて他方の配線と交差するように配されている。換言すると、ブリッジ配線は、行状及び列状の配線が交わる交差部を迂回してレイアウトされている。よって短絡欠陥が確率的に多発する交差部には、ブリッジ配線が介在していない。交差部で一方の配線の端部と他方の配線との間に短絡欠陥が生じた場合、何らブリッジ配線を損傷することなく、レーザ光照射でこの短絡欠陥を修復することが可能になり、表示装置の歩留を改善することができる。
先行開発にかかる表示装置の全体構成を示すブロック図である。 図1に示した表示装置に含まれる画素回路の一例を示す回路図である。 本発明にかかる表示装置の第1実施形態を示す回路図である。 第1実施形態の説明に供する模式図である。 同じく第1実施形態の説明に供する模式図である。 同じく第1実施形態の説明に供する模式図である。 第1参考例にかかる表示装置を示す回路図である。 第1参考例の説明に供する模式図である。 同じく第1参考例の説明に供する模式図である。 本発明にかかる表示装置の第1実施形態の動作説明に供するタイミングチャートである。 先行開発にかかる表示装置の他の例を示すブロック図である。 図11に示した表示装置に含まれる画素回路の構成を示す回路図である。 本発明にかかる表示装置の第2実施形態を示す回路図である。 第2実施形態の説明に供する模式図である。 同じく第2実施形態の説明に供する模式図である。 第2参考例にかかる表示装置を示す回路図である。 第2参考例の説明に供する模式図である。 本発明にかかる表示装置の第2実施形態の動作説明に供する回路図である。 同じく第2実施形態の動作説明に供するタイミングチャートである。 本発明にかかる表示装置のデバイス構成を示す断面図である。 本発明にかかる表示装置のモジュール構成を示す平面図である。 本発明にかかる表示装置を備えたテレビジョンセットを示す斜視図である。 本発明にかかる表示装置を備えたデジタルスチルカメラを示す斜視図である。 本発明にかかる表示装置を備えたノート型パーソナルコンピュータを示す斜視図である。 本発明にかかる表示装置を備えた携帯端末装置を示す模式図である。 本発明にかかる表示装置を備えたビデオカメラを示す斜視図である。
以下図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。まず本発明の背景を明らかにするため、本発明の基になった先行開発にかかる表示装置を本発明の一部として説明する。図1は、この先行開発にかかる表示装置の全体構成を示すブロック図である。図示するように、本表示装置は、画素アレイ部1とこれを駆動する駆動部とからなる。画素アレイ部1は、行状の走査配線WSと、列状の信号配線(信号ライン)SLと、両者が交差する部分に配された行列状の画素2と、各画素2の各行に対応して配された電源配線(電源ライン)VLとを備えている。なお本例は、各画素2にRGB三原色のいずれかが割り当てられており、カラー表示が可能である。但しこれに限られるものではなく、単色表示のデバイスも含む。駆動部は、各走査配線WSに順次制御信号を供給して画素2を行単位で線順次走査するライトスキャナ4と、この線順次走査に合わせて各電源配線VLに第1電位と第2電位で切換る電源電圧を供給する電源スキャナ6と、この線順次走査に合わせて列状の信号配線SLに映像信号となる信号電位と基準電位を供給する信号セレクタ(水平セレクタ)3とを備えている。
図2は、図1に示した表示装置に含まれる画素2の具体的な構成及び結線関係を示す回路図である。図示するように、この画素2は有機ELデバイスなどで代表される発光素子ELと、サンプリングトランジスタTr1と、ドライブトランジスタTrdと、保持容量Csとを含む。サンプリングトランジスタTr1は、その制御端(ゲート)が対応する走査配線WSに接続し、一対の電流端(ソース及びドレイン)の一方が対応する信号配線SLに接続し、他方がドライブトランジスタTrdの制御端(ゲートG)に接続する。ドライブトランジスタTrdは、一対の電流端(ソースS及びドレイン)の一方が発光素子ELに接続し、他方が対応する電源配線VLに接続している。本例では、ドライブトランジスタTrdがNチャネル型であり、そのドレインが電源配線VLに接続する一方、ソースSが出力ノードとして発光素子ELのアノードに接続している。発光素子ELのカソードは所定のカソード電位Vcathに接続している。保持容量CsはドライブトランジスタTrdのソースSとゲートGの間に接続している。
かかる構成において、サンプリングトランジスタTr1は走査配線WSから供給された制御信号に応じて導通し、信号配線SLから供給された信号電位をサンプリングして保持容量Csに保持する。ドライブトランジスタTrdは、第1電位(高電位Vdd)にある電源配線VLから電流の供給を受け保持容量Csに保持された信号電位に応じて駆動電流を発光素子ELに流す。ライトスキャナ4は、信号配線SLが信号電位にある時間帯にサンプリングトランジスタTr1を導通状態にするため、所定のパルス幅の制御信号を制御線WSに出力し、以って保持容量Csに信号電位を保持すると同時にドライブトランジスタTrdの移動度μに対する補正を信号電位に加える。この後ドライブトランジスタTrdは保持容量Csに書き込まれた信号電位Vsigに応じた駆動電流を発光素子ELに供給し、発光動作に入る。
本画素回路2は、上述した移動度補正機能に加え閾電圧補正機能も備えている。即ち電源スキャナ6は、サンプリングトランジスタTr1が信号電位Vsigをサンプリングする前に、第1タイミングで電源配線VLを第1電位(高電位Vdd)から第2電位(低電位Vss)に切換える。またライトスキャナ4は同じくサンプリングトランジスタTr1が信号電位Vsigをサンプリングする前に、第2タイミングでサンプリングトランジスタTr1を導通させて信号配線SLから基準電位VrefをドライブトランジスタTrdのゲートGに印加すると共にドライブトランジスタTrdのソースSを第2電位(Vss)にセットする。電源スキャナ6は第2タイミングの後の第3タイミングで電源配線VLを第2電位Vssから第1電位Vddに切換えて、ドライブトランジスタTrdの閾電圧Vthに相当する電圧を保持容量Csに保持する。かかる閾電圧補正機能により、本表示装置は画素毎にばらつくドライブトランジスタTrdの閾電圧Vthの影響をキャンセルすることができる。
本画素回路2は、さらにブートストラップ機能も備えている。即ちライトスキャナ4は保持容量Csに信号電位Vsigが保持された段階で走査配線WSに対する制御信号の印加を解除し、サンプリングトランジスタTr1を非道通状態にしてドライブトランジスタTrdのゲートGを信号配線SLから電気的に切り離し、以ってドライブトランジスタTrdのソースSの電位変動にゲートGの電位が連動し、ゲートGとソースS間の電圧Vgsを一定に維持することができる。
図3は、本発明にかかる表示装置の第1実施形態を示す回路図である。理解を容易にするため図2に示した先行開発にかかる表示装置と対応する部分には対応する参照番号を付してある。本実施形態の基本的な構成は、先行開発にかかる表示装置と同じであるが、短絡欠陥のレーザ光照射による修復を容易にするため、配線パターンを工夫している。
この表示装置の画素アレイ部1は、行状の走査配線WSと、列状の信号配線SLと、両配線が格子状に交わる各交差部に対応して配された画素2とからなる。各画素2は、少なくともサンプリングトランジスタTr1と、ドライブトランジスタTrdと、保持容量Csと、発光素子ELとを含む。サンプリングトランジスタTr1は、走査配線WSから供給される制御信号に応じてオンし信号配線SLから供給される映像信号をサンプリングして保持容量Csに書き込む。ドライブトランジスタTrdは、保持容量Csに書き込まれた映像信号に応じた駆動電流を発光素子ELに供給する。
行状の走査配線WSと列状の信号配線SLとは同じ導体層で形成されている。前述したように、この表示装置は各画素2が閾電圧補正機能や移動度補正機能さらにはブートストラップ機能を備えており、動作シーケンスが複雑になっている。この様な動作シーケンスを誤差なく実行するために、ライトスキャナ4から走査配線WSに供給する制御信号は可能な限り波形鈍りが少ないほうが好ましい。そのため走査配線WSはアルミニウム金属などの低抵抗導体層で形成する。一方信号配線SLも複雑な動作シーケンスを実行するため、信号電位と基準電位との間で高速に切換る。この様な動作を確実に行うため信号配線SLも走査配線WSと同じ金属アルミニウムなどの低抵抗導体層で形成されている。
行状の走査配線WSと列状の信号配線SLとは同じ導体層で形成するため、図2で示した先行開発例のように単純に両配線を交差することができない。そこで本実施形態は両配線WS,SLが交わる交差部で一方の配線SLが切り欠かれている。他方の配線WSは、一方の配線SLが切り欠かれた欠損部位を通って、一方の配線SLを横切るように形成されている。そして、欠損部位を間にして互いに対向する一方の配線SLの一対の端部が、別のブリッジ配線BPで相互に接続されている。このブリッジ配線BPは、行状及び列状の配線WS,SLとは層間絶縁膜で隔てられた別の導体層で形成されている。例えば金属モリブデンなどの高抵抗配線で形成することができる。本発明の特徴事項として、このブリッジ配線BPは信号配線SLの欠損部位を避けて走査配線WSと交差するように配されている。かかるレイアウトにより、欠損部位で一方の配線SLの端部と他方の配線WSとの間に短絡欠陥が生じた場合、レーザ光照射でこれを容易に修復することができる。図示するようにブリッジ配線BPは信号配線SLと走査配線WSの交差部から迂回しているため、交差部に生じた短絡欠陥は、何らブリッジ配線BPを損傷することなく、レーザ光照射で修復することができる。
短絡欠陥は、エッチングで配線WS,SLを形成する際、一方の配線SLの端部と他方の配線WSの間のエッチング残りに起因する場合がある。この場合ブリッジ配線BPは、エッチング残りに起因する短絡欠陥をレーザ光照射で削除可能なように、信号配線SLの欠損部位を迂回して形成する。あるいは短絡欠陥は、欠損部位に付着した異物(ダスト)に起因する場合もある。この場合でも、ブリッジ配線BPは、欠損部位に付着した異物に起因する短絡欠陥をレーザ光照射で削除可能なように、欠損部位を迂回してレイアウトされている。
本実施形態では、行状の配線は、各画素2に対して制御信号を供給する走査配線WSに加え、各画素2に電源電圧を供給する電源配線VLを含んでいる。この電源配線VLも走査配線WSや信号配線SLと同じ低抵抗導体層で形成されている。電源配線VLは各画素2に駆動電流を供給するため、ラインに沿った電圧降下は可能な限り少ないほうが良い。そのため電源配線VLも低抵抗化されている。よって信号配線SLと電源配線VLの交差部も、ブリッジ配線BPで橋渡しを行うようになっている。このブリッジ配線BPも信号配線SLの欠損部位から迂回するように、電源配線VLを横切っている。
図4は、図3に示した表示装置の画素アレイ部に含まれる交差部の拡大平面図である。図示するように行状の電源配線VLは低抵抗アルミ配線からなる。列状の信号配線SLも同層の低抵抗アルミ配線からなる。列状の信号配線SLは一部切り欠かれており、この欠損部位に行状の電源配線VLが横切っている。欠損部位を間にして対向配置した信号配線SLの一対の端部は、ブリッジ配線BPにより接続されている。このブリッジ配線BPは低抵抗アルミ配線とは別の高抵抗モリブデン配線からなり、別層の低抵抗アルミニウム配線とはコンタクトホールを介して電気接続されている。図から明らかなように、ブリッジ配線BPは列状の信号配線SLと行状の電源配線VLの交差部を迂回するように配されている。
図5は、行状の電源配線VLと列状の信号配線SLの交差部に生じた短絡欠陥ERを示す模式図である。両配線SL,VLの交差部はパターン間隔が狭いため、エッチング残りによる短絡欠陥ERが確率的に多発する。図示の例では、この短絡欠陥ERは信号配線SLの先端部と電源配線VLの側部との間に生じている。短絡欠陥ERにより、電源配線VLと信号配線SLが電気的に導通してしまい、表示装置は正常な動作を行うことができない。
図6は、レーザ光照射による短絡欠陥の修復処理を示す模式的な平面図である。図示するように、信号配線SLと電源配線VLの交差部に生じた短絡欠陥は、レーザ光照射で焼き切ることにより、修復することができる。信号配線SLと電源配線VLはこの修復処理により、互いに電気的に分離され、画素アレイ部は正常な動作を行うことができる。その際、信号配線SLの欠損部位からブリッジ配線BPが迂回しており、レーザ光照射の影響を受けることが無い。これによりブリッジ配線BPを何ら損傷することなく、短絡欠陥を安全に修復することができる。
図7は、表示装置の第1参考例を示す模式的な回路図である。基本的には図3に示した第1実施形態と類似しており、理解を容易にするため対応する部分には対応する参照番号を付してある。異なる点は、ブリッジ配線BPが信号配線SLと走査配線WSの交差部を迂回することなく、信号配線SLと整列するように一直線上に配されていることである。同様にもう1つのブリッジ配線BPも信号配線SLと整合して配されており、電源配線VLと交差している。
図8は、図7に示した信号配線SLと電源配線VLの交差部を示す模式的な平面図である。図示するように、信号配線SLの一対の端部を接続するブリッジ配線BPは、信号配線SLの欠損部位と重なるように最短距離で形成されており、何ら迂回構造とはなっていない。
図9は、図8に示した交差部に生じた短絡欠陥ERを示す模式的な平面図である。前述したように信号配線SLと電源配線VLの交差部はエッチング残りに起因する短絡欠陥ERが確率的に多発する領域となっている。図示の例では、信号配線SLの端部と電源配線VLの側部がエッチング残りに起因する短絡欠陥ERで電気的に接続してしまっている。この場合、短絡欠陥ERをレーザ光照射で修復しようとすると、必然的に下層のブリッジ配線BPにもレーザ光が照射することとなり、ブリッジ配線BPを損傷する恐れがある。最悪の場合には、電源配線VLを間にして上下に離れた信号配線SLが電気的に分離してしまい、画素アレイ部が正常な動作を行うことができない。
図10は、図3に示した第1実施形態にかかる表示装置の動作説明に供するタイミングチャートである。時間軸を共通にして、走査配線WSの電位変化、電源配線VLの電位変化及び信号配線SLの電位変化を表している。またこれらの電位変化と並行に、ドライブトランジスタのゲートG及びソースSの電位変化も表してある。
前述したように走査配線WSには、サンプリングトランジスタTr1をオンするための制御信号パルスが印加される。この制御信号パルスは画素アレイ部の線順次走査に合わせて1フィールド(1f)周期で走査配線WSに印加される。電源線VLは同じように1フィールド周期で高電位Vddと低電位Vssとの間で切換る。信号配線SLには1水平周期(1H)内で信号電位Vsigと基準電位Vrefが切換る映像信号を供給している。
図10のタイミングチャートに示すように、画素は前のフィールドの発光期間から当該フィールドの非発光期間に入り、そのあと当該フィールドの発光期間となる。この非発光期間で準備動作、閾電圧補正動作、信号書き込み動作、移動度補正動作などを行う。
前フィールドの発光期間では、電源配線VLが高電位Vddにあり、ドライブトランジスタTrdが駆動電流Idsを発光素子ELに供給している。駆動電流Idsは高電位Vddにある電源配線VLからドライブトランジスタTrdを介して発光素子ELを通り、カソードラインに流れ込んでいる。
続いて当該フィールドの非発光期間に入るとまずタイミングT1で電源配線VLを高電位Vddから低電位Vssに切換える。これにより電源配線VLはVssまで放電され、さらにドライブトランジスタTrdのソースSの電位はVssまで下降する。これにより発光素子ELのアノード電位(即ちドライブトランジスタTrdのソース電位)は逆バイアス状態となるため、駆動電流が流れなくなり消灯する。またドライブトランジスタのソースSの電位降下に連動してゲートGの電位も降下する。
続いてタイミングT2になると、走査配線WSを低レベルから高レベルに切換えることで、サンプリングトランジスタTr1が導通状態になる。この時信号配線SLは基準電位Vrefにある。よってドライブトランジスタTrdのゲートGの電位は導通したサンプリングトランジスタTr1を通じて信号配線SLの基準電位Vrefとなる。この時ドライブトランジスタTrdのソースSの電位はVrefよりも十分低い電位Vssにある。この様にしてドライブトランジスタTrdのゲートGとソースSとの間の電圧VgsがドライブトランジスタTrdの閾電圧Vthより大きくなるように、初期化される。タイミングT1からタイミングT3までの期間T1‐T3はドライブトランジスタTrdのゲートG/ソースS間電圧Vgsを予めVth以上に設定する準備期間である。
この後タイミングT3になると、電源配線VLが低電位Vssから高電位Vddに遷移し、ドライブトランジスタTrdのソースSの電位が上昇を開始する。やがてドリライブトランジスタTrdのゲートG/ソースS間電圧Vgsが閾電圧Vthとなった所で電流がカットオフする。この様にしてドライブトランジスタTrdの閾電圧Vthに相当する電圧が保持容量Csに書き込まれる。これが閾電圧補正動作である。この時電流がもっぱら保持容量Cs側に流れ、発光素子ELには流れないようにするため、発光素子ELがカットオフとなるようにカソード電位Vcathを設定しておく。この閾電圧補正動作はタイミングT4で信号配線SLの電位がVrefからVsigに切換るまでの間に完了する。タイミングT3からタイミングT4までの期間T3‐T4が移動度補正期間となる。
タイミングT4では信号配線SLが基準電位Vrefから信号電位Vsigに切換る。この時サンプリングトランジスタTr1は引き続き導通状態にある。よってドライブトランジスタTrdのゲートGの電位は信号電位Vsigになる。ここで発光素子ELは始めカットオフ状態(ハイインピーダンス状態)にあるためドライブトランジスタTrdのドレインとソースの間に流れる電流はもっぱら保持容量Csと発光素子ELの等価容量に流れ込み、充電を開始する。この後サンプリングトランジスタTr1がオフするタイミングT5までに、ドライブトランジスタTrdのソースSの電位はΔVだけ上昇する。この様にして映像信号の信号電位VsigがVthに足し込まれる形で保持容量Csに書き込まれると共に移動度補正用の電圧ΔVが保持容量Csに保持された電圧から差し引かれる。よってタイミングT4からタイミングT5までの期間T4‐T5が信号書き込み期間/移動度補正期間となる。この様に信号書き込み期間T4‐T5では信号電位Vsigの書き込みと補正量ΔVの調整が同時に行われる。Vsigが高いほどドライブトランジスタTrdが供給する電流Idsは大きくなり、ΔVの絶対値も大きくなる。したがって発光輝度レベルに応じた移動度補正が行われる。Vsigを一定とした場合、ドライブトランジスタTrdの移動度μが大きいほどΔVの絶対値が大きくなる。換言すると移動度μが大きいほど保持容量Csに対する負帰還量ΔVが大きくなるので、画素毎の移動度μのばらつきを取り除くことができる。
最後にタイミングT5になると、前述したように走査配線WSが低レベル側に遷移し、サンプリングトランジスタTr1はオフ状態となる。これによりドライブトランジスタTrdのゲートGは信号配線SLから切り離される。同時にドレイン電流Idsが発光素子ELを流れ始める。これにより発光素子ELのアノード電位は駆動電流Idsに応じて上昇する。発光素子ELのアノード電位の上昇は、即ちドライブトランジスタTrdのソースSの電位上昇に他ならない。ドライブトランジスタTrdのソースSの電位が上昇すると、保持容量Csのブートストラップ動作によりドライブトランジスタTrdのゲートGの電位も連動して上昇する。ゲート電位の上昇量はソース電位の上昇量に等しくなる。ゆえに発光期間中ドライブトランジスタTrdのゲートG/ソースS間電圧Vgsは一定に保持される。このVgsの値は信号電位Vsigに閾電圧Vth及び移動量μの補正をかけたものとなっている。
図11は、先行開発にかかる表示装置の他の例を示す模式的なブロック図である。図示する様に、本表示装置は基本的に画素アレイ部1とスキャナ部と信号部とで構成されている。画素アレイ部1は、行状に配された第1走査配線WS、第2走査配線AZ1、第3走査配線AZ2及び第4走査配線DSと、列状に配された信号配線SLと、これらの走査配線WS,AZ1,AZ2,DS及び信号配線SLに接続した行列状の画素回路2と、各画素回路2の動作に必要な第1電位Vss1,第2電位Vss2及び第3電位Vccを供給する複数の電源配線とからなる。信号部は水平セレクタ3からなり、信号配線SLに映像信号を供給する。スキャナ部は、ライトスキャナ4、ドライブスキャナ5、第一補正用スキャナ71及び第二補正用スキャナ72からなり、それぞれ第1走査配線WS、第4走査配線DS、第2走査配線AZ1及び第3走査配線AZ2に制御信号を供給して順次行毎に画素回路を走査する。
図12は、図11に示した表示装置に組み込まれる画素回路の構成例を示す回路図である。図示する様に画素回路2は、サンプリングトランジスタTr1と、ドライブトランジスタTrdと、第1スイッチングトランジスタTr2と、第2スイッチングトランジスタTr3と、第3スイッチングトランジスタTr4と、保持容量Csと、発光素子ELとを含む。サンプリングトランジスタTr1は、所定のサンプリング期間に第1走査配線WSから供給される制御信号に応じ導通して信号配線SLから供給された映像信号の信号電位を保持容量Csにサンプリングする。保持容量Csは、サンプリングされた映像信号の信号電位に応じてドライブトランジスタTrdのゲートGに入力電圧Vgsを印加する。ドライブトランジスタTrdは、入力電圧Vgsに応じた出力電流Idsを発光素子ELに供給する。発光素子ELは、所定の発光期間中ドライブトランジスタTrdから供給される出力電流Idsにより映像信号の信号電位に応じた輝度で発光する。
第1スイッチングトランジスタTr2は、サンプリング期間に先立ち第2走査配線AZ1から供給される制御信号に応じ導通してドライブトランジスタTrdのゲートGを第1電位Vss1に設定する。第2スイッチングトランジスタTr3は、サンプリング期間に先立ち第3走査配線AZ2から供給される制御信号に応じ導通してドライブトランジスタTrdのソースSを第2電位Vss2に設定する。第3スイッチングトランジスタTr4は、サンプリング期間に先立ち第4走査配線DSから供給される制御信号に応じ導通してドライブトランジスタTrdを第3電位Vccに接続し、以ってドライブトランジスタTrdの閾電圧Vthに相当する電圧を保持容量Csに保持させて閾電圧Vthの影響を補正する。さらにこの第3スイッチングトランジスタTr4は、発光期間に再び第4走査配線DSから供給される制御信号に応じ導通してドライブトランジスタTrdを第3電位Vccに接続して出力電流Idsを発光素子ELに流す。なおこの画素回路2は、保持容量Csに映像信号を書き込む際、サンプリング期間の一部で移動度補正動作を行っており、ドライブトランジスタTrdの移動度μのばらつきを補正する電圧分を、保持容量Csに負帰還している。
図13は、本発明にかかる表示装置の第2実施形態を示す回路図である。基本的には、図12に示した先行開発にかかる表示装置と類似しており、対応する部分には対応する参照番号を付してある。前述した閾電圧補正動作や移動度補正動作を正確に制御するためには、走査配線WS,DSに印加する制御信号のパルスのトランジェントが急峻であることが望ましい。そのためには、パネル横方向の走査配線WS,DSを低抵抗化してレイアウトする必要がある。一方信号配線SLも、パネルの高精細化を考えると映像信号を急峻に書き込む必要がある。このため列方向(縦方向)の信号配線SLも低抵抗配線にてレイアウトすることが望ましい。従って本実施形態では、走査配線WS,DSと信号配線SLは同一レイヤーで形成されている。しかしながら同一レイヤーを縦横にレイアウトすると、交差部にて短絡してしまう。そこで本実施形態は、縦横同一レイヤー配線の交差部で、ショートを回避するため、縦配線SLを一部切り欠いて横配線WS,DSを通すと共に、縦配線SLの切り欠かれた部分を接続するために、ブリッジ配線BPを別の高抵抗配線で形成している。その際、このブリッジ配線BPは縦横配線の交差部を迂回するように形成されており、交差部で多発する縦横配線間の短絡欠陥を容易に修復可能にしている。
図14は、図13に示した表示装置の画素アレイ部の交差部に、短絡欠陥FMが生じた状態を表している。この短絡欠陥FMは製造プロセスで介在するダストなどの異物の付着に起因しており、丁度信号配線SLの端部や走査配線WS,DSの上に生じたため、信号配線SLと走査配線WS,DSとの間で短絡欠陥が生じている。
図15は、図14に示した短絡欠陥FMをレーザ光照射で修復した後の状態を表している。前述したように本実施形態はブリッジ配線BPが縦横配線の交差部を迂回するようにレイアウトしており、短絡欠陥FMの修復を容易にしている。縦横配線の上部に異物が付着して、その影響により短絡欠陥FMが生じても、ここにレーザ光を照射して短絡欠陥FMを焼き切ることで修復可能である。その際ブリッジ配線BPは交差部を迂回しているため、レーザ光照射で損傷を受ける恐れが無い。この様に縦横配線の交差部は配線間隔が狭いため、最も短絡欠陥の発生確率が高い部位である。この部位からブリッジ配線BPを迂回することで、交差部の短絡欠陥も容易に修復することが可能になり、高いパネル歩留まりを得ることができる。
図16は、第2参考例にかかる表示装置を示す模式的な回路図である。基本的には図13に示した第2実施形態と類似しており、対応する部分には対応する参照番号を付して理解を容易にしている。異なる点は、上下に分離した信号配線SLを相互に接続するブリッジ配線BPが、何ら迂回レイアウトされておらず、信号配線SLと一直線上に整列していることである。換言すると、ブリッジ配線BPは縦横配線の交差部を何ら避けることなく形成されている。
図17は、図16に示した表示装置の交差部に短絡欠陥FMが発生した場合の状態を表している。このままでは縦配線SLと横配線WS,DSが短絡しているため、画素アレイ部1は正常な動作を行うことができない。また互いに並行な走査配線WS,DSも相互に短絡しており、正常な動作を行うことができない。
よって短絡欠陥FMにレーザ光を照射してこれを焼き切り、短絡欠陥を修復する必要がある。しかしながらこの第2参考例では、短絡欠陥FMの下方にブリッジ配線BPが介在しているため、レーザ光照射を行うと、ブリッジ配線BPも損傷を受ける恐れがあり、修復処理を安全に行うことができない。
図18は、図13に示した第2実施形態にかかる表示装置から画素回路2を取り出した模式図である。理解を容易にするため、サンプリングトランジスタTr1によってサンプリングされる映像信号Vsigや、ドライブトランジスタTrdの入力電圧Vgs及び出力電流Ids、さらには発光素子ELが有する容量成分Coledなどを書き加えてある。以下図18に基づいて画素回路2の動作を説明する。
図19は、図18に示した画素回路の動作説明に供するタイミングチャートである。以下、図19に示した駆動方法を詳細に説明する。当該フィールドが始まる前のタイミングT0で、全ての制御信号WS,AZ1,AZ2,DSがローレベルにある。したがってNチャネル型のトランジスタTr1,Tr2,Tr3はオフ状態にある一方、Pチャネル型のトランジスタTr4のみオン状態である。したがってドライブトランジスタTrdはオン状態のトランジスタTr4を介して電源Vccに接続しているので、所定の入力電圧Vgsに応じて出力電流Idsを発光素子ELに供給している。したがってタイミングT0で発光素子ELは発光している。この時ドライブトランジスタTrdに印加される入力電圧Vgsは、ゲート電位(G)とソース電位(S)の差で表される。
当該フィールドが始まるタイミングT1で、制御信号DSがローレベルからハイレベルに切り替わる。これによりトランジスタTr4がオフし、ドライブトランジスタTrdは電源Vccから切り離されるので、発光が停止し非発光期間に入る。したがってタイミングT1に入ると、全てのトランジスタTr1〜Tr4がオフ状態になる。
続いてタイミングT2に進むと、制御信号AZ1及びAZ2がハイレベルになるので、スイッチングトランジスタTr2及びTr3がオンする。この結果、ドライブトランジスタTrdのゲートGが基準電位Vss1に接続し、ソースSが基準電位Vss2に接続される。ここでVss1−Vss2>Vthを満たしており、Vss1−Vss2=Vgs>Vthとする事で、その後タイミングT3で行われるVth補正の準備を行う。換言すると期間T2‐T3は、ドライブトランジスタTrdのリセット期間に相当する。また、発光素子ELの閾電圧をVthELとすると、VthEL>Vss2に設定されている。これにより、発光素子ELにはマイナスバイアスが印加され、いわゆる逆バイアス状態となる。この逆バイアス状態は、後で行うVth補正動作及び移動度補正動作を正常に行うために必要である。
タイミングT3では制御信号AZ2をローレベルにし且つ直後制御信号DSもローレベルにしている。これによりトランジスタTr3がオフする一方トランジスタTr4がオンする。この結果ドレイン電流Idsが保持容量Csに流れ込み、Vth補正動作を開始する。この時ドライブトランジスタTrdのゲートGはVss1に保持されており、ドライブトランジスタTrdがカットオフするまで電流Idsが流れる。カットオフするとドライブトランジスタTrdのソース電位(S)はVss1−Vthとなる。ドレイン電流がカットオフした後のタイミングT4で制御信号DSを再びハイレベルに戻し、スイッチングトランジスタTr4をオフする。さらに制御信号AZ1もローレベルに戻し、スイッチングトランジスタTr2もオフする。この結果、保持容量CsにVthが保持固定される。この様にタイミングT3‐T4はドライブトランジスタTrdの閾電圧Vthを検出する期間である。ここでは、この検出期間T3‐T4をVth補正期間と呼んでいる。
この様にVth補正を行った後タイミングT5で制御信号WSをハイレベルに切り替え、サンプリングトランジスタTr1をオンして映像信号Vsigを保持容量Csに書き込む。発光素子ELの等価容量Coledに比べて保持容量Csは充分に小さい。この結果、映像信号Vsigのほとんど大部分が保持容量Csに書き込まれる。正確には、Vss1に対する。Vsigの差分Vsig−Vss1が保持容量Csに書き込まれる。したがってドライブトランジスタTrdのゲートGとソースS間の電圧Vgsは、先に検出保持されたVthと今回サンプリングされたVsig−Vss1を加えたレベル(Vsig−Vss1+Vth)となる。以降説明簡易化の為Vss1=0Vとすると、ゲート/ソース間電圧Vgsは図4のタイミングチャートに示すようにVsig+Vthとなる。かかる映像信号Vsigのサンプリングは制御信号WSがローレベルに戻るタイミングT7まで行われる。すなわちタイミングT5‐T7がサンプリング期間に相当する。
サンプリング期間の終了するタイミングT7より前のタイミングT6で制御信号DSがローレベルとなりスイッチングトランジスタTr4がオンする。これによりドライブトランジスタTrdが電源Vccに接続されるので、画素回路は非発光期間から発光期間に進む。この様にサンプリングトランジスタTr1がまだオン状態で且つスイッチングトランジスタTr4がオン状態に入った期間T6‐T7で、ドライブトランジスタTrdの移動度補正を行う。即ち本例では、サンプリング期間の後部分と発光期間の先頭部分とが重なる期間T6‐T7で移動度補正を行っている。なお、この移動度補正を行う発光期間の先頭では、発光素子ELは実際には逆バイアス状態にあるので発光する事はない。この移動度補正期間T6‐T7では、ドライブトランジスタTrdのゲートGが映像信号Vsigのレベルに固定された状態で、ドライブトランジスタTrdにドレイン電流Idsが流れる。ここでVss1−Vth<VthELと設定しておく事で、発光素子ELは逆バイアス状態におかれる為、ダイオード特性ではなく単純な容量特性を示すようになる。よってドライブトランジスタTrdに流れる電流Idsは保持容量Csと発光素子ELの等価容量Coledの両者を結合した容量C=Cs+Coledに書き込まれていく。これによりドライブトランジスタTrdのソース電位(S)は上昇していく。図19のタイミングチャートではこの上昇分をΔVで表してある。この上昇分ΔVは結局保持容量Csに保持されたゲート/ソース間電圧Vgsから差し引かれる事になるので、負帰還をかけた事になる。この様にドライブトランジスタTrdの出力電流Idsを同じくドライブトランジスタTrdの入力電圧Vgsに負帰還する事で、移動度μを補正する事が可能である。なお負帰還量ΔVは移動度補正期間T6‐T7の時間幅tを調整する事で最適化可能である。
タイミングT7では制御信号WSがローレベルとなりサンプリングトランジスタTr1がオフする。この結果ドライブトランジスタTrdのゲートGは信号配線SLから切り離される。映像信号Vsigの印加が解除されるので、ドライブトランジスタTrdのゲート電位(G)は上昇可能となり、ソース電位(S)と共に上昇していく。その間保持容量Csに保持されたゲート/ソース間電圧Vgsは(Vsig−ΔV+Vth)の値を維持する。ソース電位(S)の上昇に伴い、発光素子ELの逆バイアス状態は解消されるので、出力電流Idsの流入により発光素子ELは実際に発光を開始する。この時のドレイン電流Ids対ゲート電圧Vgsの関係は、以下の式のように与えられる。
Ids=kμ(Vgs−Vth)2=kμ(Vsig−ΔV)2
上記式において、k=(1/2)(W/L)Coxである。ここでWはドライブトランジスタのチャネル幅、Lは同じくチャネル長、Coxは同じく単位面積あたりのゲート容量を表している。この特性式からVthの項がキャンセルされており、発光素子ELに供給される出力電流IdsはドライブトランジスタTrdの閾電圧Vthに依存しない事が分かる。基本的にドレイン電流Idsは映像信号の信号電圧Vsigによって決まる。換言すると、発光素子ELは映像信号Vsigに応じた輝度で発光する事になる。その際Vsigは帰還量ΔVで補正されている。この補正量ΔVは丁度特性式5の係数部に位置する移動度μの効果を打ち消すように働く。したがって、ドレイン電流Idsは実質的に映像信号Vsigのみに依存する事になる。
最後にタイミングT8に至ると制御信号DSがハイレベルとなってスイッチングトランジスタTr4がオフし、発光が終了すると共に当該フィールドが終わる。この後次のフィールドに移って再びVth補正動作、移動度補正動作及び発光動作が繰り返される事になる。
本発明にかかる表示装置は、図20に示すような薄膜デバイス構成を有する。本図は、絶縁性の基板に形成された画素の模式的な断面構造を表している。図示するように、画素は、複数の薄膜トランジタを含むトランジスタ部(図では1個のTFTを例示)、保持容量などの容量部及び有機EL素子などの発光部とを含む。基板の上にTFTプロセスでトランジスタ部や容量部が形成され、その上に有機EL素子などの発光部が積層されている。その上に接着剤を介して透明な対向基板を貼り付けてフラットパネルとしている。
本発明にかかる表示装置は、図21に示すようにフラット型のモジュール形状のものを含む。例えば絶縁性の基板上に、有機EL素子、薄膜トランジスタ、薄膜容量等からなる画素をマトリックス状に集積形成した画素アレイ部を設ける、この画素アレイ部(画素マトリックス部)を囲むように接着剤を配し、ガラス等の対向基板を貼り付けて表示モジュールとする。この透明な対向基板には必要に応じて、カラーフィルタ、保護膜、遮光膜等を設けてももよい。表示モジュールには、外部から画素アレイ部への信号等を入出力するためのコネクタとして例えばFPC(フレキシブルプリントサーキット)を設けてもよい。
以上説明した本発明における表示装置は、フラットパネル形状を有し、様々な電子機器、例えば、デジタルカメラ、ノート型パーソナルコンピュータ、携帯電話、ビデオカメラなど、電子機器に入力された、若しくは、電子機器内で生成した映像信号を画像若しくは映像として表示するあらゆる分野の電子機器のディスプレイに適用することが可能である。以下この様な表示装置が適用された電子機器の例を示す。
図22は本発明が適用されたテレビであり、フロントパネル12、フィルターガラス13等から構成される映像表示画面11を含み、本発明の表示装置をその映像表示画面11に用いることにより作製される。
図23は本発明が適用されたデジタルカメラであり、上が正面図で下が背面図である。このデジタルカメラは、撮像レンズ、フラッシュ用の発光部15、表示部16、コントロールスイッチ、メニュースイッチ、シャッター19等を含み、本発明の表示装置をその表示部16に用いることにより作製される。
図24は本発明が適用されたノート型パーソナルコンピュータであり、本体20には文字等を入力するとき操作されるキーボード21を含み、本体カバーには画像を表示する表示部22を含み、本発明の表示装置をその表示部22に用いることにより作製される。
図25は本発明が適用された携帯端末装置であり、左が開いた状態を表し、右が閉じた状態を表している。この携帯端末装置は、上側筐体23、下側筐体24、連結部(ここではヒンジ部)25、ディスプレイ26、サブディスプレイ27、ピクチャーライト28、カメラ29等を含み、本発明の表示装置をそのディスプレイ26やサブディスプレイ27に用いることにより作製される。
図26は本発明が適用されたビデオカメラであり、本体部30、前方を向いた側面に被写体撮影用のレンズ34、撮影時のスタート/ストップスイッチ35、モニター36等を含み、本発明の表示装置をそのモニター36に用いることにより作製される。
1・・・画素アレイ部、3・・・水平セレクタ、4・・・ライトスキャナ、6・・・電源スキャナ、WS・・・走査配線、VL・・・電源配線、SL・・・信号配線、BP・・・ブリッジ配線、Tr1・・・サンプリングトランジスタ、Trd・・・ドライブトランジスタ、Cs・・・保持容量、EL・・・発光素子

Claims (13)

  1. 少なくともサンプリングトランジスタと、ドライブトランジスタと、保持容量と、発光素子と含む画素を複数備え、
    前記サンプリングトランジスタは、そのゲート電極に供給される制御信号に応じてオンし、映像信号をサンプリングして前記保持容量に書き込み、
    前記ドライブトランジスタは、前記保持容量に書き込まれた映像信号に応じた駆動電流を前記発光素子に供給する表示装置であって、
    前記各画素内には、第1の方向に延在する第1の配線と、第2の方向に延在する第2の配線とが同じ導体層で形成され、
    前記第1の配線は、第1配線部と第2配線部とに間隔を空けて分割されてなり、前記第1配線部と前記第2配線部とは、前記導体層と異なる層に設けられた別の配線を介して相互に接続されており、
    前記第2の配線は、前記間隔を通って、前記第1の配線を横切るように形成されており、
    前記別の配線は、前記第2の配線を横切り、かつ前記間隔を避けるように配され
    前記第1の配線および前記第2の配線の一方は、各画素に対して電源電圧を供給する配線を含み、
    前記第1の配線および前記第2の配線の他方は、各画素に対して映像信号を供給する配線を含む
    表示装置。
  2. 前記第1の配線および前記第2の配線の一方は、各画素に対して制御信号を供給する配線と各画素に電源電圧を供給する配線を含み
    少なくとも、電源電圧を供給する配線と映像信号を供給する配線が同じ導体層で形成されている
    請求項1に記載の表示装置。
  3. 各画素は、前記ドライブトランジスタの閾電圧の影響をキャンセルする閾電圧補正機能を有する
    請求項1に記載の表示装置。
  4. 各画素は、前記ドライブトランジスタの移動度の影響をキャンセルする移動度補正機能を有する
    請求項1に記載の表示装置。
  5. 前記発光素子は有機EL発光素子である
    請求項1乃至のいずれかに記載の表示装置。
  6. 前記同じ導体層は、Al配線層である
    請求項1乃至のいずれかに記載の表示装置。
  7. 前記異なる層は、Mo配線層である
    請求項1乃至のいずれかに記載の表示装置。
  8. 前記第1の配線は、各画素に対して映像信号を供給する配線を含み、
    前記第2の配線は、各画素に対して制御信号を供給する配線と各画素に電源電圧を供給する配線とを含む
    請求項1に記載の表示装置。
  9. 前記別の配線は、前記第2の配線に含まれる、前記各画素に対して制御信号を供給する配線と、前記各画素に電源電圧を供給する配線との両方を横切る
    請求項8に記載の表示装置。
  10. 少なくともサンプリングトランジスタと、ドライブトランジスタと、保持容量と、発光素子と含む画素を複数備え、
    前記各画素内には、第1の方向に延在する第1の配線と、第2の方向に延在する第2の配線とが同じ導体層で形成され、
    前記第1の配線は、第1配線部と第2配線部とに間隔を空けて分割されるように形成され、
    前記第1配線部と前記第2配線部とは、前記導体層と異なる層に設けられた別の配線を介して相互に接続されており、
    前記第2の配線は、前記間隔を通って、前記第1の配線を横切るように形成されており、
    前記別の配線は、前記第2の配線を横切り、かつ前記間隔を避けるように配され
    前記第1の配線および前記第2の配線の一方は、各画素に対して電源電圧を供給する配線を含み、
    前記第1の配線および前記第2の配線の他方は、各画素に対して映像信号を供給する配線を含む画素アレイ部を製造するアレイ部製造工程と、
    前記各画素内のいずれかの画素の前記間隔において、前記第1の配線と前記第2の配線との間に短絡部が生じている場合に、前記短絡部を切断する修復工程と
    を含む表示装置の製造方法。
  11. 前記修復工程においては、前記短絡部にレーザを照射することで前記短絡部を切断する
    請求項10に記載の表示装置の製造方法。
  12. 前記修復工程においては、前記別の配線を切断しないように前記短絡部を切断する
    請求項10または11に記載の表示装置の製造方法。
  13. 前記修復工程においては、前記別の配線を切断しないように前記別の配線を避けて前記レーザを照射する
    請求項11に記載の表示装置の製造方法。
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