JP5638092B2 - ラジアル軸受とスラストガス軸受とを備えるガスレーザ - Google Patents
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Description
本発明のその他の利点は、明細書及び図面から看取される。
Claims (10)
- レーザガスを循環させる送風機(11)を備えるガスレーザ(1)であって、前記送風機(11)が軸(17)を備え、該軸(17)は、少なくとも1つのスラストガス軸受(45)と少なくとも1つのラジアル軸受(21,22)とを介して支承されており、前記スラストガス軸受(45)は、2つの固定側の軸受面(26,27)と、両固定側の軸受面(26,27)間において前記軸(17)に配置されているディスク(25)とを有し、該ディスク(25)の2つの面が、回転側の軸受面(48,49)を形成する、レーザガスを循環させる送風機(11)を備えるガスレーザ(1)において、前記回転側の軸受面(48,49)の一方又は両方に、半径方向でずらされて配置されたヘリングボーン溝パターン(41,42)が構造化されており、該ヘリングボーン溝パターン(41,42)は、溝を有しない半径方向中央の中間領域(43)を備え、溝深さは、溝(40)に沿ってそれぞれ前記中間領域(43)に向かって減少することを特徴とする、レーザガスを循環させる送風機を備えるガスレーザ。
- 前記溝パターン(41,42)は、スパイラル溝パターンである、請求項1記載のガスレーザ。
- 前記少なくとも1つのラジアル軸受(21,22)が、少なくとも1つの固定側の軸受面(23,24)と少なくとも1つの回転側の軸受面(46,47)とを備えるラジアルガス軸受として形成されており、該ラジアルガス軸受の前記回転側の軸受面(46,47)が、軸方向でずらされて配置されたヘリングボーン溝パターン(37,38)を備え、溝深さが溝に沿って減少、特に、前記ヘリングボーン溝パターン(37,38)の両溝パターン間に存在する、溝を有しない中間領域(39)に向かって減少する、請求項1又は2記載のガスレーザ。
- 前記軸方向でずらされて配置されたヘリングボーン溝パターン(37,38)内の溝深さがそれぞれ無段に減少する、請求項3記載のガスレーザ。
- 前記軸方向でずらされて配置されたヘリングボーン溝パターン(37,38)内の溝深さがそれぞれ有段に減少する、請求項3記載のガスレーザ。
- 溝深さが、約50マイクロメートルより浅いが、約5マイクロメートルより深く、特に好ましくは25マイクロメートルより浅く、10マイクロメートルより深い、請求項1から5までのいずれか1項記載のガスレーザ。
- 溝(40,44)は、超短パルスレーザを用いて設けられている、請求項1から6までのいずれか1項記載のガスレーザ。
- 前記スラストガス軸受(45)の前記軸受面(26,27,48,49)の少なくとも1つが、凸面状に形成されている、請求項1から7までのいずれか1項記載のガスレーザ。
- 前記少なくとも1つのラジアル軸受及び/又はスラスト軸受(21,22,48,49)の前記固定側の軸受面(23,24)の少なくとも1つが、周方向で少なくとも1つの環状の部材(50,51)により包囲される、請求項1から8までのいずれか1項記載のガスレーザ。
- 前記環状の部材(50,51)は、弾性材料からなる、請求項9記載のガスレーザ。
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