JP7195195B2 - 軸受スリーブ、動圧軸受装置、及びモータ - Google Patents

Description

本発明は、軸受スリーブ、動圧軸受装置、及びモータに関する。

動圧軸受装置は、軸部材の外周面と軸受部材の内周面との間のラジアル軸受隙間の流体膜（例えば油膜）に生じる圧力により、軸部材を相対回転自在に非接触支持するものである（特許文献１）。動圧軸受装置は、その高回転精度および静粛性から、情報機器（例えば、ＨＤＤ等の磁気ディスク駆動装置、ＣＤ－ＲＯＭ、ＣＤ－Ｒ／ＲＷ、ＤＶＤ－ＲＯＭ／ＲＡＭ、ブルーレイディスク等の光ディスク駆動装置、ＭＤ、ＭＯ等の光磁気ディスク駆動装置）のスピンドルモータ、レーザビームプリンタ（ＬＢＰ）のポリゴンスキャナモータ、プロジェクタのカラーホイール、あるいは電気機器の冷却ファン等に使用されるファンモータなどの小型モータ用として好適に使用される。

例えばノートパソコンやタブレット型端末等の携帯情報機器（いわゆるモバイル機器）は薄型化が進んでいるため、これらに組み込まれるファンモータにも薄型化（軸方向寸法の縮小）が要求されている。その一方で、ファンモータの冷却特性を維持することが求められるため、回転軸に取り付けられるインペラは大きくなる傾向にある。このため、ファンモータの回転軸を支持する動圧軸受装置に加わる負荷が大きくなる。

動圧軸受装置は、軸受部材の内周面又は軸部材の外周面に、ラジアル軸受隙間の流体膜に積極的に動圧を発生させるラジアル動圧発生部を設けるタイプ（いわゆる動圧軸受）と、軸受部材の内周面及び軸部材の外周面を何れも円筒面とし、軸部材の振れ回りにより動圧を発生させるタイプ（いわゆる真円軸受）とに大別される。特許文献１に記載の動圧軸受装置は、動圧溝の周方向幅や角度を規定することで、シャフトの偏心時に真円軸受よりも高い負荷容量を得るものである。

特開２０１６－５０６４８号公報

動圧軸受ユニットを考えた場合、一般的にインペラやポリゴンミラーが取り付けられる軸受ユニットの開口側にかかる負荷が高くなる。前記特許文献１に記載された動圧軸受装置により、負荷容量の向上は期待できるが、更にモータが薄型化された場合、軸受の支持面積（軸受の軸方向幅寸法）が減るため、特に開口側の軸受面がシャフトと接触する可能性がある。軸受面とシャフトとの接触は、非定常状態（スイング状態）や起動時などの回転速度が低い場合に生じやすい。潤滑油の粘度を上げることで負荷容量を上げることは出来るが、回転トルクが増加してしまう。

また、一般的に動圧軸受は、真円軸受や転がり軸受に比べて、回転精度が高く、静音性に優れるが、負荷容量は劣る。一方で、真円軸受や転がり軸受を使用しているパソコンに搭載される以外のファンでも静音性の要求が高まっているが、負荷容量が不足しているため、動圧軸受の適用は難しい。

そこで、本発明は斯かる実情に鑑み、動圧軸受の回転精度や静音性を維持しながら、ラジアル方向の負荷容量を高めることができ、低速回転領域でも使用可能な軸受スリーブ、動圧軸受装置、及びモータを提供しようとするものである。

本発明の軸受スリーブは、動圧溝を有しない真円軸受面と、動圧溝を有する動圧軸受面とが形成された内周面を備え、前記真円軸受面と動圧軸受面とが軸方向に沿って一つの部品にて形成されているものである。

内周面に真円軸受面と動圧軸受面が設けられることによって、軸方向に沿って真円軸受部と動圧軸受部とを構成でき、真円軸受部による高い負荷容量と動圧軸受部による高い回転精度を兼ね備えた軸受スリーブを構成することができる。

このため、定常姿勢での使用時には、ラジアル軸受面に係る荷重は低いため、動圧軸受部によって発生する圧力により、シャフト（軸部材）を支持し、高い回転精度で回転する。水平姿勢や非定常姿勢（スイング状態）での使用時には真円軸受部で荷重を受け、動圧軸受部でシャフト（軸部材）を支持するため、回転精度を維持したまま、大きな荷重を受けることができる。さらに、動圧が発生しにくい低速回転領域でも真円軸受部で荷重を受けるため、動圧軸受部に比べて、シャフト（軸部材）と軸受面の接触が抑えられる。

前記真円軸受面と前記動圧軸受面とが軸方向に沿って連続的に形成されているのであっても、前記真円軸受面と前記動圧軸受面との間に、これらの軸受面の内径寸法よりも大の内径寸法である中逃げ面を設けたものであってもよい。このような中逃げ面を設けることによって、トルク低減を達成できる。

本発明の動圧軸受装置は、前記軸受スリーブと、前記軸受スリーブの内周に挿入される軸部材とを備え、前記軸部材の回転に伴って、前記軸受スリーブの内周面とこの内周面に対向する前記軸部材の外周面との間に、ラジアル軸受隙間を有する真円軸受部とラジアル軸受隙間を有する動圧軸受部とが形成されるものである。

本発明の動圧軸受装置によれば、真円軸受部と動圧軸受部を備えた動圧軸受装置となる。このため、真円軸受部による高い負荷容量と動圧軸受部による高い回転精度を兼ね備えたものとなる。また、動圧が発生しにくい低速回転領域でも真円軸受部で荷重を受けるため、動圧軸受部に比べて、シャフトと軸受面の接触が抑えられる。

動圧軸受部のラジアル軸受隙間よりも、真円軸受部のラジアル軸受隙間を大きくするのが好ましい。このように構成することによって、トルクを低減させることができる。

荷重が高くなる側に真円軸受部を配置し、荷重が低くなる側に動圧軸受部を配置するのが好ましい。荷重の高い側（例えばモータの重心位置に近い側）に真円軸受部が配置されるように軸受を組み込むことで、大きな荷重を受けることができる。荷重の低い側に動圧軸受面を配置することで、シャフトの振れ回りが抑制でき回転精度を維持することができる。

本発明のモータは、前記動圧軸受装置と、ロータマグネットと、ステータコイルとを有するものである。

本発明に係る軸受スリーブを用いれば、真円軸受部と動圧軸受部を備えた動圧軸受装置となる。このため、この動圧軸受装置では、水平姿勢、低速回転、及び／又は非定常状態における軸部材（シャフト）と軸受スリーブとの接触を有効に防止でき、静音性の向上を図ることができる。また、軸受スリーブの軸方向長さの短縮化を図ることができ、モータの薄型化を達成できる。さらには、動圧軸受部のラジアル軸受隙間よりも、真円軸受部のラジアル軸受隙間を大きくすることが可能で、このようにすることによって、トルク低減が可能となって、モータの消費電力を抑えることができて経済的である。

本発明に係る軸受スリーブを示し、（ａ）は断面図であり、（ｂ）は内径面の模式図である。 本発明に係る軸受スリーブを用いた動圧軸受装置の断面図である。 図３に示す動圧軸受装置を備えたモータの断面図である。 本発明に係る他の軸受スリーブを示し、（ａ）は断面図であり、（ｂ）は内径面の模式図である。 本発明に係る別の軸受スリーブを示し、（ａ）は断面図であり、（ｂ）は内径面の模式図である。

以下本発明の実施の形態を図１～図５に基づいて説明する。図１は、本実施形態に係る軸受スリーブを示し、図２は本発明に係る軸受スリーブを用いた動圧軸受装置を示し、図３はこの動圧軸受装置を用いた冷却用のファンモータを示す。このファンモータは、例えば、情報機器、特に携帯電話やタブレット型端末等のモバイル機器に組み込まれる。

このファンモータは、本発明の一実施形態に係る動圧軸受装置１と、動圧軸受装置１の軸部材２に装着されたロータ３と、ロータ３の外径端に取付けられた羽根４と、半径方向のギャップを介して対向させたステータコイル６ａおよびロータマグネット６ｂと、これらを収容するケーシング５とを備える。ステータコイル６ａは、動圧軸受装置１の外周に取付けられ、ロータマグネット６ｂはロータ３の内周に取付けられる。ステータコイル６ａに通電することにより、ロータ３、羽根４、及び軸部材２が一体に回転し、これにより軸方向あるいは外径方向の気流が発生する。

動圧軸受装置１は、図２に示すように、軸部材２と、ハウジング７と、軸受部材としての軸受スリーブ８と、シール部材９と、スラスト受け１０とを備える。尚、以下では、軸方向（図２の上下方向）で、ハウジング７の開口側を上側、ハウジング７の底部７ｂ側を下側と言う。

軸部材２は、ステンレス鋼等の金属材料で円柱状に形成される。軸部材２は、円筒面状の外周面２ａと、下端に設けられた球面状の凸部２ｂとを有する。

ハウジング７は、略円筒状の側部７ａと、側部７ａの下方の開口部を閉塞する底部７ｂとを有する。図示例では、側部７ａと底部７ｂとが樹脂で一体に射出成形される。側部７ａの外周面７ａ２には、ケーシング５及びステータコイル６ａが固定される。側部７ａの内周面７ａ１には、軸受スリーブ８が固定される。底部７ｂの上側端面７ｂ１の外径端には、内径部よりも上方に位置する肩面７ｂ２が設けられ、この肩面７ｂ２に軸受スリーブ８の下側端面８ｃが当接する。肩面７ｂ２には、半径方向溝７ｂ３が形成される。底部７ｂの上側端面７ｂ１の中央部には、樹脂製のスラスト受け１０が配される。尚、ハウジング７の肩面７ｂ２に半径方向溝７ｂ３を設ける代わりに（あるいはこれに加えて）、軸受スリーブ８の下側端面８ｃに半径方向溝を形成してもよい。

軸受スリーブ８は、円筒状を成し、ハウジング７の側部７ａの内周面７ａ１に、隙間接着、圧入、圧入接着（接着剤介在下での圧入）等の適宜の手段で固定される。本実施形態では、軸受スリーブ８は、プレスで加工した焼結金属、切削で加工した黄銅やステンレス等の溶製材、さらには射出成形で加工した樹脂等で構成できる。

軸受スリーブ８の内周面８ａには、図１に示すように動圧溝を有しない真円軸受面３１と、動圧溝３２ａを有する動圧軸受面３２とが形成される。この真円軸受面３１は円筒面で構成され、真円軸受面３１が軸受スリーブ８の内周面８ａの上半分部位に設けられ、動圧軸受面３２が軸受スリーブ８の内周面８ａの下半分部位に設けられ、真円軸受面３１と動圧軸受面３２とが軸方向に連続して形成されている。この実施形態では、動圧溝３２ａとしてはヘリングボーン型を用いているが、スパイラル型等の動圧溝の使用可能である。

すなわち、動圧溝３２ａを有する動圧軸受面３２は、具体的には、周方向に延びる環状丘部Ｇ１と、環状丘部Ｇ１から軸方向両側に延びる複数の傾斜丘部Ｇ２と、複数の傾斜丘部Ｇ２の周方向間に設けられた複数の傾斜溝部Ｇ３とを形成することで構成できる。なお、図１では、環状丘部Ｇ１及び傾斜丘部Ｇ２にクロスハッチングを付して示している。

この動圧軸受面３２より上部には、環状丘部Ｇ１及び傾斜丘部Ｇ２と同径でこれと連続した円筒面が設けられる。この円筒面が真円軸受面３１を構成する。すなわち、図１のクロスハッチング部は、図２に示すように、この軸受スリーブ８に軸部材２が嵌入された状態で、軸部材２の外径面（外周面）との隙間寸法が同一となる面を示している。

この場合、真円軸受面３１の内径寸法をＤ１とし、動圧軸受面３２（丘部Ｇ１，Ｇ２）の内径寸法をＤ２とし、この場合、Ｄ１＝Ｄ２とし、例えば、Ｄ１（Ｄ２）を１．５ｍｍ程度としている。軸受スリーブ８の軸方向長さをＬとし、真円軸受面３１の軸方向長さをＬ１とし、動圧軸受面の長さをＬ２とした場合、例えば、Ｌを３ｍｍ程度とし、Ｌ１を１．４ｍｍ程度とした場合に、Ｌ２を１．４ｍｍ程度とすることができる。

軸受スリーブ８の外周面には、軸方向溝８ｄ１が形成される。軸方向溝８ｄ１の数は任意であり、例えば円周方向等間隔の３箇所に形成される。

シール部材９は、樹脂あるいは金属で環状に形成され、ハウジング７の側部７ａの内周面７ａ１の上端部に固定される。シール部材９は、軸受スリーブ８の上側端面８ｂと当接している。シール部材９の内周面９ａは、軸部材２の外周面２ａと半径方向で対向し、これらの間にシール空間Ｓが形成される。軸部材２の回転時には、シール空間Ｓにより、軸受内部の潤滑油の外部への漏れ出しが防止される。シール部材９の下側端面９ｂには、半径方向溝９ｂ１が形成される。尚、シール部材９の下側端面９ｂに半径方向溝９ｂ１を形成する代わりに（あるいはこれに加えて）、軸受スリーブ８の上側端面８ｂに半径方向溝を形成してもよい。

上記の動圧軸受装置１は、以下のような手順で組み立てられる。まず、ハウジング７の底部７ｂの上側端面７ｂ１にスラスト受け１０を固定する。そして、ハウジング７の側部７ａの内周に、予め内部気孔に潤滑油を含浸させた軸受スリーブ８を挿入し、軸受スリーブ８の下側端面８ｃを底部７ｂの肩面７ｂ２に当接させた状態で、軸受スリーブ８の外周面８ｄを側部７ａの内周面７ａ１に固定する。その後、シール部材９をハウジング７の側部７ａの内周面７ａ１の上端に固定する。このとき、シール部材９をハウジング７の側部７ａに圧入し、シール部材９とハウジング７の底部７ｂの肩面７ｂ２とで軸受スリーブ８を軸方向両側から挟持することで、軸受スリーブ８を軸方向で拘束することができる。その後、軸受スリーブ８の内周に潤滑油を点滴し、軸部材２を挿入することで、動圧軸受装置１の組立が完了する。このとき、シール部材９で密封されたハウジング７の内部空間（軸受スリーブ８の内部空孔を含む）に潤滑油を充満し、油面はシール空間Ｓの範囲内に維持される。

上記構成の動圧軸受装置１において、軸部材２が回転すると、軸受スリーブ８の内周面８ａの真円軸受面３１と軸部材２の外周面２ａとの間に形成されるラジアル軸受隙間ｍ１（図１（ｂ）参照）に潤滑油膜が形成され、この潤滑油膜によって、軸部材２がラジアル方向に回転自在に非接触支持される。これにより、真円軸受部Ｒ１（図２参照）が構成される。

また、軸部材２が回転すると、軸受スリーブ８の内周面８ａの動圧軸受面３２と軸部材２の外周面２ａとはラジアル軸受隙間ｍ２（図１（ｂ）参照）を介して対向し、この軸部材２の回転に伴い、このラジアル軸受隙間ｍ２に満たされた潤滑油が動圧作用を発生し、その圧力によって軸部材２がラジアル方向に回転自在に非接触支持される。これにより、動圧軸受部Ｒ２（図２参照）が構成される。

また、図１に示すように、真円軸受部Ｒ１のラジアル軸受隙間ｍ１の隙間寸法をΔとし
、動圧軸受部Ｒ２のラジアル軸受隙間ｍ２の隙間寸法をδとしたときに、Δ＝δとし、Δ
（δ）を３μｍ程度としている。

内周面８ａに真円軸受面３１と動圧軸受面３２が設けられることによって、軸方向に沿って真円軸受部Ｒ１と動圧軸受部Ｒ２とを構成でき、真円軸受部Ｒ１による高い負荷容量と動圧軸受部Ｒ２による高い回転精度を兼ね備えた軸受スリーブを構成することができる。

ところで、図２に示す動圧軸受装置には、開口側にインペラ（ロータ３及び羽根等で構成される）などが取り付けられるため、開口部側の軸受面に係る荷重が大きくなる。そのため、本実施形態のように、開口部側（荷重の高い側であって、モータの重心位置Ｇに近い側）に負荷容量が高い真円軸受部Ｒ１を配置するとともに、非開口部側(反開口部側)に動圧軸受部を配置するのが好ましい。また、定常姿勢での使用時には、ラジアル軸受面に係る荷重は低いため、動圧軸受部Ｒ２によって発生する圧力により、シャフト（軸部材２）を支持し、高い回転精度で回転する。水平姿勢や非定常姿勢（スイング状態）での使用時には真円軸受部Ｒ１で荷重を受け、動圧軸受部Ｒ２でシャフト（軸部材２）を支持するため、回転精度を維持したまま、大きな荷重を受けることができる。さらに、動圧が発生しにくい低速回転領域でも真円軸受部Ｒ１で荷重を受けるため、動圧軸受部Ｒ２に比べて、シャフト２と軸受面３１の接触が抑えられる。

従って、この動圧軸受装置では、水平姿勢、低速回転、及び／又は非定常状態における軸部材（シャフト）２と軸受スリーブ８との接触を有効に防止でき、静音性の向上を図ることができる。また、軸受スリーブ８の軸方向長さの短縮化を図ることができ、モータの薄型化を達成できる。

図４に示す軸受スリーブ８は、真円軸受面３１と動圧軸受面３２との間に内径寸法が大きい中逃げ面３３を設けている。この中逃げ面３３を設けることによって、トルク低減を達成できる。この場合、中逃げ面３３と軸受面３１，３２との差をＣとしたとき、Ｃを（Ｄ３－Ｄ１）／２で表すことができる。ここで、真円軸受面３１及び動圧軸受面３２（この場合、丘部Ｇ１，Ｇ２）の内径寸法をＤ１、Ｄ２とし、中逃げ面３３の内径寸法をＤ３とする。この場合、例えば、Ｄ１（Ｄ２）を４.００ｍｍ程度とし、Ｄ３を４．０５ｍｍ程度とした場合に、Ｃを０．０２５ｍｍ程度とすることができる。また、中逃げ面３３と軸部材２の外周面２ａとの間の隙間寸法をＣ３としたときに、Ｃ３を２８μｍ程度としている。

また、軸受スリーブ８の軸方向長さをＬとし、真円軸受面３１の軸方向長さをＬ１とし、動圧軸受面３２の長さをＬ２とした場合、例えば、Ｌを６ｍｍ程度とし、Ｌ１を１．５ｍｍ程度とした場合に、Ｌ２を１．５ｍｍ程度とすることができる。真円軸受部Ｒ１のラジアル軸受隙間ｍ１の隙間寸法をΔとし、動圧軸受部Ｒ２のラジアル軸受隙間ｍ２の隙間寸法をδとしたときに、Δ＝δとし、Δ（δ）を３μｍ程度としている。

次に、図５に示す軸受スリーブ８は、図４に示す軸受スリーブ８と同様、真円軸受面３１と動圧軸受面３２との間に中逃げ面３３を設けている。この場合、真円軸受部Ｒ１のラジアル軸受隙間ｍ１の隙間寸法をΔとし、動圧軸受部Ｒ２のラジアル軸受隙間ｍ２の隙間寸法をδとしたときに、Δ＞δとしている。例えば、Δを８μｍ程度とし、δを３μｍ程度とし、この差（Δ－δ）を例えば、５μｍ程度とすることができる。なお、真円軸受面３１と中逃げ面３３との段差をＣ１とした場合に、Ｃ１を２０μｍ程度とし、動圧軸受面３２と中逃げ面３３との段差をＣ２とした場合に、Ｃ２を２５μｍ程度としている。また、中逃げ面３３と軸部材２の外周面２ａとの間の隙間寸法をＣ３としたときに、Ｃ３を２８μｍ程度としている。

ところで、動圧軸受部３２のラジアル軸受隙間ｍ２に効率良く動圧を発生させるためには、動圧軸受部３２のラジアル溝深さｘと動圧軸受部３２のラジアル軸受隙間ｍ２との隙間の比を１：１に設定するのが好ましい。すなわち、ｘ＝δとするのが好ましい。例えば、ｘを３μｍとし、δを３μｍとする。

しかしながら、真円軸受部Ｒ１はシャフト２が偏心することで、油膜圧力が発生するため、図５に示す軸受スリーブ８のように、Δ＞δとすることによって、真円軸受部Ｒ１の
隙間ｍ１が大きくなった分、トルクを低減でき、モータの消費電力を抑えることができる。

以上、本発明の実施形態につき説明したが、本発明は前記実施形態に限定されることなく種々の変形が可能であって、例えば、非開口部側に係る荷重が高い場合、図１に示す軸受スリーブ８と逆に、非開口部側に真円軸受面３１を形成し、開口部側に動圧軸受面３２を形成するようにしてもよい。また、開口部側に真円軸受面３１が設けられるものであっても、逆に非開口部側に真円軸受面３１が設けられるものであっても、真円軸受面３１と動圧軸受面３２の軸方向長さを相違させてもよい。この場合、真円軸受面３１が動圧軸受面３２よりも長くても、動圧軸受面３２が真円軸受面３１よりも長くてもよい。

また、スラスト軸受部Ｔが軸部材２を接触支持するものであるが、これに限らず、スラスト軸受部を、上記実施形態の動圧軸受部Ｒ２と同様に、油膜の圧力で軸部材を非接触支持するものとしてもよい。具体的には、例えば、軸部材の下端にフランジ部を設け、このフランジ部の上側端面と軸受スリーブの下側端面との間、及び、フランジ部の下側端面とハウジングの端面との間に、それぞれスラスト軸受隙間を設けることができる。この場合、スラスト軸受隙間を介して対向する面の一方に、スラスト動圧発生部を設けてもよい。

また、上記の実施形態では、軸受部材を固定し軸部材を回転させる、いわゆる軸回転タイプの動圧軸受装置を示したが、これに限らず、軸部材を固定し軸受部材を回転させる、いわゆる軸固定タイプの動圧軸受装置に本発明を適用してもよい。

また、本発明の動圧軸受装置は、ファンモータに限らず、情報機器（例えば、ＨＤＤ）のスピンドルモータや、レーザビームプリンタのポリゴンスキャナモータ、あるいは
プロジェクタのカラーホイールに用いることができる。

２ 軸部材
２ａ 外周面
２ｂ 凸部
６ａ ステータコイル
６ｂ ロータマグネット
８ 軸受スリーブ
８ａ 内周面
３１ 真円軸受面
３２ 動圧軸受面
３２ａ 動圧溝
３３ 中逃げ面
ｍ１ ラジアル軸受隙間
ｍ２ ラジアル軸受隙間
Ｒ１ 真円軸受部
Ｒ２ 動圧軸受部

Claims (7)

1. 動圧溝を有しない真円軸受面と、動圧溝を有する動圧軸受面とが形成された内周面を備え、前記真円軸受面と動圧軸受面とが同径でかつ軸方向長さを同一として軸方向に沿って連続して一つの部品にて形成され、前記真円軸受面とこれに対向する軸部材の外周面との間に形成されるラジアル軸受隙間の隙間寸法をΔとし、前記動圧軸受とこれに対向する軸部材の外周面との間に形成されるラジアル軸受隙間の隙間寸法をδとしたときに、Δ＝δとしたことを特徴とする軸受スリーブ。
2. 動圧溝を有しない真円軸受面と、動圧溝を有する動圧軸受面とが形成された内周面を備え、前記真円軸受面と前記動圧軸受面との軸方向長さを同一とするとともに、前記真円軸受面と前記動圧軸受面との間に、これらの軸受面の内径寸法よりも大の内径寸法である中逃げ面を設け、動圧軸受部のラジアル溝深さと動圧軸受部のラジアル軸受隙間との隙間の比を１：１に設定したことを特徴とする軸受スリーブ。
3. 前記請求項１に記載の軸受スリーブと、前記軸受スリーブの内周に挿入される軸部材とを備え、前記軸部材の回転に伴って、前記軸受スリーブの内周面とこの内周面に対向する前記軸部材の外周面との間に、ラジアル軸受隙間を有する真円軸受部とラジアル軸受隙間を有する動圧軸受部とが形成されることを特徴とする動圧軸受装置。
4. 前記請求項２に記載の軸受スリーブと、前記軸受スリーブの内周に挿入される軸部材とを備え、前記軸部材の回転に伴って、前記軸受スリーブの内周面とこの内周面に対向する前記軸部材の外周面との間に、ラジアル軸受隙間を有する真円軸受部とラジアル軸受隙間を有する動圧軸受部とが形成されることを特徴とする動圧軸受装置。
5. 動圧軸受部のラジアル軸受隙間よりも、真円軸受部のラジアル軸受隙間が大きいことを特徴とする請求項４に記載の動圧軸受装置。
6. 荷重が高くなる側に真円軸受部を配置し、荷重が低くなる側に動圧軸受部を配置したことを特徴とする請求項３～請求項５のいずれか１項に記載の動圧軸受装置。
7. 前記請求項３～請求項６のいずれかの動圧軸受装置と、ロータマグネットと、ステータコイルとを有することを特徴とするモータ。

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