JP5643423B2 - スペックル低減装置およびスペックル低減装置を含む投影ユニット - Google Patents
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Description
処理されるべきコヒーレント光ビームが通過するように構成されている光学素子と、
前記光学素子を加熱することができる手段と、
前記光学素子を冷却することができるように、この光学素子に結合された冷却素子と、
加熱手段および冷却素子を制御して、光学素子に熱的摂動をもたらし、この光学素子の対応する屈折率の変動をもたらすように構成された制御モジュールと、
を備えるスペックル低減装置によって達成される。
制御の改善のために、本装置は、有利には、光学素子の温度を確定する手段を含む。1つの可能性は、熱電対または他の適当な装置で温度を測定することからなる。しかしながら、透過性素子が圧電結晶である場合、結晶の温度を、水晶の熱弾性的結合により、したがって結晶の実際の発振周波数を測定することによって確定することができる。
冷却素子は、好ましくは放熱体に関連付けられたペルチェ素子を含むことができる。ペルチェ素子は、その制御および小型化装置における組込機能のために有利である。
代替的実施形態によれば、光学素子は圧電結晶であって、その加熱、好ましくは厚みすべり振動モードをもたらす振動モードに付勢された圧電結晶である。
本発明の他の特徴および特性は、添付の図面を参照して、例として、以下に提示するいくつかの有利な実施形態の詳細な説明から明らかとなろう。
v=c/n
cは、真空における光の速度である。したがって、波の位相速度は、この波が伝播する媒体の屈折率によって決まる。
したがって、本装置は、屈折率と温度との間のこの関係を利用して、装置を通過する放射光に制御された位相変動をもたらし、この変動は、使用者の眼に位相の平均化をもたらすように生成され、スペックル効果が減衰される。
図2に、スペックル低減装置18の実施形態を詳細に示す。スペックル低減装置18は、処理されるべきレーザビームが通過するように構成されている光学素子20を備えている。本代替的実施形態では、この光学素子20は水晶である。本発明によれば、スペックルを低減するために利用されるのは、温度の関数としての水晶20の屈折率の変動である。この変動を、図3のグラフによって示す。図示するように、水晶を25℃から125℃まで加熱することにより、水晶の屈折率が30%低減する。
冷却素子26が、選択的に水晶20から熱を抽出しその温度を変更することができるように水晶20に関連付けられている。好ましくは、冷却素子26は、放熱体30に接して配置されているペルチェ素子28を備えている。ペルチェ素子自体の動作原理は既知であり、それについては本明細書では説明しない。冷却素子26と水晶20との間の熱的結合は、水晶の金属固定支持体32によってなされる。水晶20の基部は、ペルチェ素子28と直接接触していてもよい。
励起電極123は、好ましくは、金または銀からなる全体的に環状形態の電極が用いられ、これらの電極は、制御モジュール134に組み込まれた発振回路によって制御される。温度を測定するために、同じ中心電極136が保持される。
水晶20、120は、好ましくは、厚さの小さい板の形態、好ましくは無限板に向かう傾向があり、「厚みすべり振動」として知られる変動/変形モードで機能するように切り出される板の形態を有している。無限板とは、厚さが、板の平面においてその広がりに対して小さく、その結果、厚さに対する直径(または長さ)の比が好ましくは10を超える板を意味する。たとえば、水晶20、120は、厚さに対する直径(または長さ)の比が10または15を超える板形態を有することができる。上記の2つの代替的実施形態で、したがって温度測定だけでなく装置118用の水晶の加熱を得るためにも用いられるのは、この振動(または無限小変形)「厚さすべり」モードである。
水晶のこのカットにより、共振周波数が数MHzから数100MHz、典型的には1MHzから500MHzの間となる。
電極を製造するために、従来水晶振動子の製造に使用されるプロセスを適用することができる。変更実施形態によれば、各面にかつ真空下で、連続的にクロムの層、次いで金の層を堆積させる。抵抗電極の場合、プラチナを用いることができる。
次いで、フォトリソグラフィによって電極の形態が生成される。2つの面に、感光性樹脂の層が付与される。電極の形態に対応する開口部を有する2つのフォトマスクが、水晶の両側に配置される。次いで、水晶の2つの面がフォトマスクを通してUVに同時に露光され、樹脂の露光部分を重合化し、これにより、電極の相対的な位置決めにおいて高い精度を得ることができる。
Claims (16)
- コヒーレント光ビームに対するスペックル低減装置であって、処理されるべき前記コヒーレント光ビームが通過するように構成されている光学素子(20、120)を備えるスペックル低減装置において、
前記光学素子(20、120)を加熱することができる加熱手段(22、123)と、
前記光学素子(20、120)を冷却することができるように前記光学素子(20、120)に結合された冷却素子(26)と、
前記加熱手段および前記冷却素子を制御して、前記光学素子(20、120)にランダムなまたは擬似ランダムな熱的摂動を生じさせ、前記光学素子の屈折率に、対応する変動を生じさせるように構成された制御モジュール(34、134)と、
を備えており、
前記光学素子が圧電結晶であり、前記加熱手段が、前記結晶(120)の振動モードを励起して前記結晶を加熱するように、前記結晶(120)に取り付けられかつ前記制御手段(134)に接続された電極(123)を備えている、
スペックル低減装置。 - 前記熱的摂動は、前記屈折率が、50Hzより高い周波数で変化するように行われる、請求項1に記載のスペックル低減装置。
- 前記熱的摂動は、前記屈折率が、100Hzより高い周波数で変化するように行われる、請求項2に記載のスペックル低減装置。
- 前記光学素子(20、120)が、処理されるべき前記ビームの波長に対して本質的に透過性である材料からなり、前記材料の屈折率が温度により変化する、請求項1から3のいずれか一項に記載のスペックル低減装置。
- 前記圧電結晶が水晶またはベルリナイトからなる、請求項1から4のいずれか一項に記載のスペックル低減装置。
- 前記制御モジュール(134)が、前記圧電結晶の厚みすべりモードを励起するように構成されている、請求項1から5のいずれか一項に記載のスペックル低減装置。
- 前記加熱手段が、前記光学素子(20)に取り付けられる1つまたは複数の抵抗加熱素子(22)を含む、請求項1から6のいずれか一項に記載のスペックル低減装置。
- 前記結晶(20、120)の発振周波数を測定し、前記発振周波数に基づいて前記結晶の温度を決定する手段(36)を含んでいる、請求項1から7のいずれか一項に記載のスペックル低減装置。
- 前記冷却素子(26)が、ペルチェ素子(28)を含む、請求項1から8のいずれか一項に記載のスペックル低減装置。
- 前記冷却素子(26)が、放熱体(30)に関連付けられたペルチェ素子(28)を含む、請求項9に記載のスペックル低減装置。
- 前記結晶(20、120)が、厚さに対する直径、長さそれぞれの比が10を超える無限板の形態を有している、請求項1から10のいずれか一項に記載のスペックル低減装置。
- 請求項1から11のいずれか一項に記載のスペックル低減装置を含む投影ユニット。
- 請求項1から11のいずれか一項に記載のスペックル低減装置が設けられた投影ユニットを含むヘッドアップディスプレイ装置。
- 請求項1から11のいずれか一項に記載のスペックル低減装置を含むコヒーレント光源。
- 処理されるべきコヒーレント光ビームが光学素子(20、120)を通過する、スペックル低減方法において、前記光学素子が、加熱手段(22、123)および冷却素子(26)に関連付けられ、前記光学素子の屈折率が人間の眼の感度より高い周波数で変化するように、ランダムなまたは擬似ランダムに前記光学素子に熱的摂動がもたらされ、前記加熱手段が、前記結晶の振動モードを励起して前記結晶を加熱するように、前記結晶(120)に取り付けられる電極(123)を備えることを特徴とする方法。
- 前記結晶(20、120)が無限板の形態を有し、厚みすべりモードが励起される、請求項15に記載の方法。
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