JP5642485B2 - 着色組成物、着色硬化性組成物、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、固体撮像素子、及び液晶表示装置 - Google Patents
着色組成物、着色硬化性組成物、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、固体撮像素子、及び液晶表示装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5642485B2 JP5642485B2 JP2010221908A JP2010221908A JP5642485B2 JP 5642485 B2 JP5642485 B2 JP 5642485B2 JP 2010221908 A JP2010221908 A JP 2010221908A JP 2010221908 A JP2010221908 A JP 2010221908A JP 5642485 B2 JP5642485 B2 JP 5642485B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- group
- carbon atoms
- substituted
- unsubstituted
- color filter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/0045—Photosensitive materials with organic non-macromolecular light-sensitive compounds not otherwise provided for, e.g. dissolution inhibitors
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/201—Filters in the form of arrays
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/0042—Photosensitive materials with inorganic or organometallic light-sensitive compounds not otherwise provided for, e.g. inorganic resists
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/027—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/027—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
- G03F7/028—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with photosensitivity-increasing substances, e.g. photoinitiators
- G03F7/029—Inorganic compounds; Onium compounds; Organic compounds having hetero atoms other than oxygen, nitrogen or sulfur
Description
顔料分散法では、顔料を硬化性組成物に分散して得た着色硬化性組成物を用い、フォトリソ法を適用してカラーフィルタを作製する。具体的には、ガラス基板上に着色硬化性組成物をスピンコーターやロールコーター等により塗布して塗膜を形成し、該塗膜をパターン露光し、次いで現像することによって着色画素を形成し、この操作を色ごとに繰り返し行なうことでカラーフィルタを作製する。顔料分散法は、フォトリソ法を適用してパターニングするため、位置精度が高く、大画面や高精細のカラーフィルタを作製するのに好適な方法とされている。
顔料を含む着色硬化性組成物としては、フタロシアニン系顔料を含有するカラーフィルタ用青色着色組成物が知られている(例えば、特許文献1参照)。
また、本発明は、パターン露光に対する硬化感度が高く、耐熱性及び耐光性の高い着色硬化膜を形成し得る着色硬化性組成物を提供することを目的とし、この目的を達成することを第2の課題とする。
また、本発明は、透過率が高く、耐熱性及び耐光性に優れたカラーフィルタと該カラーフィルタの製造方法、並びに該カラーフィルタを備えた固体撮像素子及び液晶表示装置を提供することを目的とし、この目的を達成することを第3の課題とする。
<5> 前記(E)重合性化合物が(メタ)アクリレート系多官能モノマーである<4>に記載の着色硬化性組成物。
<6> 前記(F)重合開始剤がオキシム系化合物である<4>又は<5>に記載の着色硬化性組成物。
<7> <1>〜<3>のいずれか1つに記載の着色組成物、又は<4>〜<6>のいずれか1つに記載の着色硬化性組成物を含む着色層を有するカラーフィルタ。
<8> <4>〜<6>のいずれか1つに記載の着色硬化性組成物を基板上に塗布して着色層を形成する着色層形成工程と、前記着色層に対してパターン様の露光をし潜像を形成する露光工程と、前記潜像が形成された着色層を現像してパターンを形成する現像工程と、を含むカラーフィルタの製造方法。
<9> <8>に記載のカラーフィルタの製造方法により製造されたカラーフィルタ。
<10> <7>又は<9>に記載のカラーフィルタを備えた固体撮像素子。
<11> <7>又は<9>に記載のカラーフィルタを備えた画像表示装置。
また、本発明によれば、パターン露光に対する硬化感度が高く、耐熱性及び耐光性の高い着色硬化膜を形成し得る着色硬化性組成物を提供することができる。
また、本発明によれば、透過率が高く、耐熱性及び耐光性に優れたカラーフィルタと該カラーフィルタの製造方法、並びに該カラーフィルタを備えた固体撮像素子及び液晶表示装置を提供することができる。
本発明の着色組成物は、(A−1)前記一般式(1)で表される化合物と金属原子又は金属化合物とを含むジピロメテン金属錯体化合物、(B)フタロシアニン系顔料、(C)分散剤、及び(D)有機溶剤を含有する着色組成物である。
(A−1)前記一般式(1)で表される化合物と金属原子又は金属化合物とを含むジピロメテン金属錯体化合物は、(A−2)前記一般式(2)で表されるジピロメテン金属錯体化合物が好ましく、(A−3)前記一般式(3)で表されるジピロメテン金属錯体化合物がより好ましく、(A−4)前記一般式(4)で表されるジピロメテン金属錯体化合物が更に好ましい。
以下、前記一般式(1)で表される化合物と金属原子又は金属化合物とを含むジピロメテン金属錯体化合物を「特定ジピロメテン金属錯体化合物」ということがある。特定ジピロメテン金属錯体化合物には、(A−2)前記一般式(2)で表されるジピロメテン金属錯体化合物、(A−3)前記一般式(3)で表されるジピロメテン金属錯体化合物、(A−4)前記一般式(4)で表されるジピロメテン金属錯体化合物も含まれる。また、(A−1)、(A−2)、(A−3)及び(A−4)を総称して、(A)ということがある。
本発明の着色組成物は、特定ジピロメテン金属錯体化合物とフタロシアニン系顔料とを併用することで、以下の(i)〜(iii)の顕著な効果を奏する。
(ii)本発明の着色組成物は、ジピロメテン金属錯体化合物とフタロシアニン系染料とを併用した着色組成物と同程度に、耐熱性及び耐光性が高い。
(iii)本発明の着色組成物を用いて作製した着色硬化性組成物は、ジピロメテン金属錯体化合物とフタロシアニン系染料とを併用した着色組成物を用いて作製した着色硬化性組成物に比して、露光による硬化感度が高い。特に、前記一般式(2)(より好ましくは前記一般式(3)、特に好ましくは前記一般式(4))で表されるジピロメテン金属錯体化合物を用いると、より硬化感度が高い。
以下に、下記一般式(1)で表される化合物と金属原子又は金属化合物とを含むジピロメテン金属錯体化合物について詳細に説明する。
なお、形成される5員、6員及び7員の環が、更に置換可能な基である場合には、前記R1〜R6について述べた1価の置換基のいずれかで置換されていてもよく、2個以上の置換基で置換されている場合には、それらの置換基は同一であっても異なっていてもよい。
前記R7のアルキル基、アリール基、及びヘテロ環基は、例えば、前記R1〜R6について前述した置換基で置換されていてもよく、2個以上の置換基で置換されている場合には、それらの置換基は同一であっても異なっていてもよい。
前記金属又は金属化合物としては、錯体を形成可能な金属原子又は金属化合物であればいずれであってもよく、2価の金属原子、2価の金属酸化物、2価の金属水酸化物、又は2価の金属塩化物が含まれる。例えば、Zn、Mg、Si、Sn、Rh、Pt、Pd、Mo、Mn、Pb、Cu、Ni、Co、Fe、B等の他に、AlCl3、InCl3、FeCl2、TiCl2、SnCl2、SiCl2、GeCl2などの金属塩化物、TiO、VO等の金属酸化物、Si(OH)2等の金属水酸化物も含まれる。これらの中でも、錯体の安定性、分光特性、耐熱性、耐光性、及び製造適性等の観点から、Fe、Zn、Mg、Si、Pt、Pd、Mo、Mn、Cu、Ni、Co、TiO、B、又はVOが好ましく、Fe、Zn、Mg、Si、Pt、Pd、Cu、Ni、Co、B、又はVOが更に好ましく、Fe、Zn、Cu、Co、B、又はVO(V=O)が最も好ましい。これらの中でも、特にZnが好ましい。
即ち、前記一般式(1)において、R1及びR6が、各々独立に、水素原子、アルキルアミノ基、アリールアミノ基、アニリノ基、ヘテロ環アミノ基、カルボンアミド基、ウレイド基、イミド基、アルコキシカルボニルアミノ基、アリールオキシカルボニルアミノ基、スルホンアミド基であり、
R2及びR5が、各々独立に、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロ環基、ヒドロキシ基、シアノ基、ニトロ基、アルコキシ基、アリールオキシ基、ヘテロ環オキシ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、アルキルカルバモイル基、アリールカルバモイル基、アルコキシカルボニルアミノ基、スルホンアミド基、アゾ基、アルキルチオ基、アリールチオ基、ヘテロ環チオ基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、スルファモイル基、ニトリル基、イミド基、カルバモイルスルホニル基、又はシアノ基であり、
R3及びR4が、各々独立に、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロ環基、シリル基、ヒドロキシ基、シアノ基、アルコキシ基、アリールオキシ基、ヘテロ環オキシ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、カルバモイル基、アニリノ基、カルボンアミド基、ウレイド基、イミド基、アルコキシカルボニルアミノ基、スルホンアミド基、アゾ基、アルキルチオ基、アリールチオ基、ヘテロ環チオ基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、スルファモイル基、又はホスフィノイルアミノ基であり、
R7が、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アリール基、又はヘテロ環基であり、
金属原子又は金属化合物が、Zn、Mg、Si、Pt、Pd、Mo、Mn、Cu、Ni、Co、TiO、B、又はVOである態様が挙げられる。
即ち、前記一般式(1)中、R1及びR6が、各々独立に、水素原子、アルキルアミノ基、アリールアミノ基、アニリノ基、ヘテロ環アミノ基、カルボンアミド基、ウレイド基、イミド基、アルコキシカルボニルアミノ基、アリールオキシカルボニルアミノ基、スルホンアミド基であり、
R2及びR5が、各々独立に、アルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロ環基、シアノ基、ニトロ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、アルキルカルバモイル基、アリールカルバモイル基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、スルファモイル基、ニトリル基、イミド基、カルバモイルスルホニル基、シアノ基であり、
R3及びR4が、各々独立に、水素原子、アルキル基、アルケニル基、アリール基、ヘテロ環基、シアノ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、カルバモイル基、カルボンアミド基、ウレイド基、イミド基、アルコキシカルボニルアミノ基、スルホンアミド基、アルキルチオ基、アリールチオ基、ヘテロ環チオ基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、又はスルファモイル基であり、
R7が、水素原子、アルキル基、アリール基、又はヘテロ環基であり、
金属原子又は金属化合物が、Zn、Mg、Si、Pt、Pd、Cu、Ni、Co、B又はVOである態様が挙げられる。
以下に、下記一般式(2)で表されるジピロメテン金属錯体化合物について詳細に説明する。
前記一般式(2)中のMaは、金属又は金属化合物を表し、前記一般式(1)のジピロメテン金属錯体化合物における金属原子又は金属化合物と同義であり、その好ましい例も同様である。
X3及びX4として好ましくは、各々独立に、NRa(Raは水素原子、アルキル基、又はヘテロ環基)、酸素原子又は硫黄原子であり、X3及びX4として特に好ましくは、共に酸素原子である。
Y1及びY2として好ましくは、各々独立に、NRb(Rbは水素原子又はアルキル基)又は炭素原子であり、Y1及びY2として特に好ましくは、共にNHである。
R2〜R5、R7、及びMaが、それぞれ、前記一般式(1)で表される化合物と金属原子又は金属化合物とを含むジピロメテン金属錯体化合物の好ましい態様であり、
X3及びX4が、各々独立にNRa(Raは水素原子、アルキル基又はヘテロ環基)、酸素原子又は硫黄原子であり、
Y1及びY2が、各々独立にNRb(Rbは水素原子又はアルキル基)、窒素原子又は炭素原子であり、
X5が酸素原子又は窒素原子を介して結合する基であり、aが0又は1であり、
R8及びR9が、各々独立にアルキル基、アリール基、ヘテロ環基、アルコキシ基又はアルキルアミノ基であるか、R8とY1及びR9とY2とが互いに結合して5員又は6員環を形成する態様である。
R2〜R5、R7、Maが、それぞれ、一般式(1)で表される化合物と金属原子又は金属化合物とを含む錯体の好ましい態様であり、
X3及びX4が共に酸素原子であり、
Y1及びY2が共にNHであり、
X5が酸素原子又は窒素原子を介して結合する基であり、aが0又は1であり、
R8及びR9が、各々独立にアルキル基、アリール基、ヘテロ環基、アルコキシ基又はアルキルアミノ基であるか、R8とY1及びR9とY2とが互いに結合して5員又は6員環を形成する態様である。
以下に、下記一般式(3)で表されるジピロメテン金属錯体化合物について詳細に説明する。
前記一般式(3)中、R11及びR12は、各々独立に、好ましくは、置換若しくは無置換の炭素数1〜30のアルコキシカルボニル基、置換若しくは無置換の炭素数1〜30のアルキルスルホニル基、置換若しくは無置換の炭素数6〜10のアリールスルホニル基、置換若しくは無置換の炭素数1〜30のアルキルカルバモイル基、置換若しくは無置換の炭素数7〜11のアリールカルバモイル基、又はシアノ基であり、より好ましくは、置換若しくは無置換の炭素数6〜30のアルコキシカルボニル基、置換若しくは無置換の炭素数1〜12のアルキルスルホニル基、置換若しくは無置換のフェニルスルホニル基、又はシアノ基であり、特に好ましくは、無置換の炭素数6〜30のアルコキシカルボニル基、又はシアノ基である。
前記一般式(3)中、R13及びR14は、各々独立に、好ましくは、置換若しくは無置換の炭素数1〜30のアルキル基、置換若しくは無置換の炭素数6〜10のアリール基、置換若しくは無置換の炭素数1〜30のアルコキシ基、置換若しくは無置換の炭素数6〜10のアリールオキシ基、置換若しくは無置換のアミノ基、又はハロゲン原子であり、より好ましくは、置換若しくは無置換の炭素数1〜12のアルキル基、置換若しくは無置換のフェニル基、置換若しくは無置換の炭素数1〜12のアルコキシ基、置換若しくは無置換のフェノキシ基、塩素原子、又は臭素原子であり、特に好ましくは、無置換の炭素数1〜12のアルキル基、無置換の炭素数1〜12のアルコキシ基、又は塩素原子である。
前記一般式(3)中、R15、R16、R17及びR18は、各々独立に、好ましくは、置換若しくは無置換の炭素数1〜30のアルキル基、置換若しくは無置換の炭素数6〜10のアリール基、置換若しくは無置換のヘテロ環基、置換若しくは無置換の炭素数1〜30のアルコキシ基、置換若しくは無置換の炭素数6〜10のアリールオキシ基、置換若しくは無置換の炭素数1〜30のアルキルチオ基、置換若しくは無置換の炭素数6〜10のアリールチオ基、置換若しくは無置換の炭素数2〜30のアシル基、置換若しくは無置換の炭素数2〜30のアルコキシカルボニル基、置換若しくは無置換の炭素数1〜30のアルキルスルホニル基、置換若しくは無置換の炭素数1〜30のカルバモイル基、置換若しくは無置換の炭素数0〜30のアミノ基、シアノ基、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、カルボキシ基、スルホ基、又はホスホノ基であり、より好ましくは、置換若しくは無置換の炭素数1〜18のアルキル基、置換若しくは無置換のフェニル基、置換若しくは無置換の炭素数1〜18のアルコキシ基、置換若しくは無置換のフェノキシ基、置換若しくは無置換の炭素数1〜18のアルキルチオ基、置換若しくは無置換のフェニルチオ基、置換若しくは無置換の炭素数2〜18のアシル基、置換若しくは無置換の炭素数2〜18のアルコキシカルボニル基、置換若しくは無置換の炭素数1〜18のアルキルスルホニル基、置換若しくは無置換の炭素数1〜18のカルバモイル基、置換若しくは無置換の炭素数0〜18のアミノ基、シアノ基、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヒドロキシ基、カルボキシ基、スルホ基、又はホスホノ基であり、特に好ましくは、無置換の炭素数1〜12のアルキル基、無置換のフェニル基、無置換の炭素数1〜12のアルコキシ基、無置換の炭素数2〜12のアシル基、無置換の炭素数2〜18のアルコキシカルボニル基、無置換の炭素数1〜12のアルキルスルホニル基、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヒドロキシ基、又はカルボキシ基である。
また、R13とR17とが隣り合う場合、R13とR17とは、互いに結合して5員、6員又は7員の環を形成していてもよい。形成される環としては、例えば、ベンゼン環、ナフタレン環、ピリジン環、チオフェン環が挙げられ、好ましくはベンゼン環が挙げられる。R14とR18とが隣り合う場合についても上記と同様である。
なお、形成される5員、6員及び7員の環が、更に置換可能な基である場合には、前述の1価の置換基のいずれかで置換されていてもよく、2個以上の置換基で置換されている場合には、それらの置換基は同一であっても異なっていてもよい。
前記一般式(3)中、n3及びn4は、各々独立に、0〜3の整数であり、好ましくは0〜2であり、特に好ましくは0又は1である。
特に好ましくは、置換若しくは無置換の炭素数2〜3のアシルオキシ基である。
R11及びR12が、各々独立に、置換若しくは無置換の炭素数1〜30のアルコキシカルボニル基、置換若しくは無置換の炭素数1〜30のアルキルスルホニル基、置換若しくは無置換の炭素数6〜10のアリールスルホニル基、置換若しくは無置換の炭素数1〜30のアルキルカルバモイル基、置換若しくは無置換の炭素数7〜11のアリールカルバモイル基、又はシアノ基であり、
R13及びR14が、各々独立に、置換若しくは無置換の炭素数1〜30のアルキル基、置換若しくは無置換の6〜10のアリール基、置換若しくは無置換の炭素数1〜30のアルコキシ基、置換若しくは無置換の炭素数6〜10のアリールオキシ基、置換若しくは無置換のアミノ基、又はハロゲン原子であり、
R15、R16、R17及びR18が、各々独立に、置換若しくは無置換の炭素数1〜30のアルキル基、置換若しくは無置換の炭素数6〜10のアリール基、置換若しくは無置換のヘテロ環基、置換若しくは無置換の炭素数1〜30のアルコキシ基、置換若しくは無置換の炭素数6〜10のアリールオキシ基、置換若しくは無置換の炭素数1〜30のアルキルチオ基、置換若しくは無置換の炭素数6〜10のアリールチオ基、置換若しくは無置換の炭素数2〜30のアシル基、置換若しくは無置換の炭素数2〜30のアルコキシカルボニル基、置換若しくは無置換の炭素数1〜30のアルキルスルホニル基、置換若しくは無置換の炭素数1〜30のカルバモイル基、置換若しくは無置換の炭素数0〜30のアミノ基、シアノ基、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、カルボキシ基、スルホ基、又はホスホノ基であり、
n1、n2、n3及びn4が、各々独立に、0〜3であり、
Mが、Fe、Zn、Mg、Si、Pt、Pd、Mo、Mn、Cu、Ni、Co、TiO、B、又はVOであり、
Xが、置換若しくは無置換の炭素数2〜3のアシルオキシ基、置換若しくは無置換の炭素数1〜30のアルキルスルホニルオキシ基、置換若しくは無置換の炭素数6〜30のアリールスルホニルオキシ基、フッ素原子、塩素原子、又は臭素原子である組み合わせである。
R11及びR12が共に、置換若しくは無置換の炭素数6〜30のアルコキシカルボニル基、置換若しくは無置換の炭素数1〜12のアルキルスルホニル基、置換若しくは無置換のフェニルスルホニル基、又はシアノ基であり、
R13及びR14が共に、置換若しくは無置換の炭素数1〜12のアルキル基、置換若しくは無置換のフェニル基、置換若しくは無置換の炭素数1〜12のアルコキシ基、置換若しくは無置換のフェノキシ基、塩素原子、又は臭素原子であり、
R15及びR16が共に、置換若しくは無置換の炭素数1〜18のアルキル基、置換若しくは無置換のフェニル基、置換若しくは無置換の炭素数1〜18のアルコキシ基、置換若しくは無置換のフェノキシ基、置換若しくは無置換の炭素数1〜18のアルキルチオ基、置換若しくは無置換のフェニルチオ基、置換若しくは無置換の炭素数2〜18のアシル基、置換若しくは無置換の炭素数2〜18のアルコキシカルボニル基、置換若しくは無置換の炭素数1〜18のアルキルスルホニル基、置換若しくは無置換の炭素数1〜18のカルバモイル基、置換若しくは無置換の炭素数0〜18のアミノ基、シアノ基、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヒドロキシ基、カルボキシ基、スルホ基、又はホスホノ基であり、
R17及びR18が共に、置換若しくは無置換の炭素数1〜18のアルキル基、置換若しくは無置換のフェニル基、置換若しくは無置換の炭素数1〜18のアルコキシ基、置換若しくは無置換のフェノキシ基、置換若しくは無置換の炭素数1〜18のアルキルチオ基、置換若しくは無置換のフェニルチオ基、置換若しくは無置換の炭素数2〜18のアシル基、置換若しくは無置換の炭素数2〜18のアルコキシカルボニル基、置換若しくは無置換の炭素数1〜18のアルキルスルホニル基、置換若しくは無置換の炭素数1〜18のカルバモイル基、置換若しくは無置換の炭素数0〜18のアミノ基、シアノ基、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヒドロキシ基、カルボキシ基、スルホ基、又はホスホノ基であり、
n1及びn2が共に0〜2であり、n3及びn4が共に0〜2であり、
Mが、Fe、Zn、Mg、Si、Pt、Pd、Cu、Ni、Co、B、又はVOであり、
Xが、置換若しくは無置換の炭素数2〜3のアシルオキシ基、無置換の炭素数1〜18のアルキルスルホニルオキシ基、無置換の炭素数6〜12のアリールスルホニルオキシ基、フッ素原子、又は塩素原子である組み合わせである。
R11及びR12が共に、無置換の炭素数6〜30のアルコキシカルボニル基、又はシアノ基であり、
R13及びR14が共に、無置換の炭素数1〜12のアルキル基、無置換の炭素数1〜12のアルコキシ基、又は塩素原子であり、
R15及びR16が共に、無置換の炭素数1〜12のアルキル基、無置換のフェニル基、無置換の炭素数1〜12のアルコキシ基、無置換の炭素数2〜12のアシル基、無置換の炭素数2〜18のアルコキシカルボニル基、無置換の炭素数1〜12のアルキルスルホニル基、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヒドロキシ基、又はカルボキシ基であり、
R17及びR18が共に、無置換の炭素数1〜12のアルキル基、無置換のフェニル基、無置換の炭素数1〜12のアルコキシ基、無置換の炭素数2〜12のアシル基、無置換の炭素数2〜18のアルコキシカルボニル基、無置換の炭素数1〜12のアルキルスルホニル基、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヒドロキシ基、又はカルボキシ基であり、
n1及びn2が共に0又は1であり、n3及びn4が共に0又は1であり、
MがZnであり、
Xが、置換若しくは無置換の炭素数2〜3のアシルオキシ基である組み合わせである。
以下に、下記一般式(4)で表されるジピロメテン金属錯体化合物について詳細に説明する。
R13及びR14が、各々独立に、置換若しくは無置換の炭素数1〜30のアルキル基、置換若しくは無置換の6〜10のアリール基、置換若しくは無置換の炭素数1〜30のアルコキシ基、置換若しくは無置換の炭素数6〜10のアリールオキシ基、置換若しくは無置換のアミノ基、又はハロゲン原子であり、
Xが、置換若しくは無置換の炭素数2〜3のアシルオキシ基、置換若しくは無置換の炭素数1〜30のアルキルスルホニルオキシ基、置換若しくは無置換の炭素数6〜30のアリールスルホニルオキシ基、フッ素原子、塩素原子、又は臭素原子である組み合わせである。ここで、R13とR14とは、同じ置換基であることが好ましい。
R13及びR14が、各々独立に、置換若しくは無置換の炭素数1〜12のアルキル基、置換若しくは無置換のフェニル基、置換若しくは無置換の炭素数1〜12のアルコキシ基、置換若しくは無置換のフェノキシ基、塩素原子、又は臭素原子であり、
Xが、置換若しくは無置換の炭素数2〜3のアシルオキシ基、無置換の炭素数1〜18のアルキルスルホニルオキシ基、無置換の炭素数6〜12のアリールスルホニルオキシ基、フッ素原子、又は塩素原子である組み合わせである。ここで、R13とR14とは、同じ置換基であることが好ましい。
R13及びR14が、各々独立に、無置換の炭素数1〜12のアルキル基、無置換の炭素数1〜12のアルコキシ基、又は塩素原子であり、
Xが、置換若しくは無置換の炭素数2〜3のアシルオキシ基である組み合わせである。ここで、R13とR14とは、同じ置換基であることが好ましい。
前記例示化合物のうち、例示化合物(A1)〜(A35)は、前記一般式(3)で表されるジピロメテン金属錯体化合物の具体例でもある。
前記例示化合物のうち、例示化合物(A1)〜(A10)は、前記一般式(4)で表されるジピロメテン金属錯体化合物の具体例でもある。
本発明の着色組成物に用いるフタロシアニン系顔料としては、フタロシアニン骨格を有する顔料であれば特に制限されるものではない。また、フタロシアニン系顔料に含まれる中心金属としては、フタロシアニン骨格を構成できる金属であればよく、特に限定されない。その中でも、中心金属としては、マグネシウム、チタン、鉄、コバルト、ニッケル、銅、亜鉛、アルミニウムが好ましく用いられる。
また、特定ジピロメテン金属錯体化合物とフタロシアニン系顔料との含有比は、フタロシアニン系顔料:特定ジピロメテン金属錯体化合物=100:5〜100:100が好ましく、100:15〜100:75がより好ましく、100:25〜100:50が更に好ましい。
本発明の着色組成物に用いる分散剤としては、公知の顔料分散剤や界面活性剤が用いられる。分散剤としては、多くの種類の化合物が知られているが、例えば、フタロシアニン誘導体(市販品EFKA−745、エフカ社製)、ソルスパース5000(日本ルーブリゾール(株)製);オルガノシロキサンポリマーKP341(信越化学工業(株)製)、(メタ)アクリル酸系(共)重合体ポリフローNo.75、No.90、No.95(以上、共栄社油脂化学工業(株)製)、W001(裕商(株)製)等のカチオン系界面活性剤;ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステル等のノニオン系界面活性剤;W004、W005、W017(以上、裕商(株)製)等のアニオン系界面活性剤;EFKA−46、EFKA−47、EFKA−47EA、EFKAポリマー100、EFKAポリマー400、EFKAポリマー401、EFKAポリマー450(以上、森下産業(株)製)、ディスパースエイド6、ディスパースエイド8、ディスパースエイド15、ディスパースエイド9100(以上、サンノプコ(株)製)等の高分子分散剤;ソルスパース3000、5000、9000、12000、13240、13940、17000、24000、26000、28000などの各種ソルスパース分散剤(日本ルーブリゾール(株)製);アデカプルロニックL31、F38、L42、L44、L61、L64、F68、L72、P95、F77、P84、F87、P94、L101、P103、F108、L121、P−123(以上、ADEKA(株)製)、及びイソネットS−20(三洋化成(株)製)が挙げられる。
本発明の着色組成物に用いる有機溶剤は、並存する各成分の溶解性や、着色組成物の塗布性及び着色硬化性組成物としたときの塗布性を満足できるものであれば、特に制限はない。特に、着色硬化性組成物としたときのバインダーの溶解性、塗布性、安全性を考慮して選ばれることが好ましい。
ケトン類としては、例えば、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン等が挙げられる。
芳香族炭化水素類としては、例えば、トルエン、キシレン等が好適に挙げられる。
本発明の着色組成物は、上述の各成分に加えて、本発明の効果を損なわない範囲で、界面活性剤、酸化防止剤、凝集防止剤などの他の成分を含んでいてもよい。本発明の着色組成物に添加し得る界面活性剤は、後述する着色硬化性組成物に添加し得る界面活性剤と同様である。
本発明の着色組成物は、前述の必須成分と、必要に応じた任意成分とを混合することで調製される。なお、着色組成物の調製に際しては、着色組成物を構成する各成分を一括配合してもよいし、各成分を溶剤に溶解及び/又は分散した後に逐次配合してもよい。また、配合する際の投入順序や作業条件は特に制約を受けない。例えば、全成分を同時に溶剤に溶解及び/又は分散して組成物を調製してもよいし、必要に応じては、各成分を適宜2つ以上の溶液又は分散液としておいて、使用時(塗布時)にこれらを混合して組成物として調製してもよい。
着色組成物中の分散状態の顔料の体積平均粒子径としては、10〜200nmが好ましく、10〜150nmがより好ましく、10〜100nmがさらに好ましい。
分散状態での顔料の平均粒子径は、ナノトラック粒度分布測定装置UPA−EX150(日機装(株)製)を用いて、動的光散乱法により求められるものである。
本発明の着色硬化性組成物は、既述の着色組成物、(E)重合性化合物、及び(F)重合開始剤を含有する。本発明の着色硬化性組成物に含まれる着色組成物については、既述のとおりである。本発明の着色硬化性組成物は、既述の着色組成物を含むことにより、パターン露光に対する硬化感度が高く、耐熱性及び耐光性の高い着色硬化膜を形成し得る。本発明の着色硬化性組成物に含まれる特定ジピロメテン金属錯体化合物としては、硬化感度、耐熱性及び耐光性の観点から、前記一般式(2)で表されるジピロメテン金属錯体化合物が好ましく、前記一般式(3)で表されるジピロメテン金属錯体化合物がより好ましく、前記一般式(4)で表されるジピロメテン金属錯体化合物が特に好ましい。
本発明の着色硬化性組成物に用いる重合性化合物としては、例えば、少なくとも1個のエチレン性不飽和二重結合を有する付加重合性化合物を挙げることができる。具体的には、末端エチレン性不飽和結合を少なくとも1個、好ましくは2個以上有する化合物から選ばれる。このような化合物群は当該産業分野において広く知られているものであり、本発明においてはこれらを特に限定なく用いることができる。これらは、例えば、モノマー、プレポリマー、すなわち2量体、3量体及びオリゴマー、又はそれらの混合物並びにそれらの(共)重合体などの化学的形態のいずれであってもよい。なお、本明細書では、アクリロイル基とメタクリロイル基とを総称して、(メタ)アクリロイル基と記載し、またアクリレートとメタクリレートとを総称して、(メタ)アクリレートと記載することがある。
感度の点では1分子あたりの不飽和基含量が多い構造が好ましく、多くの場合、2官能以上が好ましい。また、着色画像部すなわち、着色硬化性組成物層の強度を高くするためには、3官能以上のものがよく、更に、異なる官能数・異なる重合性基(例えばアクリル酸エステル、メタクリル酸エステル、スチレン系化合物、ビニルエーテル系化合物)のものを併用することで、感度と強度の両方を調節する方法も有効である。硬化感度の観点から、(メタ)アクリル酸エステル構造を2個以上含有する化合物((メタ)アクリレート系多官能モノマー)を用いることが好ましく、3個以上含有する化合物を用いることがより好ましく、4個以上含有する化合物を用いることが最も好ましい。また、硬化感度、および、未露光部の現像性の観点では、EO変性体を含有することが好ましい。また、硬化感度、および、露光部強度の観点ではウレタン結合を含有することが好ましい。
また、着色硬化性組成物層中の他の成分(例えばアルカリ可溶性樹脂、開始剤との相溶性に対しても、付加重合化合物の選択・使用法は重要な要因であり、例えば、低純度化合物の使用や、2種以上の併用により相溶性を向上させうることがある。また、基板との密着性を向上せしめる目的で特定の構造を選択することもあり得る。
本発明の着色硬化性組成物に用いる重合開始剤は、前記(E)重合性化合物の重合を開始させ得るものであれば、特に制限はなく、特性、開始効率、吸収波長、入手性、コスト等の観点で選ばれるのが好ましい。
具体的な例としては、2−(O−ベンゾイルオキシム)−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−1,2−ブタンジオン、2−(O−ベンゾイルオキシム)−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−1,2−ペンタンジオン、2−(O−ベンゾイルオキシム)−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−1,2−ヘキサンジオン、2−(O−ベンゾイルオキシム)−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−1,2−ヘプタンジオン、2−(O−ベンゾイルオキシム)−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−1,2−オクタンジオン、2−(O−ベンゾイルオキシム)−1−[4−(メチルフェニルチオ)フェニル]−1,2−ブタンジオン、2−(O−ベンゾイルオキシム)−1−[4−(エチルフェニルチオ)フェニル]−1,2−ブタンジオン、2−(O−ベンゾイルオキシム)−1−[4−(ブチルフェニルチオ)フェニル]−1,2−ブタンジオン、1−(O−アセチルオキシム)−1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]エタノン、1−(O−アセチルオキシム)−1−[9−メチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]エタノン、1−(O−アセチルオキシム)−1−[9−プロプル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]エタノン、1−(O−アセチルオキシム)−1−[9−エチル−6−(2−エチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]エタノン、1−(O−アセチルオキシム)−1−[9−エチル−6−(2−ブチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]エタノンなどが挙げられる。但し、これらに限定されるものではない。
また、式(2)及び式(3)におけるnは1〜2の整数が好ましい。
本発明の着色硬化性組成物は、上述の各成分に加えて、本発明の効果を損なわない範囲で、更に、アルカリ可溶性バインダー、光増感剤、連鎖移動剤、重合禁止剤、界面活性剤、密着改良剤、架橋剤、現像促進剤、などの他の成分を含んでいてもよい。
アルカリ可溶性バインダーは、アルカリ可溶性を有すること以外は特に限定はなく、好ましくは、耐熱性、現像性、入手性等の観点から選択することができる。
アルカリ可溶性バインダーとしては、線状有機高分子重合体であり、且つ、有機溶剤に可溶で、弱アルカリ水溶液で現像できるものが好ましい。このような線状有機高分子重合体としては、側鎖にカルボン酸を有するポリマー、例えば、特開昭59−44615号、特公昭54−34327号、特公昭58−12577号、特公昭54−25957号、特開昭59−53836号、特開昭59−71048号の各公報に記載されているような、メタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等が挙げられ、同様に側鎖にカルボン酸を有する酸性セルロース誘導体が有用である。
本発明の着色硬化性組成物に用い得る典型的な光増感剤としては、クリベロ〔J. V. Crivello, Adv. in Polymer Sci, 62,1(1984)〕に開示しているものが挙げられ、具体的には、ピレン、ペリレン、アクリジン、チオキサントン、2−クロロチオキサントン、ベンゾフラビン、N−ビニルカルバゾール、9,10−ジブトキシアントラセン、アントラキノン、ベンゾフェノン、クマリン、ケトクマリン、フェナントレン、カンファキノン、フェノチアジン、及びそれらの誘導体などを挙げることができる。光増感剤は、重合開始剤に対し、50〜200重量%の割合で添加することが好ましい。
本発明の着色硬化性組成物に用い得る連鎖移動剤としては、例えば、N,N−ジメチルアミノ安息香酸エチルエステルなどのN,N−ジアルキルアミノ安息香酸アルキルエステル、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾール、2−メルカプトベンゾイミダゾール、N−フェニルメルカプトベンゾイミダゾール、1,3,5−トリス(3−メルカブトブチルオキシエチル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオンなどの複素環を有するメルカプト化合物、及び、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトブチレート)、1,4−ビス(3−メルカプトブチリルオキシ)ブタンなどの脂肪族多官能メルカプト化合物などが挙げられる。連鎖移動剤は、1種単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。連鎖移動剤の添加量は、本発明の着色硬化性組成物の全固形分に対して、0.01〜15重量%の範囲であることが、感度ばらつきを低減するという観点から好ましく、0.1〜10重量%がより好ましく、0.5〜5重量%が特に好ましい。
本発明の着色硬化性組成物に用いる重合禁止剤とは、光や熱により着色硬化性組成物中に発生したラジカル等の重合開始種に対して水素供与(又は、水素授与)、エネルギー供与(又は、エネルギー授与)、電子供与(又は、電子授与)などを実施し、重合開始種を失活させ、重合が意図せず開始されることを抑制する役割をはたす物質である。特開2007−334322号公報の段落0154〜0173に記載された重合禁止剤などを用いることができる。これらの中でも、重合禁止剤としてはp−メトキシフェノールが好ましく挙げられる。
本発明の着色硬化性組成物における重合禁止剤の含有量は、重合性化合物の全重量に対して、0.0001〜5重量%が好ましく、0.001〜5重量%がより好ましく、0.001〜1重量%が特に好ましい。
本発明の着色硬化性組成物に用い得る界面活性剤としては、アニオン系、カチオン系、ノニオン系、又は両性のいずれでもよいが、ノニオン系界面活性剤が好ましい。具体的には、特開2009−098616号公報の段落0058に記載のノニオン系界面活性剤が挙げられ、中でもフッ素系界面活性剤が好ましい。
本発明に用いることができるこの他の界面活性剤としては、例えば、市販品である、メガファックF142D、同F172、同F173、同F176、同F177、同F183、同F479、同F482、同F554、同F780、同F781、同F781−F、同R30、同R08、同F−472SF、同BL20、同R−61、同R−90(DIC(株)製)、フロラードFC−135、同FC−170C、同FC−430、同FC−431、Novec FC−4430(住友スリーエム(株)製)、アサヒガードAG7105,7000,950,7600、サーフロンS−112、同S−113、同S−131、同S−141、同S−145、同S−382、同SC−101、同SC−102、同SC−103、同SC−104、同SC−105、同SC−106(旭硝子(株)製)、エフトップEF351、同352、同801、同802(三菱マテリアル電子化成(株)製)、フタージェント250(ネオス(株)製)などが挙げられる。
また、界面活性剤として、下記式(4)で表される構成単位A及び構成単位Bを含み、THFを溶媒としてゲルパーミエーションクロマトグラフィで測定されるポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)が1,000以上10,000以下である共重合体を好ましい例として挙げることができる。
本発明の着色硬化性組成物に用い得る密着改良剤は、基材となる無機物、例えば、ガラス、シリコン、酸化シリコン、窒化シリコン等のシリコン化合物、金、銅、アルミニウム等と硬化膜との密着性を向上させる化合物である。具体的には、シランカップリング剤、チオール系化合物等が挙げられる。密着改良剤としてのシランカップリング剤は、界面の改質を目的とするものであり、特に限定することなく、公知のものを使用することができる。
シランカップリング剤としては、特開2009−98616号公報の段落0048に記載のシランカップリング剤が好ましく、中でもγ−グリシドキシプロピルトリアルコキシシランやγ−メタクリロキシプロピルトリアルコキシシランがより好ましい。これらは1種単独で使用でき、2種以上を併用してもよい。
本発明の着色硬化性組成物における密着改良剤の含有量は、全固形分量に対して、0.1〜20重量%が好ましく、0.2〜5重量%がより好ましい。
本発明の着色硬化性組成物に補足的に架橋剤を用い、着色硬化性組成物を硬化させてなる着色硬化膜の硬度をより高めることもできる。架橋剤としては、架橋反応により膜硬化を行なえるものであれば、特に限定はなく、例えば、(a)エポキシ樹脂、(b)メチロール基、アルコキシメチル基、及びアシロキシメチル基から選ばれる少なくとも1つの置換基で置換された、メラミン化合物、グアナミン化合物、グリコールウリル化合物又はウレア化合物、(c)メチロール基、アルコキシメチル基、及びアシロキシメチル基から選ばれる少なくとも1つの置換基で置換された、フェノール化合物、ナフトール化合物又はヒドロキシアントラセン化合物、が挙げられる。中でも、多官能エポキシ樹脂が好ましい。
架橋剤の具体例などの詳細については、特開2004−295116号公報の段落0134〜0147の記載を参照することができる。
非露光領域のアルカリ溶解性を促進し、着色硬化性組成物の現像性の更なる向上を図る場合には、現像促進剤を添加することもできる。現像促進剤は好ましくは分子量1000以下の低分子量有機カルボン酸化合物、分子量1000以下の低分子量フェノール化合物である。具体的には、例えば、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸等の脂肪族モノカルボン酸;シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルコハク酸、テトラメチルコハク酸、シトラコン酸等の脂肪族ジカルボン酸;トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸等の脂肪族トリカルボン酸;安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸等の芳香族モノカルボン酸;フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、トリメリト酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリト酸等の芳香族ポリカルボン酸;フェニル酢酸、ヒドロアトロパ酸、ヒドロケイ皮酸、マンデル酸、フェニルコハク酸、アトロパ酸、ケイ皮酸、ケイ皮酸メチル、ケイ皮酸ベンジル、シンナミリデン酢酸、クマル酸、ウンベル酸等が挙げられる。
本発明の着色硬化性組成物には、必要に応じた各種添加物、例えば、充填剤、上記以外の高分子化合物、紫外線吸収剤、酸化防止剤、凝集防止剤等を配合することができる。これらの添加物としては、特開2004−295116号公報の段落0155〜0156に記載のものを挙げることができる。
本発明の着色硬化性組成物においては、特開2004−295116号公報の段落0078に記載の光安定剤、同公報の段落0081に記載の熱重合防止剤を含有することができる。
本発明の着色硬化性組成物は、前述の必須成分と、必要に応じた任意成分とを混合することで調製される。なお、着色硬化性組成物の調製に際しては、着色硬化性組成物を構成する各成分を一括配合してもよいし、各成分を溶剤に溶解及び/又は分散した後に逐次配合してもよい。また、配合する際の投入順序や作業条件は特に制約を受けない。例えば、全成分を同時に溶剤に溶解及び/又は分散して組成物を調製してもよいし、必要に応じては、各成分を適宜2つ以上の溶液又は分散液としておいて、使用時(塗布時)にこれらを混合して組成物として調製してもよい。
上記のようにして調製された着色硬化性組成物は、好ましくは、孔径0.01μm〜3.0μm、より好ましくは孔径0.05μm〜0.5μm程度のフィルタなどを用いて濾別した後、使用に供することができる。
本発明のカラーフィルタは、既述の着色組成物または既述の着色硬化性組成物を含む着色層を有するカラーフィルタである。
具体的には、既述の着色組成物または既述の着色硬化性組成物を基板上に塗布してなる着色層を有するカラーフィルタである。基板や塗布方法は、後述するカラーフィルタの製造方法における基板や塗布方法と同じでよい。
本発明のカラーフィルタは、製造効率や製造精度の観点から、既述の着色硬化性組成物を用いて、後述するカラーフィルタの製造方法により製造することが好ましい。
本発明のカラーフィルタの製造方法は、既述の着色硬化性組成物を基板上に塗布して着色層を形成する着色層形成工程と、前記着色層に対してパターン様の露光をし潜像を形成する露光工程と、前記潜像が形成された着色層を現像してパターンを形成する現像工程と、を含む。
前記カラーフィルタの製造方法は、必要に応じて他の工程を含んでもよく、現像されたパターンに対して紫外線を照射する工程と、紫外線が照射されたパターンに対して加熱処理を行なう工程とを更に設けた態様が好ましい。
着色層形成工程は、基板上に、既述の着色硬化性組成物を塗布して着色層を形成する。塗布方法は、回転塗布、スリット塗布、流延塗布、ロール塗布、バー塗布、インクジェット等のいずれでもよい。
露光工程は、前記着色層に対してパターン様の露光をし、潜像を形成する。露光に適用し得る光もしくは放射線としては、g線、h線、i線が好ましく、特にi線が好ましい。照射光にi線を用いる場合、5mJ/cm2〜500mJ/cm2の露光量で照射することが好ましい。露光光源としては、超高圧、高圧、中圧、低圧の各水銀灯、ケミカルランプ、カーボンアーク灯、キセノン灯、メタルハライド灯、各種レーザー光源、等が使用できる。
レーザー光源を用いた露光方式では照射光は、波長が300nm〜410nmの範囲である波長の範囲の紫外光レーザーが好ましく、さらに好ましくは300nm〜360nmの範囲の波長である。具体的には、特に出力が大きく、比較的安価な固体レーザーのNd:YAGレーザーの第三高調波(355nm)や、エキシマレーザーのXeCl(308nm)、XeF(353nm)を好適に用いることができる。露光量としては、生産性の観点から、1mJ/cm2〜100mJ/cm2の範囲が好ましく、1mJ/cm2〜50mJ/cm2の範囲がより好ましい。
現像工程は、前記潜像が形成された着色層を現像してパターンを形成する。露光領域はパターン状に硬化しており、現像処理では、例えばアルカリ現像処理を行うことにより、上記露光工程での未照射部分(未硬化部分)を、アルカリ水溶液に溶出させて除去し、光硬化した部分だけを残すことによって、パターンを形成させることができる。
現像時間は、30秒〜300秒が好ましく、更に好ましくは30秒〜120秒である。現像温度は、20℃〜40℃が好ましく、更に好ましくは23℃である。現像は、パドル方式、シャワー方式、スプレー方式等で行なうことができる。また、アルカリ水溶液を用いて現像した後は、水で洗浄することが好ましい。
本発明のカラーフィルタの製造方法では、パターンを更に硬化させるため、現像されたパターンに対して紫外線を照射(後露光)する後露光工程を設けることが好ましい。後露光工程における紫外線の照射条件は、既述の露光工程と同様である。
本発明のカラーフィルタの製造方法では、上記の紫外線照射による後露光が行なわれたパターンに対して、さらに加熱処理を行なう工程を設けることが好ましい。形成されたパターンを加熱処理(いわゆるポストベーク処理)することにより、パターンを更に硬化させることができる。この加熱処理は、例えば、ホットプレート、各種ヒーター、オーブンなどにより行なうことができる。加熱処理の際の温度としては、100℃〜300℃が好ましく、より好ましくは150℃〜250℃である。また、加熱時間は10分〜120分程度が好ましい。
本発明の固体撮像素子は、本発明のカラーフィルタを備えたものである。本発明のカラーフィルタは、高い耐熱性及び耐光性を有するものであり、このカラーフィルタを備えた固体撮像素子は優れた色再現性を得ることが可能となる。
即ち、基板上に、CCDイメージセンサー(固体撮像素子)の受光エリアを構成する複数のフォトダイオード及びポリシリコン等からなる転送電極を有し、その上に、本発明のカラーフィルタを設け、次いで、マイクロレンズを積層する構成である。
本発明の画像表示装置は、本発明のカラーフィルタを備えたものである。本発明のカラーフィルタは、色相に優れ、且つ、欠けや剥がれ、ヨレのない着色画素を有することから、特に、液晶表示装置用のカラーフィルタとして好適である。本発明のカラーフィルタを備えた液晶表示装置は、高品位の画像を表示することができる。
さらにCOA方式により形成される着色層には、着色層上に配置されるITO電極と着色層の下方の駆動用基板の端子とを導通させるために、一辺の長さが1〜15μm程度の矩形のスルーホールあるいはコの字型の窪み等の導通路を形成する必要があり、導通路の寸法(即ち、一辺の長さ)を特に5μm以下にすることが好ましいが、本発明を用いることにより、5μm以下の導通路を形成することも可能である。
これらの画像表示方式については、例えば、「EL、PDP、LCDディスプレイ−技術と市場の最新動向−」(東レリサーチセンター調査研究部門、2001年発行)の43ページなどに記載されている。
これらの部材については、例えば、「’94液晶ディスプレイ周辺材料・ケミカルズの市場」(島健太郎、(株)シーエムシー、1994年発行)、「2003液晶関連市場の現状と将来展望(下巻)」(表良吉、(株)富士キメラ総研、2003年発行)に記載されている。
[画像表示装置用カラーフィルタ]
−着色組成物の調製−
特定ジピロメテン金属錯体化合物である既述の例示化合物A1を7部と、C.I.ピグメントブルー15:6を6部と、アクリル系顔料分散剤(マクロモノマーAA−6(商品名:東亜合成(株)社製)とライトエステルHO-MS(商品名:共栄社化学(株)社製)の共重合体(重量平均分子量28,000、酸価79))4部とを、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート40部と混合し、ビーズミルを用いて顔料を充分に分散させて、顔料分散液(S−1)を調製した。ナノトラック粒度分布測定装置UPA−EX150(日機装(株)製)を用いて計測した、顔料分散液(S−1)中の顔料の体積平均粒子径は、48nmであった。
上記で得た着色組成物をガラス基板上にワイヤーバーコーティングにより乾燥時の厚みが1μmとなるように塗布し、着色ガラスを作製した。この着色ガラスは、鮮明な青色カラーフィルタであった。
[画像表示装置用カラーフィルタ]
−着色硬化性組成物1の調製−
着色硬化性組成物1の調製に用いる以下の各成分を準備した。
・(S−2)顔料分散液:C.I.ピグメントブルー15:6を12.8部とアクリル系顔料分散剤(マクロモノマーAA−6(商品名:東亜合成(株)社製)とライトエステルHO-MS(商品名:共栄社化学(株)社製)の共重合体(重量平均分子量28,000、酸価79))7.2部とを、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート80.0部と混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させて得た顔料分散液
・(T−1)重合性化合物:カヤラッドDPHA(日本化薬(株)製。ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとジペンタエリスリトールヘキサアクリレートとの混合物)
・(U−1)アルカリ可溶性バインダー:ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体(75/25[質量比]、重量平均分子量12,000)のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液(固形分40.0%)
・(V−1)重合開始剤:2−(ベンゾイルオキシイミノ)−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−1−オクタノン
・(V−2)重合開始剤:2−(アセトキシイミノ)−4−(4−クロロフェニルチオ)−1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−1−ブタノン
・(W−1)光増感剤:4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン
・(X−1)有機溶剤:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
・(X−2)有機溶剤:3−エトキシプロピオン酸エチル
・(Y−1)界面活性剤:メガファックF781−F(大日本インキ化学工業(株)製)
「着色硬化性組成物1の組成」
・前記例示化合物A1(ジピロメテン金属錯体化合物)・・・ 6.9部
・前記(S−2) ・・・ 43.0部
・前記(T−1) ・・・103.4部
・前記(U−1) ・・・212.2部
(固形分換算84.9部)
・前記(V−1) ・・・ 21.2部
・前記(V−2) ・・・ 3.8部
・前記(W−1) ・・・ 3.5部
・前記(X−1) ・・・ 71.9部
・前記(X−2) ・・・ 3.6部
・前記(Y−1) ・・・ 0.06部
上記で得た着色硬化性組成物1を、100mm×100mmのガラス基板(コーニング社製、品番1737)上に、色濃度の指標となるx値が0.650となるように塗布し、90℃のオーブンで60秒間乾燥させた(プリベーク)。その後、解像度評価用の10〜100μmのマスク孔幅を有するフォトマスクを介して高圧水銀灯により露光し、露光後の塗膜をアルカリ現像液CDK−1(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)の1%水溶液にて覆い、60秒間静置した。静置後、純水をシャワー状に散布して現像液を洗い流した。そして、上記のように露光及び現像が施された塗膜を220℃のオーブンで1時間加熱処理し(ポストベーク)、ガラス基板上にカラーフィルタ用の着色パターン(着色樹脂被膜)を形成し、実施例101のカラーフィルタを作製した。
上記で得たカラーフィルタについて下記の評価を行なった。評価結果は、下記表9に示す。
(硬化感度)
プリベーク後、フォトマスクを介して高圧水銀灯で露光した際に、マスク幅と同じ線幅になるのに必要な露光量を測定し、下記判定基準に従って評価した。露光量が少ないほど、高感度である。
<判定基準>
○:200mJ/cm2未満
△:200mJ/cm2以上600mJ/cm2未満
×:600mJ/cm2以上
カラーフィルタを、ホットプレートを用いて230℃で30分加熱した後、加熱前後の色差のΔE*ab値を色度計MCPD−1000(大塚電子製)にて測定し、下記判定基準に従って評価した。ΔE*ab値が小さいほど、耐熱性が良好である。
<判定基準>
○:ΔE*ab<3
△:3≦ΔE*ab<10
×:ΔE*ab≧10
カラーフィルタに対しキセノンランプを5万luxで20時間照射(100万lux・hに相当)した後、照射前後の色差のΔE*ab値を色度計MCPD−1000(大塚電子製)にて測定し、下記判定基準に従って評価した。ΔE*ab値が小さいほど、耐光性が良好である。
<判定基準>
◎:ΔE*ab<1
○:1≦ΔE*ab<3
△:3≦ΔE*ab<10
×:ΔE*ab≧10
カラーフィルタの輝度(Y値)を、顕微分光測定装置OSP−SP200(オリンパス(株)製)にて測定し、下記判定基準に従って評価した。Y値が高いほど、液晶ディスプレイ用カラーフィルタとしての性能が良好である。
<判定基準>
○:Y値≧10
△:9≦Y値<10
×:Y値<9
カラーフィルタの作製に用いた着色硬化性組成物を室温で一ヶ月保存し、保存後の異物の析出度合いを目視観察し、下記判定基準に従って評価した。
<判定基準>
○:析出は認められない。
△:僅かに析出が認められた。
×:析出が認められた。
実施例1において、例示化合物A1を下記表9記載の既述の例示化合物(ジピロメテン金属錯体化合物)又は比較色素にそれぞれ置き換え、C.I.ピグメントブルー15:6を下記表9記載のフタロシアニン系顔料又は比較色素にそれぞれ置き換え、色が合うように例示化合物と(S−2)顔料分散液との比率を調整したこと以外、実施例101と同様にして、実施例102〜105、参考例106〜115及び比較例101〜109のカラーフィルタをそれぞれ作製した。なお、比較例101〜103及び106は、実施例101における例示化合物A1を、等質量の表9記載の色素で置き換え、C.I.ピグメントブルー15:6を添加しないことで調製した。また、比較例109は、実施例101における例示化合物A1を添加しないことで調製した。
表9中のフタロシアニン系染料Aとフタロシアニン系染料Bは、それぞれ下記の化合物である。
実施例101〜105と比較例104、105、107及び108(従来公知の色素混合物を含む着色硬化性組成物)との比較により、本発明の着色硬化性組成物を用いて作製したカラーフィルタは、非常に高い輝度(Y値)を有していることが明らかである。
実施例101〜105の耐光性が特に良好なことから、特定ジピロメテン金属錯体化合物が一般式(3’)で表されるジピロメテン金属錯体化合物であると、顕著に耐光性が向上することがわかった。
本発明の着色硬化性組成物は、染料であるジピロメテン金属錯体化合物を含むにもかかわらず、硬化感度が高い。
また、本発明の着色硬化性組成物は、いずれも保存安定性に優れていることが明らかである。
Claims (11)
- (A−3’)下記一般式(3’)で表されるジピロメテン金属錯体化合物、(B)フタロシアニン系顔料としてピグメントブルー15:6、(C)分散剤、及び(D)有機溶剤を含有する着色組成物。
[一般式(3’)中、R 11 及びR 12 は各々独立に、炭素数6〜30のアルコキシカルボニル基を表す。R 13 及びR 14 はメチル基を表す。R 15 及びR 16 は各々独立に、炭素数1〜12のアルキル基又は炭素数1〜12のアルコキシ基を表し、n1及びn2は各々独立に、0又は1を表す。R 17 及びR 18 はアセチルアミノ基を表し、n3及びn4は各々独立に、0又は1を表す。Mは金属又は金属化合物を表す。Xは、ヒドロキシ基で置換されていてもよい炭素数2〜3のアシルオキシ基、又はハロゲン原子を表す。] - 前記一般式(3’)中、R 11 及びR 12 は下記の置換基を表す、請求項1に記載の着色組成物。
- 前記(A−3’)ジピロメテン金属錯体化合物が、(A−4’)下記一般式(4’)で表されるジピロメテン金属錯体化合物である請求項1に記載の着色組成物。
[一般式(4’)中、R13及びR14はメチル基を表し、Xは、ヒドロキシ基で置換されていてもよい炭素数2〜3のアシルオキシ基、又はハロゲン原子を表す。] - 請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の着色組成物、(E)重合性化合物、及び(F)重合開始剤を含有する着色硬化性組成物。
- 前記(E)重合性化合物が(メタ)アクリレート系多官能モノマーである請求項4に記載の着色硬化性組成物。
- 前記(F)重合開始剤がオキシム系化合物である請求項4又は請求項5に記載の着色硬化性組成物。
- 請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の着色組成物、又は請求項4〜請求項6のいずれか1項に記載の着色硬化性組成物を含む着色層を有するカラーフィルタ。
- 請求項4〜請求項6のいずれか1項に記載の着色硬化性組成物を基板上に塗布して着色層を形成する着色層形成工程と、
前記着色層に対してパターン様の露光をし潜像を形成する露光工程と、
前記潜像が形成された着色層を現像してパターンを形成する現像工程と、
を含むカラーフィルタの製造方法。 - 請求項8に記載のカラーフィルタの製造方法により製造されたカラーフィルタ。
- 請求項7又は請求項9に記載のカラーフィルタを備えた固体撮像素子。
- 請求項7又は請求項9に記載のカラーフィルタを備えた画像表示装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010221908A JP5642485B2 (ja) | 2010-09-30 | 2010-09-30 | 着色組成物、着色硬化性組成物、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、固体撮像素子、及び液晶表示装置 |
TW100130888A TWI453195B (zh) | 2010-09-30 | 2011-08-29 | 著色組成物、著色硬化組成物、彩色濾光片、彩色濾光片之製造方法、固態攝影元件、及液晶顯示裝置 |
KR1020110086884A KR101768981B1 (ko) | 2010-09-30 | 2011-08-30 | 착색 조성물, 착색 경화성 조성물, 컬러필터, 컬러필터의 제조 방법, 고체 촬상 소자, 및 액정 표시 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010221908A JP5642485B2 (ja) | 2010-09-30 | 2010-09-30 | 着色組成物、着色硬化性組成物、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、固体撮像素子、及び液晶表示装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012077140A JP2012077140A (ja) | 2012-04-19 |
JP5642485B2 true JP5642485B2 (ja) | 2014-12-17 |
Family
ID=46136605
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010221908A Active JP5642485B2 (ja) | 2010-09-30 | 2010-09-30 | 着色組成物、着色硬化性組成物、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、固体撮像素子、及び液晶表示装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5642485B2 (ja) |
KR (1) | KR101768981B1 (ja) |
TW (1) | TWI453195B (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6019597B2 (ja) * | 2011-03-08 | 2016-11-02 | 住友化学株式会社 | 着色感光性樹脂組成物 |
JP5775482B2 (ja) * | 2011-09-30 | 2015-09-09 | 富士フイルム株式会社 | 着色硬化性組成物、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、及び表示装置 |
JP5710568B2 (ja) * | 2012-09-27 | 2015-04-30 | 富士フイルム株式会社 | 着色硬化性組成物、着色硬化膜、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、表示装置、固体撮像素子、及び、化合物 |
JP6103880B2 (ja) * | 2012-10-24 | 2017-03-29 | 富士フイルム株式会社 | 着色組成物、カラーフィルタ及びその製造方法、画像表示装置、固体撮像素子、並びに、新規化合物 |
KR101976015B1 (ko) * | 2016-06-24 | 2019-09-10 | 삼성에스디아이 주식회사 | 신규한 화합물, 이를 포함하는 감광성 수지 조성물 및 컬러필터 |
TWI673325B (zh) * | 2016-06-24 | 2019-10-01 | 南韓商三星Sdi股份有限公司 | 化合物、包含其的感光性樹脂組成物以及彩色濾光片 |
JP6903988B2 (ja) * | 2017-03-24 | 2021-07-14 | 富士フイルムビジネスイノベーション株式会社 | 水性顔料分散組成物、水性インク、インクカートリッジ、記録装置及び記録方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20080283122A1 (en) * | 2004-10-08 | 2008-11-20 | Wayne Mason Campbell | Beta-Substituted Porphyrins |
JP2008083416A (ja) * | 2006-09-27 | 2008-04-10 | Fujifilm Corp | 感光性着色硬化性組成物、カラーフィルタ及びその製造方法 |
KR101474900B1 (ko) * | 2006-09-27 | 2014-12-19 | 후지필름 가부시키가이샤 | 화합물 또는 이것의 토토머, 금속착체 화합물, 착색 감광성경화 조성물, 컬러필터, 및 제조 |
JP2009031713A (ja) * | 2006-09-27 | 2009-02-12 | Fujifilm Corp | ジピロメテン系ホウ素錯体化合物及びその互換異性体、感光性着色硬化性組成物、カラーフィルタ、及びその製造方法 |
JP2008224982A (ja) * | 2007-03-12 | 2008-09-25 | Fujifilm Corp | カラーフィルタ用着色硬化性組成物、カラーフィルタ及び液晶表示装置 |
JP5548394B2 (ja) * | 2008-06-10 | 2014-07-16 | 富士フイルム株式会社 | インクジェット用インク、カラーフィルタおよびその製造方法、ならびにそれを用いる液晶ディスプレイおよび画像表示デバイス |
US8334085B2 (en) * | 2008-09-02 | 2012-12-18 | Fujifilm Corporation | Colored curable composition, color filter and method of producing the same, and dipyrromethene metal complex compound and tautomer thereof |
JP5388530B2 (ja) * | 2008-09-30 | 2014-01-15 | 富士フイルム株式会社 | 着色硬化組成物、含フッ素ジピロメテン系化合物及びその互変異性体、含フッ素ジピロメテン系金属錯体化合物及びその互変異性体、並びにカラーフィルタ及びその製造方法 |
-
2010
- 2010-09-30 JP JP2010221908A patent/JP5642485B2/ja active Active
-
2011
- 2011-08-29 TW TW100130888A patent/TWI453195B/zh active
- 2011-08-30 KR KR1020110086884A patent/KR101768981B1/ko active IP Right Grant
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI453195B (zh) | 2014-09-21 |
KR101768981B1 (ko) | 2017-08-17 |
JP2012077140A (ja) | 2012-04-19 |
KR20120033970A (ko) | 2012-04-09 |
TW201219369A (en) | 2012-05-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5642485B2 (ja) | 着色組成物、着色硬化性組成物、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、固体撮像素子、及び液晶表示装置 | |
KR20120066629A (ko) | 착색 경화성 조성물과 그 제조 방법, 컬러필터와 그 제조 방법, 및 고체촬상소자 | |
JP2012077153A (ja) | 着色組成物、カラーフィルタ及びその製造方法、並びに液晶表示装置 | |
WO2013047454A1 (ja) | 着色硬化性組成物、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、及び表示装置 | |
JP5722269B2 (ja) | 着色組成物、着色硬化膜、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、液晶表示装置、固体撮像素子、並びに、新規なジピロメテン系金属錯体化合物又はその互変異性体 | |
JP5607551B2 (ja) | 赤色の着色硬化性組成物、カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ、及び液晶表示素子 | |
JP5398586B2 (ja) | 着色硬化性組成物、カラーフィルタ及びその製造方法、並びに固体撮像素子 | |
JP5554106B2 (ja) | 着色硬化性組成物、カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ、固体撮像素子、および液晶表示装置 | |
JP2011178865A (ja) | 分散組成物及びその製造方法、着色硬化性組成物、カラーフィルタ及びその製造方法、固体撮像素子、並びに液晶表示装置 | |
JP5657405B2 (ja) | 着色硬化性組成物、カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ、固体撮像素子、および液晶表示装置 | |
JP5722268B2 (ja) | 着色組成物、着色硬化膜、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、液晶表示装置、固体撮像素子、並びに、新規なジピロメテン系金属錯体化合物又はその互変異性体 | |
JP2012077154A (ja) | 着色組成物、カラーフィルタ及びその製造方法、液晶表示装置、並びに固体撮像素子 | |
JP2013210525A (ja) | 着色硬化性組成物及びその製造方法、カラーフィルタ及びその製造方法、並びに表示装置 | |
JP6103880B2 (ja) | 着色組成物、カラーフィルタ及びその製造方法、画像表示装置、固体撮像素子、並びに、新規化合物 | |
JP2012077026A (ja) | ジピロメテン系金属錯体化合物及びその互変異性体、着色組成物、カラーフィルタ及びその製造方法、画像表示装置、並びに、固体撮像素子 | |
JP5827842B2 (ja) | 硬化性着色組成物およびカラーフィルタ | |
JP5554089B2 (ja) | 着色硬化性組成物、カラーフィルタ及びその製造方法、固体撮像素子、並びに液晶表示装置 | |
JP2013205832A (ja) | 着色硬化性組成物及びその製造方法、カラーフィルタ及びその製造方法、並びに表示装置 | |
JP5722267B2 (ja) | 着色組成物、着色硬化膜、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、液晶表示装置、固体撮像素子、並びに、新規なジピロメテン系金属錯体化合物又はその互変異性体 | |
JP5710568B2 (ja) | 着色硬化性組成物、着色硬化膜、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、表示装置、固体撮像素子、及び、化合物 | |
JP5908824B2 (ja) | 着色組成物、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、画像表示装置、固体撮像素子、並びに、新規化合物及びその互変異性体 | |
JP5840435B2 (ja) | 着色組成物、着色硬化膜、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、液晶表示装置、固体撮像素子、並びに、新規なジピロメテン金属錯体化合物又はその互変異性体 | |
KR101821236B1 (ko) | 착색 경화성 조성물, 컬러필터의 제조방법, 컬러필터, 고체촬상소자, 및 액정표시장치 | |
JP2012224846A (ja) | 着色組成物、着色硬化膜、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、液晶表示装置、固体撮像素子、並びに、新規なジピロメテン系金属錯体化合物又はその互変異性体 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130122 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140310 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140408 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140509 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20141007 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20141029 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5642485 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |